KR20030092677A - 반도체 제조 공정에서의 가스 공급 제어 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스 공급을 조절하기 위해 개폐되는 공기압 밸브를 제어하기 위하여 전자석 밸브를 사용하는 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치에 관한 것이다. 본 발명의 가스 공급 제어 장치는 가스 공급 라인 상에 설치되는 공기압 밸브; 상기 공기압 밸브를 제어하는 전자석 밸브; 상기 전자석 밸브와 상기 공기압 밸브를 연결하는 공기압 라인; 상기 공기압 라인상의 압력을 체크하여 상기 전자석 밸브의 오동작을 체크하는 수단을 갖는다.

Description

반도체 제조 공정에서의 가스 공급 제어 장치{GAS SUPPLY CONTROL APPARATUS FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION INSTALLATION}

본 발명은 반도체를 제조하는 공정진행 중에 가스 공급을 제어하는 장치에관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 가스 공급을 조절하기 위해 개폐되는 공기압 밸브를 제어하기 위하여 전자석 밸브를 사용하는 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서는 다양한 가스들과 약품들이 사용된다. 이러한 가스들과 약품들의 공급은 보통 스테인레스 재질의 관을 통해 제공되며, 공급 제어는 공기압 밸브의 개폐를 통해서 이루어진다.

현재 사용되고 있는 가스 공급 제어 장치가 도1에 도시되어 있다.

도 1을 참고하면, 현재 사용중인 가스 공급 제어 장치(10)는 공기압 밸브(12)의 열림/담힘 동작에 의해 가스가 공급이 제어되며, 상기 공기압 밸브(12)의 제어는 전자석 밸브(14)에 의해 제어됨을 알 수 있다.

그러나, 이러한 구성에 있어서, 전자석 밸브(14)가 고장난 경우, 메인 콘트롤러(16)에서 가스 차단 명령을 주어도, 가스는 계속 공급되어 공정 에러를 야기시키게 된다.

예를 들어, 메인 콘트롤러(16)에서 오픈(open) 신호를 주어 일정시간 가스 공급이 진행된 후, 메인 콘트롤러(16)에서 클로즈(close) 신호를 주면 전자석 밸브(14)의 작동에 의해 공기압 밸브(12)가 닫여야 되는데, 전자석 밸브(14)의 동작이 원활하지 않을 경우 계속 에어 라인으로 에어가 가압되면서 공기압 밸브(12)가 클로즈되지 않고, 결국에는 가스가 공급되는 문제점이 발생된다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 전자석 밸브의 고장 또는 동작 이상을 체크할 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 가스 공급 제어 장치의 구성도;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 공급 제어 장치의 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

110 : 공기압 밸브

120 : 전자석 밸브

130 : 공기압 라인

140 : 인터록 장치

142 : 압력 센서

144 : 콘트롤러

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치에 있어서: 가스 공급 라인 상에 설치되는 공기압 밸브; 상기 공기압 밸브를 제어하는 전자석 밸브; 상기 전자석 밸브와 상기 공기압 밸브를 연결하는 공기압 라인; 상기 공기압 라인상의 압력을 체크하여 상기 전자석 밸브의 오동작을 체크하는 수단을 갖는다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 체크 수단은 상기 공기압 라인상의 압력을 감지하는 압력 센서와; 상기 압력 센서로부터 데이터를 입력받아 상기 전자석 밸브의 조작에 대한 제어신호를 상호 비교하여, 인터록 발생 여부를 판단하는 콘트롤러를 갖는다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 콘트롤러에 경고수단이 연결되어 인터록 발생시 작동된다.

예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 첨부된 도면 도 2를 참조하면서 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호가 병기되어 있다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치(100)의 구성도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 가스 공급 제어 장치(100)는 공기압 밸브(110), 전자석 밸브(120), 공기압 라인(130), 인터록 장치(140)를 갖는다.

상기 공기압 밸브(110)는 가스 공급 라인(200) 상에 설치되어, 가스 공급을 제어한다. 상기 전자석 밸브(120)는 상기 공기압 밸브(110)를 제어하며, 이를 위해 상기 전자석 밸브(120)와 상기 공기압 밸브(110)는 공기압 라인(130)에 의해 연결되어 있다.

상기 인터록 장치(140)는 상기 공기압 라인(130)상의 압력을 체크하여 상기 전자석 밸브(120)의 오동작을 체크하기 위한 것이다. 상기 인터록 장치는 상기 공기압 라인(130)상의 압력을 감지하는 압력 센서(142)와, 상기 압력 센서(142)로부터 데이터를 입력받아 상기 전자석 밸브(120)의 조작에 대한 제어신호를 상호 비교하여, 인터록 발생 여부를 판단하는 콘트롤러(144)로 이루어진다. 상기 콘트롤러(144)는 설비 메인 콘트롤러일 수 있다. 상기 콘트롤러에는 경고장치(146)가 연결되어 인터록 발생시 경고음을 발생한다.

이러한 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 콘트롤러(144)에서 가스 차단 명령이 떨어지면, 공기압 라인(130)으로 에어 유입이 차단되고, 상기 압력 센서(142)에서는 압력이 없는 것으로 체크된다. 반대로, 가스 공급 명령이 떨어지면, 공기압 라인(130)으로 에어가 유입되어 상기 에어 밸브(110)를 오픈시키고, 상기 압력 센서(142)에서는 압력이 체크된다. 이러한, 관계를 이용하여, 상기 에어 밸브(110)가 클로즈 상태이어야 하는데, 공기압 라인(130)에서는 압력이 체크될 경우, 이를 콘트롤러(144)에서 분석하여 상기 전자석 밸브(120)가 고장난 것으로 판단하고, 그에 대응되는 경고음을 발생시킨다.

이와 같이, 본 발명의 가스 공급 제어 장치는 전자석 밸브와 에어 밸브를 연결하는 공기압 라인에 압력 센서를 설치하여, 정상적으로 전자석 밸브가 작동하는 가를 체크할 수 있다.

이상에서, 본 발명에 따른 가스 공급 제어 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명의 건식 식각 장치(공기압 밸브로 구동하는 장치, 가스 공급 및 진공을 사용하는 장치류)에 의하면, 전자석 밸브의 고장 또는 동작 이상을 체크할 수 있어, 밸브의 오작동으로 인한 공정 결함을 방지할 수 있다.

Claims (3)

1. 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치에 있어서:

   가스 공급 라인 상에 설치되는 공기압 밸브;

   상기 공기압 밸브를 제어하는 전자석 밸브;

   상기 전자석 밸브와 상기 공기압 밸브를 연결하는 공기압 라인;

   상기 공기압 라인상의 압력을 체크하여 상기 전자석 밸브의 오동작을 체크하는 인터록 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 인터록 장치는

   상기 공기압 라인상의 압력을 감지하는 압력 센서와;

   상기 압력 센서로부터 데이터를 입력받아 상기 전자석 밸브의 조작에 대한 제어신호를 상호 비교하여, 인터록 발생 여부를 판단하는 콘트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 콘트롤러에 경고수단이 연결되어 인터록 발생시 작동하도록 하는 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치.