KR20060020847A - 관내의 불순물 퇴적을 방지하기 위한 도관 - Google Patents
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Abstract
관내의 불순물 퇴적을 방지하기 위한 도관을 개시한다. 관의 내부에 불순물이 퇴적되는 것을 방지하기 위한 본 발명에 의한 설비의 도관은 도관의 내부 벽에 일정한 간격으로 돌기를 형성하여 기체 또는 액체가 흐르도록 하는 것을 특징으로 한다. 따라서 도관 벽에 불순물이 퇴적되지 않게 하는 효과를 갖고, 관내의 기체 또는 액체의 흐름을 원활하게 하는 효과를 갖는다.
배기관, 불순물, 도관
Description
도 1은 일반적으로 사용되는 배관막힘 방지장치가 도시된 진공장치의 개요도
도 2는 잔여가스가 증착된 배기관의 단면도
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있는 배기관을 나타낸 단면도
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있는 배기관을 나타낸 단면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
3 : 배기관
10 : 삼각형 돌기
11 : 타원형의 돌기
본 발명은 관내의 불순물 퇴적을 방지하기 위한 도관에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 본 발명은 진공장치에서 챔버내부의 잔여가스를 통과시키는 배기관의 내부에 잔여가스가 증착되어 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있는 배기관에 관한 것이다.
도 1은 일반적으로 사용되는 배관막힘 방지장치가 도시된 진공장치의 개요도로서, 주입된 공정가스가 웨이퍼 등과 진공상태에서 반응하여 소정의 물리적 또는 화학적 반응을 일으키고 잔여가스를 발생시키는 챔버(1)와, 상기 챔버(1)의 내부를 진공으로 유지시키는 진공펌프(2)와, 상기 챔버(1)와 진공펌프(2)를 연통하여 상기 잔여가스를 유동시키는 배기관(3)과, 상기 배기관(3)의 중간에 구비되어 상기 잔여가스를 가열하여 내측에 증착되는 것을 방지하는 가열부(4)와, 상기 챔버(1)와 진공펌프(2)를 분획하는 분할밸브(5)와, 상기 배기관(3)의 내측에서 상기 잔여가스의 압력을 제어하는 압력밸브(6)와 압력센서(7)가 설치되고, 상기 챔버(1)의 일측에는 정전용량 압력계(8)와 유량제어기(9)가 설치된다.
상기 배기관(3)은 상기 챔버(1)내부에서의 생성물과 잔여가스의 화학적 특성에 따라서 내식성이 강한 스테인레스강 또는 피브이시계통의 고분자화합물로 형성된다.
상기와 같이 구성된 배관막힘 방지장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
도 1에서, 상기 챔버(1)의 내부에서는 전기에너지에 의한 프라즈마 또는 열에너지를 이용하는 배치로 등에 의하여 소정의 물리적 또는 화학적 반응을 일으켜 잔여가스를 발생시키고, 상기 잔여가스는 균일한 직경을 갖는 상기 배기관(3)과 상기 챔버(1)의 내부를 진공으로 유지시키는 진공펌프(2)를 통하여 외부로 배출된다.
이때 상기 배기관(3)은 균일한 직경을 갖는 원형관이고 상기 잔여가스의 흐름은 소정방향으로 균일한 유속을 가지므로 잔여가스가 지속적으로 상기 배기관(3)을 흐르다보면 상기 배기관(3)에 증착될 수 있게된다.
도 2는 잔여가스가 증착된 배기관의 단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 배기관(3) 내벽에 잔여가스가 증착되어 있다. 따라서 잔여가스 증착물은 잔여가스의 흐름에 방해가 되고, 증착물 자체가 잔여가스의 증착을 더욱 가속화시키는 작용을 하게된다.
상기 배기관(3)을 통과하는 잔여가스의 온도는 일반적으로 100-250℃ 정도이므로 잔여가스의 온도를 조절하여 잔여가스의 상태를 변경시킬 수 있다. 따라서 종래 기술에서는 도 1에서와 같이 상기 가열부(4)를 배기관(3)의 중간에 구비하여 잔여가스가 고온을 갖도록 가열하고 상기 압력밸브(6)에서는 잔여가스의 압력을 제어하여 잔여가스가 배기관(3)의 내벽에 증착되는 것을 방지하고 있다.
그러나 이러한 방법은 상기 배기관(3)에 지속적인 열을 가하여야 하므로 에너지 손실은 많으나 잔여가스의 증착방지 효율은 좋지못하고, 결국 상기 잔여가스가 상기 배기관(3)의 내벽에 증착되며 최종적으로는 배기관(3)을 막아 잔여가스의 유동을 방지하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결할 수 있는 반도체 제조 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 진공장치에서 챔버내부의 잔여가스를 통과시키는 배기관에 증착물이 발생되어 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있는 배기관을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 기체 또는 액체가 흐르는 일반적인 설비의 도관 내부에 불순물이 퇴적되는 것을 방지하기 위한 도관을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 기체 또는 액체가 흐르는 일반적인 설비의 도관 내부에 불순물이 퇴적되어 도관이 막히는 것을 방지하기 위한 도관을 제공하는 데 있다.
상기한 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예적 양상(aspect)에 따른 내부에 불순물이 퇴적되는 것을 방지하기 위한 설비의 도관은 도관의 내부 벽에 일정한 간격으로 돌기를 형성하여 기체 또는 액체가 흐르도록 하는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부한 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명될 것이다. 다양한 실시예에서의 설명들은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가지는 자에게 본 발명의 보다 철저한 이해를 돕기 위한 의도 이외에는 다른 의도 없이 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하므로, 그러한 설명들이 본 발명의 범위를 제한하는 용도로 사용되어서는 아니 됨은 명백하다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있는 배기관을 나타낸 단면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 배기관(3) 내부에 삼각형 형태의 돌기(10)를 일정한 간격으로 설치한다. 상기 돌기(10)의 재질은 배기관의 재질과 같을 수 있다. 그리하면 배기관(3)을 흐르는 잔여가스가 배기관(3)의 중앙으로 흐르는 성질을 갖게 되어 배기관(3) 내벽에 잔여가스가 증착되지 않게 된다. 또한 잔여가스의 흐름이 원활하게 되어 속도 또한 빠르게 된다. 그리하여 잔여가스가 배기관에 증착되는 것을 방지할 수 있고 그에 따라 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 배기관이 막히는 것을 방지할 수 있는 배기관을 나타낸 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 배기관(3)의 내부에 타원형의 돌기(11)를 일정한 간격으로 설치한다. 상기 돌기(10)의 재질은 배기관의 재질과 같을 수 있다. 그리하면 배기관(3)내부를 흐르는 잔여가스에는 압력차가 발생하고, 이러한 압력차이에 의하여 잔여가스에는 도 4에 도시된 바와 같이 와류현상이 발생하게 된다. 따라서 와류현상에 의하여 배기관 내벽에 불순물이 증착되는 것을 방지할 수 있고, 따라서 배기관이 불순물에 의하여 막히는 현상을 방지할 수 있다.
상기한 본 발명의 기본원리는 기체 또는 액체가 흐르는 일반적인 설비의 도관에서도 적용될 수 있다.
즉 도 3에 도시된 바와 같은 삼각형의 돌기를 일반적인 도관 내부에 설치하 면 기체 또는 액체가 도관의 내벽이 아닌 중앙으로 흐르는 성질을 갖게 되어 도관 벽에 불순물이 퇴적되지 않게 된다. 또한 기체 또는 액체의 흐름이 원활하게 되어 속도 또한 빠르게 된다. 그리하여 불순물의 도관에의 퇴적을 방지할 수 있다.
또한 도 4에 도시된 바와 같이, 도관 내부에 타원형의 돌기를 일정한 간격으로 설치한다. 그리하면 도관 내부를 흐르는 기체 또는 액체에는 압력차가 발생하고, 이러한 압력차이에 의하여 기체 또는 액체에는 와류현상이 발생하게 된다. 따라서 와류현상에 의하여 도관 내에 불순물이 퇴적되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 관내의 불순물 퇴적을 방지하기 위한 도관은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기본 원리를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 설계되고, 응용될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게는 자명한 사실이라 할 것이다.
상술한 바와 같이, 관내의 불순물 퇴적을 방지하기 위한 본 발명에 의한 도관은 관내에 일정한 형상의 돌기를 형성하여 관내를 흐르는 기체 또는 액체를 도관의 중앙으로 흐르게 하거나, 관내의 돌기에 의하여 관내의 기체나 액체에 와류현상이 발생하게 하여, 도관 내벽에 불순물이 퇴적되지 않게 하는 효과와 관내의 기체 또는 액체의 흐름을 원활하게 하는 효과를 갖는다.
Claims (6)
- 내부에 불순물이 퇴적되는 것을 방지하기 위한 설비의 도관에 있어서;상기 도관의 내부 벽에 일정한 간격으로 돌기를 형성하여 기체 또는 액체가 흐르도록 하는 것을 특징으로 하는 도관.
- 제 1항에 있어서,상기 도관은 반도체 제조 시 사용되는 진공장치에서 챔버내부의 잔여가스를 통과시키는 배기관임을 특징으로 하는 도관.
- 제 2항에 있어서,상기 불순물은 상기 잔여가스가 상기 배기관 내벽에 증착된 것임을 특징으로 하는 도관.
- 제 1항 내지 제 3항의 어느 한 항에 있어서,상기 돌기는 삼각형 형태임을 특징으로 하는 도관.
- 제 1항 내지 제 3항의 어느 한 항에 있어서,상기 돌기는 타원형 형태임을 특징으로 하는 도관.
- 제 1항 내지 제 3항의 어느 한 항에 있어서,상기 돌기의 재질은 상기 도관의 재질과 같은 재질임을 특징으로 하는 도관.
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| KR1020040069546A KR20060020847A (ko) | 2004-09-01 | 2004-09-01 | 관내의 불순물 퇴적을 방지하기 위한 도관 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100943937B1 (ko) * | 2008-03-14 | 2010-02-24 | 황인중 | 상수도관 내의 불순물 제거장치 |
| WO2017034110A1 (ko) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 플로우테크 주식회사 | 이젝터 효과를 이용한 수충격 완화 기능을 구비하는 수배관 시스템 및 이를 위한 압력탱크 연결구 |
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2004
- 2004-09-01 KR KR1020040069546A patent/KR20060020847A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
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| KR100943937B1 (ko) * | 2008-03-14 | 2010-02-24 | 황인중 | 상수도관 내의 불순물 제거장치 |
| WO2017034110A1 (ko) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 플로우테크 주식회사 | 이젝터 효과를 이용한 수충격 완화 기능을 구비하는 수배관 시스템 및 이를 위한 압력탱크 연결구 |
| WO2017034325A1 (ko) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 플로우테크 주식회사 | 슬램 완화 수단을 포함하는 배관 장치 |
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