JP2017057435A - 原子層堆積装置 - Google Patents
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Abstract
Description
A.原料ガス供給部からの原料ガスが、ステンレス配管を通って成膜室に入った時、配管の温度と成膜室の温度には差があるのですぐに温度が上がらず膜が付かない場合があった。
B.成膜に必要な温度まで達している場所では一様に膜が着くので出来るだけ膜が着くエリアを選択的に実現出来れば経済的にも使いやすくなるのだが、今まではこれが出来ていなかった。
200・・・・サセプター
300・・・・阻害物
310・・・・流路狭窄部
400・・・・成膜室内壁
500・・・・成膜室加熱ヒーター
510・・・・配管加熱ヒーター
600・・・・成膜室
700・・・・原料ガス供給部
750・・・・反応ガス供給部
800・・・・排気部
810・・・・冷却機構
820・・・・原料回収トラップ
V1、V2、V3、V4・・・・バルブ
Claims (3)
- 基板上に薄膜を形成する成膜室と、
前記薄膜の原料である原料ガス、反応ガス(以下、「成膜用ガス」と呼ぶ。)を成膜室に供給する原料ガス供給部および反応ガス供給部と、
成膜室を排気する排気部を備え、
前記成膜室内にあって、ガスの供給入口と基板の間の任意の位置に、
原料ガスの流れに対して阻害物を具備することを特徴とする原子層堆積装置。 - 請求項1に記載の原子層堆積装置において、前記阻害物の断面形状は円形、多角形、および任意の形状であり、成膜室内の前記阻害物が位置する場所の断面積に対する阻害物の断面積が30〜99.5%となる原子層堆積装置。
- 請求項1に記載の原子層堆積装置において、前記成膜室の材質として絶縁物を使用することを特徴とする原子層堆積装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015180711A JP2017057435A (ja) | 2015-09-14 | 2015-09-14 | 原子層堆積装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015180711A JP2017057435A (ja) | 2015-09-14 | 2015-09-14 | 原子層堆積装置 |
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Family
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JP2015180711A Pending JP2017057435A (ja) | 2015-09-14 | 2015-09-14 | 原子層堆積装置 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS507420B1 (ja) * | 1968-01-15 | 1975-03-25 | ||
JP2010209419A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 原子層成長装置 |
JP2015124397A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | コンタクト層の形成方法 |
-
2015
- 2015-09-14 JP JP2015180711A patent/JP2017057435A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS507420B1 (ja) * | 1968-01-15 | 1975-03-25 | ||
JP2010209419A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 原子層成長装置 |
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