KR20060015251A - 광섬유와 프리폼 및 그 제조방법 - Google Patents

광섬유와 프리폼 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광섬유 제조방법에 관한 것으로, 이 방법은 ⅰ)중공 기판 튜브를 제공하는 단계와, ⅱ)중공 기판 튜브의 내부에 도프트(doped) 또는 언도프트(undoped) 반응성 글라스 성형 가스를 통과시키는 단계와, ⅲ)비등온성 플라즈마는 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 왕복이동하고, 플라즈마의 이동속도는 각 반전 포인트에서 제로로 감소되며, 상기 중공 기판 튜브의 내부에서 글라스 층의 증착이 일어나는 조건을 상기 중공 기판 튜브의 내부에 만드는 단계와, ⅳ)상기에서 얻어진 기판 튜브를 콜랩싱하여 솔리드 프리폼을 형성하는 단계와, ⅴ)상기 솔리드 프리폼으로부터 광섬유를 연신하는 단계를 포함한다. 또한, 본 발명은 광섬유 뿐만 아니라, 광섬유를 제조하기 위한 프리폼에 관한 것이다.

Description

광섬유와 프리폼 및 그 제조방법{OPTICAL FIBER AND PREFORM AND METHOD OF THEIR MANUFACTURE}
본 발명은 광섬유 제조방법에 관한 것으로, 이 방법은
ⅰ)중공 기판 튜브를 제공하는 단계와,
ⅱ)중공 기판 튜브의 내부에 도프트(doped) 또는 언도프트(undoped) 반응성 글라스 성형 가스를 통과시키는 단계와,
ⅲ)중공 기판 튜브의 내부에서 글라스 층의 증착이 일어나는 그러한 조건을 상기 중공 기판 튜브의 내부에 만드는 단계로, 비등온성 플라즈마는 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 왕복이동하고, 플라즈마의 이동속도는 각 반전 포인트에서 제로로 감소되는 단계와,
ⅳ)상기에서 얻어진 기판 튜브를 콜랩싱(collasing)하여 솔리드 프리폼(solid preform)을 형성하는 단계와,
ⅴ)상기 솔리드 프리폼으로부터 광섬유를 연신하는(drawing) 단계를 포함한다.
그 방법에 추가해서, 본 발명은 광섬유를 제조하기 위한 프리폼뿐만 아니라 광섬유에 관한 것이다.
본 발명을 이용하여, 내부 화학 기상 증착(chemical vapour deposition; CVD)기술에 의해서 광섬유용 프리폼(prefom)이 만들어지고, 이 공정은 중공 기판 튜브의 내부 상에 도프트(doped) 또는 언도프트(undoped) 반응성 글라스 성형 가스를 증착하는 것을 포함한다. 그러한 반응성 가스는 기판 튜브의 일측, 즉 입구 측으로 공급되고, 특수 공정 조건의 영향 하에서 기판 튜브의 내부에 글라스 층을 형성한다. 에너지원은 기판 튜브를 따라 왕복이동하면서 글라스 층을 형성한다. 이 에너지원, 특히 플라즈마 발생기가 고주파 에너지를 공급하면, 플라즈마 조건 하에서 기판 튜브의 내부에 플라즈마가 생성되고, 그 결과, 반응성 글라스 성형가스가 반응하게 된다(플라즈마 CVD 기술). 그러나, 특히 버너를 사용하거나 기판 튜브를 감싸는 노(爐)를 이용하여 열에너지를 기판 튜브의 외측에 공급할 수도 있다. 상술한 기술의 공통적인 특징은 에너지원이 기판 튜브에 대해서 왕복이동하는 점이다.
상술한 기술의 단점은 반전 포인트에서 에너지원의 왕복이동이 증착층 내에 결함을 가져올 가능성이 있는 사실이다. 그러한 결함을 "테이퍼"라 부르는데, 그와 관련해서 기하학 테이퍼와 광학 테이퍼 간에 추가로 차이가 생긴다. 기하학 테이퍼란 용어는 총 증착(즉, 모든 글라스 층의)두께를 의미하는 것으로 이해하면 되며, 튜브의 길이에 걸쳐서 일정하지 않다. 광학 테이퍼란 용어는 광학 특성을 의미하는 것으로 이해하면 되며, 이것은 최종적으로 연신되는 섬유 상에서 주로 결정되는 특성으로서, 프리폼의 길이에 걸쳐서 일정하지 않다. 광학 테이퍼는 어느 정도 층 두께의 변화에 의해서 초래되지만, 이것은 프리폼의 길이를 따라서, 굴절률이나 굴절률 프로필의 변화에 의해서 주로 결정된다. 생산될 섬유의 광학특성에 대한 적절한 제어를 달성하기 위해서, 기하학 테이퍼의 적절한 제어가 요구되지만, 그에 추가해서 굴절률 콘트라스트(△)의 편차는 프리폼의 최대 가능 길이에 걸쳐서 가능한 한 작아야 한다.
테이퍼는 프리폼의 유용한 길이를 제한하는 단점을 가지며, 이는 하나의 프리폼으로부터 보다 소량의 섬유가 얻어질 수 있는 것을 의미한다. 그에 추가해서, 광섬유의 특성은 상기 테이퍼로 인해서 섬유의 전체 길이에 걸쳐서 일정하지 않을 수 있다. 이것은 또한, 그와 관련해서 길이가 긴 섬유의 광학 특성이 테이퍼의 존재로 인해서 충분히 일정하지 않으면, 제조자는 만들어진 제품에 대한 확실한 보증을 제공해야 하며, 가령, 사용자가 재측정하는 경우라면, 원리적으로는 특히 광섬유의 각 부위에 대한 광학 특성이 언제나 제공된 사양을 반드시 따라야 한다고 언급될 수 있다.
미국특허 제 4,741,747호는 광섬유 제조방법에 관한 것으로, 여기에서 소위 엔드 테이퍼는 반전 포인트 영역에서의 시간의 함수로서 비선형적인 플라즈마의 이동 및/또는 글라스 튜브의 길이를 따르는 플라즈마의 강도 변화에 의해서 감소된다.
미국특허 제 4,857,091호는 광섬유 제조방법에 관한 것으로, 플라즈마 발생기와 관련하여 국부 증착 구역의 축방향 위치에 영향을 주는 다수의 파라미터가 언급되어 있으며, 이 파라미터는:
(ⅰ) 마이크로파 전력을 주기적으로 변화시키는 것,
(ⅱ) 기판 튜브의 압력을 주기적으로 변화시키는 것, 및
(ⅲ) 튜브에 걸쳐서 왕복이동하는 공진기의 행정 속도를 주기적으로 변화시키는 것을 포함한다. ⅰ) 내지 ⅲ)과 관련되는 추가적인 상세한 설명은 대체로 부족하다.
유럽특허출원 제 0 038 982호는 플라즈마 발생기가 기판 튜브를 따라 이동하는 광섬유 제조방법에 관한 것으로, 프라즈마 발생기는 고온 구역을 생성하며, 이 고온 구역은 적어도 2개의 구역, 즉 구역 Ⅰ 및 구역 Ⅱ를 갖는 소위 "직렬 고온 구역"으로 간주할 수 있다. 비록, 상기 특허문서에는 증착속도나 증착 조성물을 변화시켜 소위 테이퍼 엔드의 발생을 막을 수 있는 것이 언급되어 있으나, 상기 특허문서에는 그러한 처리를 수반하는 특수한 동작이 무엇인지는 개시하지 않았다.
유럽특허출원 제 0 333 580호는 가변 전력 마이크로파 발생기가 사용되는 광섬유용 프리폼을 제조하는 장치에 관한 것이지만, 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 왕복이동하는 비등온성 플라즈마로 만드는데 도움이 되지 않는다.
조기 출원되어 그후 공개된 국제출원 WO 03/054245호는 프리폼을 제조하기 위한 특수 PCVD 기술에 관한 것으로; 상기 특허문서에는 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 플라즈마의 속도를 변화시키는 것과 관련된 어떤 정보도 제공되어 있지 않다.
영국특허공개 제 GB 2 118 165호로부터, 기판 튜브를 따라 축방향으로 이동하는 열원의 속도가 특수한 수학 방정식을 따르는 광섬유 제조방법이 공지되어 있으며, 여기에서 튜브를 따르는 상기 열원의 속도는 기판 튜브를 따르는 상기 열원의 위치의 함수이므로, 글라스 층의 총 증착두께는 튜브의 길이에 걸쳐서 실질적으 로 일정하다.
본 출원에 대한 미국특허 제 5,188,648호로부터, 플라즈마가 기판 튜브의 가스 주입 포인트 근처의 반전 포인트에 도달하는 매 시간마다 플라즈마의 이동이 중단되는 한편, 가스의 증착은 계속되는 광섬유 제조방법이 공지되어 있으며, 여기에서 플라즈마의 이동이 중단되는 동안의 기간은 적어도 0.1초이다.
따라서, 본 발명의 목적은 적은 기하학 및 광학 테이퍼를 보이고, 광섬유를 연신할 수 있는 프리폼의 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 최대 가능 길이에 걸쳐서 일정한 광학 특성을 보이고, 광섬유를 연신할 수 있는 프리폼을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 특정 길이방향 섬유에 걸쳐서 측정한 프로필 형상 파라미터(α)의 평균값과의 편차가 정밀하게 표시된 범위 내에 들어있는 광섬유를 제공하는데 있다.
프리폼으로 언급한 본 발명은 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도는 증착공정에서의 시간의 함수 및 제 1엔드 영역에서의 위치의 함수 모두로서, 단계 ⅲ)동안에 반전 포인트에 인접한 제 1엔드 영역에서 변화되고, 이 변화는 제 1엔드 영역의 시작 포인트를 표시하고, 제 1엔드 영역의 엔드 포인트는 반전 포인트와 일치하며, 시작 포인트는 감속 포인트보다 반전 포인트로부터 더 멀리 위치되고, 상기 제 1엔드 영역은 프리폼의 테이퍼를 줄이기에 충분한 길이를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 하나 이상의 목적은 상술한 방법을 이용하여 달성될 수 있다. 보다 상세하게, 본 발명에 따르면, 광학 테이퍼의 감소를 위해서 기판 튜브의 길이를 따라서 또는 임의의 위치에서 특정 공정 파라미터의 특정 변화를 가져올 뿐만 아니라(해당 특징은 상술한 종래기술에 폭넓게 기술되어 있다), 상기 적응의 변화는 시간에 따라 이루어져야 하며, 그와 관련해서 시간은 글라스 층의 증착이 발생하는 동안의 기간으로 이해해야 한다. 그러한 광섬유의 감소를 가져올 수 있는 공정 파라미터로는 ⅰ)플라즈마 발생기가 기판 튜브에 대해 이동하는 속도, ⅱ)플라즈마 발생기에 공급된 전력, ⅲ)중공 기판 튜브의 내부에 공급되는 도프트 또는 언도프트 반응성 글라스 성형 가스의 양 및 조성, 및 ⅳ)기판 튜브 내에 가해지는 압력이 있다.
ⅲ)단계의 초기에, 제 1엔드 영역에서 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도는 그러므로, 플라즈마가 엔드 영역의 밖에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도보다 모든 위치에서 낮은 것이 바람직하며, ⅲ)단계의 말기에, 속도값은 플라즈마가 제 1엔드 영역 밖에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도보다 높고, 이와 관련해서 특히 제 1엔드 영역에서 플라즈마의 속도는 시간에 따라 선형적으로 증가된다. 상술한 제 1엔드 영역은 중공 기판 튜브의 엔드에 위치되고, 이곳에서 단계 ⅱ)에 따라 반응성 글라스 성형 가스의 공급이 일어난다.
이하, 도면을 참조하여 특정 실시예에 대해서 보다 상세하게 설명한다.
가능한 최대 유용 길이를 갖는 프리폼을 만들기 위해서, 프리폼의 양단에서 테이퍼의 감소를 가져오는 것이 바람직하며, 그와 관련해서 시간의 함수 및 제 2엔드 영역에서의 위치의 함수 모두로서, 플라즈마가 단계 ⅲ) 동안에 반전 포인트에 인접한 제 2엔드 영역에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도가 변화되고, 이 변화는 제 2엔드 영역의 시작 포인트를 표시하고, 이 제 2엔드 영역의 엔드 포인트는 반전 포인트와 일치하고, 시작 포인트는 감속 포인트보다 반전 포인트로부터 더 멀리 위치되고, 제 2엔드 영역은 프리폼의 테이퍼를 줄이기에 충분히 긴 것이 바람직하다.
제 2엔드 영역에서 테이퍼 감소를 가져오기 위해서, 플라즈마가 제 2엔드 영역에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도는 단계 ⅲ)의 초기에 플라즈마가 엔드 영역의 밖에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도보다 모든 위치에서 낮은 것이 바람직하며, 상기 속도는 단계 ⅲ)의 엔드에서 더 감소되고, 제 2엔드 영역은 특히 중공 기판 튜브의 엔드에 위치되며, 이곳에서 단계 ⅱ)를 따라 반응성 글라스 성형 가스의 방출이 일어난다.
기판 튜브의 축방향에서 보아 특정 위치에 있어서, 증착공정의 초기에는 다량의 글라스를 증착하고 증착공정의 말기에는 소량의 글라스를 증착하기 위해서, 속도는 제 2엔드 영역에서의 시간의 함수로서 단계 ⅲ)동안 선형적으로 감소하는 것이 바람직하다. 만일, 제 1엔드 영역이 2개의 반전 포인트 사이에서 중공 기판 튜브의 총 길이의 5-35％의 길이를 포함하면, 제 2엔드 영역은 1-10％의 길이를 포함하는 것이 특히 바람직하다.
또한, 본 발명에 따르는 방법은 플라즈마의 전력 및 이 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 이동하는 속도는 단계 ⅲ) 동안에 실질적으로 일정한 값으로 유지됨과 아울러, 플라즈마 전력이 반전 포인트에 인접한 엔드 영역에서의 시간의 함수로서 변화되고, 이 변화는 엔드 영역의 시작 포인트를 표시하고, 플라즈마 전력은 단계 ⅲ)의 초기에 엔드 영역 밖의 플라즈마 전력보다 바람직하게는 2％ 이상, 특히 5％ 이상 낮으며, 단계 ⅲ)의 말기에는 엔드 영역 밖의 영역에서의 플라즈마 전력보다 바람직하게는 2％ 이상, 특히 5％ 이상 높은 값을 갖는 플라즈마 전력대 시간의 함수로서 점차 증가되고, 그와 관련해서 이것은 중공 기판 튜브의 엔드에 위치하게 될 엔드 영역에 대해서 특히 바람직하며, 이곳에서 단계 ⅱ)를 따라 반응성 글라스 성형 가스의 공급이 일어나는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 단계 ⅲ)에 따라 반응성 글라스 성형 가스의 공급량은 2개의 반전 포인트 사이에서 중공 기판 튜브의 길이를 따라 실질적으로 일정한 값으로 유지됨과 아울러, 반응성 글라스 성형 가스의 조성은 반전 포인트에 인접한 엔드 영역에서의 시간의 함수로서 변화되며, 이 변화는 엔드 영역의 시작 포인트를 표시하는 것을 특징으로 한다.
특정 실시예에 있어서, 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 이동하는 속도는 실질적으로 일정한 값으로 유지됨과 아울러, 중공 기판 튜브 내의 압력은 반전 포인트에 인접한 엔드 영역에서의 시간의 함수로서 변화되며, 이 변화는 엔드 영역의 시작 포인트를 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 방법을 이용하여, 바람직하게 그의 굴절률이 다음의 식을 따르는 광도파 광코어를 갖는 그레이디드 인덱스(graded index)형의 광섬유를 제조할 수 있다:
Figure 112005065443719-PCT00001
여기에서,
n1=광섬유의 굴절률 값,
r=섬유 내에서의 반경 위치(㎛),
Δ=섬유의 굴절률 콘트라스트 (=
Figure 112005065443719-PCT00002
),
nc1=코어를 감싸는 클래딩(cladding)의 굴절률,
α=프로필 형상 파라미터, 및
a=그레이디드 인덱스 코어의 반경(㎛)이다.
프로필 파라미터(α)는 기울기 프로필의 곡률을 결정하며, α값이 1인 경우에 프로필은 삼각형이고 α값이 무한대인 경우에 프로필은 직사각형이다. 상술한 α값은 광섬유를 통해 전달되는 광펄스의 펄스를 확장시켜, 결과적으로 그러한 다중모드 광섬유의 송신능력에 큰 영향을 준다. 광섬유의 송신 능력에 있어서의 큰 변화를 막기 위해서, 프로필 형상 파라미터(α)의 평균값에 관련된 편차는 10㎞ 이상의 길이에 걸쳐서 최대 ±0.03 이하가 바람직하고, 프로필 형상 파라미터(α)의 평균값에 관련된 편차는 10㎞ 이상의 길이를 갖는 광섬유에 대해서 최대 ±0.015이다.
또한, 본 발명은 광섬유를 제조하기 위한 프리폼에 관한 것으로, 60㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정한 굴절률 콘트라스트의 편차는 2％의 절대값을 넘지 않으며, 특히 60㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정한 굴절률 콘트라스트의 편차는 1.5％의 절대값을 넘지 않는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 광섬유를 제조하기 위한 프리폼에 관한 것으로, 80㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정한 프로필 파라미터(α)의 절대값에 관련된 편차는 0.03의 절대값을 넘지 않으며, 특히, 80㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정하여 0.015의 절대값을 넘지 않는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 다수의 실시예를 이용하여 보다 상세하게 설명하되, 그와 관련하여 본 발명은 그러한 특정 실시예로 한정되는 것을 의미하는 것은 아님을 주목해야 한다.
도 1은 전체 증착공정 동안에 일정한 값으로 유지되는 PCVD 공정의 속도 프로필을 나타낸다.
도 2는 플라즈마 발생기가 기판 튜브를 따라 축방향으로 이동하는 속도 프로필을 나타낸다.
도 3 내지 5는 코어 직경의 편차가 도 3에서 프리폼의 길이로서 표현되는 굴절률 프로필을 나타낸다.
도 6은 기판 튜브의 엔드에서의 속도 프로필만을 나타내는 것으로, 가스는 기판 튜브의 내부를 빠져나온다.
도 7 및 8은 최대 편차(Δ) 및 프로필 형상 파라미터(α)를 나타낸다.
도 9는 플라즈마 발생기의 위치의 함수로서 공급된 마이크로파 에너지의 전력을 나타낸다.
도 10은 증착공정 동안 PCVD 공정에서의 가스 조성의 변화를 나타낸다.
비교 실시예 1
PCVD기술을 이용하여, 약 0.02의 굴절률 콘트라스트를 갖는 그레이디드 인덱스형 광섬유를 연신하여 프리폼을 제조하였다. 기판 튜브의 내부에서 발생한 플라즈마를 이용하여, 반응성 글라스 성형 가스를 기판 튜브 내로 흘려보낸 다음, 상기 가스가 반응하도록 함으로써 기판 튜브의 내부 상에 글라스 층이 증착되었다. 필요한 고주파 에너지를 플라즈마와 결합시키기 위해서 기판 튜브를 감싸는 플라즈마 발생기 또는 공진기가 사용되었다. 상기 플라즈마 발생기는 감속 포인트(X)로부터 반전 포인트(Y)까지 선형적으로 감소하는 속도로, 기판 튜브를 따라 일정하게 왕복이동하였다. 증착공정 동안에 일정한 값으로 유지되는 이러한 속도 프로필은 도 1에 도시되어 있다. 증착공정 후에, 기판 튜브는 통상적인 방법으로 중실 프리폼 내에서 수축되었다. 굴절률 프로필은 소위 인덱스 프로필러형 Photon Kinetics 모델 2600을 사용하여, 위와 같이 형성된 프리폼을 따라 여러 위치에서 측정하였다. 코어 직경의 편차, 최대 Δ값 및 프로필 파라미터(α)는 첨부한 도 3-5에 각각 개략적으로 도시되어 있다. 도 4는 굴절률 콘트라스트의 편차가 ±1％의 값을 넘지 않는 최대 프리폼의 길이는 약 60㎝임을 명확하게 나타낸다. 굴절률 콘트라스트의 편차가 ±0.5％의 값을 넘지 않는 최대 프리폼의 길이는 약 40㎝이다.
실시예 1
비교 실시예 1에서 설명한 PCVD 기술을 이용하여, 약 0.02의 굴절률 콘트라 스트를 갖는 그레이디드 인덱스형 광섬유를 연신하여 프리폼을 제조하였고, 본 발명에 따르면, 플라즈마 발생기가 기판 튜브를 따라 축방향으로 이동하는 속도 프로필은 시간에 따라 변화되었다. 플라즈마 발생기가 기판 튜브를 따라 축방향으로 이동하는 즉, 증착공정의 초기 및 증착공정의 말기 속도 프로필이 도 2에 개략적으로 도시되어 있다. 본 발명에 따르는 방법은 전체 증착공정 동안에 반응성 글라스 성형 가스가 공급되는 기판 튜브의 엔드에서 사용할 수 있고, 플라즈마 발생기의 속도 프로필은 포인트(B)를 향해서 감소하는 것이 도 2로부터 명백하다. 도 2에 있어서, 다수의 특징점, 다시 말해서 제 1엔드 영역의 시작 포인트는 포인트(A)로 나타냈다. 이 포인트는 플라즈마 발생기의 속도 프로필이 더 이상 일정한 값으로 유지되지 않고 포인트(B)(도면에서 좌측)까지 감소됨으로써 목적으로 하는 광학 테이퍼가 감소되는 위치를 표시한다. 상기 포인트(B)는 따라서 제 1엔드 영역에 위치되며, 감속 포인트 또는 속도가 반전 포인트에서 제로로 감소될 때까지 플라즈마 발생기가 감속되는 위치를 표시한다. 포인트(C), 다시 말해서 제 1엔드 영역의 엔드 포인트는 기판 튜브의 엔드에서 플라즈마 공진기의 반전 포인트(속도=0)를 표시하며, 이 포인트에서 반응성 글라스 성형 가스는 기판 튜브 내로 흘러들어간다. 포인트(D)(속도=0)는 기판 튜브의 타단에 위치한 반전 포인트를 표시한다. A-C로 표시한 엔드 영역의 길이는 C-D로 표시한 2개의 반전 포인트 간 거리의 24％에 달했다. 감속 포인트는 제 1엔드 영역에 위치되고, 시작 포인트(A)는 감속 포인트(B)보다 반전 포인트로부터 더 멀리 위치되는 것이 명백하다. 속도 프로필은 증착공정의 초기, 즉 포인트 A 근처에서 도 1에 도시한 바와 같은 비교 실시예 1의 속도 프로필 과의 편차를 이미 보이는 것임을 도 2로부터 알 수 있다. 다시 말해서, 증착공정의 초기에 엔드 영역(A-C) 내의 공진기 속도는 도 1을 따르는 속도 프로필보다 낮으며, 상기 공진기 속도는 전체 증착공정 동안 시작 포인트(A)의 우측 영역에서 사용한 바와 같은 공진기 속도보다 높은 값까지 증착공정 동안에 섹션(A-B)을 따라서 점차 증가하게 된다. 엔드 포인트(C)와 시작 포인트(A) 사이에 위치한 영역 역시 엔드 영역이라 부른다. 따라서, 엔드 영역(A-C)의 길이는 도 1에 도시한 바와 같이 영역(X-Y)의 길이보다 큰 것이 명백하다. 이미 증착공정의 초기에, 제 1엔드 영역, 특히 영역(A-B)에 대해 보다 낮은 속도가 선택되고 상기 속도는 증착공정 동안 선형적으로 증가함으로써, 코어 직경 및 편차에 관해 보다 우수한 결과를 보이는 광학 프리폼이 얻어지게 된다.
위와 같이 얻어진 프리폼의 굴절률 프로필은 비교 실시예 1에서 사용한 바와 동일한 인덱스 프로필러를 사용하여, 도 3에 프리폼의 길이로서 나타낸 코어 직경의 변화, 도 4에 프리폼의 길이의 함수로서 나타낸 편차Δ(％), 및 마지막으로 프리폼의 길이의 함수로서 도 5에 나타낸 α값의 평균과 관련된 편차로서 여러 위치에서 측정하였다. 실시예 1에 따르는 프리폼은 비교 실시예 1에 따르는 프리폼보다 상당히 우수한 결과를 제공하는 것이 상기 도 3-5로부터 명백하다.
실시예 2
비교 실시예 1에서 설명한 PCVD 기술을 이용하여, 약 0.02의 굴절률 콘트라스트를 갖는 그레이디드 인덱스형 광섬유를 연신하여 프리폼을 제조하였다. 증착공정 동안에, 플라즈마 발생기의 속도 프로필이 시간 및 위치의 함수로서 변화되었으 나, 실시예 2에서, 이 프로필은 기판 튜브의 좌측 엔드, 다시 말해서 글라스 성형 콤포넌트가 들어가는 엔드, 및 기판 튜브의 우측 엔드, 다시 말해서 글라스 성형 콤포넌트가 배출되는 엔드 모두에서 변화되었다. 증착공정 동안 시간의 함수 및 반응성 글라스 성형 가스가 중공 기판 튜브로 들어가는 엔드에서의 위치의 함수로서 나타내는 변화는 도 2에 도시한 바와 같은 속도 프로필에 상응한다. 가스가 기판 튜브의 내부를 빠져나오는 기판 튜브의 엔드에서의 속도 프로필만이 도 6에 개략적으로 도시되어 있다. 따라서, 도 6은 증착공정의 초기 속도 프로필 및 증착공정의 말기 속도 프로필을 나타내며, 증착공정의 말기 속도 프로필은 초기보다 상당히 느린 것이 상기 도 6으로부터 명백하다. 제 2엔드 영역의 시작 포인트를 표시하는 포인트(E)로부터, 공진기 속도는 위치의 함수로서 감소되며, 이때의 변화는 도 1에 도시한 주지의 공진기 속도 프로필과는 상당히 다르다. 위치(F), 다시 말해 공진기의 감속 포인트에 있어서, 공진기의 속도는 반전 포인트(D)에서 제로로 감소되며, 이 포인트(D)는 제 2엔드 영역의 엔드 포인트를 표시한다. 이어서, 공진기의 속도는 추가적인 증착공정 단계 동안에 제 2엔드 영역(E-D)에서 더욱 더 감소된다. E-D로 표시한 우측 반전 포인트에서 엔드 영역의 길이는 C-D로 표시한 2개의 반전 포인트 간의 거리의 1.5％에 달했고, 여기서 C는 좌측 반전 포인트(도시 생략)이다. 감속 포인트(F)는 상기 제 2엔드 영역(E-D)에 위치되고, 이 제 2엔드 영역은 도 1에 도시한 바와 같이 영역(X-Y)보다 크다. 다시말해서, 도 6에 도시한 바와 같은 프로필에 따르면, 공진기 속도는 이미 위치(E)에서 도 7에 따르는 공진기 속도보다 낮아지는 것을 이해해야 한다. 위와 같이 제조한 프리폼에 대해 다수의 측정이 실 시되었고, 굴절률 프로필은 실시예 1 및 비교 실시예 1에서 사용한 바와 동일한 인덱스 프로필러를 사용하여, 프리폼을 따라서 여러 위치에서 측정하였다. 최대 편차(Δ) 및 프로필 형상 파라미터(α)는 도 7 및 8에 개략적으로 도시되어 있으며, 이 도면들은 실시예 2에 따르는 프리폼이 비교 실시예 1에 따르는 프리폼보다 상당히 우수한 결과를 제공하는 것이 명백하다.
실시예 3
상술한 바와 같은 PCVD 기술을 이용하여, 프리폼을 제조하였고, 공급된 마이크로파 에너지의 전력은 도프트 또는 언도프트 반응성 글라스 성형 가스가 도입되는 기판 튜브의 엔드 위치에서 변화되었다. 사용된 플라즈마 발생기의 속도 프로필은 도 1에 도시한 바와 같은 속도 프로필에 상응한다. 도 9는 플라즈마 발생기의 위치의 함수로서 공급된 마이크로파 에너지의 전력을 개략적으로 나타내는 것으로, 증착공정의 초기에 공급된 전력은 위치(A)의 우측 영역과 비교하여, 위치(A)의 좌측 영역에서는 공칭 체적 아래의 값 5％까지 감소되었다. 공급된 마이크로파 에너지의 전력레벨은, 플라즈마 발생기의 위치에 따라서, 증착공정의 엔드에서 공칭 값 이상의 값 5％까지 점차 증가하는 전력으로 증착공정 동안에 조정되었다. 그러한 방법이 사용될 때, 광학 테이퍼는 비교 실시예 1에서 설명한 바와 같은 방법, 다시 발해서 플라즈마 전력의 조정을 시간의 함수로서나 위치의 함수로서도 실행하지 않은 실시예와 비교하여 감소될 수 있다.
실시예 4
상술한 PCVD 기술을 이용하여, 약 0.02의 굴절률 콘트라스트를 갖는 그레이 디드 인덱스형 광섬유용 프리폼을 제조하였고, 상기 값은 전력 레벨 대신에, 반응성 글라스 성형 가스 간의 비율, 특히 GeCl4와 SiCl4의 공급량 간의 비율로서, 이는 실시예 3에서와 같이, 증착공정 동안에 변화되었다. 상기 2개의 가스 간 비율의 변화는 도 10에 개략적으로 도시되어 있다. 상기 도 10에서, 5개의 선들은 증착공정의 초기인 t=0에서, 증착기간의 20％ 후인 t=0.2에서, 증착기간의 40％ 후인 t=0.4에서, 증착기간의 말기인 t=1까지의 가스 조성을 나타낸다. 층의 증착 동안에, 플라즈마의 위치에서 가스 조성은 기판 튜브의 대부분에 걸쳐서 일정한 레벨로 유지된다. 엔드 영역에 있어서, 플라즈마의 위치에서 가스 조성은 기판 튜브의 나머지와 다르다. 엔드 영역에서의 가스 조성의 이러한 차이는 증착공정의 초기인 t=0에서 또는 증착공정의 말기인 t=1에서 발생하지 않았다. 상기 기간 중, 엔드 영역에서의 가스 조성은 엔드 영역에서의 α값의 변화가 최소화되도록 변화된다.
기하학 테이퍼는 본 발명의 사용에 의해서 감소될 수 있음을 도면으로부터 알 수 있다. 그에 부가해서, 나머지 프로필 형상 파라미터(α)의 평균값에 관련된 편차가 100㎝의 길이에 걸쳐서 ±0.02를 넘지 않는 프리폼을 만들 수 있음이 명백하다. 그에 부가해서, 굴절률 콘트라스트의 편차는 100㎝ 이상의 길이에 걸쳐서 ±1.5％를 넘지 않는 값까지 감소될 수 있다. 그와 같이 만들어진 프리폼은 이어서, 10㎞ 이상의 길이를 갖는 광섬유가 형성된 후에, 약 62.5㎛의 코어 직경 및 약 0.02의 굴절률 콘트라스트를 갖는 광섬유로 연신되며, 이때 α값의 변화는 전체 광섬유 길이에 걸쳐서 ±0.01의 값을 넘지 않는다. 이러한 결과는 광섬유의 전체 길 이에 걸쳐서 얻어지는 대역폭이 거의 일정함을 나타낸다. 상응하는 결과가 그레이디드 인덱스형 프리폼 및 약 50㎛의 코어 직경과 약 0.01의 굴절률 콘트라스트를 갖는 섬유에서 얻어졌다.

Claims (22)

  1. 광섬유 제조방법에 있어서,
    ⅰ)중공 기판 튜브를 제공하는 단계와;
    ⅱ)중공 기판 튜브의 내부에 도프트(doped) 또는 언도프트(undoped) 반응성 글라스 성형 가스를 통과시키는 단계와;
    ⅲ)비등온성 플라즈마는 상기 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 왕복이동하고, 플라즈마의 이동속도는 각 반전 포인트에서 제로로 감소되며, 상기 중공 기판 튜브의 내부에서 글라스 층의 증착이 일어나는 조건을 상기 중공 기판 튜브의 내부에 만드는 단계와;
    ⅳ)상기에서 얻어진 기판 튜브를 콜랩싱하여 솔리드 프리폼( solid preform)을 형성하는 단계와;
    ⅴ)상기 솔리드 프리폼으로부터 광섬유를 연신하는 단계를 포함하고;
    상기 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도는, 증착공정에서의 시간의 함수 및 제 1엔드 영역에서의 위치의 함수로서, 단계 ⅲ)동안에 반전 포인트에 인접한 제 1엔드 영역에서 변화되며, 상기 변화는 제 1엔드 영역의 시작 포인트를 나타내고, 상기 제 1엔드 영역의 엔드 포인트는 반전 포인트와 일치하며, 상기 시작 포인트는 감속 포인트보다 상기 반전 포인트로부터 더 멀리 위치하고, 상기 제 1엔드 영역은 프리폼의 테이퍼를 줄이기에 충분한 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 단계 ⅲ)의 초기에 플라즈마가 상기 제 1엔드 영역에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도는 플라즈마가 엔드 영역 밖에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도보다 모든 위치에서 낮으며, 단계 ⅲ)의 말기의 속도값은 플라즈마가 제 1엔드 영역 밖에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도보다 높은 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 제 1엔드 영역에서의 플라즈마의 속도는 증착 단계 ⅲ) 동안에 시간에 따라 선형적으로 증가하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 제 1엔드 영역에서의 플라즈마의 속도는 증착 단계 ⅲ) 동안에 플라즈마가 엔드 영역 밖에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도보다 모든 위치에서 높은 속도까지 증가하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 1항 내지 제 4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1엔드 영역은 중공 기판 튜브의 엔드에 위치되고, 이 곳에서 단계 ⅱ)에 따라 반응성 글라스 성형 가스의 공급이 일어나는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1항 내지 제 5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도는, 증착공정에서의 시간의 함수 및 제 2엔드 영역에서의 위치의 함수로서, 단계 ⅲ)동안에 반전 포인트에 인접한 제 2엔드 영역에서 변화되며, 상기 변화는 상기 제 2엔드 영역의 시작 포인트를 나타내고, 상기 제 2엔드 영역의 엔드 포인트는 반전 포인트와 일치하며, 상기 시작 포인트는 감속 포인트보다 반전 포인트로부터 더 멀리 위치하고, 상기 제 2엔드 영역은 프리폼의 테이퍼를 줄이기에 충분한 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 단계 ⅲ)의 초기에 플라즈마가 제 2엔드 영역에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도는 플라즈마가 엔드 영역 밖에서 중공 기판 튜브를 따라 이동하는 속도보다 모든 위치에서 낮고, 상기 속도는 단계 ⅲ)의 말기에 더욱 감소되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 제 2엔드 영역은 중공 기판 튜브의 엔드에 위치되고, 이곳에서 단계 ⅱ)에 따라 반응성 글라스 성형 가스의 방출이 일어나는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제 6항 내지 제 8항의 어느 한 항에 있어서, 상기 플라즈마의 속도는 상기 단계 ⅲ)동안에 제 2엔드 영역에서 시간에 따라 선형적으로 감소하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제 1항 내지 제 9항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1엔드 영역은, 2개의 반전 포인트 사이에서의 중공 기판 튜브의 총 길이의 5-35％의 길이를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 1항 내지 제 10항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2엔드 영역은 2개의 반전 포인트 사이에서의 중공 기판 튜브의 총 길이의 1-10％의 길이를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 광섬유 제조방법에 있어서,
    ⅰ)중공 기판 튜브를 제공하는 단계와;
    ⅱ)중공 기판 튜브의 내부에 도프트 또는 언도프트 반응성 글라스 성형 가스를 통과시키는 단계와;
    ⅲ)비등온성 플라즈마는 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 왕복이동하고, 플라즈마의 이동속도는 각 반전 포인트에서 제로로 감소되며,상기 중공 기판 튜브의 내부에서 글라스 층의 증착이 일어나는 조건을 상기 중공 기판 튜브의 내부에 만드는 단계와;,
    ⅳ)상기에서 얻어진 기판 튜브를 콜랩싱하여 솔리드 프리폼을 형성하는 단계와;
    ⅴ)상기 솔리드 프리폼으로부터 광섬유를 연신하는 단계를 포함하고;
    플라즈마의 전력 및 상기 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 이동하는 속도는 단계 ⅲ) 동안에 실질적으로 일정한 값으로 유지되 고, 상기 플라즈마 전력은 반전 포인트에 인접한 엔드 영역에서의 시간의 함수로서 변화되며, 상기 변화는 엔드 영역의 시작 포인트를 나타내며, 상기 플라즈마 전력은 상기 단계 ⅲ)의 초기에는 상기 엔드 영역 밖의 플라즈마 전력보다 낮고, 상기 단계 ⅲ)의 말기에는 엔드 영역 밖의 영역에서의 플라즈마 전력보다 엔드 영역에서 높은 값을 갖는 플라즈마 전력까지 증착공정 동안 시간의 함수로서 점차 증가되는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 엔드 영역에서의 플라즈마 전력은 상기 단계 ⅲ)의 초기에는 엔드 영역 밖의 플라즈마 전력보다 2％ 이상 낮으며, 단계 ⅲ)의 말기에 는 엔드 영역 밖의 영역에서의 플라즈마 전력보다 2％ 이상 높은 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제 12항 또는 13항에 있어서, 상기 엔드 영역은 중공 기판 튜브의 엔드에 위치되고, 이곳에서 단계 ⅱ)를 따라 반응성 글라스 성형 가스의 공급이 일어나는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 광섬유 제조방법에 있어서,
    ⅰ)중공 기판 튜브를 제공하는 단계와;
    ⅱ)중공 기판 튜브의 내부에 도프트 또는 언도프트 반응성 글라스 성형 가스를 통과시키는 단계와;
    ⅲ)비등온성 플라즈마는 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 왕복이동하고, 플라즈마의 이동속도는 각 반전 포인트에서 제로로 감소되며,상기 중공 기판 튜브의 내부에서 글라스 층의 증착이 일어나는 조건을 상기 중공 기판 튜브의 내부에 만드는 단계와;
    ⅳ)상기에서 얻어진 기판 튜브를 콜랩싱하여 솔리드 프리폼을 형성하는 단계와;
    ⅴ)상기 솔리드 프리폼으로부터 광섬유를 연신하는 단계를 포함하고;
    상기 단계 ⅲ)에 따른 상기 반응성 글라스 성형 가스의 공급량은 2개의 반전 포인트 사이를 플라즈마가 통과하는 동안에 실질적으로 일정한 값으로 유지되며, 상기 반응성 글라스 성형 가스의 조성은 증착공정 동안에 반전 포인트에 인접한 엔드 영역에서의 시간의 함수로서 변화되며, 상기 변화는 엔드 영역의 시작 포인트를 나타내는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 광섬유 제조방법에 있어서,
    ⅰ)중공 기판 튜브를 제공하는 단계와;
    ⅱ)중공 기판 튜브의 내부에 도프트 또는 언도프트 반응성 글라스 성형 가스를 통과시키는 단계와;
    ⅲ)비등온성 플라즈마는 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 왕복이동하고, 플라즈마의 이동속도는 각 반전 포인트에서 제로로 감소되며, 상기 중공 기판 튜브의 내부에서 글라스 층의 증착이 일어나는 조건을 상기 중공 기판 튜브의 내부에 만드는 단계와;
    ⅳ)상기에서 얻어진 기판 튜브를 콜랩싱하여 솔리드 프리폼을 형성하는 단계와;
    ⅴ)상기 솔리드 프리폼으로부터 광섬유를 연신하는 단계를 포함하고;
    상기 플라즈마가 중공 기판 튜브를 따라 2개의 반전 포인트 사이를 이동하는 속도는 실질적으로 일정한 값으로 유지되며, 상기 중공 기판 튜브 내의 압력은 반전 포인트에 인접한 엔드 영역에서의 시간의 함수로서 변화되고, 상기 변화는 엔드 영역의 시작 포인트를 나타내는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 60㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정한 굴절률 콘트라스트의 편차는 2％의 절대값을 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조용 프리폼.
  18. 제 17항에 있어서, 상기 60㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정한, 굴절률 콘트라스트의 편차는 1.5％의 절대값을 넘지 않는 것을 특징으로 하는 프리폼.
  19. 80㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정한, 프로필 파라미터(α)의 평균값과 관련된 편차는 0.03의 절대값을 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조용 프리폼.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 80㎝ 이상의 길이를 갖는 프리폼에 대해 측정한, 프로필 파라미터(α)의 평균값과 관련된 편차는 0.015의 절대값을 넘지 않는 것을 특징으로 하는 프리폼.
  21. 프로필 형상 파라미터(α)의 평균값의 편차는 최대 약 0.03인 것을 특징으로 하는 광섬유.
  22. 제 21항에 있어서, 10㎞ 이상의 길이를 갖는 광섬유에 대한 프로필 형상 파라미터(α)의 평균값의 편차는 최대 약 0.015인 것을 특징으로 하는 광섬유.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1023438C2 (nl) 2003-05-15 2004-11-22 Draka Fibre Technology Bv Werkwijze ter vervaardiging van een optische vezel, voorvorm en een optische vezel.
US7444955B2 (en) * 2004-05-19 2008-11-04 Sub-One Technology, Inc. Apparatus for directing plasma flow to coat internal passageways
NL1032140C2 (nl) * 2006-07-10 2008-01-15 Draka Comteq Bv Werkwijze voor door middel van een inwendig damp-depositieproces vervaardigen van een optische voorvorm, alsmede een daarmee verkregen voorvorm.
NL1032463C2 (nl) * 2006-09-08 2008-03-11 Draka Comteq Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een optische voorvorm.
NL1033763C2 (nl) * 2007-04-26 2008-10-28 Draka Comteq Bv Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen van een optische voorvorm.
NL1033773C2 (nl) 2007-04-27 2008-10-28 Draka Comteq Bv Werkwijze voor de vervaardiging van een voorvorm alsmede daarmee te verkrijgen optische vezel.
NL1033769C2 (nl) * 2007-04-27 2008-10-28 Draka Comteq Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm alsmede werkwijze voor het uit een dergelijke voorvorm vervaardigen van optische vezels.
NL1034059C2 (nl) 2007-06-29 2008-12-30 Draka Comteq Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm voor optische vezels onder toepassing van een dampdepositieproces.
NL1034058C2 (nl) * 2007-06-29 2008-12-30 Draka Comteq Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm alsmede werkwijze voor het uit een dergelijke voorvorm vervaardigen van optische vezels.
US7848604B2 (en) 2007-08-31 2010-12-07 Tensolite, Llc Fiber-optic cable and method of manufacture
US8857372B2 (en) * 2007-12-10 2014-10-14 Ofs Fitel, Llc Method of fabricating optical fiber using an isothermal, low pressure plasma deposition technique
NL1036343C2 (nl) 2008-12-19 2010-06-22 Draka Comteq Bv Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een optische voorvorm.
NL2004546C2 (nl) 2010-04-13 2011-10-17 Draka Comteq Bv Inwendig dampdepositieproces.
NL2004544C2 (nl) 2010-04-13 2011-10-17 Draka Comteq Bv Inwendig dampdepositieproces.
NL2004874C2 (nl) 2010-06-11 2011-12-19 Draka Comteq Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm.
US8542967B2 (en) 2010-08-12 2013-09-24 Draka Comteq, B.V. Depressed graded index multi-mode optical fiber
US9052486B2 (en) 2010-10-21 2015-06-09 Carlisle Interconnect Technologies, Inc. Fiber optic cable and method of manufacture
NL2006472C2 (en) * 2011-03-25 2012-09-26 Draka Comteq Bv Method of manufacturing an optical fibre, preform and optical fibre.
NL2007447C2 (nl) 2011-09-20 2013-03-21 Draka Comteq Bv Werkwijze voor de vervaardiging van een primaire voorvorm voor optische vezels, primaire voorvorm, uiteindelijke voorvorm, optische vezel.
NL2007448C2 (nl) * 2011-09-20 2013-03-21 Draka Comteq Bv Werkwijze voor de vervaardiging van een primaire voorvorm voor optische vezels, primaire voorvorm, uiteindelijke voorvorm, optische vezels.
NL2007831C2 (en) * 2011-11-21 2013-05-23 Draka Comteq Bv Apparatus and method for carrying out a pcvd deposition process.
DE102012106478B4 (de) * 2012-07-18 2015-03-05 J-Fiber Gmbh Verfahren zur Fertigung einer Preform für eine Gradientenindex-Multimodefaser unter Anwendung einer Innenwand-Rohrabscheidung
NL2009962C2 (en) 2012-12-11 2014-06-12 Draka Comteq Bv Method for activating an inner surface of a hollow glass substrate tube for the manufacturing of an optical fiber preform.
US8837888B1 (en) * 2013-08-02 2014-09-16 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Multimode optical fiber including a core and a cladding
NL2015162B1 (en) 2015-07-13 2017-02-01 Draka Comteq Bv Method for activating an inner surface of a substrate tube for the manufacturing of an optical fiber preform.
CN111517634B (zh) * 2020-04-13 2021-05-07 烽火通信科技股份有限公司 一种提高pcvd原料气体沉积均匀性的系统、方法和应用
NL2031450B1 (en) 2022-03-30 2023-10-24 Draka Comteq Bv A PCVD deposition process for manufacturing a primary preform as well as a method for forming optical fibres from such a preform

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4331462A (en) * 1980-04-25 1982-05-25 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber fabrication by a plasma generator
EP0105327A4 (en) * 1982-04-12 1984-08-10 Western Electric Co REDUCTION OF THE CONICITY OF A FIBER OPTIC PREFORM.
DE3445239A1 (de) * 1984-12-12 1986-06-19 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Verfahren zur herstellung von lichtleitfasern
DE3525979A1 (de) * 1985-07-20 1987-01-29 Philips Patentverwaltung Verfahren zur herstellung von lichtleitfasern
US5188648A (en) * 1985-07-20 1993-02-23 U.S. Philips Corp. Method of manufacturing optical fibres
DE3635034A1 (de) * 1986-10-15 1988-04-21 Philips Patentverwaltung Verfahren zur herstellung von lichtleitfasern
DE3720030A1 (de) * 1987-06-16 1988-12-29 Philips Patentverwaltung Verfahren zur herstellung von lichtleitfasern
FR2628730B1 (fr) * 1988-03-16 1990-06-29 France Etat Dispositif de fabrication de preformes pour fibres optiques
DE69420818T2 (de) * 1993-11-29 2000-05-25 At & T Corp Verfahren zum Herstellen von Vorformen für optische Fasern
JP3937665B2 (ja) * 1999-11-01 2007-06-27 住友電気工業株式会社 光ファイバ製造方法
JP3746427B2 (ja) * 2000-01-14 2006-02-15 三星電子株式会社 分散制御光ファイバ母材及びｍｃｖｄ法を利用した分散制御光ファイバ母材製造方法
US6532773B1 (en) * 2000-06-30 2003-03-18 Fitel Usa Corp. Method of modifying the index profile of an optical fiber preform in the longitudinal direction
AU2002362044A1 (en) 2001-12-19 2003-07-09 Corning Incorporated Device for producing pcvd coated glass tubes for the drawing of optical fibers
NL1023438C2 (nl) 2003-05-15 2004-11-22 Draka Fibre Technology Bv Werkwijze ter vervaardiging van een optische vezel, voorvorm en een optische vezel.

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