KR20060003731A - 디스플레이 글래스 원판 검사 장치 및 방법 - Google Patents

디스플레이 글래스 원판 검사 장치 및 방법 Download PDF

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윤한종
김동현
손영탁
소태수
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윈텍 주식회사
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Abstract

본 발명은 대형 글래스 원판에 형성되어 결함을 고속으로 검사할 수 있는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치는 스캔 영역을 갖는 그리고 글래스 원판이 놓여지는 스테이지; 상기 글래스 원판을 상기 스테이지상에서 전후 이동시키는 이동부재; 상기 스테이지의 상기 스캔 영역으로 빛을 조사하여 상기 글래스 원판을 촬상하는 촬영부를 포함한다. 상기 촬영부는 상기 글래스 원판의 표면을 라인단위로 촬영하는 적어도 하나의 카메라; 상기 적어도 하나의 카메라에서 상기 글래스 원판의 다양한 결함 유형이 촬영될 수 있도록 상기 글래스 원판에 빛을 조사하는 그리고 서로 상이한 조사각을 갖는 제1광원과 제2광원을 갖는 조명부를 포함한다.

Description

디스플레이 글래스 원판 검사 장치 및 방법{METHOD AND DEFECT EXAMINATION APPARATUS FOR DISPLAY BARE GLASS}
도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 글래스 원판의 결함을 검사하는 장치의 평면 구성도;
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 글래스 원판의 결함을 검사하는 장치의 정면 구성도;
도 3은 도 1에서 프레임의 브리지를 제거한 상태의 글래스 원판 결함 검사 장치의 평면 구성도;
도 4는 평탄도 보정 유닛이 설치된 스테이지의 요부 확대 단면도;
도 5는 영상처리장치의 구성도;
도 6은 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치에서의 결함 검사 과정을 설명하기 위한 플로우 챠트;
도 7은 결함지도창과 리뷰화면창이 있는 컴퓨터 화면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
112 : 스테이지
120 : 이동부재
130 : 촬영부
150 : 평탄도 보정 유닛
160 : 영상처리장치
본 발명은 글래스 원판 표면의 결함을 검사하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 대형 글래스 원판(bare glass)에 형성되어 있는 결함을 고속으로 검사할 수 있는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 글래스 원판은 제조공정중에 외부적 영향으로 인해 글래스 원판 표면상에 스크래치(scratch), 크랙(표면깨짐), 표면찍힘, 표면오염, 기포 등의 다양한 결함이 발생될 수 있으며, 이러한 결함은 검사 장치를 통해 검출하게 된다.
이 검사 장치는 디스플레이용 글래스 원판을 안내(이동)하면서 라인스캔 카메라(또는 CCD 카메라) 등을 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 비젼 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 각종 결함을 검출하게 된다.
그러나, 기존의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치는 글래스 원판이 이송롤러들 위에서 이동되면서 검사를 진행하기 때문에, 검사 도중 글래스 원판이 비뚤어지거나 또는 글래스 원판 저면이 롤러와 접촉되면서 스크래치, 표면 오염등의 결함이 발생될 수 있다. 또한, 글래스 원판이 대형화 되어가면서 검사하고자 하 는 글래스 원판을 이동하는 과정에서 글래스 원판의 평탄도가 불 균일해지고 그로 인해 균일한 영상을 획득하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 여러 조명을 사용하여 다양한 불량 유형들을 최대한 획득할 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 글래스 원판이 촬영 지역을 지나갈 때 글래스 원판의 평탄도를 균일하게 하여 균일한 영상을 획득할 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 글래스 원판을 이동하는 과정에서 발생될 수 있는 결함을 최소화할 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 결함 부위를 다시 관찰할 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명의 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치는 스캔 영역을 갖는 그리고 글래스 원판이 놓여지는 스테이지; 상기 글래스 원판을 상기 스테이지상에서 전후 이동시키는 이동부재; 상기 스테이지 의 상기 스캔 영역으로 빛을 조사하여 상기 글래스 원판을 촬상하는 촬영부 및; 상기 촬영부로부터 입력된 영상정보를 이용하여 글래스 원판의 결함 유무를 검사하는 영상처리부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 촬영부는 상기 글래스 원판의 표면을 라인단위로 촬영하는 적어도 하나의 카메라; 상기 적어도 하나의 카메라에서 상기 글래스 원판의 다양한 결함 유형이 촬영될 수 있도록 상기 글래스 원판에 빛을 조사하는 그리고 서로 상이한 조사각을 갖는 제1광원과 제2광원을 갖는 조명부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1광원은 상기 스캔 영역에 위치되는 상기 글래스 원판의 저면으로부터 수직하게 빛을 조사하며, 상기 제2광원은 상기 스캔 영역에 위치되는 상기 글래스 원판의 상면으로부터 경사지게 빛을 조사한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2광원은 빛의 조사 각도를 변경할 수 있으며, 상기 제1광원은 상기 카메라와 마주보도록 상기 스테이지에 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 장치는 상기 스캔 영역의 양측에 위치되는 그리고 상기 글래스 원판이 상기 스캔 영역을 지나갈 때 상기 글래스 원판의 평탄도를 균일하게 유지시키는 평탄도 보정 유닛을 더 포함하되; 상기 평탄도 보정 유닛은 상기 글래스 원판을 흡착하는 베큠(진공)홀들을 갖는 제1영역과; 상기 제1영역 사이에 형성되는 그리고 상기 글래스 원판을 비접촉상태로 유지하도록 상기 글래스 원판에 공기를 분사하는 분사홀들을 갖는 제2영역으로 이루어진다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이동부재는 상기 스테이지에 일정한 배열 로 다수개 배치되는 그리고 상기 글래스 원판이 상기 스테이지로부터 부상되도록 상기 글래스 원판의 저면으로 공기를 분사하는 에어 분사 유닛들; 상기 에어 분사 유닛들에 의해 상기 스테이지로부터 공기 부상된 상기 글래스 원판의 가장자리를 진공 흡착하는 진공흡착부; 및 상기 진공흡착부에 연결되는 이송을 위한 리니어 모터를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 스테이지에는 홈이 형성되되; 상기 홈은 상기 스캔 영역상에 위치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1광원은 상기 홈에 설치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 촬영부는 상기 카메라의 초점 조정을 위해 상기 카메라의 높낮이를 조절하는 높낮이 조절부를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 촬영부는 리뷰용 카메라와; 상기 리뷰용 카메라를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 좌우 이동부를 더 포함한
상기 기술적 과제들을 이루기 위한 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 방법은 글래스 원판을 스테이지상에서 전후 방향으로 이동시키는 단계; 스캔 영역상에서 상기 글래스 원판의 표면을 라인단위로 연속 촬영하는 단계; 촬영을 통해 얻은 영상정보를 이용하여 글래스 원판의 결함유무를 검사하는 단계를 포함하되; 상기 촬영 단계는 상기 글래스 원판에 제1조명을 조사하는 단계; 상기 글래스 원판을 촬영하는 단계; 상기 글래스 원판에 상기 제1조명과는 다른 조사각을 갖는 제2조명을 조사하는 단계; 상기 글래스 원판을 촬영하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 방법은 상기 검사된 글래스 원판의 결함 부위를 리뷰하는 단계를 더 포함하되; 상기 리뷰 단계는 검사결과를 컴퓨터 화면상에 보여주는 단계; 사용자가 리뷰하고자 하는 영역을 컴퓨터 화면상에서 선택하는 단계; 리뷰카메라가 그 선택된 영역을 촬상하는 단계; 촬상된 영상을 컴퓨터 화면상에 보여주는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이동단계는 상기 글래스 원판을 스테이지로부터 공기 부상시키는 단계를 더 포함한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 디스플레이 글래스 원판의 결함을 검사하는 장치(100)는 스테이지(112)와, 이동부재(120), 촬영부(130), 평탄도 보정 유닛(150) 그리고 영상처리장치(160;도 5에 도시됨)를 포함한다.
상기 스테이지(112)는 상기 검사 장치의 뼈대를 구성하는 프레임(frame;110)상에 위치된다. 스테이지(112)에는 중앙에 스캔 영역(점선으로 표시됨;s)을 갖는다. 그리고 상기 프레임(110)은 상기 스테이지(112)를 좌우 방향으로 가로지르는 브리지(bridge;114)를 갖는다. 이 브리지(114)에는 촬영부의 라인스캔 카메라들과 조명들 그리고 리뷰 카메라 등이 설치된다.
상기 이동부재(120)는 에어 분사 유닛(122)들과, 진공흡착부(124) 그리고 리니어 모터(126)를 포함한다.
상기 에어 분사 유닛(122)들은 스테이지(112)에 일정한 배열로 복수개가 설치된다. 이 에어 분사 유닛(122)의 상면은 상기 스테이지의 상면과 동일 평면을 이루도록 위치된다. 이 에어 분사 유닛(122)들은 상기 글래스 원판(10)을 상기 스테이지(112)의 표면으로부터 부상되도록 상기 글래스 원판의 저면으로 공기를 분사하는 유닛이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 에어 분사 유닛(122)은 원통형의 몸체(123)를 갖으며, 이 몸체(123)는 저부에 에어라인(190)과 연결되는 포트(123a)를 갖는다. 상기 포트를 통해 유입되는 에어는 몸체(123)의 버퍼공간(123b)에 채워진다, 상기 버퍼공간(123b)에 일시적으로 머무른 에어는 몸체(123)의 상면에 형성되는 다수의 분사공(123c)들을 통해 글래스 원판(10)의 저면으로 분사된다.
상기 진공흡착부(124)는 상기 에어 분사 유닛(122)들에 의해 상기 스테이지(112)로부터 부상된 글래스 원판(10)의 일측 가장자리를 진공흡착한다. 상기 진공흡착부는 상기 글래스 원판과 접촉하는 부분에 다수의 진공흡착홀(124a)들이 형성된다. 상기 리니어 모터(126)는 상기 진공흡착부(124)를 전후 방향으로 이동시킨다. 상기 글래스 원판(10)은 상기 이동부재(120)에 의해 상기 스테이지(10)로부터 부상된 상태(비접촉 상태)로 이송되어 진다. 글래스 원판(10)은 초기 위치(실선으로 표시됨)에서 완료 위치(점선으로 표시됨)까지 상기 이동부재(120)에 의해 전후 이동된다.
상기 촬영부(130)는 3대의 라인스캔 카메라(132)와, 각각의 라인스캔 카메라 (132)의 촬영을 위한 조명부들(136), 리뷰용 카메라(138)를 포함한다. 여기서, 라인스캔 카메라(132)는 필요에 따라 증설할 수 있다.
상기 라인스캔 카메라(132)는 글래스 원판(10)의 표면을 라인단위로 촬영하는 카메라이다. 상기 라인 스캔 카메라(132)는 상기 프레임의 브리지(114) 일측에 설치된다. 상기 라인스캔 카메라(132)는 높낮이 조절부(134)에 의해 높낮이가 조절된다. 상기 라인스캔 카메라(132)의 높낮이 조절은 촬영 초점을 맞추기 위한 것이다.
상기 조명부(136)는 상기 라인스캔 카메라(132)가 글래스 원판의 다양한 결함 유형을 촬영할 수 있도록 상기 글래스 원판의 저면으로부터 수직한 방향으로 빛을 조사하는 제1광원(조명;136a)과, 상기 글래스 원판(10)의 상면으로부터 경사진 방향으로 빛을 조사하는 제2광원(조명;136b)으로 이루어진다.
상기 제1광원(136a)은 상기 라인스캔 카메라(132)와 마주보도록 상기 스캔 영역(s)의 홈(116) 바닥에 설치된다. 그리고 상기 제2광원(136b)은 지지대(137)에 결합되며, 이 지지대(137)는 상기 프레임의 브리지(114) 일측에 고정설치된다. 상기 제2광원(136b)은 상기 지지대(137)에 힌지 결합된다. 따라서 상기 제2광원은 빛의 조사 각도를 임의로 변경할 수 있다.
상기 라인스캔 카메라(132)의 촬영 초점으로부터 벗어나도록 상기 스테이지의 상면에는 홈(116)이 형성된다. 물론, 이 홈(116)은 스캔 영역상에 위치된다. 만약, 이 홈(116)이 없다고 가정한다면, 상기 스테이지의 상면에 존재하는 이물질이나 스크래치 등이 상기 라인 스캔 카메라(132)에 의해 촬영되고, 상기 영상 처리장 치에서는 그러한 결함을 글래스 원판의 결함으로 오판하게 되는 문제가 발생될 수 있다. 이러한 문제 해결을 위해, 본 발명에서는 스테이지에 홈(116)을 형성하게 된 것이다.
상기 리뷰용 카메라(138)는 상기 프레임의 브리지(114) 타측에 설치된다. 상기 리뷰용 카메라(138)는 상기 라인 스캔 카메라(132)와는 대응되게 위치된다. 상기 리뷰용 카메라(138)는 높낮이 조절부(139)에 의해 높낮이가 조절될 뿐만 아니라 상기 프레임의 브리지(114)를 따라 좌우 방향으로 이동된다. 상기 리뷰용 카메라(138)의 좌우 이동은 상기 브리지(114)에 설치되는 좌우 이동부(140)에 의해 이루어진다. 상기 좌우 이동부(140)는 바람직하게 리니어 모터로 이루어질 수 있다. 이처럼, 상기 좌우 이동부(140)와 상기 글래스 원판을 전후 이동시키는 이동부재(120)의 작동에 의해 상기 리뷰용 카메라(138)는 원하는 글래스 원판 부분의 실물 영상을 촬영할 수 있다.
상기 평탄도 보정 유닛(150)은 상기 스테이지의 홈(116) 양측(스캔영역의 전후단)에 설치된다. 상기 평탄도 보정 유닛(150)은 상기 글래스 원판이 스캔 영역(s)을 지나갈 때, 상기 글래스 원판(10)의 평탄도(Flatness)를 균일하게 유지시키기 위한 유닛이다. 상기 평탄도 보정 유닛(150)은 글래스 원판(10)을 흡착하는 베큠(진공)홀(152a)들을 갖는 제1영역(152)과, 상기 글래스 원판(10)에 공기를 분사하는 분사홀(154a)들을 갖는 제2영역(154)으로 이루어진다. 상기 제1영역(152)은 상기 제2영역(154) 양측에 배치된다. 상기 제2영역(154)에서는 상기 글래스 원판을 비접촉상태를 유지하도록 상기 글래스 원판로 공기가 분사된다.
본 발명은 도 4에서 확인할 수 있듯이, 글래스 원판(10)은 상기 제1영역(152)들에서 약한 진공으로 흡착됨과 동시에, 이 제1영역(152)들 사이의 제2영역(154)에서 일정량만큼 비접촉상태로 유지되게 된다. 이러한 작용에 의해, 상기 글래스 원판은 상기 스캔 영역에서의 평탄도가 최대한 유지될 수 있는 것이다.
도 5를 참조하면, 상기 영상처리장치(160)는 카메라 링크 인터페이스(162)와, 전처리부(164), 프레임메모리(166) 그리고 영상처리부(DSP;168)로 구성된다. 라인스캔 카메라(132)를 통하여 획득된 영상은 카메라링크인터페이스(162)를 통하여 전처리부(164)에 전송된다. 전처리부(164)에서 처리된 영상데이터는 상기 프레임 메모리(166)에 저장되고, 영상처리부(168)는 전처리과정을 거쳐 상기 프레임 메모리(166)에 저장되어 있는 영상데이터를 읽어들여 영상처리한다. 특히, 상기 전처리부(164)에서 전처리가 끝난 영상은 프레임 메모리(166)에 저장되는데, 상기 프레임 메모리(166)는 전처리부(164)에서 출력되는 라인 영상이 프레임 메모리(166)에 저장되는 동안에도 영상처리부(168)가 읽어갈 수 있도록 듀얼 포트 구조를 갖는다. 따라서, 상기 영상처리장치(160)는 라인스캔 카메라(132)에서 고속으로 전송되는 영상데이터를 실시간으로 처리할 수 있는 것이다. 좀 더 구체적으로, 상기 프레임 메모리(166)는 4개의 뱅크들로 구성된다, 이중에 2개의 뱅크는 전처리부(164)에 연결되어 이중 하나에는 현재의 라인데이터가 저장되고, 다른 뱅크에는 이전의 라인데이터가 저장된다. 그리고 나머지 2개의 뱅크는 상기 영상처리부(168)에 연결되어 저장되어 있는 이전의 영상데이터를 읽어간다. 상기 전처리부(164)에 연결되는 2개의 뱅크는 상기 네 개의 뱅크들 중 두 개의 뱅크를 순차적으로 교환하여 연결된 다. 상기 영상처리부(168)에 연결되는 2개의 뱅크 역시 상기 전처리부에 연결되지 않은 두 개의뱅크가 순차적으로 교환하여 연결된다.
도 1 내지 도 4 그리고 도 6을 참조하면서, 상술한 구성을 갖는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치에서의 결함 검사 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 글래스 원판(10)이 스테이지(102)에 로딩되면(초기위치; 도 3에 표시됨)(S10), 에어 분사 유닛(122)들로부터 공기가 분사되면서 상기 글래스 원판(10)이 스테이지로부터 부상된다(S20). 상기 글래스 원판은 상기 진공흡착부(124)에 의해 진공흡착된 상태에서 상기 리니어 모터(126)의 구동에 의해 스캔 영역으로 이송된다(S22).
상기 촬영부(130)에서는 상기 이동부재(120)에 의해 이동되는 상기 글래스 원판을 촬상하게 된다(S30).
이 촬영 단계를 좀 더 구체적으로 살펴보면, 상기 제1광원(136a)으로부터 빛을 상기 글래스 원판에 조사되도록 한다(S32). 이 상태에서 스캔라인 카메라(132)는 글래스 원판의 표면을 라인단위로 연속 촬영하게 된다(S34). 상기한 라인단위로 글래스 원판 전체에 대한 스캔, 촬상이 끝나면, 상기 글래스 원판(10)은 상기 이동부재(120)에 의해 초기위치로 이동된 후, 다시 스캔 영역으로 이송된다(S36). 이때에는 제2광원(136b)으로부터 빛을 상기 글래스 원판에 조사되도록 한다(S38). 이 상태에서 스캔라인 카메라(132)는 글래스 원판의 표면을 라인단위로 연속 촬영하게 된다(S40). 이와 같이, 제1광원(136a)과 제2광원(136b)을 이용하여 2번에 걸쳐 표면검사를 실시하는 이유는 글래스 원판의 다양한 결함에 대한 영상을 얻기 위함이 다. 즉, 상기 제2광원(136b)을 글래스 원판에 조사하면, 카메라가 글래스 원판 표면의 스크래치, 크렉(표면깨짐), 표면찍힘 등의 영상을 찍을 수 있다. 그리고 제1광원(136a)을 글래스 원판에 조사하면, 카메라가 글래스 원판 내부의 기포 등의 영상을 보다 선명하게 찍을 수 있다.
이처럼, 본 발명의 장치(100)는 2개의 광원을 사용함으로써, 최적의 검사 영상을 제공하여 글래스 원판의 다양한 유형의 결함을 발견해 낼 수 있는 것이다.
이렇게 얻어진 영상정보는 영상처리장치(160)로 제공되고, 영상처리장치(160)에서 글래스 원판의 결함유무를 검사하게 된다(S50). 이렇게 영상처리장치에서 검사된 결과는 리뷰과정을 통해 사용자가 직접 확인하게 된다(S60).
즉, 상기 영상처리장치에서의 검사결과는 도 7에서와 같이, 컴퓨터 화면(200)상의 결함 지도(210)상에서 보여주게 된다(S62). 사용자가 마우스를 가지고 리뷰하고자 하는 결함 영역을 결함 지도창(210)상에서 선택하면(S64), 이동부재(120)와 좌우 이동부(140)가 작동되면서 그 선택한 결함 위치에 리뷰 카메라(138)가 위치된다. 리뷰 카메라는 그 선택된 결함 위치를 촬상하고(S66), 그 영상은 컴퓨터 화면(200)의 리뷰화면창(220)을 통해 보여주게 된다(S68). 이처럼, 본 발명의 장치는 영상처리장치(160)에서 결함으로 판별한 부분을 사용자가 실물 영상으로 리뷰할 수 있는 것이다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 글래스 원판 결함 검사 장치 및 방법은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어 야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이상에서, 본 발명에 따른 글래스 원판 결함 검사 장치 및 방법의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 갖는다. 첫째, 다른 조사각을 갖는 여러 조명들을 사용함으로써 다양한 유형의 결함을 최대한 촬영할 수 있다. 둘째, 글래스 원판의 평탄도를 균일하게 하여 균일한 영상을 획득할 수 있다. 셋째, 글래스 원판을 이동하는 과정에서 발생될 수 있는 결함을 최소화할 수 있다. 넷째, 영상처리장치에서 결함으로 판별한 부분을 사용자가 컴퓨터 화면을 통해 실물 영상으로 리뷰할 수 있다.

Claims (15)

  1. 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치에 있어서:
    스캔 영역을 갖는 그리고 글래스 원판이 놓여지는 스테이지;
    상기 글래스 원판을 상기 스테이지상에서 전후 이동시키는 이동부재;
    상기 스테이지의 상기 스캔 영역으로 빛을 조사하여 상기 글래스 원판을 촬상하는 촬영부 및;
    상기 촬영부로부터 입력된 영상정보를 이용하여 글래스 원판의 결함 유무를 검사하는 영상처리부를 포함하되;
    상기 촬영부는
    상기 글래스 원판의 표면을 라인단위로 촬영하는 적어도 하나의 카메라;
    상기 적어도 하나의 카메라에서 상기 글래스 원판의 다양한 결함 유형이 촬영될 수 있도록 상기 글래스 원판에 빛을 조사하는 그리고 서로 상이한 조사각을 갖는 제1광원과 제2광원을 갖는 조명부를 포함하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1광원은 상기 스캔 영역에 위치되는 상기 글래스 원판의 저면으로부터 수직하게 빛을 조사하며,
    상기 제2광원은 상기 스캔 영역에 위치되는 상기 글래스 원판의 상면으로부 터 경사지게 빛을 조사하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2광원은 빛의 조사 각도를 변경할 수 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1광원은 상기 카메라와 마주보도록 상기 스테이지에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 장치는
    상기 스캔 영역의 양측에 위치되는 그리고 상기 글래스 원판이 상기 스캔 영역을 지나갈 때 상기 글래스 원판의 평탄도를 균일하게 유지시키는 평탄도 보정 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 평탄도 보정 유닛은
    상기 글래스 원판을 흡착하는 베큠(진공)홀들을 갖는 제1영역과;
    상기 제1영역 사이에 형성되는 그리고 상기 글래스 원판을 비접촉상태로 유지하도록 상기 글래스 원판에 공기를 분사하는 분사홀들을 갖는 제2영역으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 이동부재는
    상기 스테이지에 일정한 배열로 다수개 배치되는 그리고 상기 글래스 원판이 상기 스테이지로부터 부상되도록 상기 글래스 원판의 저면으로 공기를 분사하는 에어 분사 유닛들;
    상기 에어 분사 유닛들에 의해 상기 스테이지로부터 공기 부상된 상기 글래스 원판의 가장자리를 진공 흡착하는 진공흡착부; 및
    상기 진공흡착부에 연결되는 이송을 위한 리니어 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 스테이지에는 홈이 형성되되;
    상기 홈은 상기 스캔 영역상에 위치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1광원은 상기 홈에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 촬영부는
    상기 카메라의 초점 조정을 위해 상기 카메라의 높낮이를 조절하는 높낮이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 촬영부는
    리뷰용 카메라와;
    상기 리뷰용 카메라를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 좌우 이동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 장치.
  12. 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 방법에 있어서:
    글래스 원판을 스테이지상에서 전후 방향으로 이동시키는 단계;
    스캔 영역상에서 상기 글래스 원판의 표면을 라인단위로 연속 촬영하는 단계;
    촬영을 통해 얻은 영상정보를 이용하여 글래스 원판의 결함유무를 검사하는 단계를 포함하되;
    상기 촬영 단계는
    상기 글래스 원판에 제1조명을 조사하는 단계;
    상기 글래스 원판을 촬영하는 단계;
    상기 글래스 원판에 상기 제1조명과는 다른 조사각을 갖는 제2조명을 조사하는 단계;
    상기 글래스 원판을 촬영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 방법은
    상기 검사된 글래스 원판의 결함 부위를 리뷰하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 리뷰 단계는
    검사결과를 컴퓨터 화면상에 보여주는 단계;
    사용자가 리뷰하고자 하는 영역을 컴퓨터 화면상에서 선택하는 단계;
    리뷰카메라가 그 선택된 영역을 촬상하는 단계;
    촬상된 영상을 컴퓨터 화면상에 보여주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하 는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 이동단계는
    상기 글래스 원판을 스테이지로부터 공기 부상시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 글래스 원판의 결함 검사 방법.
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