KR20050092981A

KR20050092981A - 드라이필름 라이네이팅 장치

Info

Publication number: KR20050092981A
Application number: KR1020040018176A
Authority: KR
Inventors: 이정일; 정시화
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2004-03-17
Filing date: 2004-03-17
Publication date: 2005-09-23

Abstract

본 발명은 기판의 비틀림을 방지하기 위한 드라이필름(dry film resist) 라이네이팅 장치에 관한 것으로, 상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 피압착재와 드라이필름을 압착시키는 제1 및 제2압연롤러와, 드라이필름을 피압착재에 공급하는 드라이필름 공급롤러와, 피압착재가 제1 및 제2압연롤러의 사이에 진입하기 전 피압착재의 방향을 고정시켜 주는 가이드핀을 포함하여 구성된 드라이필름 라이네이팅 장치를 제공한다.

Description

드라이필름 라이네이팅 장치{AN APPARATUS FOR LAMINATING DRY FILM RESIST}

본 발명은 드라이필름(dry film resist; DFR)의 라미네이팅 장치에 관한 것으로, 특히, 라이네이팅 공정시 기판이 비틀리는 것을 방지할 수 있는 드라이필름 레지스트(dry film resist; DFR)의 라미네이팅 장치에 관한 것이다.

반도체소자 및 평판 디스플레이소자등에 사용되는 인쇄회로기판(printed circuit board)은 레지스트 코팅, 노광, 현상 및 식각와 같은 일련의 과정으로 진행되는 포토리소그래피공정을 통해 제작된다.

레지스트의 코팅방법은 인쇄방법과 사진기법이 있다. 사진기법은 노광단계를 갖는데 액상상태의 용액을 사용하는 잉크방법과, 감광물체를 피압착재(패턴 형성을 위해 준비된 기판) 표면에 얇게 도포하는 드라이필름방법으로 나누어진다.

잉크방법은 고밀도 회로의 공정에서 원래 필름 소재상의 표면이 거칠거나 홈 또는 스크래치등이 있어도 용액이 완전히 도포되기 때문에 두께를 얇게 유지하는 드라이필름 방법보다 훨씬용이하다.

그러나, 이러한 방법은 액상의 솔벤트를 사용하므로 작업자의 건강에 영향을 주며 인위적인 관통홀(through hole)이 있으면 사용이 불가능하여 불균일하게 도포되는 두께로 인하여 노광시 불량 가능성이 크고 도포 후에 장시간 동안 건조하여야 하는 단점이 있다.

한편, 드라이필름방법은 액상타압의 감광제와는 달리 도포 후, 건조공정이 없이도 사용가능하며, 두께가 균일하게 도포할 수 있다. 또한, 관통홀이 있는 경우에도 라미네이팅이 가능하다.

여기서 라이네이팅은 주로 롤러에 열을 가하여 압착시키는 롤링작업으로 이루어지고 있다. 롤링작업은 기판 위에 필름을 배치한 후, 상하로 배치되어 회전하는 두개의 롤러 사이에 필름 및 기판을 통과시킴으로써 이루어진다. 필름 및 기판이 맞물려 회전하는 롤러 사이를 통과하는 동안 롤러가 필름에 직접 접촉되어 롤링시 필름의 전체 표면에 걸쳐 고른 가압력뿐만 아니라 일정한 열을 인가하면서, 기판에 필름을 부착시키게 된다.

이때, 기판이 맞물려 회전하는 롤러 사이에 진입하는 동안 기판의 진입면이 롤러의 길이방향과 정확하게 평행이 이루어져야 한다. 그러나, 기판의 진입면과 롤러의 길이방향과 정확하게 평행이 이루어지지 않는 경우 즉, 기판의 비틀림이 발생한 경우, 기판이 파손될 염려가 있다. 기판의 사이즈가 작은 경우에는 기판의 비틀림이 발생한다 하더라도, 파손될 위험성이 적으나, 기판의 사이즈가 큰 경우, 비틀림이 발생하게 되면, 기판의 대각방향으로 롤러 내부에 진입하기 때문에, 기판의 파손 위험성이 커지게 된다.

이와 같이, 드라이필름을 라미네이팅하는 과정에서 기판이 파손되는 경우, 이를 다시 재활용할 수 없으며, 이를 패기해야 하기 때문에, 생산효율이 떨어지는 문제가 발생하게 된다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 기판이 드라이필름 라미네이팅 장치의 롤러 사이를 진입할때 비틀어지지 않고, 정상적으로 진입할 수 있도록 하는 드라이필름 라미네이팅 장치를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명은 기판이 롤러를 통과하는 중에 기판의 비틀림을 방지할 수 있는 드라이필름 라미네이팅 장치를 제공하는 데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 피압착재와 드라이필름을 압착시키는 제1 및 제2압연롤러와, 드라이필름을 피압착재에 공급하는 드라이필름 공급롤러 및 피압착재가 제1 및 제2압연롤러의 사이에 진입하기 전 피압착재의 방향을 고정시켜 주는 가이드핀을 포함하여 구성된다. 이때, 상기 제1압연롤러의 양쪽 측면에 원주방향을 따라 볼록패턴이 형성되고, 제1압연롤러의 볼록패턴 대응하는 제2압연롤러에 상기 볼록패턴과 정합하는 오목패턴이 형성되어 있으며. 이들이 맞물려 회전하게 된다.

또한, 제1압연롤러에 오목패턴이 형성되고, 제2압연롤러에 볼록패턴이 형성될 수도 있으며, 패턴의 형상은 맞물려 회전할 수 있는 형태라면 어떤 모양이라도 가능하다.

상기 가이드핀은 피압착재가 제1 및 제2압연롤러의 사이에 진입하기 전에 피압착재의 양쪽 측면에 고정되어 피압착재의 비틀림을 방지하는 것으로, 기판의 양쪽 측면에 각각 적어도 두개 이상 설치되어 있으며, 기판이 이동함에 따라 회전하거나, 기판의 양쪽측면과 일정거리 이격되어 회전하지 않을 수도 있다.

기판이 이동함에 따라, 가이드핀이 회전하는 경우, 이는 기판과 접촉되어 있으며, 그 표면이 탄성물질로 형성되어 기판의 측면을 손상시되지 않도록 한다.

기판의 이동에 상관없이, 가이드핀이 기판과 소정간격 이격되어 있는 경우, 가이드핀은 회전할 필요가 없으며, 그 표면이 굳이 탄성물질로 형성될 필요가 없다.

또한, 본 발명에서는 기판의 사이즈에 따라 가이드핀의 거리를 자유롭게 조절할 수가 있다. 즉, 기판의 사이즈가 큰 경우에는 기판 양측 사이에 대응하는 가이드핀 사이의 거리를 넓히며, 기판의 사이즈가 작은 것을 사용할때에는 기판의 크기에 맞추어 가이드핀 사이의 거리를 좁히는 것이 가능하다.

그리고, 상기 가이드 핀은 기판의 비틀림을 더욱 확실하게 방지하기 위해서 기판 양측에 적어도 두개 이상씩 설치할 수 있다.

또한, 본 발명은 상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 피압착재와 드라이필름을 압착시키며, 둘중 어느하나의 양쪽 측면에 볼록패턴이 형성되고, 다른 하나에는 오목패턴이 형성되어 회전하는 동안 맞물려 정합하는 제1 및 제2압연롤러와, 드라이필름을 피압착재에 공급하는 드라이필름 공급롤러를 포함하여 구성된다.

또한, 본 발명은 상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나는 피압착재와 드라이필름을 압착시키는 제1 및 제2압연롤러와, 드라이필름을 피압착재에 공급하는 드라이필름 공급롤러와, 피압착재가 제1 및 제2압연롤러의 사이에 진입하기 전 피압착재의 방향을 고정시켜 주는 가이드핀을 포함하여 구성된다.

상기한 바와 같이, 본 발명은 압연롤러에 기판이 진입하기 전에 기판의 방향을 잡아주는 가이드핀을 추가로 설치함으로써, 압연롤러들 사이에 진입하는 동안 기판이 틀어지는 것을 방지한다. 아울러, 상하부에 배치된 각각의 압연롤러의 양측에 형성된 볼록 및 오목패턴들이 정합하여 맞물려 회전할 수 있도록 오목패턴 및 볼록패턴을 각각 구성하여, 압연롤러 내부에 이미 진입한 기판의 방향이 틀어지는 것을 바르게 보정함으로써, 기판의 파손을 방지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 통해 본 발명에 대하여 좀더 상세하게 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명에 의한 드라이필름 라미네이팅 장치를 개략적으로 나타낸 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 드라이필름 라미네이팅 장치(10)는 상하부로 배치되어 맞물려 회전하며, 패턴을 형성하고자 하는 피압착재(15) 및 드라이필름(17)을 압착하는 제1 및 제2압연롤러(12a,12b)와, 피압착재(15)가 제1 및 제2압연롤러(12a,12b)에 진입하기 전에 피압착재(15)의 진입방향을 정상적으로 잡아주어, 비틀림을 방지하는 가이드핀(18a,18b)과, 상기 드라이필름(17)을 롤형태로 감아서 이동하는 피압착재(15)에 공급하는 드라이필름 공급롤러(19)로 구성된다.

그리고, 피압착재(15)는 이동하는 컨베이어밸트(conveyer belt;13)에 의해서 제1 및 제2압연롤러(11a,11b) 전까지 이동하게 된다. 도면에 도시되진 않았지만, 압연롤러(11a,11b)를 통과한 피압착재(15)는 그 표면에 드라이필름(17)이 코팅되고, 압연롤러(11a,11b)의 후면에 마련된 컨베이어밸트에 의해서 다른 공정장비로 이동하게 된다.

상기 가이드핀(18a,18b)은 피압착재(15) 제1 및 제2압연롤러(11a,11b) 사이에 진입하기 전에 피압착재(15)의 방향을 바르게 교정해주는 역할을 하는 것으로, 피압착재(15)의 양쪽 측면에 위치하게 된다. 가이드핀(18a,18b)은 피압착재(15)의 일측과 타측에 각각 설치되어 있으며, 피압착재(15)의 일측에 설치된 제1가이드핀(18a)과 피압착재(15)의 타측에 설치된 제2가이드핀(18a)은 압연롤러(11a,11b)의 길이방향과 평행하게 배치된다. 이것은, 피압착재(15)의 진입면이 압연롤러(11a,11b)의 길이방향과 정확하게 평행이 되도록 하기 위한 것이다. 즉, 컨베이어벨트(13)로부터 이송된 피압착재(15)는 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)에 진입하기 전에 비틀림이 발생하기 때문에, 피압착재(15)의 비틀림이 발생한 채로, 압연롤러(11a,11b)를 통과하게 되면, 피압착재(15)의 파손 및 피압착재(15) 전면에 대하여 드라이필름(17)이 균일하게 라미네이팅되지 않는다. 따라서, 제1 및 제2가이드핀(18a,18b)은 컨베이어벨트(13)로부터 이송된 피압착재(15)가 압연롤러(11a,11b)에 진입하기 전에 압연롤러(11a,11b)의 길이방향과 피압착재(15)의 진입면이 평행하게 유지되도록 피압착재(15)의 방향을 보정해주는 역할하게 된다.

이때, 피압착재(15)의 비틀림을 더욱 안전하게 보정해주기 위해서 제1가이드핀(18a) 및 제2가이드핀(18a)을 각각 복수개로 형성할 수도 있다. 각각의 가이드핀(18a,18b)을 각각 두개 이상씩 설치하는 경우, 하나씩 설치된 경우에 비해 더욱 쉽게 피압착재(15)의 비틀림을 보정할 수 있는 잇점이 있다.

아울러, 상기 제1 및 제2가이드핀(18a,18b)은 압연롤러의 길이방향을 따라 자유롭게 이동이 가능하며, 피압착재(15)의 폭에 대응하여 제1 및 제2가이드핀(18a,18b) 사이의 거리가 조절된다. 따라서, 피압착재(15)의 크기에 따라, 유동적으로 대처할 수가 있다.

또한, 제1가이드핀(18a)은 이동하는 피압착재(15)의 일측면에 접촉하고, 제2가이드핀(18a)은 피압착재(15)의 타측면에 접촉할 수도 있다. 이와 같이, 제1 및 제2가이드핀(18a)이 피압착재(15)의 양쪽 측면에 접촉하는 경우, 피압착재(15)의 측면이 손상되는 것을 방지하기 위해서는 상기 가이드핀(18a,18b)도 함께 회전해야 한다. 즉, 피압착재(15)의 이동이 진행됨에 따라, 가이드핀(18a,18b)의 접촉면도 함께 이동하게 된다. 이때, 가이드핀(18a,18b)과 접촉하는 피압착재(15)의 접촉면을 안전하게 보호하기 위해서 가이드핀(18a,18b)의 표면재질을 고무와 같은 탄성재질로 형성할 수도 있다.

한편, 상기 제1 및 제2가이드핀(18a)이 피압착재(15)의 양쪽 측면으로부터 소정간격 이격되도록 설치하는 것도 가능하다. 이때, 피압착재(15)와 이격거리가 너무 넓게되면, 피압착재(15)의 비틀림 보정이 제대로 이루어기 어렵기 때문에, 피압착재(15)의 비틀림이 보정될 수 있는 범위에서 가이드핀(18a,18b)을 이격시켜야 한다. 이때에는 가이드핀(18a,18b)이 피압착재(15)와 접촉하지 않기 때문에 굳이 회전할 필요가 없으며, 이에 따라, 그 표면의 재질이 탄성재질이 아니어도 된다.

따라서, 가이드핀(18a,18b)은 맞물려 회전하는 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)의 전면에 설치되어, 피압착재(15)가 압연롤러(11a,11b)에 진입하기 전에 피압착재(15)의 진행면과 압연롤러(11a,11b)의 길이방향이 평행하게 유지되도록 한다.

이와 같이, 피압착재(15)가 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)에 진입하기 전에 가이드핀(18a,18b)에 의해 비틀림이 보정되더라도, 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)를 통과하는 도도중, 상기 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)가 피압착재(15)에 인가하는 가압력이 전체적으로 균일하지 않은 경우, 진행중에 피압착재(15)의 방향이 틀어질 수가 있다. 이때, 피압착재(15)의 사이즈가 압연롤러(11a,11b)의 길이와 유사한 경우, 압연롤러(11a,11b)를 통과할때 피압착재(15)의 방향이 틀어지게 되면, 통과도중에 피압착재(15)가 파손될 가능성이 커지게 된다.

따라서, 대형사이즈의 피압착재(15)가 압연롤러(11a,11b)를 통과할때 발생되는 파손위험을 방지하기 위해 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)의 양쪽 외곽 측면에 각각 볼록패턴(12a)과 오목패턴(12b)을 형성하여 이들이 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)가 회전할때 이들이 정합하여 회전함으로써, 상기 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)를 통과하는 동안 피압착재(15)의 비틀림을 보정해줄 수도 있다. 즉, 상기 볼록패턴(12a)이 피압착재(15)의 진행방향을 바르게 잡아주는 가이드 역할을 한다.

도 2는 상하로 배치된 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)의 정면모습을 확대하여 나타낸 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2압연롤러(11a,11b)가 맞물려 회전하고 있으며, 그 외각 측면에는 볼록패턴(12a) 및 오목패턴(12b)이 각각 형성되어 있다. 즉, 상부에 위치한 제1압연롤러(11a)의 양쪽 외곽측면에 볼록패턴(12a)이 형성되어 있으며, 이 볼록패턴(12a)은 제1압연롤러(11a)의 원주를 따라 형성된다. 그리고, 상기 제1압연롤러(11a)의 하부에 위치한 제2압연롤러(11b)에는 오목패턴(12b)이 형성되어 있으며, 오목패턴(12b)은 제1압연롤러(11a)의 볼록패턴(12a)과 대응하는 위치에 형성된다. 따라서, 상기 오목패턴(12b)은 제1압연롤러(11a)의 볼록패턴(12a)과 마찬가지로 제2압연롤러(11b)의 양쪽 외곽측면에 롤러의 원주방향을 따라 형성된다.

제1 및 제2압연롤러(11a,11b)가 함께 회전함에 따라, 볼록패턴(12a)과 오목패턴(12b)은 정합하게 된다. 그리고, 볼록패턴(12a)과 오목패턴(12b)이 정합하는 영역(A)에서 피압착재(15)의 방향보정이 이루어지게 된다. 피압착재가 롤러를 통과하는 동안 피압착재의 방향이 바꾸면서, 정합영역(A)에 피압착재의 일측면이 접촉할때, 정합영역(A)의 볼록패턴(12a)이 피압착재(15)가 더이상 비틀어지지 않도록 하는 가이드 역할을 하게된다.

상기 볼록패턴(12a) 오목패턴(12b)의 위치와 제1압연롤러(11a) 및 제2압연롤러(11b)의 위치는 바뀔수도 있다.

상기한 바와 같이, 본 발명은 드라이필름을 기판에 라미네이팅하는 드라이필름 라미네이팅 장치에 관한 것으로, 특히, 상하로 배치되어 맞물려 회전하면서, 그 사이를 통과하는 피압착재의 비틀림을 보정하여 기판의 파손을 방지할 수 있는 드라이필름 라미네이팅 장치를 제공한다. 본 발명의 기본 개념은 드라이필름 라미테이팅을 진행하는 동안 피압착재의 비틀림을 보정함으로써, 피압착재의 파손을 방지하는 것으로, 피압착재가 압연롤러에 진입하기 전에 피압착재의 방향을 보정하는 가이드핀을 설치하거나, 압연롤러의 외곽에 가이드 패턴을 형성하는 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 드라이필름을 기판(피압착재)에 라미네이팅하는 드라이필름 라미네이팅 장치에서 피압착재가 압연롤러에 진입하기 전에 피압착재의 진입면이 압연롤러의 길이방향과 평행하게 보정해주는 가이드핀을 설치함으로써, 피압착재의 파손을 방지하여 생산효율을 향상시킬 수가 있다.

또한, 본 발명은 압연롤러의 외곽측면에 압연롤러를 통과하는 피압착재의 진행방향을 유지시켜주는 가이드패턴을 형성함으로써, 피압착재의 비틀림에 의한 파손을 방지하여 생산성을 더욱 향상시킬 수가 있다.

도 1은 본 발명에 의한 드라이필름 라미네이팅 장치를 개략적으로 나타낸 도면.

도 2는 드라이필름 라미네이팅 장치의 압연롤러를 확대하여 나타낸 도면.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***

10: 드라이필름 라미네이팅 장치

11a: 제1압연롤러 11b: 제2압연롤러

12a: 볼록패턴 12b: 오목패턴

13: 컨베이어밸트 15: 피압착재

17: 드라이필름 19: 드라이필름 공급롤러

18a: 제1가이드핀 18b: 제2가이드핀

Claims

상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 피압착재와 드라이필름을 압착시키는 제1 및 제2압연롤러;

드라이필름을 피압착재에 공급하는 드라이필름 공급롤러; 및

피압착재가 제1 및 제2압연롤러의 사이에 진입하기 전 피압착재의 방향을 고정시켜 주는 가이드핀을 포함하여 구성된 드라이필름 라미네이팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1압연롤러의 양쪽 측면에 원주방향을 따라 볼록패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제2항에 있어서, 상기 제1압연롤러의 볼록패턴 대응하는 제2압연롤러에 상기 볼록패턴과 정합하는 오목패턴이 형성되어 이들이 맞물려 회전하는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 가이드핀은 피압착재가 제1 및 제2압연롤러의 사이에 진입하기 전에 피압착재의 양쪽 측면에 고정되어 피압착재의 비틀림을 방지하는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제4항에 있어서, 상기 가이드핀은 기판의 양쪽 측면에 각각 적어도 두개 이상 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 가이드핀은 기판이 이동함에 따라 회전하는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라이네이팅 장치.
제6항에 있어서, 상기 가이드핀은 이동하는 기판의 양측면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제7항에 있어서, 상기 기판과 접촉하는 가이드핀의 표면이 탄성재질인 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 가이드핀은 이동하는 기판의 양측면과 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제9항에 있어서, 상기 가이드핀은 기판이 이동함에 따라, 회전하지 않고 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1압연롤러의 양쪽 측면에 원주방향을 따라 볼록패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
제11항에 있어서, 상기 제2압연롤러의 오목패턴과 대응하는 제1압연롤러에 상기 오목패턴과 정합하는 볼록패턴이 형성되어 이들이 맞물려 회전하는 것을 특징으로 하는 드라이필름 라미네이팅 장치.
상하로 맞물려 회전하면서 그 사이를 통해 지나가는 피압착재와 드라이필름을 압착시키며, 둘중 어느하나의 양쪽 측면에 볼록패턴이 형성되고, 다른 하나에는 오목패턴이 형성되어 회전하는 동안 맞물려 정합하는 제1 및 제2압연롤러; 및

드라이필름을 피압착재에 공급하는 드라이필름 공급롤러를 포함하여 구성된 드라이필름 라미네이팅 장치.
제13항에 있어서, 상기 피압착재가 제1 및 제2압연롤러의 사이에 진입하기 전 피압착재의 방향을 고정시켜 주는 가이드핀을 더 포함하여 구성된 드라이필름 라미네이팅 장치.