KR20050092442A - 다중 삽입 헤드 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 회전 축을 중심으로 회전할 수 있도록 배열되는 캐리어(200); 및상기 회전 축에 대해 비스듬하게 장착 방향으로 이동될 수 있도록 배열되고, 상기 캐리어(200) 상에 배열되어 컴포넌트들(300)을 수신하는데 이용되는 다수의 수신 툴들(210)을 포함하며,상기 다수의 수신 툴들(210) 각각에는 하나 또는 다수의 능동형 구동 장치(220, 228) 및/또는 센서들(217)이 제공되는, 기판 상에 컴포넌트들을 장착하기 위한 다중 삽입 헤드.
- 제 1 항에 있어서,상기 수신 툴(210) 각각은 각각 회전식 구동 장치(228)를 구비하고, 수신된 컴포넌트들(300) 각각은 상기 회전식 구동 장치에 의해 상기 다중 삽입 헤드의 회전 축(D)에 비스듬하게 배열되는 툴의 축(215)을 중심으로 회전될 수 있는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 1 항에 있어서,상기 수신 툴(210) 각각은 진공 생성기(220)를 구비하는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 3 항에 있어서,상기 진공 생성기들(220)은 벤투리 관들(Venturi tubes)이고, 상기 캐리어(200)는 상기 수신 툴들(210)이 고정되는 회전 축(D)과 동축으로 연장하는 공동 샤프트(hollow shaft)(110)를 구비하며, 압축 공기가 상기 캐리어의 공동 샤프트(110)를 통해 상기 벤투리 관들로 운반될 수 있는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 벤투리 관들은 압력 제어를 위해 조정기에 연결되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,분사 공기 진공 장치가 제공되고, 상기 수신 툴들(210) 중 하나의 툴의 수신 장착 위치(A)에는 상기 수신 장착 위치(A)에 위치되는 수신 툴(210)에 의해 컴포넌트들이 수신되거나 장착될 수 있으며, 상기 수신 장착 위치(A)에 위치된 수신 툴(210) 각각은 상기 분사 공기 진공 장치와 연결되고, 상기 컴포넌트들을 상기 수신 장착 위치(A)에 위치된 수신 툴(210)에 장착하는 동안 컴포넌트들을 수신하기 위한 상기 수신 툴들(210)에 추가의 분사 공기 충격 또는 추가의 진공이 상기 분사 공기 진공 장치에 의해 가해지거나 생성되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 수신 툴들(210) 각각은 상기 툴의 축과 동축으로 연장하는 공동 샤프트로써 형성된 툴 샤프트(215)를 구비하고, 상기 수신 툴(210) 각각은 회전식 센서(217)를 구비하며, 상기 회전식 센서에 의해 상기 툴 샤프트(215)의 각도 위치가 탐지될 수 있는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 7 항에 있어서,상기 툴 샤프트들(215) 각각에는 상기 툴 샤프트들의 말단부 영역에 진공 피펫들(260)이 제공되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,회전 대칭 에너지 및 데이터 전달 장치가 상기 캐리어(200)와 상기 다중 삽입 헤드의 하우징(100) 사이에 배열되고, 상기 전달 장치에 의해 상기 능동형 구동 장치(220, 228) 및/또는 센서들(217)에는 에너지가 공급될 수 있고, 이에 의해 상기 센서들로부터 데이터가 전달되고 상기 센서들로 데이터가 전달될 수 있으며, 제 1 전달기 부품은 상기 다중 삽입 헤드의 하우징(100)에 영구 고정되고 제 2 전달기 부품은 회전될 수 있는 방식으로 상기 캐리어(200)에 영구 고정되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 9 항에 있어서,상기 에너지 및 데이터 전달 장치는 적어도 하나의 슬립 링을 구비하는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 9 항에 있어서,상기 에너지 및 데이터 전달 장치는 한 쌍의 전자기 전달기들(410, 420) 및 한 쌍의 용량성 전달기들(415, 425) 각각을 구비하고, 상기 전달기들 각각은 상기 다중 삽입 헤드의 회전 축에 대해 회전 대칭으로 배열되며, 상기 전달기들에 의해 에너지 및 데이터가 비-접촉식으로 전달되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 11 항에 있어서,상기 용량성 전달기(415,425) 각각은 상기 제 1 전달기 부품 및 상기 제 2 전달기 부품에서 판-형태의 안테나로써 구현되고, 이러한 경우에, 상기 제 1 전달기 부품에서는 전자기 전달기가 상기 캐리어 방향으로 u자-형상의 단면 개구부를 갖는 원형의 자기 전도성 바디(410)를 구비할 수 있고, 상기 제 2 전달기 부품에서는 실질적으로 직사각형 단면을 갖는 원형의 자기 전도성 바디(420)를 구비할 수 있는데, 상기 자기 전도성 바디(420)는 에너지 전달을 위해 이용된 자계가 데이터 전달을 위해 이용된 전계의 방향에 실질적으로 직각이 되도록 상기 제 1 전달기 부품의 개구부에 배열되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 하나의 폴리싱된 디스크(150, 250)가 상기 하우징(100) 및 상기 캐리어(200) 상에 제공되고, 상기 폴리싱된 디스크들(150, 250) 각각은 서로 바로 옆에 배열됨으로써 압축 공기 및 진공이 외부의 진공 생성기들로부터 상기 캐리어의 능동형 구동 장치들(220)에 가해질 수 있는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 캐리어(200)는 상기 능동형 구동 장치들(220, 228) 또는 센서들(217)을 제어 및/또는 조정하기 위한 적어도 하나의 제어 장치(230)를 구비하는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 14 항에 있어서,상기 제어 장치(230)는 적어도 하나의 디지털 신호 처리기를 구비하고, 상기 하나 또는 다수의 능동형 구동 장치들(220, 228) 또는 센서들(217)은 상기 디지털 신호 처리기에 의해 제어될 수 있는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,선형 모터가 더 제공될 수 있고, 상기 수신 장착 위치(A)에 존재하는 수신 툴(210)은 상기 선형 모터에 의해 장착 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 장착 방향은 상기 선형 모터(500)가 상기 수신 툴과 맞물리도록 제공되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 16 항에 있어서,상기 각각의 수신 툴에 결합 부재(212)가 제공되어 상기 선형 모터(500)의 운전자(520)의 결합 피스(510)와 맞물릴 수 있는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
- 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,추가의 리트렉팅 수단(retracting means)이 상기 선형 모터(500)와 상호 작용하고, 이러한 작용으로 인해 상기 선형 모터의 운전자(520)는 중력에 대항하는 스프링 인장력에 의해 사전 인장되며, 상기 사전 인장은 삽입 헤드의 동작 시 압축 공기에 의해 보상되는 것을 특징으로 하는 다중 삽입 헤드.
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