KR20050070702A - 웨이퍼 가이드핀 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 가이드핀 구조에 관한 것으로, 로딩되는 웨이퍼의 위치 설정과 안정된 지지를 수행하는 가이드핀의 구조를 개선하여, 웨이퍼의 로딩 위치가 잘못되었을 경우, 로딩이 이루어지지 않도록 하여 작업 수행에 따른 웨이퍼의 휘어짐이나 또는 손상이 방지되도록 한 것이다.

본 발명의 웨이퍼 가이드핀 구조는, 고정부재의 선단을 따라 제 1,2몸체를 적층 구비시킨 가이드핀이 복수개 이상 설치되고, 상기 제 1,2몸체는 서로 다른 외경으로 형성된 웨이퍼 가이드핀 구조가 제공된다.

Description

웨이퍼 가이드핀 구조{Wafer Guid Pin Structure}

본 발명은 웨이퍼 가이드핀 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로딩된 웨이퍼의 위치를 지지고정하게 되는 가이드핀의 구조를 개선하여, 웨이퍼의 로딩 위치가 잘못되었을 경우, 로딩이 이루어지지 않아 웨이퍼의 휘어짐이나 또는 손상이 방지되도록 한 것이다.

일반적으로, 화학기계적연마(CMP : Chemical Mechanical Polishing) 공정은, 특정의 물질층에 대해 표면을 평탄화시키는 방법으로서, 기계적 힘을 통해 연마하는 동시에 슬러리(slurry)를 통한 화학적 반응을 일으켜 반도체 기판 상의 특정의 물질층을 평탄화하는 방법이다.

이와 같은 화학기계적 연마방법은 연마 두께의 정밀성 및 기판 전체에 대한 균일한 연마 수행의 장점을 갖춤에 따라, 최근 미세 선폭의 반도체소자 구현에 있어서 필수적인 공정이 되었다.

또한, 이러한 화학적기계적 연마공정 중에는, 웨이퍼의 저면과 상면에 달라붙은 이물질을 제거하는 공정이 수행된다.

첨부된 예시도면 도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼(10)가 로딩되어지는 원형의 고정부재(12)에는 가이드핀(14)이 선단의 원주를 따라 서로 간격을 이루며 다수개가 설치되는데, 이 가이드핀(12)은 로딩된 웨이퍼(10)를 지지하면서 동시에 로딩된 위치를 벗어나지 않도록 가이드 기능을 하게 된다.

상기 가이드핀(14)의 구조를 구체적으로 살펴보면 첨부된 예시도면 도 2에 도시된 바와 같이 이 가이드핀(14)은, 소정의 외경을 갖는 몸체(16)와, 이 몸체(16)의 상부에 원주를 따라 돌출되는 롤러 가이드(18)와, 몸체(16)의 하단에 원주를 따라 형성되는 단턱홈(20)으로 형성되어 있다.

따라서, 상기 웨이퍼(10)의 작업 수행을 위해 고정부재(12)에 로딩되면, 상기 가이드핀(14)의 롤러가이드(18)의 상면에 놓여진 상태로 위치된다.

그러나, 상기 웨이퍼(10)의 로딩이 잘못되는 경우, 첨부된 예도면 도 1에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(10)가 가이드핀(14) 롤러가이드(18)의 하부로 끼워지게 되고, 이와 같이 끼워진 상태로 작업을 수행하게 되면, 웨이퍼(10)의 휘어짐이나 또는 손상이 발생되는 문제점 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 발명된 것으로, 로딩된 웨이퍼의 위치를 지지고정하게 되는 가이드핀의 구조를 개선하여, 웨이퍼의 로딩 위치가 잘못되었을 경우, 로딩이 이루어지지 않아 상기 웨이퍼가 가이드핀에 끼워지지 않도록 하고, 그에 따라 웨이퍼의 휘어짐이나 또는 손상이 방지되도록 하는 점에 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 고정부재의 선단에는 제 1,2몸체를 적층 구비시킨 가이드핀이 복수개 이상 설치되고, 상기 제 1,2몸체는 서로 다른 외경으로 형성된 웨이퍼 가이드핀 구조에 기술적 특징이 있다.

이하 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 설명하기로 한다. 도 3은 본 발명의 가이드핀이 설치된 상태를 도시한 정면도이고, 도 4는 가이드핀을 도시한 사시도이다. 아울러 첨부된 예시도면 도 1 및 도 2와 동일한 참조번호는 동일한 부품을 표시하므에 중복설명을 피하고자 생략한다.

먼저 웨이퍼(10)를 지지하는 고정부재(12)에는 가이드핀(30)이 설치되어 있는데, 이 가이드핀(30)의 하부에는 소정의 외경을 갖는 제 1,2몸체(32,34)가 적층구조를 이루며 일체로 형성되어 있다.

우선 제 1몸체(32)는, 상단과 하단이 동일한 외경으로 형성되어 있고, 제 2몸체(34)의 외경은 제 1몸체(32)의 외경보다 작게 형성되어 있다.

따라서, 상기 웨이퍼(10)가 로딩되면, 제 1몸체(32)의 상면에 웨이퍼(10)의 일부분이 놓여지는 상태로 위치된다.

이때, 웨이퍼(10)의 로딩 위치가 잘못되어 상기 제 1몸체(32)로 진입하게 되는 경우, 상기 제 1몸체(32)은 상단으로부터 하단까지 동일한 외경을 형성하고 있어, 상기 웨이퍼(10)가 제 1몸체(32)에 저지되어 내부로 끼워지지 않아 로딩이 이루어지지 않게 된다. 참고적으로 그와 동시에 알람이 발생되어 자동적으로 작업이 중단됨으로써, 상기 웨이퍼(10)의 휘어짐 또는 깨짐의 발생을 사전에 방지하게 된다.

본 고안은 가이드핀의 제 1몸체는 상단으로부터 하단까지 동일한 외경으로 형성되어 있어서, 로딩되는 웨이퍼가 제 1몸체에 끼워지지 않아 로딩이 이루어지지 않게 되고, 그에 따라 웨이퍼의 휘어짐이나 또는 손상이 방지되는 효과를 기대할 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 웨이퍼 가이드핀에 웨이퍼가 로딩된 상태를 도시한 정면도

도 2는 도 1의 가이드핀을 도시한 사시도

도 3은 본 발명의 웨이퍼 가이드핀에 웨이퍼가 로딩된 상태를 도시한 정면도

도 4는 도 3의 가이드핀를 도시한 사시도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 웨이퍼 12 : 고정부재

14 : 가이드핀 16 : 몸체

18 : 롤러가이드 20 : 단턱홈

30 : 가이드핀 32 : 제 1몸체

34 : 제 2몸체

Claims (1)

1. 고정부재의 선단에는 제 1,2몸체를 적층 구비시킨 가이드핀이 복수개 이상 설치되고, 상기 제 1,2몸체는 길이방향을 따라 서로 다른 외경으로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가이드핀 구조.