JP4382515B2 - ウェーハカセット - Google Patents
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Description
10:支持プレート
100:切り欠き部 101:貫通孔 102:外周支持ロッド孔
11:隔壁プレート
110:吸引部対応孔 111:物体センサー対応孔 112:貫通孔
113:外周支持ロッド孔
12:支持ロッド
12a:ボルト部 12b:ナット
13:天井板
130:固定孔
14:底板
140:固定孔
15:外周支持ロッド 16:固定スペーサ 17:遊嵌スペーサ
18:ばね
2:搬出入装置
20:アーム部 21:駆動部
22:保持部
220:吸引部 221:物体センサー
3:研削装置
30a:第一のウェーハカセット載置領域
30b:第二のウェーハカセット載置領域
31:位置合わせテーブル 32a:第一の搬送手段 32b:第二の搬送手段
33:ターンテーブル 34a、34b、34c、34d:チャックテーブル
35:第一の研削手段
350:スピンドル 351:マウンタ 352:研削ホイール
353:研削砥石 354:モータ
36:第一の支持板
360:第一のガイドレール 361:第一のパルスモータ
37:第二の研削手段
370:スピンドル 371:マウンタ 372:研削ホイール
373:研削砥石 374:モータ
38:第二の支持板
380:第二のガイドレール 381:第二のパルスモータ
39:洗浄手段
390:保持テーブル
Claims (5)
- 複数のウェーハを収容するウェーハカセットであって、
収容されたウェーハを支持すると共に、ウェーハの搬出入の際に該ウェーハを保持する保持部を進入させるための切り欠き部が形成された複数の支持プレートと、
隣り合う支持プレートの間に配設される複数の隔壁プレートとを少なくとも備え、
該隔壁プレートは、隣り合う2つの支持プレートの間において、非固定状態で配設され、前記保持部に形成された吸引部に対応する位置に吸引部対応孔が形成されている
ウェーハカセット。 - 前記隔壁プレートには、前記保持部に形成された物体センサーに対応する位置に物体センサー対応孔が形成されている請求項1に記載のウェーハカセット。
- 少なくとも3本以上の支持ロッドと、
該支持ロッドの上端に固定される天井板と、
該支持ロッドの下端に固定される底板とを含み、
前記支持プレート及び前記隔壁プレートには、該支持ロッドを貫通させる貫通孔が形成され、
該支持ロッドには、該支持プレートと該隔壁プレートとの間隔を維持するスペーサが嵌入され、
該スペーサには、該隔壁プレートの貫通孔が遊嵌する請求項1または2に記載のウェーハカセット。 - 前記支持プレートと該支持プレートの直上の隔壁プレートとの間には、前記支持ロッドに挿入された固定スペーサが介在し、該隔壁プレートと該隔壁プレートの直上の支持プレートとの間には、該支持ロッドに挿入され該固定スペーサに支持された遊嵌スペーサが介在する請求項3に記載のウェーハカセット。
- 前記遊嵌スペーサの外周側にはばねが挿入される請求項4に記載のウェーハカセット。
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2004
- 2004-02-12 JP JP2004034934A patent/JP4382515B2/ja not_active Expired - Lifetime
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