KR20050068290A - 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents

액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20050068290A
KR20050068290A KR1020030099493A KR20030099493A KR20050068290A KR 20050068290 A KR20050068290 A KR 20050068290A KR 1020030099493 A KR1020030099493 A KR 1020030099493A KR 20030099493 A KR20030099493 A KR 20030099493A KR 20050068290 A KR20050068290 A KR 20050068290A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wiring
mps
data
gate
liquid crystal
Prior art date
Application number
KR1020030099493A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101010470B1 (ko
Inventor
김대홍
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020030099493A priority Critical patent/KR101010470B1/ko
Publication of KR20050068290A publication Critical patent/KR20050068290A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101010470B1 publication Critical patent/KR101010470B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 어레이 기판 내부의 배선 단락에 의한 불량의 검출 신뢰도를 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 액정 표시 장치의 어레이 기판을 MPS 테스트시, MPS 데이터 검사 배선의 높은 저항을 기 형성되어 있는 저저항 배선을 이용하여 배선 저항을 낮춤으로써 액정 패널에서 단선이 일어날 경우 이에 대한 검출력을 향상시킨다.
또한, 후속 공정으로의 불량 유출이 저감되어 생산 효율을 높이고 비용을 절감하며 제품에 대한 신뢰성을 향상시킨다.

Description

액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법{Array substrate for LCD and the fabrication method thereof}
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 배선 단락에 의한 불량의 검출 신뢰도를 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
평판 표시 소자로서 최근 각광받고 있는 액정 표시 장치는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에 활발한 연구가 이루어지고 있다.
특히, 액정 표시 장치는 얇은 두께로 제작될 수 있어 장차 벽걸이 TV와 같은 초박형(超薄形) 표시장치로 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 무게가 가볍고, 전력소비도 CRT 브라운관에 비해 상당히 적어 배터리로 동작하는 노트북 컴퓨터의 디스플레이로 사용되는 등, 차세대 표시 장치로서 각광을 받고 있다.
이와 같은 액정 표시 장치는 일반적으로 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 각 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극이 형성된 어레이 기판과, 컬러 필터층과 공통 전극이 형성된 컬러 필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성되어, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하여 화상을 표시한다.
이 때, 상기 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 에폭시 수지와 같은 씨일제에 의해 합착되며, PCB(Printed Circuit Board) 상의 구동회로는 TCP(Tape Carrier Package)를 통해 박막 어레이 기판에 연결된다.
보다 구체적으로, 상기 어레이 기판은 액티브 영역과 패드부 영역으로 구분되어지며, 액티브 영역에는 복수개의 게이트 배선 및 데이터 배선이 교차 형성되어 있고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 부위에는 스위칭 소자로서 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor)가 형성되어 있다.
여기서, 상기 게이트 배선에서 연장 형성된 게이트 패드와 상기 데이터 배선에서 연장 형성된 데이터 패드가 액정 패널의 외곽부에 구성된다.
이와같이 구성된 어레이 기판은 컬러 필터 기판과 합착되기 전에, 라인 디펙트(line defect) 및 포인트 디펙트(point defect)등의 불량을 테스트하기 위해 MPS(Mass Production System) 테스트 공정을 거치게 된다.
이때, 상기 MPS 테스트 공정을 위하여 상기 각 게이트 패드 및 데이터 패드는 액정 패널의 테스트(Test)를 위한 MPS 검사 배선(Mass Production System Line)에 연결된다.
상기 MPS 테스트 검사는 액티브 영역의 게이트 배선과 연결된 쇼팅바와 데이터 배선과 연결된 쇼팅바를 통해 신호전압을 인가하여 측정되는 값을 이용하여 기판의 불량 유무를 판정하는 형식으로 이루어진다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 종래 기술에 의한 어레이 기판의 구조에 대해서 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 액정 패널을 구성하는 하부 기판의 평면도를 보여주는 도면이고, 도 2는 종래 대형 기판에 형성되어 있는 하나의 셀을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상에는 다수의 단위 액정 패널(panel)(A, B, C, D, E, F)이 형성된다.
여기서, 상기 액정 패널을 구성하는 컬러 필터 기판 및 어레이 기판은 대형의 유리 기판에 다수개의 단위 액정 패널이 형성되며, 통상 4개 또는 6개를 동시에 형성한 다음 각각의 단위 패널로 절단하여 수율 향상을 도모한다.
상기 액정 표시 장치에 있어서, 박막 트랜지스터를 포함하는 어레이 기판의 제작이 완료되면 컬러 필터가 형성된 컬러 필터 기판과 합착하기 전에 상기 어레이 기판의 검사 단계, 즉 MPS 테스트 공정을 거치는데 MPS 검사기는 기판의 모서리에서 패널에 접근하여 검사를 한다.
따라서, 상기 단위 패널(A, C, E) 일부와 나머지 단위 패널(B, D, E)은 동일한 형태로 구성되므로 MPS 테스트를 위한 패널 콘택(contact) 지점이 서로 반대편이 된다.
도 2는 종래 하부 기판에 구성되는 단위 패널을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 기판(201) 위에 수평 방향으로 평행하게 형성된 복수의 게이트 배선(202)과, 수직 방향으로 평행하게 형성된 복수의 데이터 배선(203)과, 상기 데이터 배선(203)의 끝단에 형성되어 데이터 배선(203)에 외부 신호를 인가하는 데이터 패드(233)와, 상기 데이터 패드(233)와 연결된 제 1 MPS 데이터 검사 배선(241)과, 그 반대편에 제 2 MPS 데이터 검사 배선(240)이 포함되어 형성되어 있다.
여기서, 상기 제 1 MPS 데이터 검사 배선(241)과 제 2 MPS 데이터 검사 배선(240)은 서로 다른 물질로 이루어져 있으며, 일반적으로 상기 제 1 MPS 데이터 검사 배선(241)은 데이터 패드(233)와 동일한 물질로 이루어져 작은 저항(약 100 Ω)을 가지며, 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(240)은 ITO(Indium Tin oxide)와 같은 물질로 이루어지는 화소 전극과 동일한 물질로 이루어져 비교적 큰 저항(약 수십 kΩ)을 가진다.
이때, 상기 데이터 배선(203)의 끝단에서 정전기 방지를 위한 정전기 방지 회로(211)가 형성되어 있다.
여기서, 도시되지는 않았으나, 상기 게이트 배선(202)과 데이터 배선(203)이 교차하는 지점에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다.
또한, 도면에서 상기 MPS 데이터 검사 배선(241, 240)만을 도시하였으나 이뿐만 아니라 게이트 배선을 위한 MPS 게이트 검사 배선도 형성하고 있다.
또한, 도시하지는 않았으나, 상기 MPS 게이트 검사 배선을 위하여 게이트 배선의 끝단에 형성되어 게이트 배선에 외부 신호를 인가하는 게이트 패드를 형성한다.
그리고, 상기 MPS 데이터 검사 배선을 통해서 MPS 테스트를 하기 위하여 MPS 패드(231)가 형성되어 있다.
여기서, 단위 패널 A, C, E(도 1에서 도시됨)의 경우에 제 1 MPS데이터 검사 배선(241)으로 MPS 테스트를 한다면, 단위 패널 B, D, F의 경우에는 제 2 MPS 데이터 검사 배선(240)으로 MPS 테스트를 하게 된다.
그러나, 제 1 MPS 데이터 검사 배선(241)의 경우에는 작은 저항으로 인하여 데이터 오픈(open) 시에 불량 검출이 용이하나, 제 2 MPS 데이터 검사 배선(240)을 이용하여 MPS 테스트 시에는 검사 배선 자체의 큰 저항으로 인하여 데이터 오픈시 전압 강하가 낮아 데이터 오픈 검출력이 떨어지는 문제점이 있다.
즉, c-b간 배선 저항이 a-b간의 배선 저항보다 매우 크므로, 'c'지점인 상기 MPS 패드(231)에 25V를 인가시 'b'입력단의 전압은 상당히 낮은 전위로 유지되므로써 데이터 오픈 불량시에 b-d간의 전압차이가 크지 않아 검출력이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 한 기판 상에 형성되어 있는 다수의 단위 패널에 대해서 배선이 단선되었을 경우 불량 검출력에 차이가 발생하게 된다.
본 발명은 액정 표시 장치에 있어서 MPS 테스트를 위한 배선 구조를 변경함으로써 배선 저항을 낮춰 단선시 검출력을 향상시키는 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판은, 종횡으로 교차되어 화소를 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선, 데이터 배선에서 연장되어 연결되는 게이트 패드, 데이터 패드와; 상기 게이트 패드, 데이터 패드와 전기적으로 연결되는 MPS(Mass Production System) 검사 배선;을 포함하는 액정 패널의 외곽부에서, 상기 MPS 검사 배선은 외곽 가이드 라인과 소정 중첩되고, 상기 MPS 검사 배선은 상기 외곽 가이드 라인과 병렬 구조로 콘택되는 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 배선 물질, 데이터 배선 물질은 알루미늄, 알루미늄 합금, 크롬, 몰리브덴중에서 선택되어진 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 MPS 검사 배선은 화소 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 화소 전극 물질은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ITZO(indium tin zinc oxide) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 외곽 가이드 라인은 알루미늄, 알루미늄 합금, 크롬, 몰리브덴에서 선택되어진 적어도 하나 이상의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 MPS 검사 배선과 외곽 가이드 라인은 레이저 웰딩(laser welding)으로 콘택되는 것을 특징으로 한다.
상기 MPS 검사 배선의 일측 끝단에 검사 패드가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판은, 종횡으로 교차되어 화소를 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선, 데이터 배선에서 연장되어 연결되는 게이트 패드, 데이터 패드와; 상기 게이트 패드, 데이터 패드와 전기적으로 연결되는 MPS(Mass Production System) 검사 배선;을 포함하는 액정 패널의 외곽부에서, 상기 MPS 검사 배선은 게이트 패드, 데이터 패드가 외곽 가이드 라인에 연결됨으로써 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 MPS 검사 배선과 외곽 가이드 라인은 레이저 웰딩(laser welding)으로 콘택되는 것을 특징으로
상기 MPS 검사 배선은 화소 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 액정 표시 장치의 어레이 기판을 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 기판(301) 위에 수평 방향으로 평행하게 형성된 복수의 게이트 배선(302)과, 수직 방향으로 평행하게 형성된 복수의 데이터 배선(303)과, 상기 데이터 배선(303)의 끝단에 형성되어 데이터 배선(303)에 외부 신호를 인가하는 데이터 패드(333)와, 상기 데이터 패드(333)와 연결된 제 1 MPS 데이터 검사 배선(341)과, 그 반대편에 제 2 MPS 데이터 검사 배선(340)이 포함되어 형성되어 있다.
여기서, 상기 제 1 MPS 데이터 검사 배선(341)과 제 2 MPS 데이터 검사 배선(340)은 서로 다른 물질로 이루어져 있으며, 일반적으로 상기 제 1 MPS 데이터 검사 배선(341)은 게이트 배선, 데이터 배선과 동일한 물질로 이루어져 작은 저항(약 100 Ω)을 가지며, 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(340)은 화소 전극과 동일한 물질로 이루어져 비교적 큰 저항(약 수십 kΩ)을 가진다.
예를 들어, 상기 제 1 MPS 데이터 검사 배선(341)은 알루미늄 합금으로 이루어져 작은 저항을 가지고, 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(340)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ITZO(indium tin zinc oxide)와 같은 투명한 전도성 물질로 이루어진다.
이때, 본 발명에서는 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(340)을 알루미늄 합금으로 이루어지는 외곽 가이드 라인(350)과 콘택홀(345)에 의하여 연결시킴으로써 저저항을 구현한다.
한편, 상기 데이터 배선(303)의 끝단에는 정전기 방지를 위한 정전기 방지 회로(311)가 형성되어 있다.
그리고, 도시되지는 않았으나, 상기 게이트 배선(302)과 데이터 배선(303)이 교차하는 지점에는 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.
또한, 도면에서 상기 MPS 데이터 검사 배선만을 도시하였으나 이뿐만 아니라 게이트 배선의 단락 검사를 위한 MPS 게이트 검사 배선도 형성되어 있다.
또한, 도시하지는 않았으나, 상기 MPS 게이트 검사 배선을 위하여 게이트 배선의 끝단에 형성되어 게이트 배선에 외부 신호를 인가하는 게이트 패드를 형성한다.
그리고, 상기 제 1 MPS 데이터 검사 배선(341)과 제 2 MPS 데이터 검사 배선(340)은 MPS 테스트를 하기 위하여 일측 끝단에 각각 MPS 패드(331)가 형성되어 있다.
이와 같은 구조를 가지는 어레이 기판은 제 2 MPS 데이터 검사 배선(340)이 알루미늄 합금과 같은 저저항 배선인 외곽 가이드 라인(350)과 콘택하여 두 배선(340, 350)이 병렬(parallel) 구조를 이루므로 비교적 저저항 검사 배선을 이루게 된다.
도 4는 도 3에서 A-A'로 자른 패드부의 단면도와 박막 트랜지스터의 구조를 단면하여 보여주는 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기판(410) 상에 스퍼터링(sputtering)법으로 금속을 증착한 후 패터닝하여 게이트 패턴을 형성한다.
상기 게이트 패턴은 게이트 배선 및 게이트 전극(411)과, 게이트 패드 및 MPS 게이트 검사 배선(도시하지 않음)을 포함한다.
이 때, 상기 금속으로는 알루미늄(Al), 알루미늄 합금, 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등을 사용한다.
다음으로, 상기 게이트 배선을 포함한 전면에 약 2000Å 두께의 게이트 절연막(415)을 형성하고, 상기 게이트 전극(411) 상의 게이트 절연막(415)에 비정질 실리콘(a-Si)을 증착하여 액티브층(414)을 형성한다.
이 후, 상기 게이트 절연막(415) 상에 금속을 스퍼터링법으로 증착하고 패터닝하여 데이터 패턴을 형성한다.
상기 데이터 패턴은 데이터 배선 및 소스, 드레인 전극(413a,413b)과, 데이터 패드(433)를 포함한다.
이 때, 상기 금속으로는 알루미늄(Al), 알루미늄 합금, 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등을 사용한다.
이어서, 상기 데이터 패턴을 포함한 전면에 유전율이 낮은 BCB(Benzocyclobutane), 아크릴 수지 등을 도포하여 소정 두께의 보호막(416)을 형성한다.
상기 보호막(416)을 포함한 전면에 드레인 전극(113b)과 연결되는 화소전극(417)을 형성한다.
상기 화소 전극(417)은 투명한 도전성 물질로 이루어지며 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ITZO(indium tin zinc oxide) 등이 있다.
이때, 상기 화소 전극(417)을 형성하는 물질로 제 2 MPS 데이터 검사 배선(440)을 형성하며, 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(440)의 일측은 데이터 패드(433)와 전기적으로 연결되고 다른 일측은 MPS 검사 패드(331)와 연결된다.
여기서, 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(440)은 액정 패널의 외곽에 형성되어 있는 외곽 가이드 라인(450)과 콘택한다.
상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(440)이 알루미늄합금과 같은 저저항 배선인 외곽 가이드 라인(450)과 콘택하여 소정 배선 길이가 병렬(parallel) 구조를 이루게 되므로 비교적 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(440)은 저저항 검사 배선을 이루게 된다.
상기와 같은 제조 공정을 통하여 완성된 어레이 기판은 소자의 정상적인 작동을 위해, 공정 진행시 발생한 결함들을 체크하고 체크된 결함들을 리페어 하는 검사 공정 단계를 거치게 된다.
상기와 같이 구성되는 액정 패널은 하나의 대면적 기판 위에 동일한 형태로 다수 개 형성되는데 MPS 테스트 공정시 기판의 양 측면에서 진행이 되므로 기판의 일측에 위치한 액정 패널들은 제 1 MPS 데이터 검사 배선으로 테스트가 실시되고, 기판의 다른 일측에 위치한 액정 패널들은 제 2 MPS 데이터 검사 배선으로 테스트가 실시된다.
따라서, 제 1 MPS 데이터 검사 배선으로 MPS 테스트를 하는 액정 패널의 경우, 상기 액정 패널에서 데이터 배선간의 단선이 발생하게 되면 MPS 검사 패드로 높은 저항이 검출된다.
이때, 상기 제 1 MPS 데이터 검사 배선은 알루미늄과 같은 합금으로 이루어진 저저항 배선(배선 저항이 약 100Ω)이므로 데이터 오픈에 의한 높은 저항이 변별력있게 검출된다.
또한, 제 2 MPS 데이터 검사 배선으로 MPS 테스트를 하는 액정 패널의 경우, 상기 액정 패널에서 데이터 배선간의 단선이 발생하게 되면 MPS 검사 패드로 높은 저항이 검출된다.
이때, 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선은 저저항 배선과 병렬 연결되어 비교적 작은 저항(배선 저항이 약 4.8kΩ)을 가지므로 데이터 오픈에 의한 높은 저항이 변별력있게 검출된다.
본 발명에 따른 액정 패널에서 MPS 데이터 검사 배선과 저저항 배선과의 콘택은 레이저 웰딩(laser welding)으로 이루어질 수 있고 보호막 공정시에 마스크 패턴 수정을 이용하여 콘택 홀을 형성하여 콘택할 수도 있다.
도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 액정 표시 장치의 어레이 기판을 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 액정 패널(501)은 어레이 기판 위에 수평 방향으로 평행하게 형성된 복수의 게이트 배선(502)과, 수직 방향으로 평행하게 형성된 복수의 데이터 배선(503)과, 상기 데이터 배선(503)의 끝단에 형성되어 데이터 배선(503)에 외부 신호를 인가하는 데이터 패드(533)와, 상기 데이터 패드(533)와 연결된 제 1 MPS 데이터 검사 배선(541)과, 그 반대편에 제 2 MPS 데이터 검사 배선(540)이 포함되어 형성되어 있다.
이때, 상기 제 2 MPS 데이터 검사 배선(540)은 알루미늄합금으로 이루어지는 외곽 가이드 라인(550)을 이용하여 저저항을 구현하는데, 상기 데이터 패드(533)와 외곽 가이드 라인(550)은 화소 전극 물질로 콘택되어 연결된다.
그리고, 상기 외곽 가이드 라인(550)과 MPS 검사 패드(531)도 화소 전극 물질로 콘택되어 연결된다.
한편, 상기 데이터 배선(503)의 끝단에서 정전기 방지를 위한 정전기 방지 회로(511)가 형성되어 있다.
이와 같은 구조를 가지는 어레이 기판은 제 2 MPS 데이터 검사 배선(540)이 알루미늄합금(AlNd)와 같은 저저항 배선인 외곽 가이드 라인(550)을 이용하므로 비교적 저저항 검사 배선을 이루게 된다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명은 액정 표시 장치의 어레이 기판을 MPS 테스트시, MPS 데이터 검사 배선의 높은 저항을 기 형성되어 있는 저저항 배선을 이용하여 배선 저항을 낮춤으로써 액정 패널에서 단선이 일어날 경우 이에 대한 검출력을 향상시켜 후 공정으로의 불량 유출이 저감되어 생산 효율을 높이고 비용을 절감하며 제품에 대한 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 종래의 액정 패널을 구성하는 어레이 기판의 평면도를 보여주는 도면.
도 2는 종래 대형 기판에 형성되어 있는 하나의 셀을 개략적으로 보여주는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 액정 표시 장치의 어레이 기판을 개략적으로 보여주는 평면도.
도 4는 도 3에서 A-A'로 자른 패드부와 박막 트랜지스터의 구조를 단면하여 보여주는 도면.
도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 액정 표시 장치의 어레이 기판을 개략적으로 보여주는 평면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
301, 501 : 액정 패널 302, 502 : 게이트 배선
303, 503 : 데이터 배선 311, 511 : 정전기 방지 회로
331, 531 : MPS 검사 패드 333, 433, 533 : 데이터 패드
340, 540 : 제 2 MPS 데이터 검사 배선
341, 541 : 제 1 MPS 데이터 검사 배선
345 : 콘택홀 350, 450, 550 : 외곽 가이드 라인
410 : 기판 411 : 게이트 전극
413a, 413b : 소스 전극, 드레인 전극
414 : 액티브층 415 : 게이트 절연막
416 : 보호막 417 : 화소 전극

Claims (10)

  1. 종횡으로 교차되어 화소를 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선, 데이터 배선에서 연장되어 연결되는 게이트 패드, 데이터 패드와; 상기 게이트 패드, 데이터 패드와 전기적으로 연결되는 MPS(Mass Production System) 검사 배선;을 포함하는 액정 패널의 외곽부에서,
    상기 MPS 검사 배선은 외곽 가이드 라인과 소정 중첩되고, 상기 MPS 검사 배선은 상기 외곽 가이드 라인과 병렬 구조로 콘택되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트 배선 물질, 데이터 배선 물질은 알루미늄, 알루미늄 합금, 크롬, 몰리브덴중에서 선택되어진 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 MPS 검사 배선은 화소 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 화소 전극 물질은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ITZO(indium tin zinc oxide) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 외곽 가이드 라인은 알루미늄, 알루미늄 합금, 크롬, 몰리브덴에서 선택되어진 적어도 하나 이상의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 MPS 검사 배선과 외곽 가이드 라인은 레이저 웰딩(laser welding)으로 콘택되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 MPS 검사 배선의 일측 끝단에 검사 패드가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  8. 종횡으로 교차되어 화소를 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선, 데이터 배선에서 연장되어 연결되는 게이트 패드, 데이터 패드와; 상기 게이트 패드, 데이터 패드와 전기적으로 연결되는 MPS(Mass Production System) 검사 배선;을 포함하는 액정 패널의 외곽부에서,
    상기 MPS 검사 배선은 게이트 패드, 데이터 패드가 외곽 가이드 라인에 연결됨으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 MPS 검사 배선과 외곽 가이드 라인은 레이저 웰딩(laser welding)으로 콘택되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 MPS 검사 배선은 화소 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
KR1020030099493A 2003-12-30 2003-12-30 액정 표시 장치용 어레이 기판 KR101010470B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030099493A KR101010470B1 (ko) 2003-12-30 2003-12-30 액정 표시 장치용 어레이 기판

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030099493A KR101010470B1 (ko) 2003-12-30 2003-12-30 액정 표시 장치용 어레이 기판

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050068290A true KR20050068290A (ko) 2005-07-05
KR101010470B1 KR101010470B1 (ko) 2011-01-21

Family

ID=37258858

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030099493A KR101010470B1 (ko) 2003-12-30 2003-12-30 액정 표시 장치용 어레이 기판

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101010470B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2439588A (en) * 2006-06-29 2008-01-02 Lg Philips Lcd Co Ltd Substrate for gate-in-panel (GIP) type liquid crystal display device and method for manufacturing the same
KR101534625B1 (ko) * 2009-06-29 2015-07-08 엘지디스플레이 주식회사 유기전계 발광소자용 기판 및 그 검사방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3316929B2 (ja) * 1993-05-07 2002-08-19 三菱電機株式会社 マトリックス配線基板
KR100293982B1 (ko) * 1998-08-03 2001-07-12 윤종용 액정패널
JP2003255381A (ja) * 2001-12-28 2003-09-10 Advanced Display Inc 画像表示装置およびその製造方法
KR100778847B1 (ko) * 2001-12-29 2007-11-22 엘지.필립스 엘시디 주식회사 박막 어레이 기판 및 그 제조방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2439588A (en) * 2006-06-29 2008-01-02 Lg Philips Lcd Co Ltd Substrate for gate-in-panel (GIP) type liquid crystal display device and method for manufacturing the same
GB2439588B (en) * 2006-06-29 2008-10-29 Lg Philips Lcd Co Ltd Substrate for gate-in-panel (gip) type liquid crystal display device and method for manufacturing the same
US8502950B2 (en) 2006-06-29 2013-08-06 Lg Display Co., Ltd. Substrate for gate-in-panel (GIP) type liquid crystal display device and method for manufacturing the same
KR101534625B1 (ko) * 2009-06-29 2015-07-08 엘지디스플레이 주식회사 유기전계 발광소자용 기판 및 그 검사방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR101010470B1 (ko) 2011-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6980264B2 (en) Repair method for defects in data lines and flat panel display incorporating the same
JP6051011B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
JP5518898B2 (ja) 液晶表示装置
KR101137863B1 (ko) 박막트랜지스터 어레이 기판
US20090294771A1 (en) Thin film transistor array panel having a means for array test
US20100109993A1 (en) Liquid crystal display and method of manufacturing the same
US8354672B2 (en) Thin film transistor array panel
KR20150084127A (ko) 표시 기판, 표시 기판의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 장치
KR20040059670A (ko) 액정표시패널의 검사용 범프 구조
US7990486B2 (en) Liquid crystal display panel with line defect repairing mechanism and repairing method thereof
KR100943284B1 (ko) 칩온글라스 실장 액정표시장치에서의 패드 구조
KR101258085B1 (ko) 정전기 방지가 가능한 액정표시장치 및 그 제조방법
KR101010470B1 (ko) 액정 표시 장치용 어레이 기판
KR100919192B1 (ko) 리페어 배선을 포함하는 액정표시장치와 그 제조방법
KR101102020B1 (ko) 액정표시패널 및 그 제조방법
KR101298341B1 (ko) 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 제조 방법, 그리고액정표시장치의 배선 검사 방법
JP2011013626A (ja) 表示装置の製造方法
KR20070020608A (ko) 액정 패널 및 그의 제조방법
KR100778847B1 (ko) 박막 어레이 기판 및 그 제조방법
US20060202354A1 (en) Configuration for testing the bonding positions of conductive drops and test method for using the same
KR101741261B1 (ko) Ｍｐｓ 검사용 어레이 기판
KR20120011671A (ko) 액정표시장치와 그 리페어 방법
KR101307545B1 (ko) 액정표시장치
KR101232145B1 (ko) 액정표시장치의 검사용 기판
JPH04355729A (ja) 液晶表示装置用アレイ基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131227

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141230

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151228

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161214

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171218

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191212

Year of fee payment: 10