KR20070020608A - 액정 패널 및 그의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수의 구동신호를 입력하는 입력 패드와, 상기 다수의 입력 패드의 일측부에 접속된 다수의 구동 신호 공급 라인과, 검사 신호를 인가하는 다수의 검사 패드들과, 상기 입력 패드의 타측부와 접속되어 상기 다수의 구동 신호 공급 라인과의 중첩 없이 상기 다수의 검사 패드 각각과 접속된 다수의 검사 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 패널 및 그의 제조 방법을 제공하는 것이다.
검사 패드, 검사 라인, 입력 단자, 구동 신호 공급 라인

Description

액정 패널 및 그의 제조방법{LIQUID CRYSTAL PANEL AND A FABRICATING METHOD THE SAME}
도 1은 종래의 액정 패널을 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 액정 패널의 비표시 영역을 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2의 III-III' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 공정을 순차적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 패널의 비표시 영역을 도시한 평면도이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 공정을 순차적으로 도시한 단면도이다.
<도면의 간단한 설명>
210 : 기판 220 : 검사 패드부
221 : 하부 패드 251, 252, 253, 254 : 제1 내지 제4검사 라인
271, 272, 273, 274 : 제1 내지 제4 구동 신호 공급 라인
280 : 제1 콘택홀 281: 보조 라인
290 : 제4 콘택홀 295 : 상부 패드
311, 312, 313, 314 : 제1 내지 제4 검사 패드
350 : 입력 패드 351, 352, 353, 354 : 입력 단자
410 : 절연버퍼막 420 : 게이트 절연막
430 : 층간 절연막 440 : 보호막
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 패널 검사용 패드부를 통해 유입으로 인하여 절연 파괴가 되는 것을 방지할 수 있는 액정 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상 데이터 신호를 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시할 수 있도록 한다. 이를 위하여 액정표시장치는 액정 패널과 액정 패널을 구동하기 위한 패널구동부를 구비한다.
액정 패널은 액정층을 사이에 두고 박막 트랜지스터 기판과 컬러 필터 기판이 합착 되어 형성된다.
도 1에 도시한 바와 같이 박막 트랜지스터 기판(10)은 표시 영역에 게이트 라인(22) 및 데이터 라인(12)의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터와, 액정 셀 단위로 형성되어 게이트 라인(22) 및 데이터 라인과 화소 전극 사이에 접속된 박막 트랜지스터 사이에 접속된 화소 전극을 구비한다. 또한, 박막 트랜지스터 기판은 폴리 실리콘 반도체층을 이용하는 경우 표시 영역의 박막 트랜지스터와 함께 비표시 영역에 형성된 구동회로(21)를 더 구비한다. 이 구동 회로는 표시 영역의 게이트 라인(22) 및 데이터 라인(12)을 구동한다.
컬러 필터 기판(20)은 블랙 매트릭스(도시하지 않음)에 의해 구분된 액정 셀 단위로 형성된 컬러 필터(도시하지 않음)와, 컬러 필더 위에 형성된 공통 전극(도시하지 않음)을 구비한다.
그리고 박막 트랜지스터 기판(10) 및 컬러 필터 기판(20)의 최상부 층에는 액정의 배향을 결정하기 위한 배향막(도시하지 않음)이 더 형성된다.
이러한 박막 트랜지스터 기판(10)과 컬러 필터 기판(20)은 별도의 공정으로 제작하여 합착한 다음 액정을 주입하고 봉지함으로써 액정 패널을 완성하게 된다.
이렇게 완성된 액정 패널은 불량 여부를 검출하기 위하여 비주얼 인스펙션(Visual Inspection; VI) 과정을 거치게 된다. 이를 위하여, 액정 패널의 박막 트랜지스터 기판의 비표시 영역에는 검사 신호를 공급하기 위한 다수의 검사 패드(11)가 더 형성되고, 다수의 검사 패드(11) 각각은 연결 라인을 통해 다수의 구동 신호 공급 라인과 접속된다. 예를 들면, 다수의 검사 패드(11) 각각은 게이트 온 전압 공급 라인, 게이트 오프 전압 공급 라인, 공통 전압 공급 라인 등과 같은 다 수의 구동 신호 공급 라인 각각과 연결 라인을 경유하여 접속된다.
여기서, 검사 패드(11)와 접속된 연결 라인은 해당 구동 신호 공급 라인과 접속되기 위하여 인접한 다른 구동 신호 공급 라인들과 절연막을 사이에 두고 오버랩되는 구조를 갖게 된다. 예를 들면, 다수의 구동 신호 공급 라인들이 소스/드레인 금속층으로 나란하게 형성된 경우 연결 라인은 게이트 금속층으로 형성되어 층간 절연막을 사이에 두고 다수의 구동 신호 공급 라인과 오버랩되는 구조를 갖게 된다.
그런데, 넓은 면적의 검사 패드가 배향막의 러빙 공정시 정전기 유입의 안테나 역할을 하여 구동 신호 공급 라인과 연결 라인의 오버랩된 영역에서 고전압 유입으로 인한 층간 절연막 파괴가 자주 발생되는 문제점이 있다. 층간 절연막이 파괴되는 경우 구동 신호 라인과 연결 라인의 교차부에서 신호 간섭이 발생하는 문제점이 있다.
나아가, 최근에는 개구율 등의 이유로 액티브층으로 형성된 스토리지 전극을 이용하여 스토리지 커패시터를 형성하는 경우 컬러 필터 기판의 공통 전압과 다른 공통 전압, 즉 스토리지 기준 전압을 박막 트랜지스터 기판의 스토리지 전극에 공급하여야 한다. 이를 위하여, 박막 트랜지스터 기판의 비표시 영역에는 스토리지 기준 전압 공급 라인이 추가적으로 형성됨과 아울러, 연결 라인을 통해 스토리지 기준 전압 공급 라인과 접속된 검사 패드도 추가적으로 형성되어야 한다. 이로 인하여, 구동 신호 공급 라인 및 연결 라인의 오버랩 영역이 증가하여 상기와 같은 정전기 유입으로 인한 절연막 파괴가 더욱 증가하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 정전기로 인한 절연 파괴를 방지할 수 있는 액정 패널 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 다수의 구동신호를 입력하는 입력 패드와, 상기 다수의 입력 패드의 일측부에 접속된 다수의 구동 신호 공급 라인과, 검사 신호를 인가하는 다수의 검사 패드들과, 상기 입력 패드의 타측부와 접속되어 상기 다수의 구동 신호 공급 라인과의 중첩 없이 상기 다수의 검사 패드 각각과 접속된 다수의 검사 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 패널을 제공한다.
또한, 상기 입력 패드는 가요성 회로 기판과의 접속부인 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 입력 패드는 제1 도전층으로 형성된 제1 패드와 제2 도전층으로 형성된 제2 패드 및 투명 도전층으로 형성된 제3 패드가 제1 및 제3 콘택홀을 통해 다층 접속된 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 입력 패드와 상기 다수의 구동 신호 공급 라인을 연결하는 연결 라인을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 연결 라인은 절연막을 사이에 두고 상기 구동 신호 공급 라인 중 적어도 어느 하나와 오버랩된 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 연결 라인은 제1 도전층으로 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 다수의 검사 패드는 제1 도전층으로 형성된 하부 패드와 투명도전층으로 형성된 상부 패드가 제4 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 한다.
상기 구동 신호 공급 라인은 공통 전압 신호 라인, 게이트 오프 전압 신호 라인 및 게이트 온 전압 신호 라인인 것을 특징으로 한다.
상기 검사 라인은 제1 도전층으로 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 다수의 구동 신호 공급 라인은 스토리지 커패시터에 구동 전압을 공급하는 스토리지 기준 신호 공급 라인을 더 구비하고, 상기 입력 패드의 일측부와 연결되며, 상기 입력 패드의 타측부와 연결된 제4 검사 라인 및 제4 검사 패드를 추가로 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 제4 검사 패드는 제1 도전층으로 형성된 하부 패드와 투명도전층으로 형성된 상부 패드가 제4 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 제4 검사 라인은 제2 도전층으로 형성되며 제4 검사 패드의 하부 패드와 제4 콘택홀을 통해 접속된 것을 특징으로 한다.
상기 제4 검사 라인은 상기 입력 패드와 상기 제4 검사 패드와 검사 패드부를 우회하지 않고 직접 연결된 것을 특징으로 한다.
그리고, 제4 검사 패드는 제2 도전층으로 형성된 하부 패드와 투명도전층으로 형성된 상부 패드가 제5 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 한다.
상기 제4 검사 라인은 제2 도전층으로 형성되며 제4 검사 패드의 하부 패드와 연결되어 형성된 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 제1 도전층으로 구동 신호를 입력하는 제1 입력 패드, 상기 입력 패드의 일측부와 연결된 검사 라인, 상기 검사 라인과 접속된 하부 검사 패드 및 보조 라인을 포함하는 제1 도전 패턴군을 형성하는 단계와, 상기 제1 도전 패턴군을 덮는 절연막을 형성하는 단계와, 상기 절연막을 관통하는 제1 및 제2 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 제1 입력 패드와 제1 및 제2 콘택홀을 통해 연결되는 제2 입력 패드 및 구동 신호 공급 라인을 포함하는 제2 도전 패턴군을 형성하는 단계와, 상기 제2 도전 패턴군과 상기 절연막을 덮는 보호막을 형성하는 단계와, 상기 보호막을 관통하는 제3 콘택홀과 상기 보호막과 상기 절연막을 관통하는 제4 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 제2 입력 패드와 상기 제3 콘택홀을 통해 연결되는 제3 입력 패드 및 상기 하부 검사 패드와 제4 콘택홀을 통해 연결되는 상부 검사 패드를 포함하는 투명도전층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조방법을 제공한다.
또한, 상기 제1 도전 패턴군을 형성하는 단계에서, 스토리지 기준 신호 공급 라인에 검사 신호를 인가하는 제4 하부 검사 패드를 더 형성하고, 상기 제2 도전 패턴군을 형성하는 단계에서, 스토리지 기준 신호 공급 라인 및 상기 제4 하부 검사 패드와 연결되는 제4 검사 라인을 더 형성하는 것을 포함한다.
또한, 상기 제4 검사 패드와 상기 제4 검사 라인은 제4 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 제2 도전 패턴군을 형성하는 단계에서, 스토리지 기준 신호 공급 라인, 제4 검사 패드 및 상기 제4 하부 검사 패드와 연결되는 제4 검사 라인을 더 형성하는 것을 포함한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부한 도면들을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도 2 내지 도 6e를 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 액정 패널의 검사 패드부가 형성된 비표시 영역을 도시한 것이다.
도 2에 도시된 액정 패널의 비표시 영역에는 가요성 인쇄 회로(Flexible Printed Circuit; FPC)와 접속되는 입력 패드부(350)와, 입력 패드부(350)의 일측부과 접속된 구동 신호 공급 라인부와, 입력 패드부(350)의 일측부와 접속된 검사 라인 및 검사 라인과 연결된 검사 패드부(220)를 구비한다.
입력 패드부(350)는 FPC를 통해 외부로부터 공급되는 공통 전압, 게이트 오프 전압 및 게이트 온 전압 등의 신호를 공급하는 구동 신호 공급 라인과 연결되는 제1 내지 제3 입력 단자(351, 352, 353)를 구비한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 입력 패드부(350)는 게이트 금속층으로 형성된 제1 패드(351a, 352a, 353a), 소스/드레인 금속층으로 형성된 제2 패드(351b, 352b, 353b) 및 투명도전층으로 형성된 제3 패드(351c, 352c, 353c)가 차례로 연결된 구조를 갖는다.
제1 패드(351a, 352a, 353a) 상단부의 층간절연막(430)에 제1 패드(351a, 352a, 353a)를 노출시키는 제2 콘택홀(도시하지 않음)과, 제2 콘택홀(도시하지 않 음) 위에 제2 패드(351b, 352b, 353b)가 형성된다. 그리고 제2 패드(351b, 352b, 353b) 상단부의 보호막(440)에 제2 패드(351b, 352b, 353b)를 노출시키는 제3 콘택홀(도시하지 않음)과, 제3 콘택홀(도시하지 않음) 위에 제3 패드(351c, 352c, 353c)가 형성된다.
제1 패드(351a, 352a, 353a)는 검사 패드부(220)와 연결되고, 제2 패드(351b, 352b, 353b)는 구동 신호 공급 라인부와 연결되며, 제3 패드(351c, 352c, 353c)는 FPC와 연결된다.
도 2에 도시한 바와 같이, 구동 신호 공급 라인부는 입력 패드부(350) 중 제 1 내지 제3 입력 단자(351, 352, 353) 각각의 일측부와 접속된 제1 내지 제3 구동 신호 공급 라인(271, 272, 273)을 구비한다. 제1 내지 제3 구동 신호 공급 라인(271, 272, 273)은 나란하게 형성되고 제1 내지 제3 입력 단자(351, 352, 353)의 일측부, 예를 들면 상측부와 접속된 제1 내지 제3 연결 라인(271a, 272a, 273a) 각각과 접속된다. 특히, 제1 내지 제3 연결 라인(271a, 272a, 273a)은 입력 패드부(350)의 제2 패드(351b, 352b, 353b)와 연결된다. 또한, 제 1 및 제 2 연결 라인(271a, 272a)은 제2 및 제3 구동 신호 공급 라인(272, 273)과 오버랩되므로 보조 라인(281)을 추가로 구비하고 보조 라인(281)에 형성된 제1 콘택홀(280)들을 통해 연결한다.
구동 신호 공급 라인(271, 272, 273)과 제1 내지 제3 연결 라인(271a, 272a, 273a)은 소스/드레인 금속층으로 형성하는 것이 바람직하다. 그리고 보조 라인(281)은 구동 신호 공급 라인부와 오버랩되어 형성되므로 게이트 금속층으로 형성 하는 것이 바람직하다.
여기서 제1 구동 신호 공급 라인(271)은 공통 전압(Vcom)이 인가되고, 제 2 및 제 3 구동 신호 공급 라인(272, 273)은 게이트 온 전압(Von) 및 게이트 오프 전압(Voff)이 인가되는 것이 바람직하다.
검사 패드부(220)는 입력 패드부(350) 중 제1 내지 제3 입력 단자(351, 352, 353) 각각의 타측부와 제1 내지 제3 검사 라인(251, 252, 253) 각각과 연결된 제1 내지 제3 검사 패드(311, 312, 313)와 구동 회로(360)에 연결된 제5 내지 제7 검사 패드(321, 322, 323)를 구비한다. 여기서 제 5 내지 제7 검사 패드(321, 322, 323)는 액정 패널의 게이트 라인 구동 검사를 위한 클럭 신호를 인가하는 검사 패드이다.
검사 패드부(220)는 게이트 금속층으로 형성된 하부 패드(221)와 투명도전층으로 형성된 상부 패드(295)가 제4 콘택홀(290)을 통해 접속된다.
여기서 제1 검사 패드(311)는 공통 전압을 검사 신호로 인가하고, 제2 및 제3 검사 패드(312, 313)는 게이트 온 전압 및 게이트 오프 전압을 검사 신호로 인가하는 것이 바람직하다.
제1 내지 제3 검사 라인(251, 252, 253)은 제1 내지 제3 입력 단자(351, 352, 353)의 타측부, 예를 들면 하측부와 접속되고 상기 구동 신호 공급 라인부와 중첩 없이 검사 패드부(220)를 감싸도록 우회하여 제1 내지 제3 검사 패드(311, 312, 313) 각각과 연결된다. 여기서 검사 라인(251, 252, 253)은 게이트 금속층으로 형성된 제1 내지 제3 입력 단자의 제1 패드(351a) 및 제1 내지 제3 검사 패드 (311, 312, 313) 들의 하부 패드(221, 222, 223)들과 연결되는 것이 바람직하다.
검사 패드부(220)를 우회하여 형성된 검사 라인(251, 252, 253)은 구동 신호 공급 라인부와 오버랩되지 않아 배향막 러빙시 검사 패드부에서 유기되는 정전기로부터 구동 신호 공급 라인부의 절연막 파괴를 예방할 수 있다. 또한, 비주얼 인스펙션이 끝난 후 레이저를 이용하여 절단선(370)을 따라 검사 라인(251, 252, 253)을 절단할 수 있다.
다음으로, 도 4a 내지 도 4e를 참조하여 본 발명의 제1 실시 예에 따른 액정 패널의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4a를 참조하면, 기판(210) 상에 절연버퍼막(410)이 형성되고, 그 위에 마스크 공정으로 일체화된 액티브층(도시하지 않음)이 형성된다.
구체적으로, 절연버퍼막(420)은 기판상에 SiNx 또는 SiO2 등과 같은 무기 절연 물질이 전면에 증착되어 기판의 불순물이 확산 되는 것을 방지한다.
다음, 버퍼절연막(420) 상에 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Development) 또는 PECVD 등의 방법으로 비정질실리콘층을 형성한 다음, 결정화하여 액티브층(도시하지 않음)을 형성한다.
절연버퍼막(410) 상에 게이트 절연막(420)이 형성되고, 그 위에 마스크 공정으로 검사 패드부(220)의 하부 패드들과 검사 라인(251, 252, 253) 및 보조 라인 (281)을 포함하는 제1 도전패턴군이 형성된다.
구체적으로, 게이트 절연막(420)은 절연버퍼막(410) 상에 SiNx 또는 SiO2 등과 같은 무기 절연 물질이 전면 증착된다.
다음, 게이트 절연막(420) 상에 Cr, Al, Mo, Ag 등의 금속 또는 그들의 합금으로 이루어진 제1 도전층을 스퍼터링 등의 방법으로 증착한다.
다음, 포토리소그라피 공정 및 식각 공정을 통해 제1 도전층을 패터닝하여 형성한다.
그리고 인(P) 등의 5족 불순물 이온 또는 붕소(B) 등의 3족 불순물 이온을 소스 및 드레인 접촉 영역에 도핑 한다.
도 4b를 참조하면, 게이트 절연막(420)과 제1 도전패턴군 상에 마스크 공정을 이용하여 층간절연막(430)을 형성한다.
보다 구체적으로, 층간절연막(430)은 게이트 절연막(420)과 제1 도전패턴군 상에 SiNx 또는 SiO2와 같은 무기 절연 물질을 사용하여 PECVD 공정을 통해 증착한다.
다음 마스크를 사용하여 포토리소그라피(Photolithography) 공정 및 식각 공정을 통해 보조 라인(281)과 구동 신호 공급 라인을 접속하도록 하는 제1 콘택홀(280)을 형성한다. 또한, 연결 패드부(350)의 제1 패드(351a)와 제2 패드(351b)를 접속하도록 하는 제2 콘택홀(361b)을 더 형성한다.
도 4c를 참조하면, 마스크 공정으로 데이타선과 소스전극과 드레인 전극 및 구동 신호 공급 라인(271, 272, 273)과 제1 내지 제3 연결 라인(271a, 272a, 273a)및 입력 패드부의 제2 패드(351b)를 포함하는 제2 도전패턴군을 형성한다.
구체적으로, Cr, Al, Mo, Ag 등의 금속 또는 그들의 합금으로 이루어진 제2 도전 패턴군이 형성된다.
제1 및 제2 구동 신호 공급 라인(271, 272) 과 제1 및 제2 연결 라인(271a, 272a)은 층간절연막(430)에 형성된 제1 콘택홀(280)을 통해 보조 라인(281)과 접속된다.
그리고, 입력 패드의 제2 콘택홀(361a)을 통해 제1 패드(351a)와 제2 패드(351b)가 접속된다.
도 4d를 참조하면, 마스크공정으로 제2 도전패턴군과 층간절연막(430) 상에 검사 패드부(220)의 하부 패드(221,)를 노출시키는 제4 콘택홀(290)을 갖는 보호막(440)이 형성된다.
보다 구체적으로, 제2 도전패턴군과 층간절연막(430) 상에 스핀코팅방법 등으로 보호막(440)을 증착한다. 보호막(440)은 아크릴 등과 같은 감광성 유기물질이 이용된다. 다음, 마스크를 사용하여 포토리소그라피 공정 및 식각 공정을 통해 제1 콘택홀(280)과 보호막(440)을 형성한다.
도 4e를 참조하면, 마스크공정으로 보호막(440) 상에 화소전극(도시하지 않음) 및 검사 패드부(220)의 하부 패드(221)와 연결되는 상부 패드(295)를 포함하는 투명도전층을 형성한다.
구체적으로, 보호막(440) 상에 ITO나 IZO 등과 같은 투명도전금속층을 증착 한다. 그런 다음, 마스크를 사용한 포토리소그라피(Photolithography) 공정 및식각 공정을 통해 투명도전금속층이 패터닝되어 투명도전패턴이 형성된다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 패널의 비표시 영역을 도시한 평면도이다.
본 발명에 따른 제2 실시 예는 개구율을 향상시키기 위해 액티브층으로 형성된 스토리지 전극을 이용하여 캐패시터를 형성하는 경우로 설명하기로 한다.
본 발명의 제2 실시 예는 본 발명에 따른 제1 실시 예와 대비하여 스토리지 기준 신호 공급라인(274), 제4 연결 라인(274a), 제4 입력 단자(354) 제4 검사 패드(314) 및 더미 검사 패드(324) 및 제4 검사 라인(254)을 추가로 구비하는 것을 제외하고 그 구성이 동일하므로 동일한 구성요소에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
입력 패드부(350)는 제4 입력 단자(354)를 추가로 구비한다. 그리고 도 3에 도시된 제1 내지 제3 패드와 동일한 구조로 형성된다.
입력 패드부(350) 중 제4 입력 단자(354)의 일측부에 접속된 제4 구동 신호 공급 라인(274)을 추가로 구비한다. 그리고 제4 입력 단자(354)와 제4 구동 신호 공급 라인(274)을 연결하는 제4 연결 라인(274a)을 더 구비한다. 제4 연결 라인(274a)은 제4 구동 신호 공급 라인(274)을 연장하여 형성된다.
여기서 제4 구동 신호 공급 라인(274)은 스토리지 기준 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 제4 구동 신호 공급 라인(274)에 검사 신호를 인가하기 위한 제4 검사 패드(314)를 추가로 구비한다. 그리고 더미 검사 패드(324) 및 제4 검사 패드(314)는 하부 패드와 상부 패드가 콘택홀을 통해 연결된 구조로 형성된다. 제4 검사 패드(314)의 하부 패드(224)는 게이트 금속층으로 형성되거나 소스/드레인 금속층으로 형성될 수 있다. 그리고 상부 패드(295)는 투명도전층으로 형성되는 것이 바람직하다.
제4 검사 라인(254)은 제4 입력 단자(354)의 타측부, 예를 들면 하측부와 접속되고 상기 구동 신호 공급 라인부와 중첩 없이 검사 패드부(220)를 우회하지 않고 직접 연결되는 것이 바람직하다. 또한, 제4 검사 라인은 제5 내지 제7 검사 패드가 구동 회로(360)로 입력되는 라인(60)이 게이트 금속층으로 형성되므로 입력 라인과 오버랩을 피하기 위해 소스/드레인 금속층으로 형성하는 것이 바람직하다.
제4 검사 라인(254)은 제4 입력 단자(354)의 소스/드레인 금속층으로 형성된 제2 패드와 연결되는 것이 바람직하다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판은 다음과 같은 제조 방법으로 형성된다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조방법을 단계적으로 설명하기 위한 단면도들이다.
도 6a 및 도6b는 본 발명의 제1 실시 예와 동일한 공정으로 실시하므로 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 6c를 참조하면, 마스크 공정으로 제1 내지 제4 구동 신호 공급 라인(271, 272, 273, 274)과 제1 내지 제4 연결 라인(271a, 272a, 273a, 274a), 입력 패드부 의 제2 패드 및 제4 검사 라인(254)을 포함하는 제2 도전패턴군을 형성한다.
구체적으로, Cr, Al, Mo, Ag 등의 금속 또는 그들의 합금으로 이루어진 제2 도전 패턴군이 형성된다.
구동 신호 공급 라인의 일부 중 예를 들면 제1 공통 전압 신호 라인(271) 및 게이트 오프 전압 신호 라인(272)은 층간절연막(430)에 형성된 제1 콘택홀(280)을 통해 보조 라인(281)과 연결된다.
한편, 제4 검사 패드(314)의 하부 패드(224)를 제2 도전층으로 형성할 수 있다. 제 4 검파 패드(314)의 하부 패드(224)를 제2 도전층으로 형성하면 제4 검사 라인(254)과 같은 공정을 통해 형성되므로 추가 콘택홀을 구비할 필요가 없다.
이후, 제4 콘택홀(290)을 갖는 보호막(440)을 형성하는 단계와 투명도전층으로 검사 패드부(220)의 상부 패드(295)를 형성하는 단계를 나타내는 도 6d 내지 도 6e는 본 발명의 제1 실시 예와 동일한 공정을 실시하므로 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상술한 실시 예는 설명의 편의를 위해 폴리 실리콘 액정 패널의 예를 들었지만 아몰포스 실리콘을 사용하여도 본 발명의 실시 예와 동일한 구성요소를 갖는 액정 패널을 제공할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 액정표시장치는 검사 패드부와 연결된 검사 라인들이 LOG 신호라이들과 오버랩되지 않고 검사 패드부를 우회하여 입력 패드 에 연결된다.
이와 같은 구조를 통해, 러빙 공정시 검사 패드부를 통해 유기되는 정전기로 인해 LOG 층의 절연막이 파괴되는 것을 막을 수 있다. 또한, 검사 라인의 길이가 길어져 정전기에 더 안정적이다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (19)

  1. 다수의 구동신호를 입력하는 입력 패드와;
    상기 다수의 입력 패드의 일측부에 접속된 다수의 구동 신호 공급 라인과;
    검사 신호를 인가하는 다수의 검사 패드들과;
    상기 입력 패드의 타측부와 접속되어 상기 다수의 구동 신호 공급 라인과의 중첩없이 상기 다수의 검사 패드 각각과 접속된 다수의 검사 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 입력 패드는 가요성 회로 기판과의 접속부인 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 입력 패드는 제1 도전층으로 형성된 제1 패드와 제2 도전층으로 형성된 제2 패드 및 투명 도전층으로 형성된 제3 패드가 제2 및 제3 컨택홀을 통해 다층 접속된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 입력 패드와 상기 다수의 구동 신호 공급 라인을 연결하는 연결 라인을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 연결 라인은 절연막을 사이에 두고 상기 구동 신호 공급 라인 중 적어도 어느 하나와 오버랩된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 연결 라인은 제1 도전층으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 검사 패드는 제1 도전층으로 형성된 하부 패드와 투명도전층으로 형성된 상부 패드가 제4 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동 신호 공급 라인은 공통 전압 신호 라인, 게이트 오프 전압 신호 라인 및 게이트 온 전압 신호 라인인 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 검사 라인은 제1 도전층으로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 구동 신호 공급 라인은 스토리지 커패시터에 구동 전압을 공급하는 스토리지 기준 신호 공급 라인을 더 구비하고, 상기 입력 패드의 일측부와 연결되며, 상기 입력 패드의 타측부와 연결된 제4 검사 라인 및 제4 검사 패드를 추가로 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  11. 제 10 항에 있어서,
    제4 검사 패드는 제1 도전층으로 형성된 하부 패드와 투명도전층으로 형성된 상부 패드가 제4 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 제4 검사 라인은 제2 도전층으로 형성되며 제4 검사 패드의 하부 패드와 콘택홀을 통해 접속된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 제4 검사 라인은 상기 입력 패드와 상기 제4 검사 패드와 검사 패드부를 우회하지 않고 직접 연결된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  14. 제 10 항에 있어서,
    제4 검사 패드는 제2 도전층으로 형성된 하부 패드와 투명도전층으로 형성된 상부 패드가 제4 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 제4 검사 라인은 제2 도전층으로 형성되며 제4 검사 패드의 하부 패드와 연결되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정 패널.
  16. 제1 도전층으로 구동 신호를 입력하는 제1 입력 패드, 상기 입력 패드의 일측부와 연결된 검사 라인, 상기 검사 라인과 접속된 하부 검사 패드 및 보조 라인을 포함하는 제1 도전 패턴군을 형성하는 단계와;
    상기 제1 도전 패턴군을 덮는 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 절연막을 관통하는 제1 및 제2 콘택홀을 형성하는 단계와;
    상기 제1 입력 패드와 제1 및 제2 콘택홀을 통해 연결되는 제2 입력 패드 및 구동 신호 공급 라인을 포함하는 제2 도전 패턴군을 형성하는 단계와;
    상기 제2 도전 패턴군과 상기 절연막을 덮는 보호막을 형성하는 단계와;
    상기 보호막과 상기 절연막을 관통하는 제3 콘택홀을 형성하는 단계와;
    상기 제2 입력 패드와 상기 제3 콘택홀을 통해 연결되는 제3 입력 패드 및 상기 하부 검사 패드와 제4 콘택홀을 통해 연결되는 상부 검사 패드를 포함하는 투명도전층을 형성하는 단계를 포함하는 액정 패널의 제조방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제1 도전 패턴군을 형성하는 단계에서, 스토리지 기준 신호 공급 라인에 검사 신호를 인가하는 제4 하부 검사 패드를 더 형성하고, 상기 제2 도전 패턴군을 형성하는 단계에서, 스토리지 기준 신호 공급 라인 및 상기 제4 하부 검사 패드와 연결되는 제4 검사 라인을 더 형성하는 것을 포함하는 액정 패널의 제조방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제4 검사 패드와 상기 제4 검사 라인은 제5 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조방법.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 제2 도전 패턴군을 형성하는 단계에서, 스토리지 기준 신호 공급 라인, 제4 검사 패드 및 상기 제4 하부 검사 패드와 연결되는 제4 검사 라인을 더 형성하는 것을 포함하는 액정 패널의 제조방법.
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