KR20050066416A - 프로버의 웨이퍼 로딩장치 - Google Patents

프로버의 웨이퍼 로딩장치 Download PDF

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KR20050066416A
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동부아남반도체 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 검사장비인 프로버(prober)의 웨이퍼 로딩(loading)장치에 관한 것이다.
본 발명은, 카세트를 장착하여 상기 카세트를 작업위치에 위치시키기 위해 일측에 구비되는 로딩장치와, SMIF파드를 장착하여 상기 SMIF파드내에 수납된 카세트를 작업위치에 위치시키기 위해 타측에 구비되는 SMIF장치와, 상기 로딩장치와 SMIF장치간에 구비되어 양측의 작업위치에 놓인 상기 카세트로부터 웨이퍼를 검사용 척상으로 이송시키는 이송암을 포함한다.
따라서, SMIF파드로부터 카세트를 꺼내 로딩장치에 장착해야 하는 번거로움을 없앨 수 있고, 카세트를 꺼내 장착하는 과정에서 웨이퍼가 파티클에 노출되는 것을 방지할 수 있어 안전한 검사를 진행할 수 있는 효과가 있다.

Description

프로버의 웨이퍼 로딩장치{WAFER LOADING APPARATUS FOR PROBER}
본 발명은 반도체 검사장비인 프로버(prober)의 웨이퍼 로딩(loading)장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 다수매 수용되어 있는 카세트를 수납한 SMIF파드를 직접 장착하여 웨이퍼를 로딩시킬 수 있는 프로버의 웨이퍼 로딩장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체의 웨이퍼를 검사하는 EDS(Electrical Die Sorting)공정에 사용되는 프로버(prober)에 검사대상의 웨이퍼를 로딩하는 장치(10)는 도 1에 나타낸 바와 같이, 검사될 다수매의 웨이퍼가 수용되어 정렬되어 있는 카세트(5)를 카세트보관실(12)내 플레이트(14)에 장착하면, 플레이트(14)의 하측에 결합된 이송부재(16)가 리드스크류(18)를 따라 하부로 이송되어 작업위치에 놓여진 후, 일측의 이송암(20)에 의해 웨이퍼가 카세트(5)로부터 꺼내져 검사용 척(chuck)(미도시)상으로 옮겨져 놓여지게 된다.
한편, 반도체 제조공정은 극도로 클린화를 요하기 때문에 웨이퍼를 한 공정에서 다른 공정으로 이동시킬 경우, 웨이퍼를 담은 카세트를 SMIF파드(Standard Mechanical Interface pod)안에 담어서 밀폐상태를 유지하면서 보관하고 이동을 시킨다.
이 SMIF파드는 SMIF장치에 의해 내부의 카세트가 꺼내져 분리되게 된다.
도 2는 종래의 SMIF장치를 보여주는 사시도이다.
SMIF파드(30)는 그의 하부에 마련된 파드도어(32)와, 파드도어(32)의 상부에 탑재되며 내부에 수납된 카세트(5)를 덮고 있는 파드커버(34)를 포함한다.
SMIF장치(40)는 SMIF파드(30)가 장착될 때 SMIF파드(30)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 상부의 포트플레이트(42)와, 포트플레이트(42)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 정위치에 SMIF파드(30)가 위치되도록 하는 'L'자 형상의 가이드레일(44)과, 파드도어(32)와 접촉하여 수직방향으로 이송되어 파드도어(32)상의 카세트(5)를 운반하는 포트도어(46)를 구비한다.
포트도어(46)의 상측에는 3개의 파드위치결정핀(46a)이 위치하며, 이 파드위치결정핀(46a)은 파드도어(32)의 하면에 형성된 삽입홀(미도시)에 각각 삽입되어 SMIF파드(30)를 정위치에 배치시킨다. 그리고, 포트도어(46)의 상측 중앙부에는 래치핀(46b)이 구비되어, 파드도어(32) 하면의 회전판(미도시)에 형성된 홀과 결합된다.
포트도어(46)의 하부에는 카세트(5)와 함께 포트도어(46)를 수직방향으로 이송시키는 구동부(50)가 구비되는데, 구동부(50)는 포트도어(46)의 하측에 결합된 이송부재(52)와, 이송부재(52)에 나사결합되어 이송부재(52)를 수직방향으로 이송시키는 리드스크류(54)와, 리드스크류(54)에 연결되어 리드스크류(54)를 회전시키는 모터(56)를 포함한다. 따라서, 모터(56)의 회전에 의해 리드스크류(54)를 회전시킴으로써 이송부재(52)에 결합된 포트도어(46)가 리드스크류(54)를 따라 수직방향으로 이동된다.
이상과 같은 구성에서 그 작동은, SMIF파드(30)를 가이드레일(44)과 파드위치결정핀(46a)에 맞추어 포트도어(46) 위에 장착하고, 파드오픈 스위치(미도시)를 누르면(이와 다르게, 센서를 이용하여 자동으로 실행시키는 경우도 있음), 래치핀(46b)은 파드도어(32) 하면의 회전판에 형성된 홀과 결합되고, 이어서 모터(56)가 작동하여 리드스크류(54)를 따라 포트도어(46)가 아래로 내려가면서 파드커버(34)와 분리된 후 하부의 작업위치에 놓이게 되며, 다음으로 일측의 이송암(미도시)이 카세트(5)로부터 웨이퍼를 꺼내 특정 공정장비에 로딩시키게 된다.
그러나, 종래에는 SMIF파드(30)내에 수납된 카세트(5)의 웨이퍼를 포로버에 로딩시키기 위해서 SMIF파드(30)로부터 카세트(5)를 꺼내, 전술한 프로버의 로딩장치(10)에 다시 장착한 후 검사를 진행하였다.
따라서, 카세트(5)를 꺼내 다시 장착하는 과정에서 웨이퍼가 파티클에 노출될 우려가 있어, 파티클에 민감한 웨이퍼를 검사하는 경우에는 적합하지 않은 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로써, 종래의 로딩장치에 SMIF장치를 부설하여 SMIF파드내에 수납된 카세트의 웨이퍼도 바로 프로버에 로딩시킬 수 있는 프로버의 웨이퍼 로딩장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 카세트를 장착하여 상기 카세트를 작업위치에 위치시키기 위해 일측에 구비되는 로딩장치와, SMIF파드를 장착하여 상기 SMIF파드내에 수납된 카세트를 작업위치에 위치시키기 위해 타측에 구비되는 SMIF장치와, 상기 로딩장치와 SMIF장치간에 구비되어 양측의 작업위치에 놓인 상기 카세트로부터 웨이퍼를 검사용 척상으로 이송시키는 이송암을 포함하는 프로버의 웨이퍼 로딩장치를 제공한다.
본 발명의 상기 목적과 여러가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 프로버의 웨이퍼 로딩장치를 개략 도시한 도면이다.
설명에 앞서, 종래와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 부기하고, 그 상세한 설명은 생략함을 밝힌다.
본 발명에 따르면, 종래 프로버의 웨이퍼 로딩장치(10)에 SMIF장치(40)가 부설되어, 개별 카세트(5)뿐만 아니라 SMIF파드(30)내에 수납된 카세트(5)로부터 웨이퍼를 꺼내 프로버에 로딩시킬 수 있도록 한다.
도시된 바와 같이, 일측에는 종래의 웨이퍼 로딩장치(10)가 구비되고, 이에 대응되도록 중앙의 이송암(20)을 사이에 두고 타측에는 SMIF장치(40)가 구비된다.
여기서, 로딩장치(10)의 플레이트(14)가 하강되어 위치되는 작업위치와 SMIF장치(40)의 포트도어(46)가 하강되어 위치되는 작업위치를 조정하여, 중앙의 이송암(20)이 동일한 높이에서 양측의 카세트(5)로부터 웨이퍼를 원활히 취출할 수 있도록 해야 한다.
덧붙여, 로딩장치(10)의 플레이트(14) 상측에 카세트(5)가 장착됨을 감지하여 감지신호를 출력하는 제 1 감지센서(미도시)를 적절히 설치함과 더불어, SMIF장치(40)의 포트도어(46) 상측에 SMIF파드(30)가 장착됨을 감지하여 감지신호를 출력하는 제 2 감지센서(미도시)를 또한 설치하고, 이들 감지센서를 제어부(미도시)에 연결하여 제어부가 감지센서로부터 출력된 감지신호를 수신하여 로딩장치(10)와 SMIF장치(40)를 선택적으로 구동제어하고, 이송암(20)의 작동방향도 연동하여 제어하도록 할 수 있다.
이상과 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 프로버의 웨이퍼 로딩장치의 작용에 대하여 이하 설명한다.
먼저, SMIF파드(30)를 이용하는 경우를 설명하면, SMIF파드(30)를 SMIF장치(40)상의 포트도어(46)상에 장착하면, 제 2 감지센서가 동작된다. 따라서, 모터(56)가 작동하여 리드스크류(54)를 따라 포트도어(46)가 아래로 내려가 하부의 작업위치에 놓이게 된다. 이후, 프로버에서 웨이퍼 로딩신호가 수신되면 이송암(20)이 작업위치에 놓인 카세트(5)로부터 웨이퍼를 꺼내 검사용 척(chuck)상에 로딩하게 된다.
한편, 로딩장치(10)를 이용하는 경우에는, 카세트(5)를 카세트보관실(12)내의 플레이트(14)에 장착하면, 제 1 감지센서가 동작되어, 리드스크류(18)를 따라 포트도어(46)가 하부로 이송되어 작업위치에 놓여진 후, 프로버에서 웨이퍼 로딩신호가 수신되면 이송암(20)이 작업위치에 놓인 카세트(5)로부터 웨이퍼를 꺼내 검사용 척상에 로딩하게 된다.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.
본 발명에 따르면, SMIF파드로부터 카세트를 꺼내 로딩장치에 장착해야 하는 번거로움을 없앨 수 있고, 카세트를 꺼내 장착하는 과정에서 웨이퍼가 파티클에 노출되는 것을 방지할 수 있어 안전한 검사를 진행할 수 있는 효과가 달성될 수 있다.
도 1은 종래의 프로버 웨이퍼 로딩장치를 개략 도시한 도면,
도 2는 종래의 SMIF장치에 대한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 프로버의 웨이퍼 로딩장치를 개략 도시한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
5 : 카세트 10 : (종래) 로딩장치
12 : 카세트보관실 14 : 플레이트
16 : 이송부재 18 : 리드스크류
20 : 이송암 30 : SMIF파드
32 : 파드도어 34 : 파드커버
40 : SMIF장치 42 : 포트플레이트
44 : 가이드레일 46 : 포트도어
46a : 파드위치결정핀 46b : 래치핀
50 : 구동부 52 : 이송부재
54 : 리드스크류 56 : 모터

Claims (2)

  1. 카세트를 장착하여 상기 카세트를 작업위치에 위치시키기 위해 일측에 구비되는 로딩장치와,
    SMIF파드를 장착하여 상기 SMIF파드내에 수납된 카세트를 작업위치에 위치시키기 위해 타측에 구비되는 SMIF장치와,
    상기 로딩장치와 SMIF장치간에 구비되어 양측의 작업위치에 놓인 상기 카세트로부터 웨이퍼를 검사용 척상으로 이송시키는 이송암을 포함하는 프로버의 웨이퍼 로딩장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 로딩장치에서 상기 카세트가 장착됨을 감지하는 제 1 감지센서와,
    상기 SMIF장치에서 상기 SMIF파드가 장착됨을 감지하는 제 2 감지센서와,
    상기 제 1, 2 감지센서로부터의 감지신호를 수신하여 상기 로딩장치와 SMIF장치를 구동제어하는 제어부를 더 포함하는 프로버의 웨이퍼 로딩장치.
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