KR20050037434A - 결정제조용 히터 및 결정제조장치와 결정제조방법 - Google Patents
결정제조용 히터 및 결정제조장치와 결정제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
실시례 1 | 실시례 2 | 비교례 1 | |
무전위화율(%) | 85 | 85 | 50 |
Claims (13)
- 적어도, 전류가 공급되는 단자부와, 저항가열에 의한 발열부 등이 설치되고, 원료융액을 수용하는 포트를 둘러싸도록 배치되고, 초크랄스키법에 의해 결정을 제조하는 경우에 사용되는 히터로서, 상기 히터는 결정제조에서 사용 시에 히터형상이 변형된 후에, 원료융액에 대하여 균일한 발열분포를 가지는 것임을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 적어도, 전류가 공급되는 단자부와 저항가열에 의한 발열부 등이 설치되고, 원료융액을 수용하는 포트를 둘러싸도록 배치되고, 초크랄스키법에 의해 결정을 제조하는 경우에 사용되는 히터로서, 상기 히터의 발열부의 수평단면의 형상이 타원형상이고, 결정제조에서의 사용 시에 히터형상이 변형하고, 상기 발열부의 수평단면형상이 원형상으로 되는 것임을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 2항에 있어서,상기 발열부의 수평단면의 타원형상은, 결정제조에서의 사용 시의 히터형상의 변형에 의해 지름이 확대하는 방향으로는 미리 지름을 작게 하고, 역으로, 지름이 축소하는 방향으로는 미리 지름을 크게 하는 것을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 발열부의 수평단면의 타원형상은, 장경을 D1으로 하고, 단경을 D2로 한 경우, D1/D2의 값이 1.01이상 1.20이하의 범위인 것을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 적어도, 전류가 공급되는 단자부와, 저항가열에 의한 발열부 등이 설치되고, 원료융액을 수용하는 포트를 둘러싸도록 배치되고, 초크랄스키법에 의해 결정을 제조하는 경우에 사용되는 히터로서, 상기 히터의 발열부는 전기저항에 분포를 가지게 한 것을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 5항에 있어서,상기 발열부의 전기저항의 분포는 결정제조에서의 사용 시의 히터형상의 변형에 의해, 지름이 확대하는 방향으로는 미리 전기저항을 크게 하고, 역으로, 지름이 축소하는 방향으로는 미리 전기저항을 작게 분포시킨 것임을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 5항 또는 제 6항에 있어서,상기 발열부의 전기저항의 분포는, 발열슬릿부의 두께, 발열슬릿부의 폭, 또는 발열슬릿부의 길이 중 어느 하나 이상을 변경하는 것에 의해 조정된 것임을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 5항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 발열부의 전기저항의 분포는, 결정제조에서의 사용 시의 히터형상의 변형에 의해 지름이 확대하는 방향으로의 전기저항을 R1로 하고, 지름이 축소하는 방향으로의 전기저항을 R2로 한 때, R1/R2의 값이 1.01이상 1.10이하의 범위에서 분포시킨 것임을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 기재된 히터로서, 제 5항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 기재된 히터인 것을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 히터가 사용되는 초크랄스키법은, MCZ법인 것을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제조하는 결정을, 실리콘 단결정인 것을 특징으로 하는 결정제조용 히터.
- 적어도, 제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 기재된 결정제조용 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 결정제조장치.
- 제 12항에 기재된 결정제조장치를 사용하여 초크랄스키법에 의해 결정을 제조하는 것을 특징으로 하는 결정제조방법.
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