KR200496392Y1 - 스크러버 배기장치 - Google Patents

스크러버 배기장치 Download PDF

Info

Publication number
KR200496392Y1
KR200496392Y1 KR2020210003234U KR20210003234U KR200496392Y1 KR 200496392 Y1 KR200496392 Y1 KR 200496392Y1 KR 2020210003234 U KR2020210003234 U KR 2020210003234U KR 20210003234 U KR20210003234 U KR 20210003234U KR 200496392 Y1 KR200496392 Y1 KR 200496392Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
holder
pillar
scrubber
cover
pillar part
Prior art date
Application number
KR2020210003234U
Other languages
English (en)
Inventor
강희문
Original Assignee
주식회사 아토즈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아토즈 filed Critical 주식회사 아토즈
Priority to KR2020210003234U priority Critical patent/KR200496392Y1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200496392Y1 publication Critical patent/KR200496392Y1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B2215/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B2215/006—Suction tables

Landscapes

  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 배기장치는 스크러버 박스 내부에 설치되고, 상하로 연장될 수 있는 기둥부, 상기 기둥부에 연결되는 홀더부, 상기 홀더부에 연결되어 상기 스크러버로 연장되는 연결부 및 상기 연결부에 연결되며, 상기 스크러버에서 배출되는 오염원을 흡입하는 흡입부를 포함할 수 있다.

Description

스크러버 배기장치{Scrubber exhaust system}
본 고안은 스크러버 배기장치에 관한 것이다.
일반적으로, 오염 물질을 발생시키는 제조 시설 등에는 배기를 위한 배기 장치가 설치된다. 스크러버 PM 배기장치는 배기구로부터 이격된 스크러버 인근에서 부분적인 오염원이 발생하거나, 주변 구조물이나 설치물로 인하여 배기구를 오염원 근처에 설치하는 것이 어렵거나, 순간적인 오염원의 발생으로 인해 배기구 설치가 어려운 경우에 오염원 부근에 설치됨으로써 오염 물질을 유용하게 배출시킬 수 있다.
또한, 스크러버 PM 배기장치는 제조 시설 등에서 발생되는 오염 물질의 제거를 통해 제조물의 품질을 높이도록 하는데 기여한다. 또한, 작업자를 오염 물질로부터 보호하는 중요한 역할을 하게 된다.
이러한 스크러버 PM 배기장치는 일반적으로 반도체 제조과정에서 많이 사용된다. 일반적으로 반도체 제조과정에서는 각종 오염 가스가 발생하고, 오염가스는 주변에 있는 장비 등에 증착되어 장비에 손상을 주거나, 인체와 닿게 되면 심각한 문제를 일으키게 된다.
하지만, 일반적인 스크러버 PM 배기장치는 오염물질을 수용하는 파이프와 천장에 연결되어 오염가스를 배출하는 배출 파이프와 연결되어 배출하는 과정에서 미세하게 찌그러진 파이프 간의 연결로 인해, 파이프 간의 연결에 틈이 생겨 오염가스가 미세하게라도 새어나가게 되는 문제점을 가지고 있다.
상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 고안은 스크러버와 인접한 협소한 공간내에 설치되어 스크러버에서 발생되는 오염물질을 배출시킬 수 있는 스크러버 배기장치에 관한 것이다.
본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 배기장치는 스크러버 박스 내부에 설치되고, 상하로 연장될 수 있는 기둥부, 상기 기둥부에 연결되는 홀더부, 상기 홀더부에 연결되어 상기 스크러버로 연장되는 연결부 및 상기 연결부에 연결되며, 상기 스크러버에서 배출되는 오염원을 흡입하는 흡입부를 포함할 수 있다.
기둥부는 상기 스크러버 박스 내측면에 밀착하는 제1 고정부, 상기 제1 고정부의 반대편에서 상기 기둥부와 연결되고, 상기 기둥부의 외경보다 크게 형성된 받침부와 연결되며, 상기 스크러버 박스 내측면에 밀착되는 제2 고정부 및 상기 제2 고정부와 상기 받침부 사이에서 회전이 가능하도록 각각 연결되며, 상기 기둥부의 높이를 조절하는 조절부를 포함할 수 있다.
조절부는 상기 받침부와 나사기둥을 매개로 연결될 수 있다.
홀더부는 상기 기둥부를 감싸는 제1 커버 및 제2 커버, 상기 제1 커버와 상기 제2 커버를 가압하여 상기 기둥부에 밀착시키는 레치부 및 상기 기둥부와 상기 제1 커버 및 상기 제2 커버 사이에 위치하는 마찰부로 이루어진 제1 홀더를 포함할 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 배기장치는 스크러버와 인접한 협소한 공간내에 설치되어 스크러버에서 발생되는 오염물질을 배출시킬 수 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 배기장치 설치상태를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 나타낸 스크러버 배기장치 도면이다.
도 3은 도 2에 적용되는 제1 고정부를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2에 적용되는 제2 고정부를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 2에 적용되는 일 실시예에 따른 홀더부를 나타낸 도면이다.
도 6는 도 2에 적용되는 다른 실시예에 따른 홀더부를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 적용되는 제2 홀더를 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 6에 적용되는 제3 홀더를 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 고안의 실시예에 대하여 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 고안은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 고안을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 고안이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 스크러버 배기장치 설치상태를 나타낸 도면이다.
도 1을 참고하면, 스크러버(220)와 보호프레임(210) 사이에 스크러버 배기장치(100)가 설치될 수 있다.
스크러버(220)는 반도체 제조공정 중에 발생하는 각종 독성가스 및 산성가스, 가연성가스(SiH4, SiH6, DCS, As3, PH3), 환경유해가스(PFC계: SF6, NF3, F4, C2, C3 등)을 정제해 배출하는 장비로 세정방식에 따라 습식(wet), 건식(dry), 연소식(burn), 흡착식, 플라즈마법 등으로 분류된다. 원활한 독성가스 등의 배출을 위해 스크러버는 정기적인 유지보수가 이뤄지며, 유지보수시 독성 가스등이 새어나오지 않도록 세심한 주의가 요구된다.
보호프레임(210)은 알루미늄 또는 스틸 프레임으로 형성될 수 있으며, 보호프레임(210) 사이로 패널 등이 설치될 수 있다. 보호프레임(210)은 스크러버(220)를 보호함과 동시에 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다. 이에 따라, 보호프레임(210)과 스크러버(220) 사이의 공간은 협소하게 형성된다.
스크러버 배기장치(100)는 보호프레임 내부에서 스크러버(220)와 보호프레임(210) 사이에 설치될 수 있다. 이를 통해, 스크러버 배기장치(100)를 위한 추가공간이 요구되지 않아 공간효율성을 극대화할 수 있다. 또한, 스크러버(220)에 매우 가깝게 설치할 수 있어 유지보수시 스크러버(220)에서 발생될 수 있는 독성가스 등의 배출을 보다 효율적으로 시행할 수 있다. 또한, 스크러버 배기장치(100)는 보호프레임(210) 내측에 설치될 수 있어, 예기치 않은 외부의 충격으로부터 보호될 수 있다.
스크러버 배기장치(100)는 기둥부(10), 연결부(30) 및 흡입부(40)를 포함할 수 있다. 기둥부(10)는 보호프레임(210) 상부 및 하부 사이에 위치하여 설치될 수 있다. 기둥부(10)는 보호프레임(210) 내부에서 스크러버 배기장치(100) 흡입부(40)가 위치하는 높이를 설정할 수 있다. 또한, 기둥부(10)는 보호프레임(210) 내부 높이에 맞도록 길이가 조절되어 보호프레임(210) 내부에 보다 안정적으로 자립할 수 있다. 기둥부(10) 단면은 각이 형성될 수 있다. 즉, 기둥부(10) 단면은 사각형 또는 육각형과 같이 n각형으로 형성될 수 있다. 이를 통해, 연결부(30)가 흔들리는 것을 방지하고, 스크러버(220)의 작동에 의해 발생되는 지속적인 진동에 의해 홀더부(20)가 풀리는 것을 방지할 수 있다.
연결부(30)는 기둥부(10)에 홀더부(20)를 매개로 연결될 수 있다. 또한, 연결부(30)는 복수개의 연결파트(31, 32, 33)를 포함할 수 있다. 복수개의 연결파트(31, 32, 33)의 상호 연결을 통해, 연결부는 스크러버(220) 주위에서 사용자의 의도에 따라 이동할 수 있다.
흡입부(40)는 전체적으로 원판으로 형성되고, 흡입부(40) 뒷판에 연결부(30)와 회전이 가능하도록 연결될 수 있다. 흡입부(40)는 복수개의 연결부(30)로 형성된 연결부(30)에 의해 공간이 협소한 보호프레임(210)과 스크러버(220) 사이에서 이동이 가능하다. 이를 통해 스크러버(220)에서 유출될 수 있는 독성가스 등을 보다 효율적으로 제거할 수 있다.
도 2는 도 1에 나타낸 연결부와 흡입부를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 2를 참고하면, 흡입부(40)는 흡입판(40a), 회전연결부재(41) 및 배출부(42)를 포함할 수 있다. 흡입판(40a)은 전체적으로 원판형으로 형성될 수 있다. 스크러버(220)의 유출 부위에 흡입판(40a)을 위치시켜 연통부로부터 형성된 음압에 의해 스크러버(220)의 독성가스가 배출부(42)로 유도될 수 있다.
회전연결부재(41)는 배출부(42)와 연결부(30)를 상호 연결할 수 있다. 회전연결부재(41)는 배출부(42) 외주면에 연결되는 회전링부(41a)와 연결부와 연결되며 회전링부(41a)가 회전이 가능하도록 연결되는 회전핀부(41b)를 포함할 수 있다. 이를 통해, 회전링부(41a)는 회전핀부(41b)을 중심으로 회전하며, 이에 따라 흡음판(40a)도 회전할 수 있게 된다.
홀더부(20)는 기둥부(10)에 연결되며 단부에 연결부가 연결될 수 있다. 홀더부(20)는 스크러버 배기장치(100)의 높이를 설정하고 유지하는 역할을 하며, 기둥부(10) 일정 높이에 고정될 수 있다. 사용자의 사용편의에 의해 홀더부(20)는 다시 풀려져 홀더부(20)높이는 재설정될 수 있다.
홀더부(20)에는 단부에 레치부(20a)를 포함할 수 있다. 레치부(20a)는 기둥부(10)를 감싸고 있는 홀더부(20)를 가압하여 기둥에 보다 단단하게 고정될 수 있도록 할 수 있다.
도 3은 도 2에 적용되는 제1 고정부를 나타낸 도면이고, 도 4는 도 2에 적용되는 제2 고정부를 나타낸 도면이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 제1 고정부(11) 및 제2 고정부(12)는 보호프레임(210)과 기둥부(10) 사이에 위치하며, 기둥부(10)가 정해진 위치에 유지될 수 있도록 지지할 수 있다.
제1 고정부(11)는 마찰부(11a) 및 나사기둥부(11b)를 포함할 수 있다. 마찰부(11a)는 제1 고정부(11)에 연결되며 보호프레임(210)과 제1 고정부(11) 사이에 위치할 수 있다. 제1 고정부(11)는 보호프레임(210)을 향하여 가압되어 마찰부(11a)에 의해 보호프레임(210)에 안정적으로 지지될 수 있다.
제2 고정부(12)는 보호프레임(210)을 향하여 연결된 마찰부(12a)를 포함할 수 있다. 또한, 기둥부(10)와 제2 고정부(12) 사이에는 받침대(13) 및 조절부(14)가 위치하여 연결될 수 있다. 조절부(14)는 회전가능하도록 제2 고정부(14b)와 연결되며, 조절부(14)의 회전에 의해 기둥부(10)의 높이는 조절될 수 있다.
기둥부(10)와 조절부(14)는 나사기둥(14a)을 통해 연결될 수 있다. 즉, 나사의 회전력에 의해 기둥부(10)는 제2 고정부(12)와 멀어지는 방향 또는 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 이를 통해, 제2 고정부(12)와 제1 고정부(11) 양단에 압력을 가해 보호프레임(210)과 안정적으로 밀착이 가능할 수 있다.
홀더부(20)는 제1 커버(211)와 제2 커버(212)를 포함할 수 있다. 제1 커버(211)와 제2 커버(212) 사이에 기둥부를 위치시켜 제1 커버(211)와 제2 커버(212)가 결합될 수 있다. 제1 커버(211) 및 제2 커버(212)와 기둥부(10) 사이에는 마찰부(11a)가 위치할 수 있다. 예를 들면 마찰부(11a)는 고무판일 수 있다.
도 5는 도 2에 적용되는 일 실시예에 따른 홀더부를 나타낸 도면이고, 도 6는 도 2에 적용되는 다른 실시예에 따른 홀더부를 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6에 적용되는 제2 홀더를 나타낸 평면도이고, 도 8은 도 6에 적용되는 제3 홀더를 나타낸 단면도이다.
도 5 내지 도 8을 참고하면, 홀더부(20) 단부에는 레치부(20a)가 연결될 수 있다. 예를 들면 레치부(20a)는 제1 커버(211)에 연결될 수 있다.
홀더부(20)는 제1 홀더(21)를 포함할 수 있다. 제1 홀더(21)는 제1 커버(211)는 제2 커버(212)를 포함할 수 있다. 제1 커버(211)는 제2 커버(212) 및 레치부(20a)와 나사를 매개로 연결될 수 있다. 즉, 레치부(20a)를 회전시켜 제1 커버(211)와 제2 커버(212)를 결속하고, 레치부(20a)를 일방향으로 체결함으로써 회전상태를 유지할 수 있다. 제1 커버(211) 및/또는 제2 커버(212)와 기둥부(10) 사이에는 마찰부(213)가 개재될 수 있다. 예를 들면, 마찰부(213)는 마찰력이 큰 재질인 고무일 수 있다. 이를 통해 기둥부(10)와 제1 커버(211) 및/또는 제2 커버(212) 사이에 가압력 이외 마찰력을 더 부가하여 제1 홀더(21)가 보다 안정적으로 기둥부(10)에 고정될 수 있다.
홀더부(20)는 기둥부(10)에 연결되는 제1 홀더(21), 제1 홀더(21)와 상하로 연결되는 제2 홀더(22) 및 제3 홀더(23)를 포함할 수 있다.
제2 홀더(22)는 제1 홀더(21) 상부에 위치하며, 제1 홀더(21) 및 기둥부(10)와 각각 연결될 수 있다. 제2 홀더(22)는 기둥부(10)를 중심으로 첫번째 제2 홀더(221)와 두번째 제2 홀더(222)로 나뉘어 서로 연결될 수 있다. 제2 홀더(22)는 기둥부(10)에 연결되며, 제2 홀더부(20)를 관통하는 나사(223)에 의해 결속될 수 있다. 제2 홀더(22)는 제1 홀더(21)와 마주하는 면에 제1 홀더(21)의 제1 돌출부(214)가 끼워지는 끼움홈(24)이 만입되도록 형성될 수 있다.
제2 홀더(22)는 기둥부(10)에 접하는 면에 기둥부(10)를 향하여 돌출된 복수개의 제2 돌출부(224)가 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 돌출부(224)는 기둥부(10) 원주방향으로 배치되되 기둥부(10) 길이방향과 동일한 방향으로 길게 형성될 수 있다. 제2 돌출부(224)는 제2 홀더(22)가 나사에 의해 압착되면서 기둥부(10)와 밀착될 수 있으며, 제1 홀더부(20)가 기둥부(10)를 중심으로 회전하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들면, 제2 돌출부(224)는 마찰력이 큰 고무일 수 있다. 이에 따라, 기둥부(10)에 압착되면서 부착되고, 마찰력이 큰 재질의 특성을 이용하여 제1 홀더부(20)의 회전을 방지할 수 있다.
제3 홀더(23)는 제1 홀더(21)의 하부에 위치하며 제1 홀더(21) 및 기둥부(10)와 연결될 수 있다. 제3 홀더(23)는 첫번째 제3 홀더(231)와 두번째 제3 홀더(232)가 상호 결합되어 형성될 수 있다. 제3 홀더(23)는 기둥부(10)에 연결되 제3 홀더(23)를 관통하는 나사에 의해 결속될 수 있다. 제3 홀더(23)는 제1 홀더(21)와 마주하는 면에 제1 홀더(21)의 제1 돌출부(214)가 끼워지는 끼움홈(24)이 만입되도록 형성될 수 있다.
제3 홀더(23)는 기둥부(10)에 접하는 면에 기둥부(10)를 향하여 돌출된 복수개의 제3 돌출부(234)가 형성될 수 있다. 예를 들면, 제3 돌출부(234)는 기둥부(10)의 길이방향으로 배치되되 기둥부(10)의 원주방향과 동일한 방향으로 형성될 수 있다. 제3 돌출부(234)는 제3 홀더(23)가 나사에 의해 압착되면서 기둥부(10)와 밀착될 수 있으며, 제1 홀더(21)가 스크러버(220)의 지속적인 진동에 의해 풀려서 높이가 변하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들면, 제3 돌출부(234)는 마찰력이 큰 고무일 수 있다. 이에 따라, 기둥부(10)에 압착되면서 부착되고, 마찰력이 큰 재질의 특성을 이용하여 제1 홀더부(20)의 회전을 방지할 수 있다.
제2 홀더(22)와 제3 홀더(23)는 제1 홀더(21)의 상하로 위치하며, 제1 홀더(21)의 높이가 변하거나 회전하는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 제2 홀더(22)의 제2 돌출부(224)의 방향과 제3 홀더(23)의 제3 돌출부(234)의 방향은 상이하게 형성되며, 위상차가 90도일 수 있다.
이를 통해, 스크러버(220)가 작동될 때 보호프레임(210)에 지속적인 진동이 발생하게 되어 제1 커버(211)와 제2 커버(212)를 결속한 나사의 회전이 조금씩 풀리더라도, 흡입부(40)의 위치를 유지시킴으로써, 스크러버(220)로부터 유출되는 독성가스를 지속적이고 보다 안정적으로 배출시킬 수 있다.
본 고안을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 고안은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 고안이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
200: 스크러버 시스템
220: 스크러버 210: 보호프레임
211: 상부패널 212: 하부패널
100: 스크러버 배기장치
10: 기둥부 11: 제1 고정부
11a,12a: 마찰부 12: 제2 고정부
13: 받침부 14: 조절부
14a: 나사기둥
20: 홀더부 20a: 레치부
21: 제1 홀더 211: 제1 커버
212: 제2 커버 213: 마찰부
214: 제1 돌출부 22: 제2 홀더
223: 나사 224: 제2 돌출부
23: 제3 홀더 234: 제3 돌출부
24: 끼움홈 30: 연결부
31: 제1 연결부 32: 제2 연결부
33: 제3 연결부
40: 흡입부 41: 회전연결부재
41a: 회전링부 41b: 회전핀부
42: 배출부 40a: 흡입판

Claims (5)

  1. 스크러버 박스 내부에 설치되고, 상하로 연장되는 기둥부;
    상기 기둥부에 연결되는 홀더부;
    상기 홀더부에 연결되어 상기 스크러버로 연장되는 연결부; 및
    상기 연결부에 연결되며, 상기 스크러버에서 배출되는 오염원을 흡입하는 흡입부를 포함하되,
    상기 홀더부는,
    상기 기둥부를 감싸고, 제1 돌출부가 형성된 제1 커버 및 제2 커버;
    상기 제1 커버와 상기 제2 커버를 가압하여 상기 기둥부에 밀착시키는 레치부; 및
    상기 기둥부와 상기 제1 커버 및 상기 제2 커버 사이에 위치하는 마찰부로 이루어진 제1 홀더를 포함하고,
    상기 홀더부는,
    상기 제1 홀더 상부에 위치하여 상기 기둥부와 연결되어 상기 기둥부에 연결된 상기 제1 홀더의 회전을 방지하고, 상기 제1 홀더와 마주하는 면에 상기 제1 돌출부가 끼워지도록 만입된 끼움홈이 형성된 제2 홀더; 및
    상기 제1 홀더의 하부에 위치하여 상기 기둥부와 연결되며, 상기 제1 홀더의 설치높이를 유지하고, 상기 제1 홀더와 마주하는 면에 상기 제1 돌출부가 끼워지도록 만입된 끼움홈이 형성된 제3 홀더를 포함하고,
    상기 제2 홀더는,
    상기 기둥부와 접하는 면에 상기 기둥부를 향해 돌출되어 형성된 복수개의 제2 돌출부를 포함하고,
    상기 제3 홀더는,
    상기 기둥부와 접하는 면에 상기 기둥부를 향하여 돌출되어 형성된 복수개의 제3 돌출부를 포함하는 스크러버 배기장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기둥부는,
    상기 스크러버 박스 내측면에 밀착하는 제1 고정부;
    상기 기둥부에 상기 제1 고정부 반대편에서 연결되고, 상기 기둥부의 외경보다 크게 형성된 받침부와 연결되며, 상기 스크러버 박스 내측면에 밀착되는 제2 고정부; 및
    상기 제2 고정부와 상기 받침부 사이에서 회전이 가능하도록 각각 연결되며, 상기 기둥부의 높이를 조절하는 조절부를 포함하는 스크러버 배기장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 조절부는,
    상기 받침부와 나사기둥을 매개로 연결되는 스크러버 배기장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
KR2020210003234U 2021-10-26 2021-10-26 스크러버 배기장치 KR200496392Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020210003234U KR200496392Y1 (ko) 2021-10-26 2021-10-26 스크러버 배기장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020210003234U KR200496392Y1 (ko) 2021-10-26 2021-10-26 스크러버 배기장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200496392Y1 true KR200496392Y1 (ko) 2023-01-18

Family

ID=85101855

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020210003234U KR200496392Y1 (ko) 2021-10-26 2021-10-26 스크러버 배기장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200496392Y1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000010609U (ko) * 1998-11-24 2000-06-15 양경철 상품진열용 폴
KR101534534B1 (ko) * 2015-03-02 2015-07-08 주식회사 유니온이엔지 이동형 복합 스크러버
JP2020120912A (ja) * 2019-01-30 2020-08-13 株式会社菊池製作所 超音波プローブ支持装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000010609U (ko) * 1998-11-24 2000-06-15 양경철 상품진열용 폴
KR101534534B1 (ko) * 2015-03-02 2015-07-08 주식회사 유니온이엔지 이동형 복합 스크러버
JP2020120912A (ja) * 2019-01-30 2020-08-13 株式会社菊池製作所 超音波プローブ支持装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8876957B2 (en) Adsorption rotor
KR101851448B1 (ko) 파이프를 구비한 종방향 흔들림 방지 버팀장치
KR102037280B1 (ko) 측면 돌출형 배관 용접 커버
KR200496392Y1 (ko) 스크러버 배기장치
KR200441454Y1 (ko) 스프링클러 헤드 체결장치
KR100241139B1 (ko) 에어 나이프를 이용한 이동식 분진비산억제장치 및 방법
US7722703B2 (en) Gas adsorption concentration device, seal therefor and method of concentrating high boiling point VOCS using device
JP3984242B2 (ja) 分離型分配ローターを採択した水平式ローター分配機
KR20230000856U (ko) 네일 아티스트 작업장의 공기를 정화하는 장치
JP2012220105A (ja) 安全キャビネット
JP3897647B2 (ja) ファンフィルタユニット
JP4658519B2 (ja) セラミックフィルター取付構造と集塵装置
CN209586724U (zh) 一种废气处理塔的废气输送装置
JP2009006238A (ja) 生ゴミ粉砕機の取付装置および取付方法
JP2008101702A (ja) 既設管遮断工法
KR200436683Y1 (ko) 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치
JP5554553B2 (ja) フィルタ装置およびその交換方法
JP6588593B2 (ja) フランジ接続装置
JP2013083487A (ja) フィルタユニット及びその交換装置
JP5627425B2 (ja) 囲枠付きエアフィルタ用着脱機構
CN102251989B (zh) 风机和过滤器组合的垂直安装装置
JPS5926119A (ja) フイルタ−装置
KR101097946B1 (ko) 화학펌프 필터용 힌지장치
CN212236481U (zh) 一种基于建筑环境的环境保护用空气净化装置
CN117139321B (zh) 一种移动式焊烟净化器

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment