KR200436683Y1 - 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 관한 것으로써, 그 주요 구성은 소화헤드 교체시 발생하는 분진을 모아주는 홀컵과, 상기 홀컵 하부에 부착되어 홀컵이 흔들리지 않도록 바닥과 천정을 지지하는 지지대와, 상기 지지대에 부착되어 상기 홀컵에 흘러내리는 분진을 청정실 외부로 유출시키는 진공호스를 포함하여 이루어지는 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 있어서, 상기 홀컵은 분진을 외부로 유출하기 위하여 진공 흡입시 공기의 흐름을 원활히 할 수 있도록 몸체 상부에 다수개의 미세구멍을 추가로 가지고 있고, 상기 지지대는 천정고가 서로 상이한 지역의 소화헤드 설치시 바닥과 천정을 밀폐하여 지지할 수 있도록 상기 지지대의 몸체에 높이조절 유닛을 추가로 보유하고 있는 것을 특징으로 하며, 위와 같은 구성에 의하여 청정실의 천정 해체공사 없이도 소화헤드의 설치가 용이하게 되어 천정 해체공사로 인해 발생할 수 있는 매출손실을 없애고 생산성을 향상시킬 수 있으며 공사비를 대폭 절감할 수 있는 효과를 가진다.

공간밀폐 집진장치, 청정실, 홀컵, 소화헤드

Description

청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치{HERMETIC DUST COLLECTOR FOR INSTALLING SPRINGKLER IN CLEAN ROOM}

도 1은 본 고안에 따른 공간밀폐 집진장치의 조립구성도

도 2는 소화헤드 구멍 천공시 본 고안에 따른 공간밀폐 집진장치의 상부 설치예를 나타낸 개략도

도 3는 본 고안에 따른 공간밀폐 집진장치 상부 홀컵의 구성을 나타낸 개략도

도 4는 본 고안에 따른 공간밀폐 집진장치의 실물사진

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 공간밀폐 집진장치 11: 홀컵

12: 지지대 13: 진공호스

14: 블라인드 판넬 15: 청정실 바닥

16: 소화헤드 유닛 111: 미세홀

112: 고무 패킹 121: 높이조절 유닛

122: 바닥지지대

본 고안은 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 관한 것이다.
반도체, 엘시디, 피디피 등 미세공정작업이 필요한 청정실의 경우 스프링클러 소화설비의 오작동 또는 스프링클러 소화헤드 부분의 누수로 인해 고가 생산장비의 물피해가 발생하거나 생산공정에 차질이 생길 경우 그 피해액이 천문학적인 숫자로 발생할 수 있기 때문에 최근까지 소화설비의 의무가 면제되어 왔으나, 대만, 일본 등지의 반도체 공장에서 대형 화재발생 사고 이후 모든 청정실에서도 자동 스프링클러 소화설비를 갖추도록 법 개정이 이루어졌을 뿐 아니라 청정실에 소화설비가 없을 경우 재보험회사들이 화재보험 가입을 거부하고 있는 실정이다. 그러나 이미 과거부터 신축되어 있는 청정실 대다수는 소화설비를 갖추지 못하고 있기 때문에 소화설비 공사로 인해 공장가동을 중단하지 않고도 소화설비를 갖출 수 있는 방법에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.

청정실은 크게 제품을 직접 생산하는 천정이 필터층으로 이루어진 지역과 제품 생산 장비에 각종 유틸리티를 제공하는 장치가 배치되어 천정이 막혀진 블라인드 판넬로 이루어진 유틸리티 지역으로 구분되는데 필터층으로 이루어진 지역의 소화헤드 설치방법은 대한민국 실용신안 "제 0375942"로 소개된 소화헤드가 일체화된 청정실용 필터에 의하여 필터 교체시 소화헤드가 부착된 필터로 교체함으로써 소화 설비를 갖출 수 있다.

그러나, 이러한 방법은 교체작업이 진행되는 동안 청정실 내부로 유입되는 외부 공기를 차단하기 위하여 교체되는 필터의 면적에 해당하는 별도의 밀폐수단이 필요하게 되는데, 청정실의 천정이 필터층으로 이루어진 지역에서는 필터 교체 작업을 위한 청정실 내부의 작업공간 확보가 용이하여 상기 장치의 적용이 가능하지만, 블라인드 판넬 구역과 같이 상기 블라인드 판넬 하부로 각종 배관 및 배선 라인이 배치되어 있는 경우에는 상기의 밀폐수단을 블라인드 판넬 하부에 고정시킬 공간확보가 용이하지 않다. 이와 같이 블라인드 판넬 구역에서는 상기 블라인드 판넬 하부에 설치된 배관 및 배선을 해체하지 않고서는 상기 블라인드 판넬의 교체설치가 불가능하기 때문에 소화설비를 갖추기 위해 상기와 같이 배관 및 배선을 해체하게 되면 청정실의 전체 또는 일부의 가동을 중단할 수밖에 없으므로 생산차질로 인한 막대한 매출손실이 발생할 우려가 있어 이러한 방법으로의 소화헤드 설치는 많은 문제점을 내포하고 있다.

따라서, 본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 소화설비를 갖추지 못한 청정실에서 소화헤드 설치시 청정실의 가동 중단없이 소화헤드 설치가 용이하여 청정실 가동중단에 따른 생산차질 및 매출손실을 없앨 수 있는 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 고안의 또 다른 목적은 소화헤드 설치시 청정실 내부의 공사면적을 최소화함으로써 생산공정과의 간섭면적이 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 고안의 또 다른 목적은 청정실의 천정 블라인드 판넬을 해체하지 않고도 블라인드 판넬의 천공만으로 간단하고 신속하게 소화헤드를 설치할 수 있어 소화설비 공사비를 최소화할 수 있는 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치는 소화헤드 교체시 발생하는 분진을 모아주는 홀컵과, 상기 홀컵 하부에 부착되어 홀컵이 흔들리지 않도록 바닥과 천정을 지지하는 지지대와, 상기 지지대에 부착되어 상기 홀컵에 흘러내리는 분진을 청정실 외부로 유출시키는 진공호스를 포함하여 이루어지는 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 있어서, 상기 홀컵은 분진을 외부로 유출하기 위하여 진공 흡입시 공기의 흐름을 원활히 할 수 있도록 몸체 상부에 다수개의 미세구멍을 추가로 가지고 있고, 상기 지지대는 천정고가 서로 상이한 지역의 소화헤드 설치시 바닥과 천정을 밀폐하여 지지할 수 있도록 상기 지지대의 몸체에 높이조절 유닛을 추가로 보유하고 있는 것을 특징으로 한다.

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이하 본 고안의 바람직한 실시 예에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치를 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1에는 본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치를 설치하였을 경우의 조립구성도가 개략적으로 도시되어 있다.

본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐집진장치는 도 1에 도시된 바와 같이 하나의 홀컵(11)과, 하나의 지지대((12)와, 하나의 진공호스(13)를 포함하여 이루어진다.

먼저 소화헤드가 설치될 예정인 청정실의 블라인드 판넬(14) 하부에 상기 공간밀폐 집진장치(10)를 위치시킨 후 상기 홀컵(11)을 상기 블라인드 판넬(14)에 상향으로 밀착시킨다. 그리고, 상기 지지대(12)의 중간 부근에 위치되어 있는 높이조절 유닛(121)을 이용하여 상기 홀컵(11)과 하부의 바닥지지대(122)가 각각 상기 블라인드 판넬(14)과 하부 바닥면(15)에 단단하게 고정될 수 있도록 높이를 조절하여 상기 블라인드 판넬(14)의 소화헤드용 구멍 천공작업을 준비한다.

도 2는 소화헤드용 구멍 천공시 본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치의 상부 설치 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.

상기와 같이 본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐집진장치(10)를 고정하여 천공작업 준비가 완료된 후 상기 진공호스(13)과 연결된 청정실 외부의 진공펌프를 작동시키면 도 2에 도시된 바와 같이 상기 홀컵(11) 내부는 공기의 압력이 순간적으로 제로상태에 이르며 상기 홀컵(11)의 상부에 위치한 고무 패킹(112)이 상기 블라인드 판넬(14)에 흡착되어 상기 홀컵(11)의 내부는 진공상태에 이른다. 그리고 상기 블라인드 판넬(14) 상부의 천정 공간에서 코어 드릴을 이용하여 상기 블라인드 판넬(14)의 소화헤드가 설치될 예정위치에 소화헤드용 구멍을 천공하면 천공시 발생된 분진은 상기 공간밀폐 집진장치(10)의 상기 홀컵(11) 하부에 연결된 진공 호스(13)를 따라 청정실 외부로 배출된다. 천공작업이 완료되면 천공 된 구멍에 소화헤드 유닛(16)을 설치하고 상기 소화헤드 유닛(16)의 측벽면을 따라 외기가 유입되는 것을 방지하기 위하여 상기 블라인드 판넬(14) 상부에 겔 또는 실리콘 등을 주입하여 기밀을 유지토록 한다. 이때, 상기 블라인드 판넬(14) 하부의 청정실 내부에는 작업자가 위치하여 상기 지지대(12)가 느슨해지지 않도록 감시하는 것이 바람직하며 상기 홀컵(11)의 재질은 상기 작업자가 작업상황을 알 수 있도록 투명의 플라스틱 재질로 구성하는 것이 바람직하다.

상기와 같은 과정을 통하여 천공 및 소화헤드 설치작업이 완료되고 추가적으로 분진이 발생하지 않는 것이 확인이 되면 청정실 외부의 진공펌프 작동을 중지시키고 상기 높이조절 유닛(121)을 조절하여 상기 공간밀폐집진장치(10)를 상기 블라인드 판넬(14)과 상기 바닥면(15)으로부터 분리함으로써 소화헤드 설치작업을 완료한다.

도 3은 본 고안에 따른 공간밀폐 집진장치 상부 홀컵(11)의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.

도 3을 참조하면 본 고안에 따른 공간밀폐 집진장치(10)의 상부 홀컵(11)은 천공작업시 발생하는 분진을 상기 진공호스(13)를 통하여 청정실 외부로 효과적으로 배출하기 위한 다수의 미세홀(111)과 진공펌프 작동시 상기 홀컵(11)을 상기 블라인드 판넬(14)에 압착시켜 천공작업시 발생한 분진이 상기 홀컵(11)과 상기 블라 인드 판넬(14) 사이의 미세한 틈으로 청정실 내부로 유입되는 것을 방지하기 위하여 상기 홀컵(11)의 상부에 고무 패킹(112)을 추가로 보유하는 것을 특징으로 하며, 상기와 같은 구성에 의하여 청정실 외부에서 진공펌프를 작동할 경우 펌프의 흡입압력이 상기 미세홀(111)에 가해지는 대기의 압력보다 높기 때문에 천공작업이 진행되는 동안 상기 홀컵(11)의 내부를 대기의 압력보다 낮은 상태로 유지시킴과 동시에 진공펌프 방향으로의 공기의 흐름을 유도하여 분진 흡입작용을 원활하게 한다.

상기의 설명에 의한 실시예는 본 고안의 기술 사상을 이탈하지 않은 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능하다. 따라서, 본 고안의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정하는 것이 아니라 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

위에서 설명한 바와 같이 본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 의하면, 소화설비를 갖추지 못한 청정실에서 소화헤드 설치시 청정실의 가동 중단없이 소화헤드 설치가 용이하여 청정실 가동중단에 따른 생산차질 및 매출손실을 없앨 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 의하면, 소화헤드 설치시 청정실 내부의 공사면적을 최소화할 수 있어 생산공정과의 간섭면 적이 줄어들게 되므로 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 고안에 따른 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 의하면, 청정실의 천정 블라인드 판넬을 해체하지 않고도 블라인드 판넬의 천공만으로 간단하고 신속하게 소화헤드를 설치할 수 있어 소화설비 공사비를 최소화할 수 있는 효과가 있다.

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4. 소화헤드 교체시 발생하는 분진을 모아주는 홀컵과, 상기 홀컵 하부에 부착되어 홀컵이 흔들리지 않도록 바닥과 천정을 지지하는 지지대와, 상기 지지대에 부착되어 상기 홀컵에 흘러내리는 분진을 청정실 외부로 유출시키는 진공호스를 포함하여 이루어지는 청정실 소화헤드 설치용 공간밀폐 집진장치에 있어서,

   상기 홀컵은 분진을 외부로 유출하기 위하여 진공 흡입시 공기의 흐름을 원활히 할 수 있도록 몸체 상부에 다수개의 미세구멍을 추가로 가지고 있고,

   상기 지지대는 천정고가 서로 상이한 지역의 소화헤드 설치시 바닥과 천정을 밀폐하여 지지할 수 있도록 상기 지지대의 몸체에 높이조절 유닛을 추가로 보유하고 있는 것을 특징으로 하는 청정실 소화 헤드 설치용 공간밀폐 집진장치.

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