KR101534534B1 - 이동형 복합 스크러버 - Google Patents

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KR101534534B1
KR101534534B1 KR1020150028921A KR20150028921A KR101534534B1 KR 101534534 B1 KR101534534 B1 KR 101534534B1 KR 1020150028921 A KR1020150028921 A KR 1020150028921A KR 20150028921 A KR20150028921 A KR 20150028921A KR 101534534 B1 KR101534534 B1 KR 101534534B1
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scrubber
organic solvent
inlet port
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유광현
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주식회사 유니온이엔지
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Abstract

본 발명은 이동형 복합 스크러버에 관한 것으로서, 서로 다른 종류의 유해성 가스가 처리되는 제1 및 제2 가스 처리공간이 격벽에 의해 부분적으로 분리 구획되는 스크러버 본체; 상기 스크러버 본체의 하단부에 이동 가능하게 마련되는 다수의 이동식 휠; 상기 스크러버 본체의 상부에 배치되며, 상기 유해성 가스가 처리되어 정화된 정화가스가 배출되는 정화가스 배출부; 상기 스크러버 본체의 제1 가스 처리공간에 마련되는 카본 필터; 상기 카본 필터가 배치되는 상기 스크러버 본체의 일측 상부 영역에 배치되며, 유기용매 가스 또는 상기 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스가 유입되는 제1 가스 인렛 포트(gas inlet port); 상기 제1 가스 인렛 포트에 연결되며, 상기 유기용매 가스 또는 상기 유기용매 가스와 상기 산 가스의 복합 가스가 유입되도록 가이드하는 제1 암 후드 유닛; 상기 스크러버 본체의 제2 가스 처리공간에 배치되는 스프레이 노즐 유닛; 상기 스프레이 노즐 유닛이 배치되는 상기 스크러버 본체의 타측 하부 영역에 배치되며, 상기 산 가스가 유입되는 제2 가스 인렛 포트(gas inlet port); 및 상기 제2 가스 인렛 포트에 연결되며, 상기 산 가스가 유입되도록 가이드하는 제2 암 후드 유닛을 포함한다.

Description

이동형 복합 스크러버{Movable complex scrubber}
본 발명은, 이동형 복합 스크러버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 실험실 등에서 위치를 옮겨 가면서 사용할 수 있어 사용상의 편의성에 증대될 수 있으며, 유기용매 가스와 산 가스 등의 다양한 유해성 가스를 그 물성별로 효과적으로 처리할 수 있어 가스의 처리효율을 향상시킬 수 있는 이동형 복합 스크러버에 관한 것이다.
반도체 제조설비나 실험실 등에서는 해당 설비의 공정이나 실험을 위해 많은 종류의 가스가 사용된다.
이때, 반도체 제조공정 혹은 실험이 진행되는 동안 각종 발화성 가스와 부식성 가스, 그리고 유독 성분을 함유한 가스 등의 유해성 가스가 다량 발생될 수 있는데, 이러한 유해성 가스의 처리를 위해 스크러버(scrubber)가 사용된다.
현재 사용되는 스크러버의 경우, 유해성 가스의 처리 방식에 따라 버닝(burning) 방식과, 웨팅(wetting) 방식으로 크게 대별된다.
버닝 방식 스크러버는 수소 버너 등의 버너 속을 유해성 가스가 통과되도록 하여 유해성 가스를 직접 연소시키거나 또는 열원을 이용하여 고온의 챔버를 형성한 후 그 속으로 유해성 가스가 통과되도록 하여 간접적으로 연소시키는 구조를 갖는다.
이러한 버닝 방식 스크러버의 경우, 발화성 가스의 처리에는 탁월한 효과가 있으나 잘 연소되지 않은 가스의 처리에는 부적절한 것으로 알려지고 있다.
이에 반해, 웨팅 방식 스크러버는 물을 사용하여 유해성 가스를 세정 또는 냉각하는 방식으로서, 비교적 간단한 구성을 가지므로 제작이 용이하고 대용량화할 수 있다는 장점이 있다.
하지만, 대다수의 웨팅 방식 스크러버의 경우, 대형 설비에 고정형으로 설치된 것이 대부분이어서 실험실 등을 이동하면서 사용하기가 용이하지 않으며, 무엇보다도 유기용매 가스, 혹은 유기용매 가스와 산 가스가 혼합된 가스처럼 비수용성이거나 복합 가스인 경우, 처리가 용이하지 않은 문제점이 제기되고 있으므로 이를 해결하기 위한 연구 개발이 필요한 실정이다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2008-0021305호
본 발명의 목적은, 실험실 등에서 위치를 옮겨 가면서 사용할 수 있어 사용상의 편의성에 증대될 수 있으며, 유기용매 가스와 산 가스 등의 다양한 유해성 가스를 그 물성별로 효과적으로 처리할 수 있어 가스의 처리효율을 향상시킬 수 있는 이동형 복합 스크러버를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 서로 다른 종류의 유해성 가스가 처리되는 제1 및 제2 가스 처리공간이 격벽에 의해 부분적으로 분리 구획되는 스크러버 본체; 상기 스크러버 본체의 하단부에 이동 가능하게 마련되는 다수의 이동식 휠; 상기 스크러버 본체의 상부에 배치되며, 상기 유해성 가스가 처리되어 정화된 정화가스가 배출되는 정화가스 배출부; 상기 스크러버 본체의 제1 가스 처리공간에 마련되는 카본 필터; 상기 카본 필터가 배치되는 상기 스크러버 본체의 일측 상부 영역에 배치되며, 유기용매 가스 또는 상기 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스가 유입되는 제1 가스 인렛 포트(gas inlet port); 상기 제1 가스 인렛 포트에 연결되며, 상기 유기용매 가스 또는 상기 유기용매 가스와 상기 산 가스의 복합 가스가 유입되도록 가이드하는 제1 암 후드 유닛; 상기 스크러버 본체의 제2 가스 처리공간에 배치되는 스프레이 노즐 유닛; 상기 스프레이 노즐 유닛이 배치되는 상기 스크러버 본체의 타측 하부 영역에 배치되며, 상기 산 가스가 유입되는 제2 가스 인렛 포트(gas inlet port); 및 상기 제2 가스 인렛 포트에 연결되며, 상기 산 가스가 유입되도록 가이드하는 제2 암 후드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버에 의해 달성된다.
상기 제1 암 후드 유닛과 상기 제2 암 후드 유닛 모두는, 상호간 상대 회전이 가능한 다수의 다관절 암; 및 상기 다관절 암의 단부에 결합되어 상기 유기용매 가스 또는 상기 산 가스의 유입을 가이드하는 벨 마우스를 포함할 수 있다.
상기 스크러버 본체 상에서 상기 제1 암 후드 유닛의 위치가 상기 제2 암 후드 유닛의 위치보다 높게 배치될 수 있다.
상기 카본 필터는 상기 제1 가스 처리공간에서 상호 이격되게 다수 개 배치될 수 있다.
상기 제2 가스 처리공간에서 상기 스프레이 노즐 유닛의 상부 영역에는 데미스터 존(demister zone)이 배치되고, 상기 스프레이 노즐 유닛의 하부 영역에는 폴 링 존(pall ring zone)이 배치될 수 있다.
상기 스크러버 본체 내의 하부 영역에는 워터 탱크 존(water tank zone)이 마련될 수 있으며, 상기 스프레이 노즐 유닛은 상기 워터 탱크 존에서 상기 제2 가스 처리공간을 따라 상기 스크러버 본체 내의 상부 측으로 배치되는 워터 라인 상에 결합될 수 있으며, 상기 워터 라인에는 펌프가 연결될 수 있으며, 상기 제2 가스 처리공간 영역의 상기 스크러버 본체에는 화학약품을 공급하는 화학약품 공급 플랜지가 마련될 수 있다.
상기 정화가스 배출부는, 상기 정화가스가 배출되는 가스 아웃렛 포트(gas outlet port); 상기 가스 아웃렛 포트에 연결되는 임펠러; 및 상기 임펠러에 연결되어 상기 임펠러를 구동시키는 구동모터를 포함할 수 있으며, 상기 정화가스 배출부는 상기 가스 아웃렛 포트의 노출 단부를 제외한 나머지 영역이 커버에 의해 차폐될 수 있으며, 상기 커버에는 다수의 통공이 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 실험실 등에서 위치를 옮겨 가면서 사용할 수 있어 사용상의 편의성에 증대될 수 있으며, 유기용매 가스와 산 가스 등의 다양한 유해성 가스를 그 물성별로 효과적으로 처리할 수 있어 가스의 처리효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동형 복합 스크러버의 정면 구조도,
도 2는 제1 암 후드 유닛을 제거한 상태의 도 1의 좌측면도,
도 3은 제2 암 후드 유닛을 제거한 상태의 도 1의 우측면도,
도 4는 도 1의 평면 구조도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동형 복합 스크러버의 정면 구조도, 도 2는 제1 암 후드 유닛을 제거한 상태의 도 1의 좌측면도, 도 3은 제2 암 후드 유닛을 제거한 상태의 도 1의 우측면도, 그리고 도 4는 도 1의 평면 구조도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 이동형 복합 스크러버는 실험실 등에서 위치를 옮겨 가면서 사용할 수 있어 사용상의 편의성이 증대될 수 있으며, 유기용매 가스와 산 가스 등의 다양한 유해성 가스를 그 물성별로 효과적으로 처리할 수 있어 가스의 처리효율을 향상시킬 수 있도록 한 것으로서, 스크러버 본체(110)와, 스크러버 본체(110)의 상부에 배치되며, 유해성 가스가 처리되어 정화된 정화가스가 배출되는 정화가스 배출부(120)를 포함한다.
스크러버 본체(110)의 하단부 코너 영역에는 다수의 이동식 휠(113)이 마련된다.
다수의 이동식 휠(113)로 인해 본 실시예에 따른 이동형 복합 스크러버의 위치를 용이하게 이동시킬 수 있다. 특히, 실험실 등에서 위치를 옮겨 가면서 이동형 복합 스크러버를 사용할 수 있어 사용상의 편의성이 증대될 수 있다.
이동식 휠(113)에는 도시 않은 브레이킹 장치가 부가될 수 있는데, 브레이킹 장치로 인해 이동형 복합 스크러버가 임의로 이동되는 현상을 저지할 수 있다.
한편, 스크러버 본체(110)는 유해성 가스가 처리되는 장소를 형성한다. 특히, 본 실시예에서의 스크러버 본체(110)는 격벽(111)에 의해 부분적으로 분리 구획되는 제1 및 제2 가스 처리공간(110a,110b)을 통해 서로 다른 종류의 유해성 가스가 처리될 수 있도록 하고 있다.
즉 제1 가스 처리공간(110a)을 통해서는 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스가 처리될 수 있고, 제2 가스 처리공간(110b)을 통해서는 산 가스가 처리될 수 있다. 물론, 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스는 제1 가스 처리공간(110a)과 제2 가스 처리공간(110b)을 순차적으로 지나면서 처리된다.
유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스의 경우, 단독의 산 가스와는 달리 카본 필터(130)로 처리할 필요가 있다. 카본 필터(130)는 염소, 냄새, 유기물질 등을 제거하는 역할을 한다.
이에, 스크러버 본체(110)의 제1 가스 처리공간(110a)에는 카본 필터(130)가 마련된다. 본 실시예에서 카본 필터(130)는 제1 가스 처리공간(110a)에서 상호 이격되게 다수 개 배치될 수 있다. 따라서 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스의 처리효율을 높일 수 있다.
참고로, 카본 필터(130)는 주기적으로, 예컨대 6개월 사용 시 교체할 필요가 있다는 점을 고려해볼 때, 스크러버 본체(110)의 제1 가스 처리공간(110a)에는 카본 필터(130)의 교체가 용이해질 수 있도록 카본 필터(130)를 지지하는 수단들, 예컨대 레일식 교체 슬롯(미도시) 등이 갖춰질 수 있다.
유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스가 스크러버 본체(110)의 제1 가스 처리공간(110a)으로 유입되어 카본 필터(130)를 지날 수 있도록 카본 필터(130)가 배치되는 스크러버 본체(110)의 일측 상부 영역에는 제1 가스 인렛 포트(gas inlet port, 141)가 마련된다. 제1 가스 인렛 포트(141)는 카본 필터(130)보다 높은 위치에 배치된다.
제1 가스 인렛 포트(141)에는 제1 암 후드 유닛(150)이 연결된다. 제1 암 후드 유닛(150)은 제1 가스 인렛 포트(141)에 연결되며, 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스가 유입되도록 가이드한다.
제1 암 후드 유닛(150)은 상호간 상대 회전이 가능한 다수의 제1 다관절 암(151)과, 제1 다관절 암(151)의 단부에 결합되어 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스의 유입을 가이드하는 제1 벨 마우스(152)를 포함한다. 이에, 제1 다관절 암(151)을 움직여서 제1 벨 마우스(152)를 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스가 발생되는 장소에 배치할 수 있다.
한편, 스크러버 본체(110)의 제2 가스 처리공간(110b)에서는 산 가스가 단독으로 처리된다.
산 가스의 경우, 유기용매 가스와는 달리 처리가 다소 간편할 수 있기 때문에 제2 가스 처리공간(110b) 내에는 카본 필터(130) 등이 갖춰지지 않아도 무방하다.
앞서 기술한 것처럼, 제1 가스 처리공간(110a)과 제2 가스 처리공간(110b)은 하부 영역에서 서로 연통되어 있기 때문에 도 1의 화살표처럼 제1 가스 처리공간(110a)을 따라 유동하는 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스는 카본 필터(130)들을 지난 후에 제2 가스 처리공간(110b)을 거쳐 정화가스 배출부(120)로 배출될 수 있다.
스크러버 본체(110)의 제2 가스 처리공간(110b)에는 산 가스의 습식처리를 위한 수단으로서, 스프레이 노즐 유닛(135)이 배치된다.
스프레이 노즐 유닛(135)에서 분사되는 워터 혹은 화학약품이 포함된 워터가 산 가스로 향하게 됨으로써 산 가스가 정화처리될 수 있다.
스크러버 본체(110) 내의 하부 영역에는 워터 탱크 존(water tank zone, 181)이 마련되는데, 스프레이 노즐 유닛(135)은 워터 탱크 존(181)에서 제2 가스 처리공간(110b)을 따라 스크러버 본체(110) 내의 상부 측으로 배치되는 워터 라인(183) 상에 결합될 수 있다.
스크러버의 용량에 따라 워터 라인(183) 상에 결합되는 스프레이 노즐 유닛(135)의 개수가 달라질 수 있다.
워터 라인(183)에는 펌프(185)가 연결되어 워터 탱크 존(181) 내의 워터를 스프레이 노즐 유닛(135) 측으로 순환시킬 수 있다.
스프레이 노즐 유닛(135)이 배치되는 제2 가스 처리공간(110b) 영역의 스크러버 본체(110)에는 화학약품을 공급하는 화학약품 공급 플랜지(187)가 마련된다.
단순 워터만으로 산 가스의 처리가 잘 이루어지지 않을 때, 화학약품 공급 플랜지(187)를 통해 정화처리에 효율이 좋은 화학약품을 공급할 수 있다.
제2 가스 처리공간(110b)에서 스프레이 노즐 유닛(135)의 상부 영역에는 데미스터 존(demister zone, 171)이 배치되고, 스프레이 노즐 유닛(135)의 하부 영역에는 폴 링 존(pall ring zone, 172)이 배치된다.
데미스터 존(171)에 마련되는 데미스터(demister)는 유기용매 가스와 산 가스 등의 유해성 가스에 함유되어 있는 수분을 제거하는 역할을 한다.
유기용매 가스와 산 가스 등의 유해성 가스는 데미스터를 지나면서 수분이 제거된 후, 정화가스 배출부(120)를 통해 배출될 수 있다. 데미스터는 인조 섬유로 만들어진 필터 타입이 적용될 수 있는데, 이를 벗어나 데미스터는 다양한 재질로 제작될 수도 있을 것이다.
폴 링 존(pall ring zone, 172)에 마련되는 폴 링(pall ring)은 산 가스에서 떨어지는 이물질을 포집하여 낙하시키는 역할을 한다.
한편, 스프레이 노즐 유닛(135)이 배치되는 스크러버 본체(110)의 타측 하부 영역에는 산 가스가 유입되는 제2 가스 인렛 포트(gas inlet port, 142)가 마련된다.
그리고 제2 가스 인렛 포트(142)에는 산 가스가 유입되도록 가이드하는 제2 암 후드 유닛(160)이 마련된다. 제2 암 후드 유닛(160)은 전술한 제1 암 후드 유닛(150)의 구조와 동일하다.
즉 제2 암 후드 유닛(160)은 상호간 상대 회전이 가능한 다수의 제2 다관절 암(161)과, 제2 다관절 암(161)의 단부에 결합되어 산 가스의 유입을 가이드하는 제2 벨 마우스(162)를 포함한다. 제2 다관절 암(161)을 움직여서 제2 벨 마우스(162)를 산 가스가 발생되는 장소에 배치할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 스크러버 본체(110) 상에서 제1 암 후드 유닛(150)의 위치는 제2 암 후드 유닛(160)의 위치보다 높게 배치된다.
정화가스 배출부(120)는 스크러버 본체(110)의 상부에 배치되며, 유해성 가스가 처리되어 정화된 정화가스가 배출되는 장소를 이룬다.
이러한 정화가스 배출부(120)는 정화가스가 배출되는 가스 아웃렛 포트(gas outlet port, 121)와, 가스 아웃렛 포트(121)에 연결되는 임펠러(122)와, 임펠러(122)에 연결되어 임펠러(122)를 구동시키는 구동모터(123)를 포함한다.
이에, 구동모터(123)가 동작되어 임펠러(122)를 구동시키면 데미스터 존(171)을 지나면서 수분이 제거된 상태의 정화처리 가스가 가스 아웃렛 포트(121)를 통해 배출될 수 있다.
이러한 정화가스 배출부(120)는 가스 아웃렛 포트(121)의 노출 단부를 제외한 나머지 영역이 커버(125)에 의해 차폐될 수 있는데, 도 4에 도시된 것처럼 커버(125)에는 다수의 통공(126)이 형성되어 구동모터(123)가 과열되는 것을 저지시킬 수 있다.
이러한 구성에 의해, 유기용매 가스 또는 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스는 제1 암 후드 유닛(150)을 통해 제1 가스 처리공간(110a)의 카본 필터(130)를 통과한 후 제2 가스 처리공간(110b)으로 향한 다음 폴 링 존(172), 스프레이 노즐 유닛(135) 및 데미스터 존(171)을 통해 가스 아웃렛 포트(121)로 배출될 수 있고, 산 가스는 제2 암 후드 유닛(160) 쪽으로 직접 유입되어 폴 링 존(172), 스프레이 노즐 유닛(135) 및 데미스터 존(171)을 통해 가스 아웃렛 포트(121)로 배출될 수 있다.
이와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 실험실 등에서 위치를 옮겨 가면서 사용할 수 있어 사용상의 편의성에 증대될 수 있으며, 유기용매 가스와 산 가스 등의 다양한 유해성 가스를 그 물성별로 효과적으로 처리할 수 있어 가스의 처리효율을 향상시킬 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
110 : 스크러버 본체 110a : 제1 가스 처리공간
110b : 제2 가스 처리공간 111 : 격벽
113 : 이동식 휠 120 : 정화가스 배출부
121 : 가스 아웃렛 포트 122 : 임펠러
123 : 구동모터 125 : 커버
126 : 통공 130 : 카본 필터
135 : 스프레이 노즐 유닛 141 : 제1 가스 인렛 포트
142 : 제2 가스 인렛 포트 150 : 제1 암 후드 유닛
151 : 제1 다관절 암 152 : 제1 벨 마우스
160 : 제2 암 후드 유닛 161 : 제2 다관절 암
162 : 제2 벨 마우스 171 : 데미스터 존
172 : 폴 링 존 181 : 워터 탱크 존
183 : 워터 라인 185 : 펌프
187 : 화학약품 공급 플랜지

Claims (7)

  1. 서로 다른 종류의 유해성 가스가 처리되는 제1 및 제2 가스 처리공간이 격벽에 의해 부분적으로 분리 구획되는 스크러버 본체;
    상기 스크러버 본체의 하단부에 이동 가능하게 마련되는 다수의 이동식 휠;
    상기 스크러버 본체의 상부에 배치되며, 상기 유해성 가스가 처리되어 정화된 정화가스가 배출되는 정화가스 배출부;
    상기 스크러버 본체의 제1 가스 처리공간에 마련되는 카본 필터;
    상기 카본 필터가 배치되는 상기 스크러버 본체의 일측 상부 영역에 배치되며, 유기용매 가스 또는 상기 유기용매 가스와 산 가스의 복합 가스가 유입되는 제1 가스 인렛 포트(gas inlet port);
    상기 제1 가스 인렛 포트에 연결되며, 상기 유기용매 가스 또는 상기 유기용매 가스와 상기 산 가스의 복합 가스가 유입되도록 가이드하는 제1 암 후드 유닛;
    상기 스크러버 본체의 제2 가스 처리공간에 배치되는 스프레이 노즐 유닛;
    상기 스프레이 노즐 유닛이 배치되는 상기 스크러버 본체의 타측 하부 영역에 배치되며, 상기 산 가스가 유입되는 제2 가스 인렛 포트(gas inlet port); 및
    상기 제2 가스 인렛 포트에 연결되며, 상기 산 가스가 유입되도록 가이드하는 제2 암 후드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 암 후드 유닛과 상기 제2 암 후드 유닛 모두는,
    상호간 상대 회전이 가능한 다수의 다관절 암; 및
    상기 다관절 암의 단부에 결합되어 상기 유기용매 가스 또는 상기 산 가스의 유입을 가이드하는 벨 마우스를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 스크러버 본체 상에서 상기 제1 암 후드 유닛의 위치가 상기 제2 암 후드 유닛의 위치보다 높게 배치되는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 카본 필터는 상기 제1 가스 처리공간에서 상호 이격되게 다수 개 배치되는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 가스 처리공간에서 상기 스프레이 노즐 유닛의 상부 영역에는 데미스터 존(demister zone)이 배치되고, 상기 스프레이 노즐 유닛의 하부 영역에는 폴 링 존(pall ring zone)이 배치되는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 스크러버 본체 내의 하부 영역에는 워터 탱크 존(water tank zone)이 마련되며,
    상기 스프레이 노즐 유닛은 상기 워터 탱크 존에서 상기 제2 가스 처리공간을 따라 상기 스크러버 본체 내의 상부 측으로 배치되는 워터 라인 상에 결합되며,
    상기 워터 라인에는 펌프가 연결되며,
    상기 제2 가스 처리공간 영역의 상기 스크러버 본체에는 화학약품을 공급하는 화학약품 공급 플랜지가 마련되는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 정화가스 배출부는,
    상기 정화가스가 배출되는 가스 아웃렛 포트(gas outlet port);
    상기 가스 아웃렛 포트에 연결되는 임펠러; 및
    상기 임펠러에 연결되어 상기 임펠러를 구동시키는 구동모터를 포함하며,
    상기 정화가스 배출부는 상기 가스 아웃렛 포트의 노출 단부를 제외한 나머지 영역이 커버에 의해 차폐되며,
    상기 커버에는 다수의 통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 이동형 복합 스크러버.
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