KR200472750Y1 - 다이 이젝팅 유닛 및 다이 픽업 장치 - Google Patents

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Abstract

에지 영역 및 중심 영역을 갖는 적어도 하나의 다이로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 이젝팅하는 다이 이젝팅 유닛은 상기 다이에 대응되는 형상을 갖는 중공 및 상기 다이싱 테이프를 전체적으로 진공 흡착하도록 흡착홀이 형성된 몸체, 상기 중공에 승강 가능하도록 구비되며, 그 내부에 유체 통로가 형성되며 상기 에지 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제1 영역을 상승시키는 승강 부재, 상기 승강 부재의 상단부를 커버하여, 상기 중심 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제2 영역에 대응되도록 구비된 연성 부재 및 상기 유체 통로를 통하여 상기 연성 부재를 에어 블로잉하여, 상기 연성 부재를 팽창시키는 에어 블로잉부를 포함한다.

Description

다이 이젝팅 유닛 및 다이 픽업 장치{DIE EJECTING UNIT AND APPARATUS OF PICKING UP A DIE}
본 고안은 다이 이젝팅 유닛 및 다이 픽업 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 고안은 복수의 다이들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프로부터 다이를 이젝팅하는 다이 이젝팅 유닛 및 상기 다이 이젝팅 유닛을 포함하며 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 픽업하는 다이 픽업 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 분할될 수 있으며 다이 본딩 공정을 통해 기판 상에 본딩될 수 있다.
상기 다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 복수의 다이들로 분할된 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 기판 상에 부착시키기 위한 다이 본딩 장치를 포함할 수 있다. 상기 다이 본딩 장치는 상기 웨이퍼가 부착된 웨이퍼 링을 지지하는 스테이지 유닛과 상기 스테이지 유닛에 지지된 웨이퍼로부터 선택적으로 다이를 분리시키기 위하여 수직 방향으로 이동 가능하게 설치된 다이 이젝팅 유닛과 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 픽업하는 픽업 유닛을 포함할 수 있다.
상기와 같은 다이 이젝팅 유닛은 상기 다이의 두께가 작아질수록 상기 다이 이젝팅 유닛에 포함된 이젝팅 핀이 상기 다이를 물리적으로 접촉함으로써 상기 다이에 물리적인 충격이 발생할 수 있다. 따라서, 상기 다이에 크랙 등과 같은 파괴가 발생함으로써 상기 다이의 불량이 발생하는 문제가 발생할 수 있다.
본 고안의 실시예들은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 다이에 충격의 발생을 억제할 수 있는 다이 이젝팅 유닛을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 고안의 실시예들은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 다이에 충격의 발생을 억제할 수 있는 다이 픽업 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 고안의 실시예들에 따르면, 에지 영역 및 중심 영역을 갖는 적어도 하나의 다이로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 이젝팅하는 다이 이젝팅 유닛은 상기 다이에 대응되는 형상을 갖는 중공 및 상기 다이싱 테이프를 전체적으로 진공 흡착하도록 흡착홀이 형성된 몸체, 상기 중공에 승강 가능하도록 구비되며, 그 내부에 유체 통로가 형성되며 상기 에지 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제1 영역을 상승시키는 승강 부재, 상기 승강 부재의 상단부를 커버하여, 상기 중심 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제2 영역에 대응되도록 구비된 연성 부재 및 상기 유체 통로를 통하여 상기 연성 부재를 에어 블로잉하여, 상기 연성 부재를 팽창시키는 에어 블로잉부를 포함한다. 여기서, 상기 연성 부재는 실리콘 재질, 러버 재질 또는 고분자 수지 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 연성 부재는 연성 판 및 상기 연성판의 내부에 형성된 강성판을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 강성판은 링 형상을 가질 수 있다.
본 고안의 실시예들에 따른 다이 픽업 장치는 에지 영역 및 중심 영역을 각각 갖는 복수의 다이들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프와 상기 다이싱 테이프가 부착된 웨이퍼 링을 지지하는 스테이지 유닛, 상기 스테이지 유닛에 지지된 상기 웨이퍼 아래에 배치되며, 상기 다이들을 선택적으로 상기 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위하여 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 다이 이젝팅 유닛 및 상기 다이 이젝팅 유닛에 의해 선택된 적어도 하나의 다이를 픽업하는 픽업 유닛을 포함하고, 상기 다이 이젝팅 유닛은 상기 다이에 대응되는 형상을 갖는 중공 및 상기 다이싱 테이프를 전체적으로 진공 흡착하도록 흡착홀이 형성된 몸체, 상기 중공에 승강 가능하도록 구비되며, 그 내부에 유체 통로가 형성되며 상기 에지 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제1 영역을 상승시키는 승강 부재, 상기 승강 부재의 상단부를 커버하여, 상기 중심 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제2 영역에 대응되도록 구비된 연성 부재 및 상기 유체 통로를 통하여 상기 연성 부재를 에어 블로잉하여 상기 연성 부재를 팽창시키는 에어 블로잉부를 포함한다.
상술한 바와 같은 본 고안의 실시예들에 따른 다이 이젝팅 유닛 및 다이 픽업 장치에 있어서, 다이의 에지 영역에 해당하는 제1 영역을 먼저 상승시킨 후, 다이의 중심 영역에 해당하는 제2 영역에 대응되는 연성 부재를 기체의 흐름을 이용하여 에어 블로잉하여 상기 연성 부재를 팽창시킨다. 상기 연성 부재가 팽창함에 따라 상기 연성 부재와 접촉하는 상기 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 분리시킨다. 이로써, 상기 다이를 제1 영역에서부터 제2 영역으로 상기 다이싱 테이프로부터 순차적으로 분리시킬 수 있다. 또한 에어 블로잉 방식으로 다이를 다이싱 테이프로부터 분리함으로써 다이에 대한 충격이 억제될 수 있다. 따라서, 다이에 대하여 발생할 수 있는 크랙이 억제될 수 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 다이 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1의 다이를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4a는 도1의 연성 부재의 일 예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4b는 도 4a의 I-II선을 따라 절단한 단면도이다.
도 5a는 도1의 연성 부재의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5b는 도 6a의 III-IV선을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 픽업 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 본 고안은 본 고안의 실시예들에 따른 다이 이젝팅 유닛 및 다이 픽업 장치를 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 고안은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 고안이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 고안의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 고안의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 고안을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 고안의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 고안의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 고안의 실시예들은 본 고안의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들인 단면 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화들은 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 고안의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차들을 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상들은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 고안의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 다이 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 도 1의 다이를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 유닛(100)은 몸체(110), 승강 부재(130), 연성 부재(140) 및 에어 블로잉부(150)를 포함한다. 상기 다이 이젝팅 유닛(100)은 상기 다이(10)로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 필름(20)의 아래에 배치된다. 상기 다이 이젝팅 유닛(100)은 상기 다이(10)를 선택적으로 상기 다이싱 필름(20)으로부터 분리시킨다. 상기 다이(10)는 에지 영역(11) 및 상기 에지 영역(11)에 둘러싸인 중심 영역(15)으로 구획될 수 있다.
상기 몸체(110)는 상기 다이싱 필름(20)의 아래에 배치된다. 상기 몸체(110)에는 수직 방향으로 상기 다이의 형상에 대응되는 중공(113)이 형성된다. 상기 중공(113)의 내부에는 상기 승강 부재(130)가 승강 가능하도록 구비된다.
또한, 상기 몸체(110)에는 상기 다이싱 테이프(20)를 전체적으로 진공 흡착하도록 적어도 하나의 흡착홀(115)이 형성된다. 상기 흡착홀(115)은 링 형상으로 형성되어 전체적으로 상기 다이싱 테이프(20)를 진공 흡착할 수 있다. 이와 다르게, 상기 흡착홀(115)이 복수로 형성되어 상호 이격되어 배치될 수 있다.
상기 승강 부재(130)는 상기 중공(113) 내부에 승강 가능하도록 배치된다. 상기 승강 부재(130)는 그 내부에 유체 통로(135)가 형성된다. 상기 승강 부재(130)는 상기 다이싱 테이프(20)의 제1 영역을 타 영역에 대하여 상대적으로 상승시킨다. 즉, 상기 몸체(110)가 흡착홀(115)을 통하여 상기 다이싱 테이프(20)를 흡착된 상태에서, 상기 승강 부재(130)가 상승함에 따라 상기 다이(10)의 에지 영역이 상대적으로 상승하게 된다. 따라서 상기 다이싱 테이프(20)의 제1 영역에 해당하는 상기 다이(10)의 에지 영역이 상기 다이싱 테이프(20)로부터 부분적으로 분리될 수 있다.
상기 승강 부재(130)는 예를 들면, 상기 제1 영역에 대응되는 상부 표면을 가질 수 있다. 상기 승강 부재(130)가 상승함에 따라서 상기 제1 영역에 대응되는 상기 다이(10)의 에지 영역이 선택적으로 상승하게 된다.
상기 연성 부재(140)는 상기 승강 부재(130)의 상단부를 커버한다. 따라서, 상기 연성 부재(140)의 하면 및 상기 승강 부재(130)의 내측벽은 밀봉 영역을 정의한다. 또한 상기 연성 부재(140)는 상기 다이(10)의 중심 영역(15)에 대응되는 상기 다이싱 테이프(20)의 제2 영역에 대응되도록 구비된다.
상기 연성 부재(140)는 연성 재질로 이루어진다. 예를 들면, 상기 연성 부재(140)는 실리콘, 러버(rubber) 또는 고분자 수지로 이루어질 수 있다. 여기서 고분자 수지는 폴리이미드 또는 폴리에스테르를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 에어 블로잉부(150)가 상기 연성 부재(140)를 향하여 에어 블로잉할 경우, 상기 밀봉 영역의 상부에 배치된 상기 연성 부재(140)는 팽창하여 상기 연성 부재(140)는 돔 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 연성 부재(140)가 팽창하는 동안, 상기 연성 부재(140)는 상기 다이싱 테이프(20) 및 상기 다이(10)를 타 영역에 대하여 상대적으로 상승시킬 수 있다. 또한 상기 연성 부재(140)가 유체 통로(135)를 커버함에 따라 상기 에어 블로잉하는 동안 에어가 상기 승강 부재(130)의 외각에 인접하는 부분, 특히 흡착홀(115)로 누설되는 것이 억제될 수 있다.
상기 에어 블로잉부(150)는 상기 유체 통로(135)와 연결된다. 상기 에어 블로잉부(150)는 상기 연성 부재(140)를 향하여 기체를 공급함에 따라 상기 연성 부재(140)를 팽창시킨다. 따라서, 상기 다이(10)의 에지 영역이 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리된 상태에서 상기 다이(10)의 중심 영역이 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리될 수 있다.
이와 다르게, 상기 승강 부재(130)는 상기 다이싱 테이프(20)와 일정 간격을 유지한 상태에서, 상기 연성 부재(140)에 대한 에어 블로잉을 통하여 이단계에 걸쳐 상기 다이(10)를 외각에부터 중심으로 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리할 수도 있다.
도 4a는 도1의 연성 부재의 일 예를 설명하기 위한 평면도이다. 도 4b는 도 4a의 I-II선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 연성 부재(140)는 연성판(141) 및 상기 연성판(141) 내부에 배치된 강성판(143)을 포함할 수 있다.
상기 연성판(141)은 상기 승강 부재(130)의 유체 통로를 커버하도록 배치된다. 상기 연성판(141)은 실리콘, 러버(rubber) 또는 고분자 수지로 이루어질 수 있다. 여기서 고분자 수지는 폴리이미드 또는 폴리에스테르를 포함할 수 있다.
상기 강성판(143)은 상기 연성판(141)의 내부에 배치된다. 상기 강성판(143)은 상기 연성판(141) 보다 높은 강성을 갖는 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 강성판(143)은 철로 이루어질 수 있다. 상기 강성판(143)은 예를 들면 링 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 강성판(143)은 상기 연성 부재(140)에 강성을 보강할 수 있다. 따라서, 상기 에어 블로잉부(150)가 상기 연성 부재(140)를 향하여 1차 에어 블로잉할 경우 상기 강성판(143)의 외곽에 인접하는 연성판(141)의 제1 부분은 상대적으로 많이 팽창하는 반면에 상기 강성판(143) 및 상기 강성판(143)의 내곽에 인접하는 상기 연성판(141)의 제2 부분은 상대적으로 적게 팽창된다. 따라서, 상기 강성판(143) 및 상기 제2 부분이 상기 제1 부분보다 높게 위치한다. 이후, 상기 에어 블로잉부(150)가 상기 연성 부재(140)를 향하여 2차 에어 블로잉할 경우 상기 연성판(143)의 제2 부분이 추가적으로 팽창된다. 따라서, 상기 연성 부재(140)가 외각으로부터 내각으로 순차적으로 팽창함에 따라 상기 다이(10)가 상기 다이싱 테이프(20)로부터 외곽으로부터 중심을 향하여 순차적으로 분리될 수 있다.
도 5a는 도1의 연성 부재의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다. 도 5b는 도 5a의 III-IV선을 따라 절단한 단면도이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 연성 부재(140)는 연성판(141) 및 상기 연성판(141) 내부에 배치된 강성판(143)을 포함할 수 있다.
상기 연성판(141)은 상기 승강 부재(130)의 유체 통로를 커버하도록 배치된다. 상기 연성판(141)은 실리콘, 러버(rubber) 또는 고분자 수지로 이루어질 수 있다. 여기서 고분자 수지는 폴리이미드 또는 폴리에스테르를 포함할 수 있다.
상기 강성판(146, 147)은 상기 연성판(141)의 내부에 배치된다. 상기 강성판(146, 147)은 상기 연성 부재(140)에 강성을 보강할 수 있다. 도시된 바와 같이 상기 강성판(146, 147)은 복수로 이루어질 수 있다. 즉, 링 형상의 제1 강성판(146) 및 상기 제1 강성판(146)의 내부에 배치된 제2 강성판(147)이 구비될 수 있다.
또한, 상기 연성판(141)의 표면 및 상기 강성판(146, 147) 사이에는 홈(142)이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 에어 블로잉부(150)가 상기 연성 부재(142)를 향하여 에어 블로잉할 경우 상기 연성 부재(142)가 홈(142)에 의하여 용이하게 팽창함에 따라, 상기 다이(10)가 상기 다이싱 테이프(20)로부터 보다 용이하게 분리될 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 상기 에어 블로잉부(150)는 에어 공급원(151) 및 에어 공급 라인(153)을 포함한다.
상기 에어 공급원(151)은 상기 유체 통로(135)에 기체를 공급한다. 예를 들면, 상기 에어 공급원(151)은 예를 들면 에어 펌프를 포함할 수 있다.
상기 에어 공급 라인(155)은 상기 유체 통로(135) 및 상기 에어 공급원(151)을 상호 연통시킨다. 상기 에어 공급 라인(155)에는 제1 밸브(153)가 설치될 수 있다. 상기 제1 밸브(153)는 상기 에어 공급 라인(155)을 개폐하여 상기 에어 블로잉부(150)의 동작을 제어할 수 있다.
이하, 상기 다이 이젝팅 유닛(100)의 동작을 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 복수의 다이(10)로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프(20)를 하방으로 진공 흡착한다. 따라서, 상기 다이싱 테이프(20)가 전체적으로 평평하게 흡착된다. 예를 들면, 상기 진공 흡착 공정을 수행하기 위하여 상기 다이싱 테이프(20) 아래의 흡착홀(115)을 통하여 인접하는 공기가 유입됨에 따라 상기 흡착홀(115)이 형성된 몸체(110)에 전체적으로 다이싱 테이프(20)가 흡착될 수 있다.
이어서, 상기 다이(10)의 에지 영역(11)에 대응하는 상기 다이싱 테이프(20)의 제1 영역을 다른 영역에 대하여 상대적으로 상승시킨다. 상기 제1 영역을 상승시키기 위하여 상기 제1 영역의 아래에 배치된 승강 부재(130)가 상승한다.
이어서, 상기 중심 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프(20)의 제2 영역에 대응되는 연성 부재(140)를 에어 블로잉하여 상기 연성 부재(140)를 팽창시킨다. 이로써 상기 연성 부재(140)가 돔 형상으로 팽창함에 따라 상기 다이싱 테이프(20)로부터 상기 다이(10)를 분리시킨다.
도 4a 및 도 4b를 참고로 설명한 연성 부재(140)의 경우, 상대적으로 낮은 압력으로 상기 연성 부재(140)를 에어 블로잉하여 연성 부재(140)의 외각부에 인접한 다이(10)를 다이싱 테이프(20)로부터 분리시킨다. 이후 상대적으로 높은 압력으로 상기 연성 부재(140)를 에어 블로잉하여 상기 강성판(143)이 둘러싸는 상기 연성 부재(140)의 중심부에 대응되는 다이(10)의 일부를 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리할 수 있다. 즉, 상기 연성 부재(140)에 대한 에어 블로잉을 통하여 상기 연성 부재(140)를 이단계로 팽창시켜 상기 다이(10)를 외각에서부터 중심으로 순차적으로 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리할 수 있다.
본 고안의 실시예들에 따른 다이 이젝팅 유닛(100)에 있어서, 상기 승강 부재(130)가 상승하여 상기 다이(10)의 에지 영역(11)에 대응되는 상기 다이싱 테이프(20)의 제1 영역을 타 영역에 대하여 상승시킴에 따라 상기 다이(10)의 에지 영역(11)을 상기 다이싱 테이프(20)로부터 부분적으로 분리할 수 있다. 이후, 상기 다이(10)의 중심 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프(20)의 제2 영역에 대응되도록 위치한 연성 부재(140)에 대하여 에어 블로잉하여 상기 연성 부재(140)를 팽창시킴으로써 상기 다이(10)의 중심 영역을 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리시킬 수 있다. 따라서 물리적으로 접촉없이 상기 다이(10)를 다이싱 테이프(20)로부터 분리할 수 있다. 따라서, 상기 다이(10)에 대하여 발생할 수 있는 크랙이 억제될 수 있다.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 픽업 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6을 참조하면, 본 고안의 실시예에 따른 다이 픽업 장치(200)는 스테이지 유닛(280), 다이 이젝팅 유닛(205) 및 픽업 유닛(290)을 포함한다.
상기 스테이지 유닛(280)은 상기 복수의 다이들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프(20)를 지지한다. 한편, 상기 스테이지 유닛(280)은 상기 다이싱 테이프(22)를 홀딩하는 웨이퍼 링(미도시)을 지지한다.
상기 다이 이젝팅 유닛(205)은 스테이지 유닛(280)의 아래에 배치된다. 상기 다이 이젝팅 유닛(205)은 상기 다이싱 테이프(20)로부터 상기 다이(10)를 분리시킨다.
상기 다이 이젝팅 유닛(205)은 몸체(210), 승강 부재(230), 연성 부재(240) 및 에어 블로잉부(250)를 포함한다. 상기 다이 이젝팅 유닛(205)은 상기 다이(10)로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프(20)의 아래에 배치된다. 상기 다이 이젝팅 유닛(205)은 상기 다이(10)를 선택적으로 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리시킨다. 상기 다이(10)는 에지 영역(11) 및 상기 에지 영역(11)에 둘러싸인 중심 영역(15)으로 구획될 수 있다(도 3 참조).
상기 몸체(210)는 상기 다이싱 테이프(20)의 아래에 배치된다. 특히, 상기 몸체(210)는 선택된 다이(10)의 아래에 배치된다. 상기 몸체(210)에는 수직 방향으로 형성되며 상기 다이의 형상에 대응되는 중공(213)이 형성된다. 상기 중공(213)의 내부에는 상기 승강 부재(230)가 승강 가능하도록 구비된다.
또한, 상기 몸체(210)에는 상기 다이싱 테이프(20)를 전체적으로 진공 흡착하도록 적어도 하나의 흡착홀(215)이 형성된다. 상기 흡착홀(215)은 링 형상으로 형성되어 전체적으로 상기 다이싱 테이프(20)를 진공 흡착할 수 있다. 이와 다르게, 상기 흡착홀(215)은 복수로 형성되어 상호 이격되도록 배치될 수 있다.
상기 승강 부재(230)는 상기 중공(213) 내부에 승강 가능하도록 배치된다. 상기 승강 부재(230)는 그 내부에 유체 통로(235)가 형성된다. 상기 승강 부재(230)는 상기 다이싱 테이프(20)의 제1 영역을 타 영역에 대하여 상승시킨다. 즉, 상기 다이싱 테이프(20)가 전체적으로 진공 흡착된 상태에서, 상기 승강 부재(230)가 상승함에 따라 상기 다이(10)의 에지 영역이 상대적으로 상승하게 된다. 따라서 상기 다이싱 테이프(20)의 제1 영역에 해당하는 상기 다이(10)의 에지 영역이 상기 다이싱 테이프(20)로부터 부분적으로 분리될 수 있다.
상기 승강 부재(230)는 예를 들면, 상기 제1 영역에 대응되는 상부 표면을 가질 수 있다. 상기 승강 부재(230)는 상승함에 따라서 상기 제1 영역에 대응되는 상기 다이(10)의 에지 영역이 선택적으로 상승하게 된다.
상기 연성 부재(240)는 상기 승강 부재(230)의 상단부를 커버한다. 따라서, 상기 연성 부재(240)의 하면 및 상기 승강 부재(230)의 내측벽은 밀봉 영역을 정의한다. 또한 상기 연성 부재(240)는 상기 다이(10)의 중심 영역(15)에 대응되는 상기 다이싱 테이프(20)의 제2 영역에 대응되도록 구비된다.
상기 연성 부재(240)는 연성 재질로 이루어진다. 예를 들면, 상기 연성 부재(240)는 실리콘, 러버(rubber) 또는 고분자 수지로 이루어질 수 있다. 여기서 고분자 수지는 폴리이미드 또는 폴리에스테르를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 에어 블로잉부(250)가 상기 연성 부재(240)를 향하여 에어 블로잉할 경우, 상기 밀봉 영역의 상부에 배치된 상기 연성 부재(240)는 팽창하여 상기 연성 부재(240)는 돔 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 연성 부재(240)가 팽창하는 동안, 상기 연성 부재(240)는 상기 다이싱 테이프(20) 및 상기 다이(10)를 타 영역에 대하여 상대적으로 상승시킬 수 있다. 또한 상기 연성 부재(240)가 유체 통로(235)를 커버함에 따라 상기 에어 블로잉하는 동안 에어가 상기 승강 부재(230)의 외각에 인접하는 부분, 특히 흡착홀(215)로 누설되는 것이 억제될 수 있다.
상기 에어 블로잉부(250)는 상기 유체 통로(235)를 통하여 연결된다. 상기 에어 블로잉부(250)는 상기 제2 영역에 기체를 공급함에 따라 상기 제2 영역을 에어 블로잉한다. 따라서, 상기 다이(10)의 에지 영역이 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리된 상태에서 상기 에어 블로잉부(250)는 상기 다이(10)의 중심 영역이 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리될 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 상기 에어 블로잉부(250)는 에어 공급원(251) 및 에어 공급 라인(255)을 포함한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 유체 통로(235)는 상부로 갈수록 커지는 직경을 가질 수 있다. 따라서, 상기 에어 블로잉부(250)가 작동시 상기 유체 통로 내부에서 상기 기체의 압력이 중심에서 외곽으로 갈수록 증가할 수 있다.
상기 픽업 유닛(290)은 상기 스테이지 유닛(280)의 상부에 이동 가능하게 배치된다. 상기 픽업 유닛(290)은 상기 다이싱 테이프(20)로부터 분리된 상기 다이(10)를 픽업한다. 또한 상기 픽업 유닛(290)은 상기 다이싱 테이프(20)에 부착된 상기 다이(10)를 흡착함으로써 상기 다이(10)의 강성을 보완할 수 있다.
상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 실용신안청구의 범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 다이 20 : 다이싱 테이프
100, 205 : 다이 이젝팅 유닛 110, 210 : 몸체
115, 215 : 흡착홀 130, 230 : 승강 부재
135, 235 : 유체 통로 140 : 연성 부재
150, 250 : 에어 블로잉부 160 : 진공 흡입부
280 : 스테이지 유닛 290 : 픽업 유닛

Claims (6)

  1. 에지 영역 및 중심 영역을 갖는 적어도 하나의 다이로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프로부터 상기 다이를 이젝팅하는 다이 이젝팅 유닛에 있어서,
    상기 다이에 대응되는 형상을 갖는 중공 및 상기 다이싱 테이프를 전체적으로 진공 흡착하도록 흡착홀이 형성된 몸체;
    상기 중공에 승강 가능하도록 구비되며, 그 내부에 유체 통로가 형성되며 상기 에지 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제1 영역을 상승시키는 승강 부재;
    상기 승강 부재의 상단부를 커버하여, 상기 중심 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제2 영역에 대응되도록 구비된 연성 부재; 및
    상기 유체 통로를 통하여 상기 연성 부재를 에어 블로잉하여, 상기 연성 부재를 팽창시키는 에어 블로잉부를 포함하는 다이 이젝팅 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연성 부재는 실리콘 재질, 러버 재질 또는 고분자 수지 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 연성 부재는 연성 판 및 상기 연성판의 내부에 형성된 강성판을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 유닛
  4. 제3항에 있어서, 상기 강성판은 링 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 유닛.
  5. 제1항에 있어서, 상기 팽창된 연성 부재는 돔 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 유닛.
  6. 에지 영역 및 중심 영역을 각각 갖는 복수의 다이들로 분할된 웨이퍼가 부착된 다이싱 테이프와 상기 다이싱 테이프가 부착된 웨이퍼 링을 지지하는 스테이지 유닛;
    상기 스테이지 유닛에 지지된 상기 웨이퍼 아래에 배치되며, 상기 다이들을 선택적으로 상기 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위하여 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 다이 이젝팅 유닛; 및
    상기 다이 이젝팅 유닛에 의해 선택된 적어도 하나의 다이를 픽업하는 픽업 유닛을 포함하고, 상기 다이 이젝팅 유닛은
    상기 다이에 대응되는 형상을 갖는 중공 및 상기 다이싱 테이프를 전체적으로 진공 흡착하도록 흡착홀이 형성된 몸체;
    상기 중공에 승강 가능하도록 구비되며, 그 내부에 유체 통로가 형성되며 상기 에지 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제1 영역을 상승시키는 승강 부재;
    상기 승강 부재의 상단부를 커버하여, 상기 중심 영역에 대응되는 상기 다이싱 테이프의 제2 영역에 대응되도록 구비된 연성 부재; 및
    상기 유체 통로를 통하여 상기 연성 부재를 에어 블로잉하여 상기 연성 부재를 팽창시키는 에어 블로잉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 픽업 장치.
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