KR200461437Y1 - 램프 배기장치 - Google Patents
램프 배기장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR200461437Y1 KR200461437Y1 KR2020080000479U KR20080000479U KR200461437Y1 KR 200461437 Y1 KR200461437 Y1 KR 200461437Y1 KR 2020080000479 U KR2020080000479 U KR 2020080000479U KR 20080000479 U KR20080000479 U KR 20080000479U KR 200461437 Y1 KR200461437 Y1 KR 200461437Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- exhaust chamber
- exhaust
- cassette
- glass tube
- dry air
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/245—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases specially adapted for gas discharge tubes or lamps
- H01J9/247—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases specially adapted for gas discharge tubes or lamps specially adapted for gas-discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/385—Exhausting vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/40—Closing vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
램프 배기장치가 개시된다. 그러한 램프 배기장치는 진공 분위기를 형성하기 위한 공간을 가진 배기챔버와, 유리관을 적재하여 상기 배기챔버에 결합/분리되는 카세트와, 상기 배기챔버에 연결되어 유리관의 내부에 존재하는 가스를 배기시킬 수 있는 배기부와, 그리고 상기 배기챔버에 연결되어 배기챔버의 내부에 건조한 공기를 주입함으로써 외기가 상기 배기챔버의 내측으로 유입되는 것을 방지할 수 있는 건조 공기 공급부를 포함한다.
형광액, 배기, 건조, 공기, 외기
Description
본 고안은 램프 배기장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배기챔버에 건조공기를 공급하여 배기챔버 내부 압력을 높임으로써 외기의 배기챔버내 유입을 방지하여 배기챔버내의 환경을 안정적으로 유지시켜줄 수 있는 램프 배기장치에 관한 것이다.
일반적으로 램프들은 내벽에 형광물질이 코팅된 유리관 내부에 발광 구동을 위한 일정한 량의 가스와 수은이 봉입(封入)되고, 유리관 내부 또는 외부 양단에 전극이 형성된다.
이러한 램프들은 전극에 고전압을 인가하면, 유리관 내부에 존재하는 전자가 양극 측으로 이동되면서 충돌하여 2차 전자가 방출되어 방전이 이루어진다.
이러한 방전에 의하여 램프들은 유리관 내부에서 유동하는 전자와 수은 원자가 서로 충돌하여 자외선이 방출되며 이 자외선에 의하여 형광물질이 여기되면서 가시 광선이 발광된다.
이러한 램프들은 램프 제조용 유리관 내부에 형광체를 코팅하는 공정(coating), 코팅된 형광체를 소결시키는 공정(baking), 그리고 램프 제조용 유리 관 내부를 배기시킨 후 밀봉하는 공정(sealing)들을 포함한다.
특히, 유리관의 배기공정은 배기장치에 의하여 이루어질 수 있으며, 배기장치는 내부에 공간이 형성되며 저부에 다수의 연통홀이 형성된 배기챔버와, 상기 배기챔버의 연통홀에 삽입되는 유리관이 적재되는 카세트와, 상기 유리관을 가열하여 유리관내의 불순한 가스를 증발시키는 가열부와, 상기 배기챔버로부터 공기를 흡입하여 불순가스를 배기시키는 배기부를 포함한다.
이러한 배기장치는 유리관의 상단을 배기챔버의 연통홀에 삽입한 상태에서 배기부의 진공펌프를 구동시킴으로써 유리관의 내부에 잔류하는 가스를 배기시킬 수 있다.
그러나, 이러한 배기장치는 유리관에 대한 배기공정 후, 카세트를 배기챔버로부터 분리할 경우, 외부 공기가 배기챔버의 내부로 유입될 수 있으며, 이로 인하여 배기챔버 내부에 이물질 혹은 습기가 유입되어 배기공정에 적합하지 않은 환경을 조성하여 유리관의 품질을 저하시킬 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 배기챔버에 건조 공기를 주입하여 압력을 높임으로써 외기가 배기챔버 내부에 유입되는 것을 방지하여 배기챔버의 내부 환경을 배기공정에 적합하도록 유지할 수 있는 램프 배기장치를 제공하는데 있다.
따라서, 본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 본 고안의 바람직한 실시예는 진공 분위기를 형성하기 위한 공간을 가진 배기챔버; 유리관을 적재하여 상기 배기챔버에 결합/분리되는 카세트; 상기 배기챔버에 연결되어 유리관의 내부에 존재하는 가스를 배기시킬 수 있는 배기부; 그리고 상기 배기챔버에 연결되어 배기챔버의 내부에 건조한 공기를 주입함으로써 외기가 상기 배기챔버의 내측으로 유입되는 것을 방지할 수 있는 건조 공기 공급부를 포함하는 램프 배기장치를 제공한다.
본 고안에 따른 램프 배기장치는 배기챔버의 일측에 건조 공기 공급부를 구비하여 배기챔버 내부에 건조공기를 공급함으로써, 외기가 배기챔버의 내부에 유입되는 것을 방지하여 배기챔버의 내부를 배기공정에 적합하도록 유지할 수 있는 장점이 있다.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 램프 배기장치의 구조를 설명한다.
도1 은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 건조 공기 공급부가 구비된 램프 배기장치의 전체 구조를 도시하는 측면도이고, 도2 는 도1 의 측면도이다.
도시된 바와 같이, 본 고안이 제안하는 램프 배기장치는 진공 분위기를 형성하기 위한 공간을 가지며, 다수의 유리관(L)을 적재한 카세트가 결합/분리되는 배기챔버(117)와, 상기 배기챔버(117)의 하부에 구비되어 유리관(L)을 가열함으로써 유리관(L) 내부의 불순가스를 증발시킬 수 있는 가열부(111)와, 상기 배기챔버(117)에 연결되어 유리관의 내부에 존재하는 가스 또는 에어등을 배기시킬 수 있는 배기부(109)와, 상기 배기챔버(117)에 연결되어 배기챔버(117)의 내부에 건조한 공기를 주입함으로써 외기가 배기챔버(117)의 내부공간으로 유입되는 것을 방지할 수 있는 건조 공기 공급부(120)를 포함한다.
이러한 구조를 갖는 램프 배기장치에 있어서, 상기 배기챔버(117)는 육면체 형상의 케이스(122)를 포함한다. 그리고, 케이스(122)의 내부에 공간을 형성하고, 상기 배기부(109)에 의하여 공기를 흡입함으로써 공간 및 유리관(L)의 내부에 존재하는 불순가스를 외부로 배출시킬 수 있다.
그리고, 상기 배기챔버(117)는 프레임(101)상에 제공된 한 쌍의 실린더(105)에 의하여 상하로 이동할 수 있다.
또한, 상기 배기챔버(117)에는 배기작업 및 가스 주입작업이 가능하도록 배기관(L1)과 가스 주입관(L2)이 연결된다.
상기 배기관(L1)은 배기부(109)와 연결되어 진공 압력으로 상기 배기챔버(117)를 통하여 유리관(L) 내부에 존재하는 잔존 유해가스나 이물질 입자를 배기할 수 있다.
상기 가스주입관(L2)은 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 가스저장통과 연결되어 이 저장통으로부터 아르곤 가스와 같은 통상의 발광용 가스를 공급받아서 상기 배기챔버(117)를 통하여 유리관(L)의 내부에 주입할 수 있다.
이러한 배기챔버(117)는 프레임(101)의 상부에 배치되며, 이 프레임(101)의 하부에는 유리관(L)이 적재된 카세트(107)가 구비될 수 있다.
상기 배기챔버(117)의 바닥면에는 다수개의 연통홀(h)이 형성되며, 상기 연통홀(h)에는 유리관(L)들의 상단이 삽입됨으로써 유리관(L)의 내부와 상기 배기챔버(117)가 서로 연통될 수 있다.
또한, 상기 다수의 유리관(L)들은 배치타입(Batch type)의 카세트(107)에 의하여 적재된다. 그리고, 상기 실린더(105)에 의해 상기 배기챔버(117)가 승하강하는 경우, 상기 카세트(107) 측에 적재된 유리관(L)들의 상단부가 상기 배기챔버(117)의 연통홀(h)에 삽입되거나 연통홀(h)로부터 분리될 수 있다.
이러한 카세트(107)는 이송수단(110)에 의하여 상기 프레임(101) 내측에서 운반 및 인출이 가능하다. 즉, 상기 이송수단(110)은 2개의 이송레일(S)을 실린더(C4)의 피스톤로드와 연결하여 이루어질 수 있다.
상기 2개의 이송레일(S)은 통상의 로울러 컨베이어 구조로 이루어지고, 상기 실린더(C4)의 구동에 의해 상기 카세트(107)의 아래쪽 저면을 지지할 수 있도록 간 격이 좁혀지거나 벌어진다.
따라서, 상기한 이송수단(110)은 상기 프레임(101) 내측에서 상기 카세트(107)를 지지한 상태로 이동시킬 수 있으며, 상기 배기챔버(117)에서 상기 카세트(107)가 분리되면 이 카세트(107)를 상기 프레임(101) 내측에서 인출할 수 있도록 이동시킬 수 있다.
한편, 상기 배기챔버(117)의 일측에는 상기 건조 공기 공급부(120)가 연결됨으로써 배기챔버(117)의 내부에 건조한 공기를 공급할 수 있다.
즉, 유리관(L)에 대한 배기공정이 완료된 후, 유리관(L)을 연통홀(h)로부터 분리하는 경우, 건조 공기를 배기챔버(117)의 내부로 주입함으로써 배기챔버(117) 외부의 공기가 연통홀(h)을 통하여 배기챔버(117)의 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
이러한 건조 공기 공급부(120)는 도2 에 도시된 바와 같이, 배기챔버(117)의 일측에 연결되는 공급관(126)과, 이 공급관(126)의 일측에 연결되어 건조 공기를 공급하는 송풍기(132)와, 상기 공급관(126)에 배치되어 공기의 흐름을 개폐하는 밸브(128)를 포함한다.
상기 공급관(126)은 일측은 배기챔버(117)에 연결되고, 타측은 상기 송풍기(132)에 연결된다.
그리고, 상기 송풍기(132)는 통상적인 구조의 송풍기(132)를 의미하며, 건조 공기를 송풍한다. 이때, 건조공기는 바람직하게는 CDA(Clean Dry Air)일 수 있으며, 건조한 공기를 송풍함으로써 배기챔버(117)의 내측공간이 건조한 상태를 유지 할 수 있다.
이와 같이 송풍기(132)에 의하여 송풍된 건조공기는 공급관(126)을 통하여 배기챔버(117)로 공급된다.
그리고, 배기챔버(117)로 공급된 건조공기는 배기챔버(117)의 내측 공간의 압력을 높일 수 있으며, 배기챔버(117)의 저부에 형성된 다수의 연통홀(h)을 통하여 하부로 배출된다.
따라서, 배기챔버(117)의 외부로 배출되는 건조공기에 의하여 외부 공기가 연통홀(h)을 통하여 배기챔버(117)의 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
결과적으로, 배기챔버(117)의 내부는 외기를 통하여 유입될 수 있는 습기 혹은 불순물이 차단됨으로써 배기공정에 유리한 환경이 조성되어 유리관(L)에 대한 안정적인 배기공정을 실시할 수 있다.
한편, 상기 가열부(111)는 위아래로 개방된 가열 공간(F)을 갖는 가열체(113)가 구동수단(M)으로부터 동력을 전달받아서 업/다운 동작되도록 하고 있다.
상기 가열체(113)에는 복수개의 발열부재(H)들이 장착되고, 이 발열부재(H)들은 상기 가열체(113) 둘레를 따라 배치된다.
그리고, 상기 가열 공간(F)은 상기 카세트(107) 전체 둘레를 비접촉 상태로 수용할 수 있는 크기로 이루어지며, 상기 발열부재(H)는 봉(奉) 형상의 히터를 사용할 수 있다.
또한, 상기 가열체(113)는 가이드축(U)을 따라 위아래로 이동 가능하게 고정된 이동플레이트(U1) 위에 얹혀진 상태로 설치할 수 있다.
그리고, 상기 구동수단(M)은 동력을 발생하는 구동원(M1)과, 이 구동원(M1)의 동력을 전달하기 위한 연결부재(M2)를 포함하여 이루어질 수 있다. 도 1을 참조하면, 상기 구동원(M1)은 통상의 모터를 사용할 수 있고, 상기 연결부재(M2)는 통상의 스크류축(예: 볼스크류)를 사용할 수 있다.
따라서, 상기 구동원(M1)으로 상기 연결부재(M2)을 정,역 회전시켜서 상기 이동플레이트(U1)를 따라 상기 가열체(113)를 업/다운시킬 수 있다. 즉, 이와 같은 구동수단(M)의 구조에 의하면, 예를 들어, 상기 구동원(M1)에 의해 상기 연결부재(M2)가 축선을 중심으로 회전될 때 상기 가이드축(U)에 안내되는 상태로 움직이는 이동플레이트(U1)에 의해 상기 가열체(113) 위치를 상,하 방향으로 움직일 수 있다. 그러면, 상기 프레임(101) 내측에서 상기 가열체(113)를 이용하여 유리관(L) 내부의 불순가스를 증발시키는 작업을 진행할 때, 다양한 작업 환경(예: 유리관 길이)과 부합하도록 상기 가열체(113)의 높낮이 위치(가열 위치)를 적절하게 조절 및 셋팅할 수 있으므로 한층 향상된 작업 호환성 및 편의성을 확보할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 램프 배기장치의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.
도1 과 도2 에 도시된 바와 같이, 램프 배기장치를 이용하여 유리관(L)의 내부로부터 불순가스를 배기시키는 경우, 먼저, 다수의 유리관(L)을 카세트(107)에 적재한 다음, 상기 배기챔버(117)를 실린더(105)를 이용하여 하강시킴으로써 유리관(L)의 상단이 배기챔버(117)의 연통홀(h)을 통하여 배기챔버(117)에 연통되도록 한다.
그리고, 상기 구동수단(M)의 구동원(M1) 및 연결부재(M2)의 구동에 의해 상기 가열부(111)의 가열체(113)를 상승시켜서 카세트(107)가 가열부(111)의 내측에 위치되도록 한다. 이 상태에서, 발열부재(H)에 의하여 유리관(L)을 가열하게 된다.
이러한 가열공정에 의하여 유리관(L)의 내부에 존재하는 수분 혹은 불순가스가 증발하게 된다.
가열공정이 완료된 후, 배기부(109)를 구동하면, 배기챔버(117) 및 유리관(L)의 내부에 존재하는 불순가스가 외부로 배출될 수 있다.
이와 같이, 유리관(L)에 대한 배기공정이 완료된 후, 유리관(L)을 배기챔버(117)로부터 분리시키고 건조공기 공급부(120)를 구동시킴으로써 외기의 유입을 방지한다.
즉, 건조공기 공급부(120)의 송풍기(132)를 구동시킨다. 송풍기(132)의 구동에 의하여 건조공기가 공급관(126)을 통하여 배기챔버(117)로 공급되며, 공급된 건조공기에 의하여 배기챔버(117)의 내부공간의 압력이 상승하게 된다.
따라서, 배기챔버(117)의 내측에 공급된 건조공기는 다수의 연통홀(h)을 통하여 외부로 배출됨으로써 외기가 이 건조공기에 의하여 배기챔버(117)의 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
결과적으로, 배기챔버(117)의 내부는 외기와 같이 유입될 수 있는 불순가스 혹은 이물질의 유입이 방지됨으로써, 안정적인 배기가 가능한 환경을 유지할 수 있다.
도1 은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 건조 공기 공급부가 구비된 램프 배기장치의 전체 구조를 도시하는 측면도이다.
도2 는 도1 에 도시된 건조 공기공급부를 확대하여 보여주는 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 *
117: 배기챔버 109: 배기부
111: 가열부 120: 건조 공기공급부
126: 공급관 132: 송풍기
Claims (2)
- 진공 분위기를 형성하기 위한 공간을 가진 배기챔버;상기 배기챔버 하측에서 이 배기챔버 내부와 일단이 연통 가능한 상태로 유리관들을 적재할 수 있도록 형성된 카세트;상기 카세트의 둘레부를 수용할 수 있는 크기를 가지며 복수 개의 발열부재가 설치된 가열공간을 구비하고, 이 가열공간 측에서 상기 카세트의 유리관 내부의 불순가스를 상기 발열부재들의 발열에 의해 증발시킬 수 있도록 형성된 가열체;상기 가열체를 상,하방향으로 움직이면서 상기 카세트의 유리관들과 대응하는 상태로 가열위치 조절할 수 있도록 동력을 발생하는 구동원과, 이 구동원의 동력을 전달받아서 상기 가열체를 움직일 수 있도록 연결되는 연결부재를 구비한 구동수단;상기 배기챔버 측에 일단이 연통된 상태로 배치되는 유리관들의 내부에 존재하는 가스를 상기 배기챔버를 통해서 외부로 배기시킬 수 있도록 상기 배기챔버 측에 연결되는 배기부;상기 배기챔버 일측과 공급관으로 연결되는 송풍기를 구비하고 이 송풍기의 구동에 의해 상기 배기챔버 내부로 건조 공기를 공급하여 외기의 유입 방지가 가능하게 상기 배기챔버의 내부 압력을 높일 수 있도록 형성된 건조공기 공급부;를 포함하는 램프 배기장치.
- 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2020080000479U KR200461437Y1 (ko) | 2008-01-11 | 2008-01-11 | 램프 배기장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2020080000479U KR200461437Y1 (ko) | 2008-01-11 | 2008-01-11 | 램프 배기장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090007182U KR20090007182U (ko) | 2009-07-15 |
KR200461437Y1 true KR200461437Y1 (ko) | 2012-07-11 |
Family
ID=43658651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2020080000479U KR200461437Y1 (ko) | 2008-01-11 | 2008-01-11 | 램프 배기장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR200461437Y1 (ko) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100656944B1 (ko) | 2005-09-05 | 2006-12-13 | 미래산업 주식회사 | 형광램프의 제조장치 |
-
2008
- 2008-01-11 KR KR2020080000479U patent/KR200461437Y1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100656944B1 (ko) | 2005-09-05 | 2006-12-13 | 미래산업 주식회사 | 형광램프의 제조장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090007182U (ko) | 2009-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI282579B (en) | Apparatus and method of manufacturing fluorescent lamp | |
JP7253057B2 (ja) | 二次電池正極材製造用焼成炉および二次電池正極材の焼成方法 | |
JP2015092530A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
CN110048027B (zh) | 干燥装置和干燥处理方法 | |
KR200461437Y1 (ko) | 램프 배기장치 | |
KR20060117794A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 제조용 열처리 장치 | |
JP5118337B2 (ja) | エキシマ真空紫外光照射処理装置 | |
KR100820360B1 (ko) | 램프의 형광액 코팅장치 | |
KR100911490B1 (ko) | 램프 배기장치 | |
KR100822081B1 (ko) | 방전 램프의 제조 방법 | |
KR100706183B1 (ko) | 형광체 코팅장치 | |
KR200402377Y1 (ko) | 냉음극형광램프제조장치의 베이킹기 | |
KR20090006578U (ko) | 형광램프 제조장치 | |
KR100806116B1 (ko) | 램프의 코팅층 제거장치 및 방법 | |
TW200826148A (en) | Apparatus for manufacturing fluorescent lamp | |
KR100813334B1 (ko) | 백라이트 유닛용 유리관의 클리닝장치 | |
CN1499568A (zh) | 放电灯 | |
KR200461439Y1 (ko) | 형광램프 제조장치 | |
JP3597167B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの排気装置 | |
KR102396791B1 (ko) | 증착 장치 | |
KR20100022389A (ko) | 형광램프 소성장치 | |
KR100732472B1 (ko) | 디스플레이 패널 봉착장치 및 봉착방법 | |
KR100904377B1 (ko) | 형광램프 소성장치 | |
CN117906677A (zh) | 一种基于分段式加热的碱金属原子气室充制方法及系统 | |
JP2007294265A (ja) | 発光体の製造方法並びに無電極放電灯 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
REGI | Registration of establishment | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |