KR200404877Y1 - 클린룸용 태그철 - Google Patents

Abstract

본 고안은 클린룸용 태그철에 관한 것으로, 특히 미세한 먼지가 없어야 하는 반도체 제조공정에서 사용 가능한 클린룸용 태그철에 관한 것이다. 본 고안의 클린룸용 태그철은 반도체 제조공정에서 전달사항 또는 관리사항을 기재하는 양식이 인쇄된 태그지와 상기 태그지를 웨이퍼 카세트박스에 부착할 수 있도록 배면에 접착층이 도포된 태그에 있어서, 상기 태그지의 인쇄면에 이형제가 코팅되는 한편 상기 태그지의 인쇄면의 배면 일측 가장자리에 접착층이 코팅된 태그가 다수매 적층되어 이루어진 것을 것을 특징으로 한다.

본 고안에 따른 클린룸용 태그철을 사용하면, 종래의 클린룸용 스티커 사용시 파티클의 발생을 줄여 생산수율을 높일 수 있고 또한 스티커 사용 후에 남는 산업쓰레기 발생을 줄일 수 있으며, 필기구와 받침판을 태그철과 일체화함으로써 사용자의 편리성이 증가하는 효과가 있다.

클린룸, 태그, 이형제, 스티커

Description

클린룸용 태그철{ Cumulative tag for using in the clean room}

도 1은 종래의 클린룸용 스티커의 사시도,

도 2는 본 고안에 따른 클린룸용 태그철의 사시도,

도 3는 본 고안의 다른 실시예에 따른 클린룸용 태그철의 구성도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10, 100 : 태그지 20, 200 : 접착층

30 : 이형지 300 : 이형제 코팅층

400 : 태그철 500 : 클린 보드

600 : 필기구 고정부 700 : 연결줄

800 : 필기구

본 고안은 클린룸용 태그철에 관한 것으로, 특히 미세한 먼지(이하 '파티클'이라 한다.)가 없어야 하는 반도체 제조공정에서 사용 가능하고 공정진행에 관련된 여러 가지 전달사항 또는 관리정보 등을 기재하여 부착할 수 있는 클린룸용 태그철에 관한 것이다.

일반적으로 태그(Tag)란 자동차, 철도, 선박, 항공기 및 우편 등을 이용하여 화물을 보낼 때 발송인의 성명, 주소와 도착지 및 수취인의 성명, 주소 등 필요한 사항을 적어 화물에 부착하는 표지로서, 미리 인쇄해 놓은 종이쪽지나 기타 표지물을 말하지만 본 명세서에서는 반도체 제조공정 내의 식별표지를 지칭하는 것으로 정의한다.

현재 반도체 제조공정에서도 공정진행에 관련된 여러 가지 전달사항 또는 관리정보 등을 스티커에 기재하여 이를 웨이퍼 카세트 박스에 부착되어 사용되고 있지만, 반도체 제조 공정 환경은 청정상태를 유지하기 위해서 파티클이 발생하지 않는 재질을 사용하여야 한다.

도 1은 종래의 클린룸용 스티커의 사시도이다.

종래의 태그는 클린룸용 스티커를 주로 많이 사용하였고, 도 1에 도시된 바와 같이 클린룸용 스티커는 파티클이 발생되지 않는 재질로 이루어진 태그지(10), 상기 태그지(10)의 일면에 코팅되어서 원하는 표면위에 부착할 수 있도록 하는 접착층(20), 상기 접착층(20)에 부착되어 사용 전에 접착층을 보호하고 사용자에 의해 쉽게 떨어질 수 있도록 매끄러운 표면처리를 한 이형지(30)로 구성되어 있다.

그러나, 종래의 태그는 클린룸용 스티커를 사용하므로 상기 스티커의 이면에 접착되어 사용자에 의해 용이하게 분리해낼 수 있도록 매끄러운 처리를 한 이형지를 사용하게 되어 산업쓰레기가 발생하고 또 폐기시에는 환경오염이 발생하는 문제점이 있다.

본 고안은 상술한 제반 문제점을 해결하고자 안출한 것으로, 반도체 제조 공정에서 사용할 수 있도록 파티클이 발생하지 않고 이형지를 사용하지 않는 적층구조로 되어 있는 클린룸용 태그철을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 고안의 클린룸용 태그철은, 반도체 제조공정에서 전달사항 또는 관리사항을 기재하는 양식이 인쇄된 태그지와 상기 태그지를 웨이퍼 카세트박스에 부착할 수 있도록 배면에 접착층이 도포된 태그에 있어서, 상기 태그지의 인쇄면에 필기가 가능하면서 그 배면에 도포되는 접착층과의 접착력이 낮은 이형제가 코팅되는 한편 상기 태그지의 인쇄면의 배면 일측 가장자리에 접착층이 코팅된 태그가 다수매 적층되어 이루어진 것을 특징으로 한다.

또는 상기의 태그지는 합성수지 필름 또는 클린지로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 다수매 적층된 태그의 배면에는 필기시 받침용으로써 정전기 방지 처리가 된 클린 보드가 부착됨과 아울러 상기 클린 보드 일측에는 필기구 고정부가 설치되고 상기 필기구 고정부에는 연결줄로 연결되어있는 필기구가 착탈가능하게 고정된 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안에 따른 클린룸용 태그의 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 제조공정에서 전달사항 또는 관리사항을 기재하는 양식이 인쇄되어 있고 파티클이 발생되지 않는 재질로 이루어진 태그지(100), 상기 태그지(100) 인쇄면의 배면 일측 가장자리 부위에 코팅되어있는 접착층(200), 상기 태그지(100) 인쇄면의 전체에 코팅되어있는 이형제 코팅층(300)으로 구성되어 있다.

태그지는 반도체 공정에서와 같은 클린룸에서 사용하기 위해 일반적으로 파티클을 발생시키지 않는 합성수지 필름을 사용하며, 경우에 따라서는 클린지를 사용할 수 있다. 접착층(200)은 상기 태그지(100)가 도 2에 도시된 바와 같이 적층된 구조로 사용될 경우에 보다 용이하게 떨어질 수 있도록 인쇄면의 배면 일측 가장자리에 코팅되어 있다.

상기 태그지(100)의 인쇄면 전체에는 상기 접착층(200)과의 접착력이 약한 물질로 구성되어 사용자가 볼펜 등의 필기구로 기재할 수 있는 재질의 이형제 코팅층(300)이 도포되어 있다.

이와같이 본 고안은 적층된 구조의 클린룸용 태그철을 사용함으로써 이형지를 사용할 필요가 없으며, 사용자는 보다 용이하게 태그를 착탈할 수 있게 된다.

도 3은 본 고안의 다른 실시예에 따른 클린룸용 태그철의 구성도이다.

도 3에 도시된 바와 같이 클린룸용 태그철은, 상기 태그철(400)의 배면에 클린 보드(500)를 부착하고, 상기 클린 보드(500)의 일측에 필기구 고정부(600)를 설치하여, 상기 필기구 고정부(600)와 필기구(800)를 연결줄(700)로 연결하며, 상기 필기구(800)를 필기구 고정부(600)에 용이하게 착달시켜 사용할 수 있도록 된 것이다.

이와 같이 태그철(400)이 클린 보드(500)에 부착되어 사용자가 클린 보드(500)를 받침판으로 사용할 수 있음에 따라 평평한 면에 바로 전달사항을 기재할 수 있도록 되어있고, 그에 따른 편리성이 증가한다. 또한 정전기 발생을 방지하기 위해서 표면에 실리콘 코팅을 한 클린 보드(500)를 사용하는 것이 바람직하다. 사용자가 쉽게 필기구(800)를 착탈할 수 있는 구조로 된 필기구 고정부(600)가 상기 클린 보드(500)의 일측에 부착되어 있으며, 또한 필기구(800)의 분실을 방지하기 위한 연결줄(700)이 필기구 고정부(600)와 필기구(800) 사이를 연결하고 있다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 클린룸용 중첩태그를 사용하면, 종래의 클린룸용 스티커 사용시 파티클의 발생을 줄여 생산수율을 높일 수 있고 또한 스티커 사용 후에 남는 산업쓰레기 발생을 줄일 수 있으며, 필기구와 받침판을 태그철과 일체화함으로써 사용자의 편리성이 증가하는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 반도체 제조공정에서 전달사항 또는 관리사항을 기재하는 양식이 인쇄된 태그지와 상기 태그지를 웨이퍼 카세트박스에 부착할 수 있도록 배면에 접착층이 도포된 태그에 있어서, 상기 태그지의 인쇄면에 필기가 가능하면서 그 배면에 도포되는 접착층과의 접착력이 낮은 이형제가 코팅되는 한편 상기 태그지의 인쇄면의 배면 일측 가장자리에 접착층이 코팅된 태그가 다수매 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸용 태그철.
2. 제1항에 있어서, 상기의 태그지는 합성수지 필름 또는 클린지로 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸용 태그철.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다수매 적층된 태그의 배면에는 필기시 받침용으로써 정전기 방지 처리가 된 클린 보드가 부착됨과 아울러 상기 클린 보드 일측에는 필기구 고정부가 설치되고 상기 필기구 고정부에는 연결줄로 연결되어있는 필기구가 착탈가능하게 고정된 것을 특징으로 하는 클린룸용 태그철.

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