KR20040100869A - 광 배향용 편광광 조사 장치 - Google Patents

Abstract

광 배향막에 조사하는 편광광 조사장치에서, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을 줄이는 것이다.

램프(l)가 방사하는 자외선을 포함하는 광은 집광경(2)에서 집광되어, 제1 평면경(3), 인풋 렌즈(5)를 통하여 편광 소자(6)에 입사한다. 편광 소자(6)로부터 출사한 편광광은 광 입사측 렌즈군(41)과 광 출사측 렌즈군(42)으로 구성되는 인테그레이터 렌즈(4)에 입사한다. 광 입사측 렌즈군(41)은 다수의 원통형 렌즈를 배열한 제l, 제2 원통형 렌즈·어레이(41a, 41b)로 구성되며, 제1, 제2 원통형 렌즈·어레이(41a, 41b)의 원통형 렌즈의 배열 방향은 직교하고 있다. 인테그레이터 렌즈(4)로부터 출사한 편광광은 셔터(7), 제2 평면경(8), 콜리메이터 렌즈(9)를 통하여 워크 스테이지(WS) 상에 재치된 워크(W)에 조사된다.

Description

광 배향용 편광광 조사 장치{IRRADIATION APPARATUS OF POLARIZATION LIGHT FOR LIGHT ORIENTATION}

본 발명은 액정 표시 소자의 배향막이나, 액정 패널에 장착하는 시야각 보상 필름에 편광광을 조사하여, 광 배향을 행하기 위한 편광광 조사 장치에 관한 것으로, 특히 상기 편광광 조사 장치에 이용되는 인테그레이터 렌즈의 구성에 관한 것이다.

액정 표시 소자는 투명 기판의 표면에 형성한 배향막에 액정을 원하는 방향으로 배향시키는 처리(배향 처리)를 실시하여, 2 장의 이 투명 기판을, 배향막을 내측으로 하여 사이에 액정을 끼워넣어 맞붙인 것이다.

상기 액정 표시 소자의 배향막의 배향 처리에 관하여, 배향막에 소정 파장의 편광광을 조사하여 노광 처리함으로써 배향을 행하는 광 배향이라 불리는 기술이 있다. 광 배향용의 편광광 조사 장치로는, 예컨대 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 기재된 것이 있다.

최근에는, 상기 액정 표시 소자의 제작 이외에, 시야각 보상 필름의 제작에도 상기 편광광 조사 장치가 사용되어 오고 있었다. 시야각 보상 필름은, 베이스 필름 상에 자외선 경화 액정을 도포하고 일정 방향으로 액정 분자를 배열(배향)시킨 뒤, 자외선을 조사하여 액정을 경화시켜 액정 분자의 방향을 고정시킨 것이다. 시야각 보상 필름을 액정 패널에 붙임으로써 화질의 저하를 보상한다.

이하 여기에서는 시야각 보상 필름도 포함하여, 광 배향을 발생시키는 막을 광 배향막이라고 부르기로 한다.

도 7에 광 배향용 편광광 조사 장치의 구성을 도시한다.

램프(1)가 방사하는 자외선을 포함하는 광은, 집광경(2)에서 집광되고 제1 평면경(3)에서 반사되어, 인풋 렌즈(5)에 의해서 평행광이 되어 편광 소자(6)에 입사한다. 편광 소자(6)는, 예컨대 복수의 유리판을 광축에 대하여 브루스터각만큼 기울여서 설치한 것이다.

편광 소자(6)에 입사한 광은 편광 분리되어, 상기 편광 소자의 경우는 P 편광광만이 출사한다. 출사한 P 편광광은 인테그레이터 렌즈(4)에 입사한다.

인테그레이터 렌즈(4)는 광 조사면(11)에서의 조도 분포를 균일하게 하는 광학 소자이다. 본 예에서는, 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군을 이간하여배치한 것을 사용한다. 이러한 구조의 인테그레이터에 관해서는, 예컨대 특허문헌 3에 기재되어 있다. ·

인테그레이터 렌즈(4)로부터 출사한 P 편광광은 셔터(7)를 통하여 제2 평면경(8)에서 반사되어, 워크 스테이지(WS) 상에 재치된, 광 배향막이 도포된 기판이나 시야각 보상 필름 등인 워크(W)에 조사된다.

워크(W)에 조사하는 광에 평행광이 필요하면, 제2 평면경(6)과 워크 스테이지(WS)의 사이에 콜리메이터 렌즈(9) 또는 콜리메이터 미러를 설치한다. 도 7은 콜리메이터 렌즈(9)가 설치되어 있는 경우를 도시하고 있다.

〈특허문헌 1〉

일본국 특허 제2928226호

〈특허문헌 2〉

일본국 특허 제2960392호

〈특허문헌 3〉

일본국 특개소 제58-505l0호

광 배향막을 광 배향시키기 위해서는, 소정의 파장(예컨대 280nm∼320nm 자외선)으로서, 소정의 값 이상의 소광비(예컨대, P 편광광에 대하여 S 편광광이 포함되는 비율이 1/10∼1/100)를 갖는 편광광이 필요하다. 이는 상기 광 배향막의 물성에 따라 결정된다. 소광비란 광에 포함되는 P 편광 성분과 S 편광 성분의 비율이다.

최근, 광 배향을 행하기 위한 파라미터로서, 상기의 파장과 소광비에 부가하여, 조사면 내에서의 편광광의 방향(이하, 편광축이라고 부른다)의 어긋남이 문제가 되어왔다.

예컨대, 상기 종래예의 편광광 조사 장치를 이용하면, 조사면에서의 편광축의 면내 어긋남은 ±0.5°정도가 된다. 그러나, 최근에는 편광축의 면내 어긋남이 ±O.1°이내를 요구하는 유저도 있어, 한층 더 개선이 요구되고 있다.

도 8에 광 조사면에서의 편광축의 면내 어긋남의 이미지 도를 도시한다. 예컨대 상기 종래예의 경우, 조사되는 P 편광광의 방향이 광 조사면에서 약 ±0.5° 어긋나고 있다는 것이다.

편광축의 면내 어긋남이 큰 광으로 광 배향을 행하면, 제품인 액정 표시 소자의 콘트라스트가 장소에 따라서 달라진다는 문제가 있다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명은 편광광을 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군을 이간하여 배치한 인테그레이터에 입사하여, 조도 분포를 균일하게 하여 광 배향막에 조사하는 편광광 조사 장치에 있어서, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을 줄이는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명자들은 편광축이 어긋나는 원인에 대하여 조사하였다. 그 결과, 이하의 이유에 의해 편광축이 어긋나는 것을 발견하였다.

인테그레이터를 구성하는 렌즈로서 구면 형상의 렌즈를 사용하면, 렌즈의 중심에 입사하는 광의 입사 각도에 대하여 렌즈의 네 모퉁이에 입사하는 광의 입사각도는, 렌즈의 곡면에 따라서 X 방향, Y 방향(X 방향, Y 방향은 입사광에 수직인 평면 상의 직교하는 2축) 모두 변화한다.

그 때문에, 광이 입사하는 면의 법선 방향과 입사하는 광의 방향이 이루는 면과, 입사하는 광의 편광축의 방향이 0° 또는 90°의 관계가 아니게 되어, 입사하는 광의 편광축이 서로 직교하는 2 성분으로 분리된다. 그 결과, 렌즈로부터 출사되는 편광광의 편광축이 회전한다.

인테그레이터의 광 입사측의 렌즈와 광 조사면은 결상 관계에 있다. 따라서, 광 입사측의 렌즈에서 발생한 편광축의 회전은 그대로 광 조사면에 투영되어, 광 조사면에서는 편광축에 어긋남이 발생하게 된다.

따라서, 본 발명에서는 상기 구성의 편광광 조사 장치에서, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군을 원통형 렌즈의 조합으로 구성하였다. 원통형 렌즈의 경우, 렌즈의 중심에 입사하는 광의 입사 각도에 대하여, 렌즈의 장소에 따른 입사 각도는 l 방향밖에 변화하지 않고, 광이 입사하는 면의 법선 방향과 입사하는 광의 방향이 이루는 면과, 입사하는 광의 편광축의 방향이 O° 또는 90°인 관계가 유지된다. 따라서, 입사하는 광의 편광축이 서로 직교하는 2 성분으로 분리되는 일이 없어, 편광축의 회전이 발생하지 않는다. 이 때문에, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을 막을 수 있다.

종래의 렌즈군은 도 2(a)에 도시하는 바와 같이 복수의 볼록 렌즈를 2차원적으로 나열한 광 입사측 렌즈군(4l), 광 출사측 렌즈군(42)을 이간하여 배치한 것이지만, 본 발명에서는 상기 광 입사측 렌즈군(41)을 도 2(b)에 도시하는 바와 같이,복수의 원통형 렌즈를 배열한 제1 렌즈군(41a)(이하 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)라 한다)과, 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)의 원통형 렌즈의 배열 방향과 직교하는 방향으로, 다수의 원통형 렌즈를 배열한 제2 렌즈군(4lb)(이하 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)라 한다)으로 구성한다.

상기 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)의 원통형 렌즈는 볼록면이 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)를 향하여 볼록이 되도록 하여 접근하여 배치한다. 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)와 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)의 거리는 가능한 한 접근하여 배치되어 있는 것이 바람직하고, 열 팽창에 의해 양자가 접촉하지 않을 정도의 거리(예컨대 0.5mm 정도)로 설정한다.

이와 같이 배치함으로써, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을 줄일 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예의 광 배향용 편광광 조사 장치의 구성을 도시하는 도면,

도 2는 종래의 인테그레이터 렌즈와 본 발명에서 사용되는 인테그레이터 렌즈를 도시하는 도면,

도 3은 구면 형상의 렌즈를 사용한 경우와 원통형 렌즈를 사용한 경우의 렌즈면으로의 광의 입사 각도를 도시하는 도면,

도 4는 구면 형상의 렌즈를 사용한 경우와 원통형 렌즈를 사용한 경우의 편광축의 회전을 설명하는 도면,

도 5는 제1, 제2 원통형 렌즈·어레이의 볼록 방향을 바꾸어, 편광축의 어긋남을 조사한 실험결과를 도시하는 도면,

도 6은 제2 원통형 렌즈·어레이를 광 입사 방향으로 볼록으로 한 경우에 편광축의 어긋남이 작아지는 이유를 설명하는 도면,

도 7은 종래의 광 배향용 편광광 조사 장치의 구성을 도시하는 도면,

도 8은 광 조사면에서의 편광축의 면내 어긋남의 이미지를 도시하는 도면이다.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

1 램프 2 집광경

3 제1 평면경 4 인테그레이터 렌즈

41 광 입사측 렌즈군 41a 제1 원통형 렌즈·어레이

41b 제2 원통형 렌즈·어레이 42 광 출사측 렌즈군

5 인풋 렌즈 6 편광 소자

7 셔터 8 제2 평면경

9 콜리메이터 렌즈 10 광원

11 광 조사면 12 아웃풋 렌즈

WS 워크 스테이지 W 워크

도 1은 본 발명의 실시예의 광 배향용 편광광 조사 장치의 구성을 도시하는 도면이다. 상기 도 7에 도시한 것과 동일한 것에는 동일한 부호가 붙여져 있다.

도 1에서, 램프(1)가 방사하는 자외선을 포함하는 광은 집광경(2)에서 집광되고, 제1 평면경(3)에서 반사되어, 인풋 렌즈(5)에 의해서 평행광이 되어 편광 소자(6)에 입사한다.

편광 소자(6)에 입사한 광은 편광 분리되어, 상기 편광 소자의 경우는 P 편광광만이 출사한다. 출사한 P편광광은 광 입사측 렌즈군(41)과 광 출사측 렌즈군(42)으로 구성되는 인테그레이터 렌즈(4)에 입사한다.

본 실시예의 광 입사측 렌즈군(41)은 상기 도 2(b)에 도시한 바와 같이, 복수의 원통형 렌즈를 배열한 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)와, 제1 원통형 렌즈·어레이의 원통형 렌즈의 배열 방향과 직교하는 방향으로 복수의 원통형 렌즈를 배열한 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)로 구성되어 있다.

인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(41)을 상기 구성으로 함으로써, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을 종래의 ±0.5°로부터 ±0.17°로 줄일 수 있었다. 또, 인테그레이터 렌즈(4)의 출사측의 렌즈(42)는 상기 도 2(a)에 도시한 복수의 볼록 렌즈를 2차원적으로 나열한 렌즈군을 이용할 수 있다.

인테그레이터 렌즈(4)로부터 출사한 P 편광광은, 상기한 바와 같이 셔터(7)를 통하여 제2 평면경(8)에서 반사되고, 콜리메이터 렌즈(9)에서 평행광이 되어, 워크 스테이지(WS) 상에 재치된, 광 배향막이 도포된 기판이나 시야각 보상 필름 등인 워크(W)에 조사된다.

또, 콜리메이터 렌즈(9)도 구면 형상의 렌즈이기 때문에 상기한 이유로 편광 방향은 변하지만, 곡율이 작으므로 편광축의 어긋남은 작아서, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남에 미치는 영향은 적다.

이하 상기 구성의 인테그레이터 렌즈를 이용함으로써 편광축의 어긋남을 줄일 수 있는 이유에 관해서 상술한다.

먼저, 편광축이 어긋나는 원인에 대하여 조사하였다.

도 8에 도시한 바와 같이, 종래에는 광 조사면의 네 모퉁이 부분에서 편광축의 어긋남이 커졌다. 그 원인에 관해서 본 발명자들은 다음과 같은 것을 발견하였다.

인테그레이터를 구성하는 렌즈로서 구면 형상의 렌즈를 사용하고 있었으나, 구면 형상 렌즈의 경우, 렌즈의 중심에 입사하는 광의 입사 각도에 대하여 렌즈의 네 모퉁이에 입사하는 광의 입사 각도는, 도 3(a)에 도시하는 바와 같이 렌즈의 곡면을 따라서 X 방향, Y 방향 모두 변화한다.

입사하는 광의 각도가 X 방향, Y 방향 모두 변화하면, 상기한 바와 같이 광이 입사하는 면의 법선 방향과 입사하는 광의 방향이 이루는 면과, 입사하는 광의 편광축의 방향이, 0° 또는 90°의 관계가 아니게 된다.

상기한 바와 같이 0° 또는 90°의 관계가 아닐 때, 입사하는 광의 편광축이 서로 직교하는 2성분으로 분리된다. 그 결과, 렌즈로부터 출사하는 편광광의 편광축이 회전한다.

인테그레이터의 입사측의 렌즈와 광 조사면은 결상 관계에 있다. 따라서, 광 입사측의 렌즈에서 발생한 편광축의 회전은 그대로 광 조사면에 투영되어, 광 조사면에서는 편광축에 어긋남이 발생하게 된다.

이상의 내용으로부터, 편광축의 회전을 방지하기 위해서는 인테그레이터의 광 입사측의 렌즈군에서, 렌즈의 네 모퉁이에 입사하는 광의 입사 각도가 적어도 X 방향, Y 방향 중 어느 한 방향밖에 변화하지 않도록 한 형상의 렌즈를 이용하면 된다.

이와 같은 렌즈로서, 구체적으로는 원통형 렌즈를 들 수 있다. 원통형 렌즈의 경우, 렌즈의 중심에 입사하는 광의 입사 각도에 대하여, 렌즈의 장소에 따른 입사 각도는 도 3(b)에 도시하는 바와 같이 한 방향밖에 변화하지 않는다.

입사 각도가 한 방향으로밖에 변화하지 않으면, 광이 입사하는 면의 법선 방향과 입사하는 광의 방향이 이루는 면과, 입사하는 광의 편광축의 방향이, 0° 또는 90°의 관계가 유지된다.

이 때문에, 입사하는 광의 편광축이 서로 직교하는 2성분으로 분리되는 일이 없어, 편광축의 회전이 발생하지 않는다. 따라서, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을 방지할 수 있다.

이를 도 4(a), 도 4(b)에 의해 설명한다. 도 4(a)는 구면의 볼록 렌즈에 편광광이 입사하고 있는 경우, 도 4(b)는 원통형 렌즈에 편광광이 입사하고 있는 경우를 도시한다. 또, 여기서는 입사하는 편광광의 편광 방향은 동일 도면의 Y 방향인 것으로 한다.

구면의 볼록 렌즈라도, 도 4(a)의 해칭 부분은 입사 각도가 대략 X 또는 Y 중 한 방향만의 변화이므로, 편광축은 거의 회전하지 않는다. 그러나 그 이외의 부분, 특히 네 모퉁이 부분은 X, Y 양 방향으로 변화하기 때문에 편광축이 회전한다.

한편, 원통형 렌즈의 경우, 어느 부분이라도, 도 4(b)에 도시하는 바와 같이 입사 각도는 X 또는 Y 중 한 방향만의 변화가 되어, 편광축은 회전하지 않는다.

여기서, 원통형 렌즈를 2조가 직교하는 방향으로 배열하면, 볼록 렌즈와 같은 기능을 하는 것은 잘 알려져 있다.

따라서, 종래 이용해 왔던 볼록 렌즈 대신에, 2조의 원통형 렌즈군을 이용함으로써, 편광축의 회전을 방지하는 인테그레이터(4)의 광 입사측의 렌즈군(41)을형성할 수 있다.

또, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 출사측의 렌즈군(42)에 대해서는, 광 조사면에서 편광 방향의 어긋남이 상쇄되어 편광축의 어긋남에 영향을 주지 않으므로, 원통형 렌즈로 할 필요는 없다.

다음으로, 원통형 렌즈의 방향에 관하여 검토하였다.

도 5는 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈군(41)의 제1 원통형 렌즈·어레이, 제2 원통형 렌즈·어레이의 볼록 방향을 바꾸어, 편광축의 어긋남을 조사한 실험 결과를 도시하는 도면이다.

인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈군(41)은, 다수의 원통형 렌즈를 배열시킨 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)와, 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)의 광 출사측에 근접하여 배치되어, 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)의 원통형 렌즈의 배열 방향과 직교하는 방향으로 복수의 원통형 렌즈가 배열된 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)로 이루어진다.

인테그레이터 렌즈(4)의 광 출사측의 렌즈는 종래와 같은 구면 형상의 볼록 렌즈군을 사용하고 있다.

도 5에서, 램프(1)와 집광경(2)으로 구성되는 광원(10)으로부터의 광은, 4.42°의 집광각으로 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 제1 렌즈군(41)에 입사하고, 제1 렌즈군(41)을 출사한 광이 제2 렌즈군(42)에 입사한다. 제2 렌즈군(42)으로부터 출사한 광은 인테그레이터 렌즈(4)의 광 출사측의 렌즈(42), 아웃풋 렌즈(l2)를 통하여 광 조사면(11)에 조사된다. 아웃풋 렌즈(12)는 인테그레이터렌즈(4)로부터 출사된 광을 조사면에 모으는 기능을 한다. 또, 아웃풋 렌즈(12)는 불필요한 경우도 있으나, 본 실시예에서는 요구되는 조사의 조건에 따라서 필요하였으므로, 추가하였다.

도 5(a), 도 5(b), 도 5(c), 도 5(d)는 제1 렌즈군 및 제2 렌즈군의 원통형 렌즈의 볼록 방향을 바꾸어 조합한 경우의, 광 조사면(11)에서의 편광축의 어긋남을 도시한 것이다.

도 5(a)는 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)가 광 입사 방향으로 볼록이고, 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)가 광 출사 방향으로 볼록인 경우를 도시하며, 도 5(b)는 제1 원통형 렌즈·어레이(41a), 제2 원통형 렌즈·어레이(42b) 모두 광 출사 방향으로 볼록인 경우를 도시한다.

또한, 도 5(c)는 제1 원통형 렌즈·어레이(41a)가 광 출사 방향으로 볼록이고, 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)가 광 입사 방향으로 볼록인 경우를 도시하며, 도 5(d)는 제1 원통형 렌즈·어레이(41a), 제2 원통형 렌즈·어레이(41b) 모두 광 입사 방향으로 볼록인 경우를 도시한다.

상기한 바와 같이, 인테그레이터(4)의 광 입사측 렌즈(41)가 종래의 구면 형상의 볼록 렌즈인 경우의 편광축의 어긋남은 ±0.5°이었다.

이에 대해, 인테그레이터 렌즈(4)의 입사측의 렌즈군(41)을 원통형 렌즈의 조합으로 함으로써, 도 5에 도시하는 바와 같이 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을, ±0.26°∼0.17°로 줄일 수 있었다.

여기서 제2 원통형 렌즈·어레이(41b)가 광 입사 방향으로 볼록인 도 5(c),도 5(d)의 경우 쪽이 편광축의 어긋남이 ±0.17°로, 광 출사 방향으로 볼록인 도 5(a), 도 5(b)의 경우의 ±0·2°에 비하여 작고 양호한 결과가 되었다.

이는 다음과 같이 설명할 수 있다.

편광축의 회전은 상기한 바와 같이 렌즈 표면이 곡면이기 때문에, 입사 각도가 장소에 따라 상이한 것이 원인으로 발생한다. 입사 각도의 차이가 크면, 편광축의 어긋남도 커진다.

제1 원통형 렌즈(A)로부터 출사한 광은, 퍼지면서 제2 원통형 렌즈(B)에 입사한다. 여기서, 도 6(a)에 도시하는 바와 같이 제2 원통형 렌즈(B)의 볼록 방향이, 광 입사측(제1 원통형 렌즈(A))을 향하고 있는 경우의 쪽이, 도 6(b)에 도시하는 바와 같이 광 출사측을 향하고 있는 경우에 비해, 제1 원통형 렌즈(A)의 출사면으로부터 제2 원통형 렌즈(B)의 곡면까지의 거리가 가까워진다.

따라서, 도 6(a) 쪽이 제1 원통형 렌즈(A)로부터 출사한 광의 퍼짐의 폭이 좁은 상태로, 제2 원통형 렌즈(B)의 곡면에 광이 입사한다. 그 결과, 렌즈 곡면에 입사하는 광의 각도의 차이가 작아진다.

이 때문에, 제2 원통형 렌즈(B)로부터 출사하는 편광광의 편광축의 회전이 작아져, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남도 작아진다고 생각된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 광 배향용 편광광 조사 장치에 사용되는 인테그레이터 렌즈의 입사측의 렌즈를 제1, 제2 원통형 렌즈·어레이로 구성하고, 제l, 제2 원통형 렌즈·어레이의 원통형 렌즈의 배열 방향을 서로 직교시켜,제2 원통형 렌즈·어레이의 원통형 렌즈를, 제l 원통형 렌즈·어레이를 향하여 볼록이 되도록 배치하였기 때문에, 광 조사면에서의 편광축의 어긋남을 줄일 수 있다. 이 때문에, 광 배향막의 배향 방향을 균일하게 할 수 있다.

Claims (1)

1. 편광 소자에 의해 편광한 광을 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군을 이간하여 배치한 인테그레이터 렌즈에 입사하여, 조도 분포를 균일하게 하여 조사하는 광 배향용 편광광 조사 장치에 있어서,

   상기 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군은, 복수의 원통형 렌즈를 배열시킨 제1 원통형 렌즈·어레이; 및

   상기 제1 원통형 렌즈·어레이의 광 출사측에 근접하여 배치되고, 제1 원통형 렌즈·어레이의 원통형 렌즈의 배열 방향과 직교하는 방향으로 복수의 원통형 렌즈가 배열된 제2 원통형 렌즈·어레이로 이루어지고,

   상기 제2 원통형 렌즈·어레이의 원통형 렌즈는, 제1 원통형 렌즈·어레이를 향하여 볼록이 되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 배향용 편광광 조사 장치.