KR20040099155A - 광 정보 기록 매체 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20040099155A
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나가타겐이치
구사다히데오
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마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기록 소거 가능한 상 변화형 광 디스크, 특히 4.7GB의 DVD-RAM에 관한 것으로서, 종래 구성에 비해서 성막 택트(tact)가 짧고, 또한, 지터, 크로스 소거 특성, 사이클 특성이 양호한 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 안내 그루브(groove)를 갖는 기판 위에, 적어도 반사층, 기록층, 광 입사측 보호층, 제 1 수지층, 광 입사측 기판을 이 순서대로 구비한다. 기록층과 제 1 수지층은, 1㎚ 이상이고, 또한 50㎚ 이하의 간격을 갖고 형성되어 있다.

Description

광 정보 기록 매체 및 그 제조 방법{OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}
본 발명은, 레이저 광을 이용하여 대용량의 정보를 기록 및 재생하는 광 정보 기록 매체와, 그 제조 방법에 관한 것이다.
레이저 광을 이용하여 신호를 기록 및 재생할 수 있는 광 정보 기록 매체의 실용 예로서, 상 변화 재료를 기록 층에 사용한 DVD-RAM 미디어(media)가 알려져 있다. 이 DVD-RAM 미디어의 기판의 직경은 120㎜이며, 한 면의 사용자 기록 용량이 4.7GB이며, 양면의 사용자 기록 용량이 9.4GB의 DVD-RAM 미디어(이하, 4.7GB의 DVD-RAM이라고 칭함)이다. 4.7GB의 DVD-RAM은, 파장이 660nm의 레이저 광을 이용하여 신호의 기록·재생이 행해지고, 표준의 데이터 전송 레이트는 22Mbps로 되어 있다.
4.7GB의 DVD-RAM에서 이용되고 있는 주요한 기술을 이하에 기재한다.
(1) 예를 들면, Jpn. J. App1. Phys. 32(1993) 5324 페이지에는, 대 기록 용량을 실현하기 위한 L&G(Land and Groove) 기록 방식이 기재되어 있다. L&G 기록 방식이란, 광 디스크 기판 표면에 형성된 그루브부 및 그루브 사이, 즉 랜드부의 쌍방에 신호를 기록하는 기술이다. 상 변화형 광 디스크에 있어서 L&G 기록을 실현하기 위해서는, 기록층이 비정질 상태에 있을 때에 기록 매체로부터 반사되는 반사광과, 기록층이 결정 상태에 있을 때에 기록 매체로부터 반사되는 반사광의 위상차를 충분히 작게 할 필요가 있다.
(2) 오버라이트 소거율의 향상, 즉 오버라이트 후의 재생 지터의 저감을 도모하기 위해서, 비정질 상태에 있어서의 기록층의 광 흡수율 Aa와 결정 상태에 있어서의 기록층의 광 흡수율 Ac의 관계를, Ac>Aa이라고 하는 소위 "열 밸런스 구성(thermally balanced structure)"의 기술이 알려져 있다. 이 "열 밸런스 구성"의 기술은, 예를 들면, Int. Conf. Advanced Materials(1993) 2/B, Information Storage Materials, Tokyo(1994) P.1035에 개시되어 있다.
(3) 예를 들면, J. App1. Phys. 69(191) 2849에는, 고속 결정성의 기록층 재료가 개시되어 있다.
(4) 예를 들면, Jpn. J. App1. Phys., 37, 2104(1998)에는, 기록층에 접해서 마련하는 계면층의 기술에 관한 것으로서, 양호한 사이클 특성을 확보하기 위한 기술이 개시되어 있다.
본 발명자들이 개발한 4.7GB의 DVD-RAM의 구성의 일례는, 안내 그루브가 형성된 폴리카보네이트(polycarbonate)제의 광 입사측 기판 위에, 광 입사측 보호층, 광 입사측 질화물 계면층, 기록층, 반사층측 질화물 계면층, 반사층측 보호층, 흡수층, 반사층을 이 순서대로 적층 성막한 것이다. 상기 광 입사측 기판 두께는 0.6㎜이며, 그 직경 120㎜이다. 또 트랙 피치는 0.615㎛로 되어 있다. 상기 광 입사측 보호층은, ZnS-SiO2를 주성분으로 하여, 두께가 약 15O㎚로 형성되는 것이다. 상기 광 입사측 질화물 계면층은, 두께 수㎚로 형성되는 것이다. 상기 기록층은, Ge-Sb-Te를 주성분으로 하여, 두께 약 9㎚로 형성되는 것이다. 상기 반사층측 질화물 계면층은, 두께 수㎚로 형성되는 것이다. 상기 반사층측 보호층은, ZnS-SiO2를 주성분으로 하여, 두께 약 40㎚로 형성되는 것이다. 상기 흡수층은, Ge 또는 Si를 주성분으로 하여, 두께 약 40㎚로 형성되는 것이다. 상기 반사층은, Ag 또는 Al을 주성분으로 하여, 두께 약 100㎚로 형성되는 것이다.
각 층의 성막 프로세스에서는, 양산성을 고려해서 낱장식 스퍼터링 장치를 이용하는 것이 일반적이다.
4.7GB의 DVD-RAM의 성막 프로세스에 관한 것으로서, 예를 들면 일본 특허 공개 제 2002-312979 호 공보에는, 성막 택트 타임(tact time)을 단축할 수 있는 새로운 디스크 구성의 제안이 이루어지고 있다. 성막 택트 타임을 단축하기 위해서는, 다른 층에 비해서 막 두께가 두꺼운 광 입사측 보호층을 박막화하는 것이 긴요하며, 동일 공보에는, 정보 재생을 위해 조사되는 레이저 광의 파장에 있어서의 광 입사측 보호층의 굴절율을, 동일 파장에 있어서의 광 입사측 기판의 굴절률과 동등 이하로 함에 따라서, 광 입사측 보호층의 막 두께를 얇게 해도 종래와 동등한 광학 특성을 실현되는 것이 개시되어 있다. 그리고, 동일 공보에 의하면, 예를 들면, ZnS-SiO2의 경우에서 약 150㎚의 막 두께인 종래의 광 입사측 보호층을 대폭으로 박막화(50㎚ 이하)해도 종래의 디스크 구성과 동등한 광학 특성을 실현할 수 있고, 또한, 종래의 디스크 구성과 마찬가지로, 4.7GB의 DVD-RAM의 규격을 만족하는 광 정보 기록 매체가 얻어지는 것으로 기재되어 있다.
상기 공보에 개시되어 있는 발명에 의하면, 광 입사측 보호층의 막 두께를 종래에 비해서 대폭으로 얇게 할 수 있으므로, 성막 택트 타임을 단축할 수 있다. 그러나, 이것으로는, 정보의 기록·소거의 반복 특성이, 종래의 디스크 구성에 비해서 대폭으로 열화한다고 하는 과제가 생긴다. 애당초, 광 입사측 보호층은, 정보를 기록할 때에 레이저 광이 입사됨으로써 기록층이 융점 이상으로 가열되어도, 안내 그루브가 형성되어 있는 광 입사측 기판이 열 손상을 받아서 변형하는 일이 없는, 열 장벽층으로서의 역할을 담당하고 있는 것이다. 그 때문에, 성막 택트 타임을 단축하기 위해서 광 입사측 보호층의 막 두께를 대폭으로 얇게 하는 구성을 채용하면, 본질적으로 광 입사측 기판이 열 변형이 생기기 쉽게 되는 것은 피할 수 없고, 그러므로 정보의 기록·소거의 반복 특성이 종래 구성에 비해서 대폭으로 열화한다고 하는 과제가 발생한다.
본 발명의 주요한 목적은, 상기 과제를 해결한 광 정보 기록 매체를 제공하기 위한 것으로, 양호한 기록·소거의 반복 특성을 실현하는 것을 목적으로 하고 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 정보 기록 매체의 구조를 도시하는 단면도,
도 2는, 광 정보 기록 매체의 기록·재생을 실행하는 기록 재생 장치를 개략적으로 도시한 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 기판 2 : 기판 배면
3 : 반사층 4 : 흡수층
5 : 반사층측 보호층 6 : 반사층측 계면층
7 : 기록층 8 : 광 입사측 계면층
9 : 광 입사측 보호층 10 : 제 1 수지층
11 : 광 입사측 기판
본 발명은, 레이저 광을 이용하여 정보의 기록 및 재생이 가능한 광 정보 기록 매체를 전제로 하여, 안내 그루브를 갖는 기판 위에, 적어도 반사층, 기록층, 광 입사측 보호층, 제 1 수지층, 광 입사측 기판을 이 순서대로 구비하며, 상기 기록층과 상기 제 1 수지층은, 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격을 갖고 형성되어 있다.
또한 본 발명은, 레이저 광을 이용하여 정보의 기록 및 재생이 가능한 광 정보 기록 매체를 제조하는 방법을 전제로 하여, 안내 그루브를 갖는 기판 위에, 적어도 반사층, 상기 기록층, 광 입사측 보호층을 이 순서대로 성막한 후, 상기 광 입사측 보호층에 제 1 수지층을 거쳐서 광 입사측 기판을 부착하고, 상기 기록층과 상기 제 1 수지층이 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격을 갖고 형성되어 있는 방법으로 할 수 있다.
또한 본 발명은, 레이저 광을 이용하여 정보의 기록 및 재생이 가능한 광 정보 기록 매체를 제조하는 방법을 전제로 하여, 안내 그루브를 갖는 기판 위에, 적어도 반사층, 기록층, 광 입사측 보호층을 이 순서대로 성막한 후, 상기 광 입사측 보호층 위에 제 1 수지층을 형성하고, 이 제 1 수지층에 제 2 수지층을 거쳐서 광 입사측 기판을 부착하고, 상기 기록층과 상기 제 1 수지층이 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격을 갖고 형성되어 있는 방법으로 할 수 있다.
본 발명에 의해, 정보의 기록·소거에 관한 반복 특성을 확보하면서, 광 입사측 보호층의 막 두께가 얇고, 기록층과 제 1 수지층의 간격이 좁은 광 정보 기록 매체를 얻을 수 있다.
(발명의 실시예)
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.또, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 정보 기록 매체(광 디스크)의 적층 구성의 개략을 도시하는 반경 방향의 단면도이다.
상기 광 정보 기록 매체는, 기판(1)과 반사층(3)과 흡수층(4)과 반사층측 보호층(5)과 반사층측 계면층(6)과 기록층(7)과 광 입사측 계면층(8)과 광 입사측 보호층(9)과 제 1 수지층(10)과 제 2 수지층(12)과 광 입사측 기판(11)이, 이 순서대로 적층되어 구성되어 있다. 이들 각 층은 금속 박막으로 이루어진다. 도 1에 있어서, 정보의 기록 및 재생을 실행하기 위한 레이저 광은 광 입사측 기판(11)의 측으로부터 입사된다.
상기 기판(1)은, 폴리카보네이트 등의 수지판으로 이루어진다. 기판(1)의 표면(2)은 스파이럴 형상의 연속 그루브(안내 그루브, 트랙)로 덮어져 있다.
상기 반사층(3)은, 흡수층(4)에서 발열한 열을 방출하기 위해서 마련되는 것이다. 반사층(3)은, Au, Ag, A1, Cu, Cr 등의 금속을 주성분으로 하고 있다. 특히 바람직한 재료는, 열 전도율이 높고 화학적으로 안정하며, 또한 비교적 저 비용의 Ag 및 A1이다. 주성분은, 주로 포함되는 성분을 나타내고 있고, 원자량비로 가장 함유량이 많은 성분이다.
바람직한 반사층의 두께는 50㎚ 이상이지만, 150㎚보다 두껍게 해도 디스크 특성은 변화되지 않으므로, 보다 바람직한 두께는 50㎚ 이상이고 또한 150㎚ 이하이다.
상기 흡수층(4)은, 정보 기록을 위해 조사되는 레이저 광을 흡수하는 것이며, 이 흡수층(4)은, Ge, Cr, Si 등을 주성분으로 하고 있다. 흡수층(4)은, 기록층(7)에 있어서의 광 흡수 보정을 용이하게 실현하기 위해서 마련되는 것이며, 흡수층(4)이 마련됨으로써, 기록층(7)이 비정질 상태에 있을 때와 결정 상태에 있을 때의 두 상태에 있어서의 광 정보 기록 매체로부터의 반사광의 위상차를 조정할 수 있다. 특히, 파장이 660㎚ 전후의 레이저 광에 대해서는, 흡수층(4)을 마련하지 않고 열 밸런스 구성을 취하면서 반사광의 위상차를 충분히 작게 하는 것은 곤란하다. 따라서, 흡수층(4)을 구성하는 재료에 요구되는 바람직한 광학 특성은, 굴절율 n이 2 이상이고 또한 5 이하, 소화 계수 k가 1.5 이상이고 또한 4.5 이하이다.
또한, 상기 흡수층(4)을 마련함으로써, 인접 트랙 기록에 의한 크로스 소거를 실용 범위 내에 억제할 수 있다. 크로스 소거는, 신호 기록 시에 인접 트랙을 소거하는 비율을 나타내고 있다. 크로스 소거가 억제되는 것은, 기록 동작을 위해 고 파워에서 레이저 광이 조사되어 있을 때에는, 흡수층(4)에 있어서도 발열이 생겨서 기록층(7)의 승온을 촉진함으로써 고 감도 기록이 가능하게 되는 한편, 기록을 위한 레이저 조사가 종료한 직후부터, 흡수층(4)의 열이 고열 전도율 재료로 이루어지는 반사층(3)측으로 방출되는 것에 의해, 기록층(7)으로의 열 확산을 최소한으로 억제할 수 있기 때문이다. 그리고, 흡수층(4)의 두께가 너무 얇으면 충분한 발열의 효과를 얻을 수 없고, 또한 너무 두꺼우면 냉각 시에 반사층(3)측으로 충분히 열을 방출할 수 없다. 따라서, 바람직한 흡수층(4)의 두께는 20㎚ 이상이고 또한 60㎚ 이하이다.
상기 반사층측 보호층(5)을 구성하는 재료는, 광 입사측 기판(11)의 굴절율보다도 큰 굴절율을 갖는 것이 바람직하다. 또한 본 재료는, 물리적·화학적으로 안정한 것, 즉 기록층(7)에 적용하는 재료보다도 융점 및 연화 온도가 높은 것이 바람직하고, 또한 기록층(7)의 재료와 고체 수용액을 형성하지 않는 것이 바람직하다. 예를 들면, ZnS, Zr 산화물, Cr 산화물, Ta 산화물, 이트륨 산화물 등의 유전체 혹은 이들 중 어느 하나를 주성분으로 하는 재료가 바람직하다. 특히 바람직한 재료는, ZnS와 SiO2의 혼합 재료이다.
상기 반사층측 보호층(5)의 재료의 광학 특성은, 파장 660㎚ 근방에 있어서, 굴절율이 2.0 이상이고 또한 2.4 이하인 것이 바람직하다. 또한 반사층측 보호층(5)의 바람직한 막 두께는 20㎚ 이상이고 또한 60㎚ 이하이다. 즉, 반사층측 보호층(5)의 막 두께가 얇아질수록 기록층(7)에 있어서의 광 흡수율이 저하하고, 막 두께가 20㎚보다도 엷으면 기록 감도의 악화가 현저하게 된다. 한편, 반사층측 보호층(5)의 막 두께가 두껍게 될수록 기록층(7)이 결정 상태인 때의 광 정보 기록 매체의 광 반사율이 저하하고, 막 두께가 60㎚보다도 두꺼우면 반사율의 부족이 현저하게 된다.
상기 반사층측 계면층(6) 및 상기 광 입사측 계면층(8)의 주 재료는, 일반식 「X」―N 혹은「X」―O-N으로 나타내는 질화물, 질산화물, 산화물, C(탄소) 혹은 일반식「Y」―C로 나타내는 탄화물, 또는 이들의 혼합물로 이루어진다. 여기서 「X」는 Ge, Cr, Zr, Si, Al, Te 중 적어도 하나의 원소를 포함하는 재료가 바람직하고, 「Y」는 Si가 바람직하다. 이 계면층(6)을 마련함으로써, 기록층(7)을 구성하는 원소와, 유전체층인 반사층측 보호층(5) 및 광 입사측 보호층(9)을 구성하는 원소의 상호 확산이 억제되어, 기록 소거의 반복 특성(사이클 특성)을 향상할 수 있다. 질화물 등으로 이루어지는 계면층(6, 8)의 효과에 관해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 평성 제 4-52188 호 공보 등에 상세한 기재가 이루어지고 있다.
상기 계면층(6, 8)은, 정보 기록을 위해 조사되는 레이저 광에 대해 흡수 계수가 충분히 작고(바람직하게는 0.2 이하), 또한 그 막 두께도 충분히 얇게 하는 것이 바람직하다. 그 막 두께는, 1㎚ 이상이고 또한 20㎚ 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2㎚ 이상이고 또한 10㎚ 이하인 것이 바람직하다. 계면층(6, 8)에 의한 사이클 특성 향상의 효과는, 특히 기록층(7)이 얇은 경우(10㎚ 이하)에 현저하다. 또한, 기록·소거의 반복 특성을 어느 정도 희생해도 좋은 경우에는, 반사층측 계면층(6)과 광 입사측 계면층(8)은 반드시 필요하지는 않고, 또 이들층을 동일한 재료로 형성하지 않아도 된다.
상기 기록층(7)을 구성하는 재료는, 결정 상태와 비정질 상태 사이에서 구조 변화를 일으키는 물질인 것이 필요하며, 바람직한 재료는, Te, Sb, Ge를 주성분으로 하는 것이다. 이들 주성분의 조성비는, GexSbyTez로 하여 원자량비로 나타내면, 0.10≤X<0.50, 0≤y≤0.25, 0.45≤Z≤0.65, X+y+Z=1로 나타내는 조성이 우수하다. 또한, 기록층(7)을 구성하는 재료는, 원자량 백분율로 10% 이하의 Sn 또는 Bi가 포함되는 Te, Sb, Ge, Sn, 또는 Te, Sb, Ge, Bi, 또는 Te, Sb, Ge, Sn, Bi인 것이 바람직하다.
상기 기록층(7)은, 얇으면 충분한 반사율을 얻을 수 없고, 또한 너무 두꺼우면 양호한 기록 소거의 반복 특성을 얻을 수 없다. 따라서, 바람직한 기록층(7)의 막 두께는, 7㎚ 이상이고 또한 1O㎚ 이하이다.
상기 광 입사측 보호층(9)을 구성하는 재료는, 광 입사측 기판(11)의 굴절율보다도 작은 굴절율을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 본 재료는, 물리적·화학적으로 안정한 것, 즉 기록층(7)에 적용하는 재료보다도 융점 및 연화 온도가 높은 것이 바람직하고, 또한 기록층(7)의 재료와 고체 수용액을 형성하지 않는 것이 바람직하다. 예를 들면, A1 산화물(예를 들면, A12O3), Si 산화물(예를 들면, SiO2), Mg 산화물, 불화물 등의 유전체 혹은 이들 중 어느 하나를 주성분으로 하는 재료가 바람직하다.
상기 광 입사측 보호층(9)을 구성하는 재료의 광학 특성은, 광 입사측 기판(11)의 굴절율과 동등 이하인 것이 바람직하다. 따라서, 광 입사측 기판(11)의 재료로서 폴리카보네이트를 이용하는 경우, 광 입사측 보호층(9)은, 조사되는 레이저 광의 파장(660㎚) 근방에 있어서, 굴절율이 1.4 이상이고 또한 1.6 이하인 것이 바람직하다. 가령 광 입사측 보호층(9)의 굴절율이 광 입사측 기판(11)의 굴절율보다도 큰 재료를 사용하는 것으로 해도, 굴절율의 차가 O.1을 초과하지 않는 범위의 재료를 선택할 필요가 있다. 이 이유에 관한 상세한 것은 후술한다.
반사층(3), 흡수층(4), 반사층측 보호층(5), 반사층측 계면층(6), 기록층(7), 광 입사측 계면층(8), 및 광 입사측 보호층(9)의 각 층의 형성 방법으로서는, 통상, 스퍼터링법으로 형성하지만, 전자 빔 증착, 이온 플레이팅법, CVD법 등을 적용해도 좋다.
상기 광 입사측 기판(11)은, 폴리카보네이트 등의 투명 수지로 이루어진다.
상기 광 입사측 기판(11)은, 자외선 경화 수지 등으로 이루어지는 제 1 수지층(10)을 이용하여 광 입사측 보호층(9) 위에 부착해도 좋다. 또한, 광 입사측 기판(11)은, 광 입사측 보호층(9) 위에 제 1 수지층(10)을 마련하고 나서, 자외선 경화 수지 등으로 이루어지는 제 2 수지층(12)을 이용하여 기판(11)을 부착해도 좋다. 이 후자의 경우, 제 1 수지층(10)을 형성하기 위해서는 스핀 코팅법이 가장 바람직하다.
다음에 각 층의 적정 막 두께에 대해서 설명한다. 예를 들면 4.7GB의 DVD-RAM 디스크 구성을 설계한 후에 고려해야 할 광학 특성은, 기본적으로 이하의 1)∼5)의 5개의 조건을 모두 만족하는 것이 필요하게 된다.
1) 기록층(7)이 결정 상태에 있을 때의 반사율과, 비정질 상태에 있을 때의 반사율의 차이가 큰 것. 이것은, 진폭을 높이기 위해서 필요한 조건이다.
2) 기록층(7)이 비정질 상태에 있을 때의 광 흡수율 Aa와, 결정 상태에 있을 때의 광 흡수율 Ac의 관계가, Aa<Ac, 더욱 바람직하게는, Ac/Aa>1.2인 것.
3) 기록층(7)이 비정질 상태에 있을 때의 광 정보 기록 매체로부터의 반사광과, 결정 상태에 있을 때의 반사광의 위상차가 충분히 작은 것. 이것은, L&G 기록의 실현을 위해 필요한 조건이다. 경험적으로는, 절대값으로 0.05π이하인 것이 바람직하다.
4) 기록층(7)이 비정질 상태에 있을 때의 광 흡수율 Aa와, 결정 상태에 있을 때의 광 흡수율 Ac의 평균값이 가능한 한 큰 것. 이것은, 고 감도화를 위해 필요한 조건이다.
5) 양호한 기록 소거의 반복 특성을 얻을 수 있는 것.
본 발명자들이 이전에 행한 실험에 의하면, 광 입사측 보호층(9)을 2.0 이상이고 또한 2.4 이하의 굴절율을 갖는 재료로 약 150㎚의 막 두께로 형성하고, 기록층(7) 상하의 계면층(6, 8)의 막 두께를 1㎚ 이상이고 또한 10㎚ 이하로 하며, 기록층(7)의 막 두께를 약 9㎚으로 하고, 반사층측 보호층(5)을 2.0 이상이고 또한 2.4 이하의 굴절율을 갖는 재료로 약 40㎚의 막 두께로 형성하고, 흡수층(4)의 막 두께를 약 40㎚으로 하며, 반사층(3)의 막 두께를 약 100㎚으로 하였을 경우에, 4.7GB의 DVD-RAM의 규격값을, 각 층의 막 두께의 공차(tolerance)를 갖고 만족할 수 있었다. 또한, 계면층을 마련하지 않은 경우에 있어서는, 사이클 특성이 대폭으로 열화하지만, 다른 특성을 만족할 수 있었다.
그런데, 상기 실험에 있어서, 광 입사측 보호층(9)을 광 입사측 기판(11)의 굴절과 동등 이하라고 하였을 경우에도, 종래 구성과 완전히 동일한 광학 특성(반사율, 기록층 및 흡수층에 있어서의 광 흡수율 등)이 얻어지고, 후술하는 기록 소거의 반복 특성을 제외하고, 종래와 동등한 기록·재생 특성이 얻어졌다.
그리고, 이 경우에 있어서, 예를 들면, 광 입사측 보호층(9)을 Si의 산화물(SiO2)이나, A1의 산화물(A12O3)과 같이, 광 입사측 기판(11)보다도 작은 굴절율의 재료에 의해 성형하였을 경우에는, 종래 구성에 비해서 광 입사측 보호층(9)의 막 두께를 대폭으로 얇게 하는(예를 들면, 10분의 1) 것이 가능하기 때문에, 동일한 구성의 성막 장치를 이용하였을 경우, 고속으로 성막하는 것이 가능해진다.
그러나, 종래의 DVD-RAM 디스크의 경우에는, 광 입사측 보호층의 막 두께가 얇아지고, 기록층과 광 입사측 보호층의 간격이 좁아지면, 광 입사측 기판은, 정보 기록을 위한 레이저 조사에 의해 기록층의 온도 상승의 영향을 받아서 박면측이 열 변형하기 쉬워진다. 이것은 이하의 이유에 의한 것으로 추측된다. 즉, 종래의 DVD-RAM 디스크의 경우, 광 입사측 기판의 표면에 안내 그루브가 마련되어 있고, 이 안내 그루브를 갖는 광 입사측 기판 위에, 광 입사측 보호층, 광 입사측 계면층, 기록층, 반사층측 계면층, 반사층측 보호층, 흡수층, 반사층의 순서로 성막해 가고(이하, 정순(正順) 성막이라고 칭함), 마지막으로 보호 기판을 부착하도록 하고 있다. 이 때문에, 광 입사측 보호층을 극단적으로 얇게 하였을 경우, 예를 들면 실험적으로 확인한 바로는 약 50㎚ 이하의 두께의 경우, 보다 현저하게는 40㎚ 이하의 두께의 경우에는, 기록을 위한 레이저 조사에 의해, 광 입사측 기판 상의 안내 그루브가 변형하고, 이것에 의해, 기록 소거의 반복 특성이 대폭으로 열화하는 것을 알았다.
이에 대해, 상술해 온 본 발명과 같이, 표면(2)에 안내 그루브가 있는 기판(1) 위에, 종래와는 반대의 성막 순서, 즉, 반사층(3), 흡수층(4), 반사층측 보호층(5), 반사층측 계면층(6), 기록층(7), 광 입사측 계면층(8), 광 입사측 보호층(9)의 순서로 성막하여(이하, 역순(逆順) 성막이라고 칭함), 이 광 입사측 보호층(9) 위에 제 1 수지층(10)을 거쳐서 광 입사측 기판(11)을 부착하는 역순 성막에서는, 각층의 막 두께가 종래와 동일하여도, 종래의 정순 성막의 경우에 비해, 기록 소거의 반복 특성에 관해서 대폭적인 향상이 발견되었다.
이것은, 역순 성막에 의해 광 정보 기록 매체를 구성할 경우, 기판(1) 위에 안내 그루브를 마련하기 때문에, 이 안내 그루브와 기록층(7)의 거리가 길어지는 것이 우선 그 이유로서 생각된다. 그리고, 기록층(7)과 기판(1) 상의 안내 그루브와의 사이에 열 전도율이 큰 금속을 주성분으로 하는 반사층(3)이 개재하고 있으므로, 기록층(7)으로부터의 열이 이 반사층(3) 내를 전달하기 쉽고, 안내 그루브 측으로 열이 전달되기 어렵기 때문에 안내 그루브가 변형하기 어려워지는 것으로 생각된다. 그 때문에, 본 발명은, 광 입사측 보호층(9)의 막 두께가 얇은 경우 등의 기록층(7)과 광 입사측 기판(11)과의 간격이 50㎚ 이하의 경우에 유효하다. 또한, 광 입사측 보호층(9)의 막 두께가 두꺼울수록 기록 소거의 반복 특성이 양호하므로, 이 층을 생략하는 것은 기본적으로 불가능하다. 한편, 광 입사측 보호층(9)이 너무 두껍게 되면, 성막 효율을 높이는 것이 곤란해진다.
또한, 역순 성막에 의한 구성의 경우, 광 입사측 보호층(9)의 굴절율을 n1으로 하고, 광 입사측 기판(11)의 굴절율을 n3으로 하였을 때에, 이것들 n1, n3에 요구되는 대소 관계는, 이하의 관계식 (1)
(1)
을 만족하고 있는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는, 이하의 관계식 (2)
(2)
을 만족하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 굴절율의 대소 관계는, 광 입사측 보호층(9)의 굴절율과 제 1 수지층(10)의 굴절율과의 관계에도 마찬가지로 적응된다. 즉, 광 입사측 보호층(9)의 굴절율을 n1로 하고, 제 1 수지층(10)의 굴절율을 n2로 하였을 때에, n1, n2은, 이하의 관계식 (3)
(3)
을 만족하고 있는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는, 이하의 관계식 (4)
(4)
을 만족하고 있는 것이 바람직하다. 또한 이들의 굴절율의 대소관계는, 광 입사측 보호층(9)의 굴절율 n1과 제 2 수지층(12)의 굴절율과의 관계에도 마찬가지로 적용된다.
광 입사측 보호층(9)의 굴절율 n1, 제 1 수지층(10)의 굴절율 n2, 광 입사측 기판(11)의 굴절율 n3이 상기 관계를 갖는 것이 바람직한 것은, 이하의 이유에 의한다. 즉, 광 입사측 보호층(9)의 굴절율 nl이 광 입사측 기판(11)의 굴절율 n3보다도 커지면, 상기 DVD-RAM 구성을 설계한 후에 고려해야 할 5개의 광학 특성을 만족하는 것이 곤란하게 되고, 4.7GB의 DVD-RAM의 규격값을 만족하는 구성으로 하는 것이 곤란하게 된다. 그리고, 본 발명자들이 행한 검토 결과에서는, 광 입사측 보호층(9)의 굴절율 n1이 광 입사측 기판(11)의 굴절율 n3보다도 0.1을 초과하여 커지면, 규격을 만족할 수 있는 구성을 얻을 수 없었다. 반대로, 광 입사측 보호층(9)의 굴절율 n1이 광 입사측 기판(11)의 굴절율 n3보다도 작아지면, 광 입사측 보호층(9), 기록층(7), 반사층측 보호층(5) 등의 막 두께 허용값을 충분히 넓게 취할 수 있다. 이 굴절율 n1과 굴절율 n3의 관계는, 굴절율 n1과 굴절율 n2의 관계에도 적합하다.
또한, 기록 소거의 반복 특성을 향상시키기 위해서는, 역순 성막의 구성에 부가하여, 제 1 수지층(10)을 광 입사측 기판(11)보다도 내열성이 있는 재료로 구성하는 것이 바람직하다. 즉, 제 1 수지층(10)을 광 입사측 기판(11)보다도 연화 온도가 높은 재료로 구성하거나, 제 1 수지층(10)을 광 입사측 기판(11)보다도 경도가 높은 재료로 구성하는 것이 바람직하다. 그리고, 이 제 1 수지층(10)에서 굴절율이 작은 광 입사측 보호층(9)을 덮고, 그 위에 광 입사측 기판(11)을 마련하면 좋다. 이렇게 함으로써, 기록 소거의 반복 특성을 향상시킬 수 있는 것을 본 발명자들은 실험적으로 확인하였다.
본 실시예에서는, 제 1 수지층(10) 및 제 2 수지층(12)을 거쳐서 광 입사측 기판(11)을 부착하는 구성으로 하고 있지만, 이 대신에, 제 1 수지층(10)에 광 입사측 기판(11)을 부착하는 구성으로 해도 좋다. 단, 이 경우, 제 1 수지층(10)에, 접착제로서의 역할과, 기록시의 승온으로부터 광 입사측 기판(11)의 열 변형을 회피하는 열 배리어층으로서의 역할을 담당하게 되는 것이기 때문에, 제 1 수지층(10)의 재료 선택의 범위가 좁아지게 된다. 한편, 본 실시예와 같이, 제 1 수지층(10)을 기록 시의 열 배리어층으로서의 역할로 특화시켜, 제 1 수지층(10) 위에 제 2 수지층(12)을 거쳐서 광 입사측 기판(11)을 부착하는 구성, 즉 제 2 수지층(12)을 접착제로서의 역할로 특화시키는 구성 쪽이, 각각의 재료의 선택 범위가 넓어진다고 하는 장점이 생긴다. 어느 쪽의 부착 구성이어도, 제 1 수지층(1O)은 적어도 1㎛ 이상의 두께가 필요하다. 제 1 수지층(10)이 너무 얇으면 기록 소거의 반복 특성의 개선 효과를 얻을 수 없기 때문이다. 한편, 제 1 수지층(10)이 너무 두꺼우면, 이 층을 균일하게 형성하는 것이 곤란하게 된다. 본 발명자들의 기술에서는 20㎛를 초과하여 균일한 두께의 제 1 수지층(10)을 형성하는 것은 곤란하였다.
또, 제 1 수지층(10), 제 2 수지층(12) 및 광 입사측 기판(11)의 두께의 총합은, DVD-RAM 디스크의 경우, 약 0.60㎚로 설정할 필요가 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은, 특히 DVD-RAM 디스크 구성에 있어서, 성막 택트를 단축할 수 있고, 또한 양호한 기록 소거의 반복 특성을 얻을 수 있는 디스크 구성에 관한 발명이다. 단, 본 발명은, DVD-RAM 디스크에 적용이 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 DVD-RW, DVD+RW 디스크에도 마찬가지로 적응할 수 있다.
이하, 본 발명자들이 실시한 구체적인 예에 대해서 상세하게 설명한다.
(실시예 1)
실시예 1로서, 표 1에 나타나 있는 바와 같이 역순 성막법에 의한 광 디스크를 작성하였다. 즉, 이 실시예 1에서는, 표면이 안내 그루브로 덮힌 기판(1) 위에 반사층(3), 흡수층(4), 반사층측 보호층(5), 반사층측 계면층(6), 기록층(7), 광 입사측 계면층(8), 광 입사측 보호층(9)을 이 순서대로 성막하고, 이 광 입사측 보호층(9)에 제 1 수지층(10)을 거쳐서 광 입사측 기판(11)을 부착하였다. 이 실시예 1에 있어서, 광 입사측 보호층(9)의 두께는, 1㎚, 20㎚, 47㎚의 3 수준으로 하였다.
상기 기판은, 반경 120㎜, 두께 0.6㎜의 폴리카보네이트제의 기판이며, 상기 안내 그루브는, 피치 1.2㎛, 그루브 깊이 70㎚의 요철에 형성되는 4.7GB의 DVD-RAM 포맷으로 형성되는 것이다.
비교예 1로서, 표 1에 나타나 있는 바와 같이 정순 성막법에 의한 광 디스크를 작성하였다. 즉, 이 비교예 1에서는, 표면이 안내 그루브로 덮힌 광 입사측 기판(11) 위에 광 입사측 보호층(9), 광 입사측 계면층(8), 기록층(7), 반사층측 계면층(6), 반사층측 보호층(5), 흡수층(4), 반사층(3)을 이 순서대로 성막하고, 이 반사층(3)에 수지층을 거쳐서 기판(1)을 부착하였다. 비교예 1의 각 층의 두께는 실시예 1에 있어서의 층의 두께와 동일하다. 그리고, 비교예 1에 있어서, 광 입사측 보호층(9)의 두께는, 실시예 1과 마찬가지로 1㎚, 20㎚, 47㎚의 3 수준으로 하였다.
상기 광 입사측 기판(11)은, 반경 120㎜, 두께 0.6㎜의 폴리카보네이트제의 기판이며, 상기 안내 그루브는, 피치 1.2㎛, 그루브 깊이 70㎚의 요철에 형성되는 4.7GB의 DVD-RAM 포맷으로 형성되는 것이다.
이들 광 디스크의 기록층(7)을 레이저 초기화 장치를 이용하여 결정화시킨 후, 도 2에 도시하는 기록 재생기(20)를 이용하여, 안내 그루브 위(그루브 트랙), 및 안내 그루브 사이(랜드 트랙)에 신호를 기록하고, 또한 재생하였다. 이 기록 재생기(20)는, 레이저 광원으로서의 반도체 레이저(21)와, 하프 미러(22)와, 대물 렌즈(23)와, 광 검출기(24)를 구비하는 공지의 것이다. 광 디스크(26)는 스핀들 모터(27)에 의해 회전한다. 반도체 레이저(21)로부터 출사된 레이저 광은, 하프 미러(22)를 통과한 후, 대물 렌즈(23)를 거쳐서 광 디스크(26)에 집광한다. 그리고, 그 반사광은, 대물 렌즈(23)를 통과한 후, 하프 미러(22)에 의해 반사되어 광 검출기(24)에서 검출된다. 또, 이 기록 재생기(20)에는, 도시 생략하고 있지만 트래킹 서보 기구와 포커스 서보 기구가 마련되어 있다.
기록 및 재생에 이용한 레이저 광은 파장 660㎚의 레이저 광이며, 대물 렌즈의 NA는, 0.6이다. 기록 정보는, 4.7GB의 DVD-RAM의 규격에 따라, 기록 선속도를 8.2m/s로 하여, 변조 방식 8/16, RLL(2, 10), 최단 기록 길이 0.42㎛의 신호를 기록하였다. 기록 파워는, 재생 신호의 지터값이 최소로 되는 파워를 선택한 실시예 1 및 비교예 1 중 어느 쪽의 샘플에 있어서도, 4.7GB의 DVD-RAM의 규격을 만족하는 기록 특성을 얻을 수 있었다.
이 기록 파워에 있어서, 기록·소거의 반복 특성(사이클 특성)의 평가를 실시하였다. 이 사이클 특성은, 그루브와 랜드의 각각에 있어서, 1회 기록 시의 재생 신호 지터가 3% 열화하는 사이클 회수에 의해 평가하였다. 그 실험 결과를 표 2에 도시한다.
표 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 역순 성막한 실시예 1은, 광 입사측 보호층(9)의 어느 쪽의 두께에 있어서도, 정순 성막한 비교예 1에 대해 사이클 특성이 개선되어 있다. 특히, 광 입사측 보호층(9)의 두께가 20㎚, 47㎚인 때에는, 실시예 1과 비교예 1의 차는 현저하다. 또, 광 입사측 보호층(9)의 두께가 1㎚인 때의 사이클 특성은, 비교예 1에 있어서의 두께 20㎚, 47㎚인 때의 사이클 특성보다도 열등하지만, 성막 택트 타임을 단축 가능하다고 하는 효과가 있다.
또한, 제 1 수지층(10)을 구성하는 재료에 관한 검토를 행한 바, 본 재료의 연화 온도 및 경도와, 기록·소거의 반복 특성은 강한 상관을 갖는다는 것을 알았다. 즉, 본 재료의 연화 온도가 높을수록, 또 경도가 높을수록, 양호한 사이클 특성을 얻을 수 있었다.
(실시예 2)
실시예 2는, 표 3에 도시하는 바와 같이, 반사층측 계면층(6)이 마련되어 있지 않다는 점에서 실시예 1과 상이한 것이다. 구체적으로 설명하면, 이 실시예 2에서는, 표면이 안내 그루브로 덮힌 기판(1) 위에 반사층(3), 흡수층(4), 반사층측 보호층(5), 기록층(7), 광 입사측 계면층(8), 광 입사측 보호층(9)을 이 순서대로 성막하여(역순 성막), 이 광 입사측 보호층(9)에 제 1 수지층(10)에 의해 광 입사측 기판(11)을 부착하였다. 상기 실시예 1에서는, 반사층측 보호층(5)은 ZnS에 SiO2를 몰 백분율로 20% 함유하여 40㎚의 두께로 형성하는 동시에, 반사층측 계면층(6)은, Ge70N30에 의해 5㎚의 두께로 형성한 것에 대해, 이 실시예 2에서는, 반사층측 보호층(5)은, Ge70N30에 의해 45㎚의 두께로 형성하고, 반사층측 계면층(6)을 마련하지 않고 있다. 이 실시예 2에 있어서, 광 입사측 보호층(9)의 두께는, 1㎚, 20㎚, 47㎚의 3 수준으로 하였다.
상기 기판은, 반경 120㎜, 두께 0.6㎜의 폴리카보네이트제의 기판이며, 상기 안내 그루브는, 피치 1.2㎛, 그루브 깊이 70㎚의 요철에 형성되는 4.7GB DVD-RAM 포맷으로 형성되는 것이다.
비교예 2는, 표 3에 나타나 있는 바와 같이 정순 성막에 의해 작성한 것이다. 즉, 표면이 안내 그루브로 덮힌 광 입사측 기판(11) 위에 광 입사측 보호층(9), 광 입사측 계면층(8), 기록층(7), 반사층측 보호층(5), 흡수층(4), 반사층(3)을 이 순서대로 성막하고, 이 반사층(3)에 수지층을 거쳐서 기판(1)을 부착하였다. 이 비교예 2는, 실시예 2와 마찬가지로, 반사층측 보호층(5)은, Ge70N30에 의해 45㎚의 두께로 형성하고, 반사층측 계면층을 마련하지 않고 있다. 이 비교예 2에 있어서, 광 입사측 보호층(9)의 두께는, 1㎚, 20㎚, 47㎚의 3 수준으로 하였다.
상기 광 입사측 기판(11)은, 반경 120㎜, 두께 0.6㎜의 폴리카보네이트제의 기판이며, 상기 안내 그루브는, 피치 1.2㎛, 그루브 깊이 70㎚의 요철에 형성되는 4.7GB DVD-RAM 포맷으로 형성되는 것이다.
실시예 1과 마찬가지로, 이들 광 디스크의 기록층(7)을 레이저 초기화 장치 를 이용하여 결정화시킨 후, 도 2에 도시하는 기록 재생기(20)를 이용하여, 안내 그루브 위(그루브 트랙), 및 안내 그루브 사이(랜드 트랙)에 신호를 기록하고, 또한 재생하였다. 실시예 2 및 비교예 2의 어느 쪽의 샘플에 있어서도, 4.7GB의 DVD-RAM의 규격을 만족하는 기록 특성을 얻을 수 있었다.
다음에 상기 실시예 1과 마찬가지로 기록·소거의 반복 특성(사이클 특성)의 평가를 실시하였다. 그 실험 결과를 표 4에 도시한다.
표 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 역순 성막한 실시예 2는, 광 입사측 보호층(9)의 어느 쪽의 두께에 있어서도, 정순 성막한 비교예 1에 대해 사이클 특성이 개선되어 있다. 특히, 광 입사측 보호층(9)의 두께가 20㎚, 47㎚인 때에는, 실시예 1과 비교예 1의 차는 현저하다. 또한, 광 입사측 보호층(9)의 두께가 1㎚인 때의 사이클 특성은, 비교예 2에 있어서의 두께 20㎚, 47㎚인 때의 사이클 특성보다도 열등하지만, 성막 택트 타임을 단축할 수 있다고 하는 효과가 있다.
또한, 제 1 수지층을 구성하는 재료에 관한 검토를 행한 바, 본 재료의 연화 온도 및 경도와, 기록·소거의 반복 특성과는 강한 상관을 갖는다는 것을 알았다. 즉, 본 재료의 연화 온도가 높을수록, 또 경도가 높을수록, 양호한 사이클 특성을 얻을 수 있었다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 광 정보 기록 매체에 의해, 성막 택트를 단축하고, 또한, 지터, 크로스 소거 특성, 사이클 특성이 양호한 기록 매체를 얻을 수 있다.

Claims (20)

  1. 레이저 광을 이용하여 정보의 기록 및 재생이 가능한 광 정보 기록 매체로서,
    안내 그루브를 갖는 기판 위에, 적어도 반사층, 기록층, 광 입사측 보호층, 제 1 수지층, 광 입사측 기판을 이 순서대로 구비하며,
    상기 기록층과 상기 제 1 수지층은, 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격을 갖고 형성되는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기록층과 상기 제 1 수지층은, 20㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 수지층의 연화 온도는, 상기 광 입사측 기판의 연화 온도보다도 높은 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 수지층의 경도는, 상기 광 입사측 기판의 경도보다도 높은 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 수지층의 두께는, 1㎛ 이상이고 또한 20㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    정보 재생을 위해 조사되는 상기 레이저 광의 파장에 있어서의 상기 광 입사측 보호층의 굴절율을 n1로 하고, 동일 파장에 있어서의 상기 제 1 수지층의 굴절율을 n2로 하며, 동일 파장에 있어서의 상기 광 입사측 기판의 굴절율을 n3으로 하였을 때에, 이들 n1, n2, n3이 이하의 두 관계식
    을 만족하고 있는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 n1, n2, n3은, 이하의 두 관계식
    을 만족하고 있는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 반사층과 상기 기록층의 사이에, 상기 반사층측으로부터 흡수층, 반사층측 보호층 및 반사층측 계면층을 이 순서대로 갖고, 상기 기록층과 상기 광 입사측 보호층의 사이에 광 입사측 계면층을 갖는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 반사층은, Ag 또는 A1을 주성분으로 하고,
    상기 흡수층은, Ge, Cr 또는 Si를 주성분으로 하며,
    상기 반사층측 보호층은, ZnS, Zr 산화물 또는 Cr 산화물을 주성분으로 하고,
    상기 반사층측 계면층은, Ge, Cr, Zr，Si, Al, Te로부터 선택되는 적어도 하나의 질화물, 질산화물 혹은 산화물, 또는 C를 주성분으로 하며,
    상기 기록층은, Ge와 Te를 주성분으로 하고,
    상기 광 입사측 계면층은, Ge, Cr, Zr, Si, A1, Te로부터 선택되는 적어도 하나의 질화물, 질산화물 혹은 산화믈, 또는 C를 주성분으로 하며,
    상기 광 입사측 보호층은, A1 산화물, Si 산화물, Mg 산화물 또는 불화물을 주성분으로 하는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 반사층의 막 두께는, 50㎚ 이상이고 또한 150㎚ 이하이며,
    상기 흡수층의 막 두께는, 20㎚ 이상이고 또한 60㎚ 이하이며,
    상기 반사층측 보호층의 막 두께는, 20㎚ 이상이고 또한 60㎚ 이하이며,
    상기 반사층측 계면층의 막 두께는, 1㎚ 이상이고 또한 20㎚ 이하이며,
    상기 기록층의 막 두께는, 7㎚ 이상이고 또한 10㎚ 이하이며,
    상기 광 입사측 계면층의 막 두께는, 1㎚ 이상이고 또한 20㎚ 이하이며,
    상기 광 입사측 보호층의 막 두께는, 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 반사층과 상기 기록층의 사이에, 상기 반사층측으로부터 흡수층 및 반사층측 보호층을 이 순서대로 갖고,
    상기 기록층과 상기 광 입사측 보호층의 사이에 광 입사측 계면층을 갖는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 반사층은, Ag 또는 A1을 주성분으로 하고,
    상기 흡수층은, Ge, Cr 또는 Si를 주성분으로 하며,
    상기 반사층측 보호층은, ZnS, Zr 산화물 또는 Cr 산화물을 주성분으로 하고,
    상기 기록층은, Ge와 Te를 주성분으로 하며,
    상기 광 입사측 계면층은, Ge, Cr, Zr, Si, A1, Te로부터 선택되는 적어도 하나의 질화물, 질산화물 혹은 산화물, 또는 C을 주성분으로 하고,
    상기 광 입사측 보호층은, A1 산화물, Si 산화물, Mg 산화물 또는 불화물을 주성분으로 하는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 반사층의 막 두께는, 50㎚ 이상이고 또한 150㎚ 이하이며,
    상기 흡수층의 막 두께는, 20㎚ 이상이고 또한 60㎚ 이하이며,
    상기 반사층측 보호층의 막 두께는, 20㎚ 이상이고 또한 60㎚ 이하이며,
    상기 기록층의 막 두께는, 7㎚ 이상이고 또한 10㎚ 이하이며,
    상기 광 입사측 계면층의 막 두께는, 1㎚ 이상이고 또한 20㎚ 이하이며,
    상기 광 입사측 보호층의 막 두께는, 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체.
  14. 레이저 광을 이용하여 정보의 기록 및 재생이 가능한 광 정보 기록 매체를 제조하는 방법으로서,
    안내 그루브를 갖는 기판 위에, 적어도 반사층, 기록층, 광 입사측 보호층을 이 순서대로 성막한 후, 상기 광 입사측 보호층에 제 1 수지층을 거쳐서 광 입사측 기판을 부착하고,
    상기 기록층과 상기 제 1 수지층이 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격을 갖고 형성되는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체의 제조 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 기록층과 상기 제 1 수지층이 20㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체의 제조 방법.
  16. 레이저 광을 이용하여 정보의 기록 및 재생이 가능한 광 정보 기록 매체를 제조하는 방법으로서,
    안내 그루브를 갖는 기판 위에, 적어도 반사층, 기록층, 광 입사측 보호층을 이 순서대로 성막한 후, 상기 광 입사측 보호층 위에 제 1 수지층을 형성하고, 이 제 1 수지층에 제 2 수지층을 거쳐서 광 입사측 기판을 부착하고,
    상기 기록층과 상기 제 1 수지층이 1㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격을 갖고 형성되는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체의 제조 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 기록층과 상기 제 1 수지층이 20㎚ 이상이고 또한 50㎚ 이하의 간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체의 제조 방법.
  18. 제 14 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 수지층의 두께는, 1㎛ 이상이고 또한 20㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체의 제조 방법.
  19. 제 14 항 또는 제 16 항에 있어서,
    정보 재생을 위해 조사되는 상기 레이저 광의 파장에 있어서의 상기 광 입사측 보호층의 굴절율을 n1으로 하고, 동일 파장에 있어서의 상기 제 1 수지층의 굴절율을 n2로 하며, 동일 파장에 있어서의 상기 광 입사측 기판의 굴절율을 n3으로 하였을 때에, 이들 n1, n2, n3이 이하의 두 관계식
    을 만족하고 있는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체의 제조 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 n1, n2, n3은, 이하의 두 관계식
    을 만족하고 있는 것을 특징으로 하는 광 정보 기록 매체의 제조 방법.
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