KR20040043371A - Mems스위치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 기판과;상기 기판 상면에 형성되는 신호선과;상기 정전기력에 의해 변형되어 상기 신호선과 전기적으로 스위칭되는 빔과;상기 신호선에 마련되는 것으로 상기 빔과의 전기적 접촉을 이루며, 외부로 부터의 힘에 의해 탄성 변형하는 스프링형 접촉부를; 구비하는 것을 특징으로 하는MEMS 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 접촉부는 곡면형의 플립 스프링 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 접촉부는 상기 빔에 대응하는 정상부를 가지는 돔형인 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 접촉부는 양단부를 가지는 아아치형인 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 접촉부는 비정질실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 3 항에 있어서,상기 돔형 접촉부의 정상부분에 관통공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 3 항에 있어서,상기 아아치형 접촉부의 정상부분에 관통공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 빔은 그 양단에 지지하는 스페이서에 의해 현가되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 8 항에 있어서,상기 빔은 상기 신호선과 직교하는 방향으로 배치되고, 상기 빔의 하부에는 상기 신호선의 양측에 위치하는 빔 작동 전극이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 8 항에 있어서,상기 빔 작동 전극의 상면에 유전체층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 1 항에 있어서,상기 빔은 기판에 설치된 스페이서에 의해 그 후단이 고정되어 있고, 그 선단은 상기 신호선에 마련된 접촉부의 상방에 위치하는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 기판과;상기 기판 상면에 형성되는 것으로 그 단부가 상호 근접하게 배치되는 제 1, 2 신호선과;상기 정전기력에 의해 변형되어 상기 제 1, 제 2 신호선과 전기적으로 접촉되는 빔과;상기 양 신호선의 각 단부에 마련되는 것으로 상기 빔과의 전기적 접촉을 이루며, 외부로부터의 힘에 의해 탄성 변형하는 스프링형 접촉부를; 구비하는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 12 항에 있어서,상기 제 1, 제2 신호선의 각 단부에 마련되는 접촉부는 곡면형의 플립 스프링 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 12 항에 있어서,상기 접촉부는 비정질실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 12 항에 있어서,상기 빔은 그 양단에 지지하는 스페이서에 의해 현가되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 15 항에 있어서,상기 빔은 상기 신호선과 직교하는 방향으로 배치되고, 상기 빔의 하부에는 상기 신호선의 양측에 위치하는 빔 작동 전극이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 15 항에 있어서,상기 빔 작동 전극의 상면에 유전체층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
- 제 12 항에 있어서,상기 빔은 기판에 설치된 스페이서에 의해 그 후단이 고정되어 있고, 그 선단은 상기 제 1, 제 2 신호선의 양 접촉부의 상방에 위치하는 것을 특징으로 하는 MEMS 스위치.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0071609A KR100513723B1 (ko) | 2002-11-18 | 2002-11-18 | Mems스위치 |
US10/706,106 US6960971B2 (en) | 2002-11-18 | 2003-11-13 | Microelectro mechanical system switch |
JP2003387669A JP4210203B2 (ja) | 2002-11-18 | 2003-11-18 | Memsスイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0071609A KR100513723B1 (ko) | 2002-11-18 | 2002-11-18 | Mems스위치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040043371A true KR20040043371A (ko) | 2004-05-24 |
KR100513723B1 KR100513723B1 (ko) | 2005-09-08 |
Family
ID=32923718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2002-0071609A KR100513723B1 (ko) | 2002-11-18 | 2002-11-18 | Mems스위치 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6960971B2 (ko) |
JP (1) | JP4210203B2 (ko) |
KR (1) | KR100513723B1 (ko) |
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- 2003-11-18 JP JP2003387669A patent/JP4210203B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2004311394A (ja) | 2004-11-04 |
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JP4210203B2 (ja) | 2009-01-14 |
KR100513723B1 (ko) | 2005-09-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120814 Year of fee payment: 8 |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150820 Year of fee payment: 11 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160819 Year of fee payment: 12 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170817 Year of fee payment: 13 |
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FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
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