KR200393149Y1 - Air-cleaning device for carriage in clean room - Google Patents
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Abstract
본 고안은 대차가 출입할 수 있도록 형성된 밀실의 양측에 송풍기와 에어필터가 구비됨으로서, 출입하는 대차에 대한 에어샤워를 통해 이물질을 제거하기 위한 클린룸에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 상기 에어필터를 경유한 에어를 흡입한 후, 이를 다시 토출하기 위한 서브 송풍기; 상기 서브 송풍기를 통해 토출되는 공기를 밀실의 바닥으로 유도하기 위한 에어 연결 파이프; 및 상기 에어 연결 파이프에 연결된 상태로 밀실의 바닥에 설치되어 진입한 대차의 바닥으로 에어를 분출하도록 다수개의 토출공을 갖는 에어 토출관; 이 구성되어 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 형성함으로서, 반도체 소자, 디스플레이 패널, 정밀전자부품 등을 제조하기 위한 제조실 내부의 청정 신뢰도를 더욱 향상시킬 수 있게 된다.The present invention is provided with a blower and an air filter on both sides of the closed chamber formed so that the trolley can enter and exit, and relates to a clean room for removing foreign matter through an air shower for the trolley to enter and exit, more specifically the air filter A sub blower for sucking the diesel air and then discharging it again; An air connection pipe for guiding air discharged through the sub blower to the bottom of the closed room; And an air discharge pipe installed at the bottom of the closed room while being connected to the air connection pipe, the air discharge pipe having a plurality of discharge holes to blow air to the bottom of the loaded trolley; This configuration makes it possible to further improve the clean reliability inside the manufacturing room for manufacturing semiconductor devices, display panels, precision electronic components, etc. by forming the trolley air cleaning device for clean rooms.
Description
본 고안은 반도체 소자, 디스플레이 패널, 정밀전자부품 등을 제조하기 위한 제조실 내부로 출입하는 대차의 바닥에 묻은 이물질을 제거하기 위한 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air cleaning device for a trolley in a clean room for removing foreign matter from the bottom of the trolley, which enters into a manufacturing room for manufacturing semiconductor devices, display panels, precision electronic components, and the like.
일반적으로 반도체 소자, 디스플레이 패널 및 정밀전자부품 등을 제조하기 위한 제조실은 매우 높은 청정도가 요구되므로 통상 그 출입구에 에어샤워장치가 설치된 클린룸이 설비되고 있음은 주지된 사실이다.In general, a manufacturing room for manufacturing semiconductor devices, display panels, precision electronic components and the like is required to have very high cleanliness, and thus, it is well known that a clean room in which an air shower device is installed is usually installed at its entrance.
즉, 상기와 같은 정밀 제품은 미세한 이물질에 대해서도 큰 영향을 받기 때문에 제조실 내부에 최적의 청정상태를 유지하지 못할 경우 제품의 신뢰도가 현저하게 저하된다. 따라서 이와 같은 최적의 청정상태를 유지하기 위해서는 무엇보다도 출입하는 작업자나 장비에 대한 청결 상태를 유지하는 것이 중요하다 할 것인바, 이를 위한 설비로서 에어샤워장치가 설치된 클린룸이 제공되고 있다.That is, the precision product as described above is greatly affected by the fine foreign matters, the reliability of the product is significantly lowered if the optimum clean state is not maintained inside the manufacturing room. Therefore, in order to maintain such an optimal clean state, it is important to maintain the clean state of the workers or equipment entering and exiting, above all, as a facility for this, a clean room provided with an air shower device is provided.
이와 같은 클린룸을 구체적으로 살펴보면 사람이나 대차 등의 장비가 출입할 수 있는 밀실과 상기 밀실 내부로 강한 에어를 공급 및 순환시키기 위한 송풍기와 상기 순환되는 에어 중의 이물질을 걸러내기 위한 에어필터의 구성으로 이루어진다. In detail, such a clean room may include a closed room into which equipment such as a person or a vehicle can enter and exit, a blower for supplying and circulating strong air into the closed room, and an air filter for filtering foreign matter from the circulated air. Is done.
따라서 송풍기에 의해 공급되는 강한 에어는 상기 밀실의 상부와 측부를 통해 공급되어 대차의 이물질을 떨어낸 상태에서 다시 밀실의 바닥을 통해 송풍기로 흡입된다. 즉 송풍기는 에어의 공급과 흡입이 동시에 이루어진다.Therefore, the strong air supplied by the blower is supplied through the upper part and the side part of the chamber and is sucked into the blower through the bottom of the chamber again while the foreign matter of the bogie is dropped. In other words, the air blower is supplied with and sucked at the same time.
이때, 순환되는 에어 중의 이물질은 에어필터를 경유하면서 이물질이 제거된 상태로 다시 밀실 내부로 공급된다.At this time, the foreign matter in the circulated air is supplied back into the closed chamber while the foreign matter is removed while passing through the air filter.
그러나 이와 같은 구성에 의하면 대차에 대한 에어의 샤워가 상측에서 하측으로만 이루어지기 때문에 밀실의 바닥에 근접된 대차의 바닥에는 적용되지 않는 문제점이 있다. However, according to such a configuration, since the shower of air to the trolley is made only from the upper side to the lower side, there is a problem that the bottom of the trolley close to the bottom of the closed room is not applied.
따라서 상기와 같은 문제점은 클린룸의 신뢰성을 저하시킴과 아울러, 제조실 내부의 청정상태에 대한 신뢰성도 저하시키는 원인이 되고 있으므로, 이에 대한 시급한 대책이 요구되고 있는 실정이다.Therefore, the above-mentioned problems are not only reducing the reliability of the clean room, but also causing a decrease in the reliability of the clean state inside the manufacturing room. Therefore, urgent countermeasures are required.
본 고안은 상기 종래 문제점 및 결점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 주된 목적으로는 클린룸으로 출입하는 대차의 바닥에 묻은 이물질을 제거하기 위한 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 제공하려는 것이다. The present invention has been made to solve the above problems and shortcomings, the main object of the present invention is to provide a clean room trolley air cleaning device for removing foreign matter on the bottom of the trolley to enter the clean room.
본 고안의 다른 목적으로는 본 출원 이전에 본 출원인이 대차 바퀴에 묻은 이물질을 제거하기 위한 장치를 제공하였는 바, 이에 적용하여 보다 높은 클린룸의 신뢰성을 갖도록 한 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 제공하려는 것이다.Another object of the present invention was to provide a device for removing foreign matter on the wheels of the wheels before the present application, and applied to the air cleaning device for the balance of the clean room to apply to this to have a higher clean room reliability Is to provide.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치는 대차가 출입할 수 있도록 형성된 밀실의 양측에 송풍기와 에어필터가 구비됨으로서, 출입하는 대차에 대한 에어샤워를 통해 이물질을 제거하기 위한 클린룸에 있어서,The air cleaning device for the trolley of the clean room of the present invention for achieving the above object is provided with a blower and an air filter on both sides of the closed chamber formed so that the trolley can enter and exit, to remove foreign substances through the air shower for the trolley to enter and exit. In a clean room for
상기 에어필터를 경유한 에어를 흡입한 후, 이를 다시 토출하기 위한 서브 송풍기; 상기 서브 송풍기를 통해 토출되는 공기를 밀실의 바닥으로 유도하기 위한 에어 연결 파이프; 및 상기 에어 연결 파이프에 연결된 상태로 밀실의 바닥에 설치되어 진입한 대차의 바닥과 바퀴로 에어를 분출하도록 다수개의 토출공을 갖는 에어 토출관; 이 구성되어 이루어진다.A sub blower for sucking the air passing through the air filter and discharging the air again; An air connection pipe for guiding air discharged through the sub blower to the bottom of the closed room; And an air discharge pipe installed at the bottom of the closed room while being connected to the air connection pipe and having a plurality of discharge holes to blow air to the bottom of the trolley and the wheels; This is made up.
이때, 상기 에어 토출관은 일측 단부가 상기 에어 연결 파이프와 결합된 상태에서 상기 대차의 진입방향으로 길게 형성되는 한편, 상기 에어 토출관에 형성된 토출공은 대차 바닥의 중앙을 향한 중앙 토출공과 양측을 향한 좌우측 토출공이 길이 방향으로 등간격 배열 형성된다.At this time, the air discharge pipe is formed long in the entering direction of the trolley while one end is combined with the air connection pipe, while the discharge hole formed in the air discharge pipe is formed with both the central discharge hole toward the center of the bottom of the trolley The left and right discharge holes are arranged at equal intervals in the longitudinal direction.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거 보다 구체적으로 살펴본다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention looks at in more detail based on the accompanying drawings.
도 1은 본 고안이 적용된 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 도시한 정면도이고, 도 2는 본 고안이 적용된 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 도시한 평면도이며, 도 3은 본 고안이 적용된 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 도시한 측면도이다.1 is a front view showing a bogie air cleaning device for a clean room to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a plan view showing a bogie air cleaning device for a clean room to which the present invention is applied, and FIG. 3 is a clean to which the present invention is applied. It is a side view which shows the air cleaning device for the bogie of a room.
본 고안의 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 크게, 서브 송풍기(100)와 상기 서브 송풍기로부터 밀실(10)의 바닥으로 연결하는 연결관(120) 및 상기 밀실의 바닥에 설치되는 에어 토출관(140)으로 이루어진다.As shown in FIGS. 1 to 3, the air cleaning device for the trolley for the clean room of the present invention is largely connected to the bottom of the chamber 10 from the sub blower 100 and the sub blower. It consists of an air discharge pipe 140 is installed on the bottom of the closed room.
이에, 상기 서브 송풍기(100)는 밀실(10)의 양측에 설치되어지되, 상기 주 송풍기(20)로부터 에어필터(30)를 경유한 에어를 흡입하도록 설치된다. 즉, 에어를 밀실(10)의 바닥으로 직접 공급하기 위하여 이물질이 제거된 상태의 에어를 흡입하여 토출하도록 설치된다.Thus, the sub blower 100 is installed on both sides of the closed room 10, it is installed to suck the air via the air filter 30 from the main blower (20). That is, in order to directly supply the air to the bottom of the chamber 10 is installed to suck and discharge the air in the foreign matter removed state.
이때, 상기 서브 송풍기(100)는 주 송풍기(20)의 용량 보다 작은 것을 선택하여도 무방하다.At this time, the sub blower 100 may be selected to be smaller than the capacity of the main blower (20).
상기 에어 연결 파이프(120)는 서브 송풍기(100)로부터 공급되는 에어를 밀실(10)의 바닥으로 안내하기 위한 것으로서 플렉시블한 관을 사용하는 것이 바람직하다.The air connection pipe 120 is for guiding the air supplied from the sub blower 100 to the bottom of the chamber 10, it is preferable to use a flexible pipe.
상기 에어 토출관(140)은 밀실(10)의 바닥에 설치되어지되, 밀실(10) 내부로 진입한 대차(40)의 바닥에 위치되어 대차의 바닥 전체로 에어의 토출이 이루어지도록 형성된다.The air discharge pipe 140 is installed at the bottom of the closed room 10, but is located at the bottom of the trolley 40 which enters into the closed room 10 and is formed to discharge air to the entire bottom of the trolley.
즉, 상기 에어 토출관(140)은 일측 단부가 상기 에어 연결 파이프(120)와 결합된 상태에서 상기 대차(40)의 진입방향으로 길게 형성된다. 이때, 상기 에어 토출관(140)에는 대차(40)의 바닥 중앙과 양측에 대하여 에어를 토출하도록 중앙과 좌우측에 각각 토출공(142)이 형성된다. 또한, 이와 같은 토출공(142)은 에어 토출관(140)의 길이 방향으로 일정간격 다수개가 형성된다.That is, the air discharge pipe 140 is formed long in the entry direction of the cart 40 in a state where one end thereof is coupled with the air connection pipe 120. At this time, the air discharge pipe 140 is formed with a discharge hole 142 in the center and left and right respectively so as to discharge air to the bottom center and both sides of the trolley 40. In addition, a plurality of such discharge holes 142 are formed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the air discharge pipe 140.
따라서 상기 밀실(10) 내부로 대차(40)가 진입되면 상기 주 송풍기(20)가 작동함과 동시에 서브 송풍기(100)가 작동된다. 이때, 상기 주 송풍기(20)를 통해 공급되는 에어는 에어필터(30)를 통해 이물질이 제거된 상태로 밀실(10) 내부의 상측 및 양측으로 토출되므로 대차(40)의 상부에 대하여 에어 샤워가 이루어진다.Therefore, when the trolley 40 enters into the chamber 10, the main blower 20 operates and the sub blower 100 operates. At this time, the air supplied through the main blower 20 is discharged to the upper side and both sides of the interior of the chamber 10 in a state in which foreign matter is removed through the air filter 30, so that the air shower for the upper portion of the trolley 40 Is done.
한편, 상기 서브 송풍기(100)는 상기 에어필터(30)를 경유한 에어를 흡입하여 공급하게 되는바, 이는 에어 연결 파이프(120)에 의해 밀실(10) 바닥으로 안내되어 에어 토출관(140)을 통해 토출된다. 따라서 진입된 대차(40)의 바닥에 묻어 있는 이물질을 완전히 제거하게 된다.On the other hand, the sub blower 100 is supplied to suck the air via the air filter 30, which is guided to the bottom of the chamber 10 by the air connection pipe 120, the air discharge pipe 140 It is discharged through. Therefore, the foreign matter on the bottom of the entered trolley 40 is completely removed.
아울러, 상기 주 송풍기(20)에 의해 밀실(10)의 상측 및 양측으로 토출된 에어와 상기 서브 송풍기(100)로부터 에어 토출관(140)을 통해 밀실(10)의 바닥으로 토출된 에어는 밀실(10)의 바닥에 형성된 다공판을 통해 다시 주 송풍기(20)로 흡입된다. 이때, 상기 주 송풍기(20)로 흡입된 에어는 다시 에어필터(30)를 경유하여 에어를 공급함으로서 연속적인 에어의 순환작용이 이루어진다. In addition, the air discharged to the upper and both sides of the closed chamber 10 by the main blower 20 and the air discharged from the sub blower 100 to the bottom of the closed chamber 10 through the air discharge pipe 140 is a closed chamber It is sucked back into the main blower 20 through the porous plate formed at the bottom of 10. At this time, the air sucked into the main blower 20 is supplied to the air again through the air filter 30, the continuous air circulation is made.
이러한 에어의 공급은 자동으로 동시에 이루어질 뿐만 아니라, 상기 에어의 공급을 통해 에어샤워가 끝나면 서브 송풍기(100)를 통해 대차(40)의 하부로 공급되는 에어가 차단된 후 주 송풍기(20)를 통해 밀실(10)의 상부와 벽면으로 공급되는 에어가 차단된다.This air supply is not only made automatically at the same time, but after the air shower through the supply of the air through the main blower 20 after the air supplied to the lower portion of the truck 40 through the sub blower 100 is cut off Air supplied to the upper part and the wall of the closed room 10 is blocked.
나아가, 본 고안의 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치는 진입된 대차의 바퀴를 브러시로 제거하기 위한 클린룸의 대차 바퀴용 클리너 장치와 결합되어 사용될 경우 그 기능이 보다 향상된 구조를 이루게 된다.Furthermore, when the air cleaning device for the clean room bogie of the present invention is used in combination with the cleaner device for the bogie wheel of the clean room for removing the wheel of the entered bogie with a brush, its function is more improved.
즉, 상기 클린룸의 대차 바퀴용 클리너 장치는 본 출원인에 의해 본 출원 이전에 제공된 기술로서 클린룸의 바닥에 설치되는 바닥부, 상기 바닥부에 정차된 대차의 바퀴를 지지하며 승·하강되는 승강부, 상기 승강부에 의해 하강된 대차 바퀴를 구동시키기 위한 구동부, 상기 구동되는 대차 바퀴의 이물질을 제거하기 위한 클리어부 및 상기 승강부, 구동부 및 클리어부가 설치되는 베이스부로 이루어진 것으로서, 이와 같은 장치와 병합하여 사용될 경우 반도체 소자, 디스플레이 패널, 정밀전자부품 등을 제조하기 위한 제조실 내부의 청정 신뢰도를 더욱 향상시킬 수 있게 된다.That is, the cleaner device for the trolley wheels of the clean room is a technology provided before the present application by the present applicant, the bottom portion is installed on the bottom of the clean room, the lifting and lowering lifting and lowering while supporting the wheels of the bogie stopped on the bottom portion And a driving part for driving the bogie wheel lowered by the lifting part, a clear part for removing foreign substances of the driven bogie wheel, and a base part on which the lifting part, the driving part, and the clear part are installed. When used in combination, it is possible to further improve the clean reliability inside the manufacturing room for manufacturing semiconductor devices, display panels, precision electronic components, and the like.
이상 살펴본 바와 같이 본 고안은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 고안의 진정한 기술적인 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but this is merely exemplary, and those skilled in the art may understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.
이상 살펴본 바와 같은 본 고안의 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치에 의하면 클린룸으로 출입하는 대차의 바닥에 직접 에어를 토출시켜 이물질을 제거함으로서, 반도체 소자, 디스플레이 패널, 정밀전자부품 등을 제조하기 위한 제조실 내부의 청정 신뢰도를 더욱 향상시킬 수 있는 매우 유용한 효과가 발휘된다.According to the air cleaning device for a trolley of a clean room of the present invention as described above, by discharging air directly to the bottom of the trolley to enter and exit the clean room, the semiconductor device, display panel, precision electronic components, etc. A very useful effect can be exerted to further improve the clean reliability inside the manufacturing room.
도 1은 본 고안이 적용된 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 도시한 정면도.1 is a front view showing a bogie air cleaning device of a clean room to which the present invention is applied.
도 2는 본 고안이 적용된 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 도시한 평면도.Figure 2 is a plan view showing a bogie air cleaning device of a clean room to which the present invention is applied.
도 3은 본 고안이 적용된 클린룸의 대차용 에어클리닝 장치를 도시한 측면도.Figure 3 is a side view showing a bogie air cleaning device of a clean room to which the present invention is applied.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 ** Explanation of Signs of Major Parts of Drawings *
10: 밀실 20: 송풍기10: closed room 20: blower
30: 에어필터 40: 대차30: air filter 40: bogie
100: 서브 송풍기 120: 에어 연결 파이프100: sub blower 120: air connection pipe
140: 에어 토출관 142: 토출공140: air discharge pipe 142: discharge hole
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2005-0010485U KR200393149Y1 (en) | 2005-04-15 | 2005-04-15 | Air-cleaning device for carriage in clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2005-0010485U KR200393149Y1 (en) | 2005-04-15 | 2005-04-15 | Air-cleaning device for carriage in clean room |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR200393149Y1 true KR200393149Y1 (en) | 2005-08-19 |
Family
ID=43694342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR20-2005-0010485U KR200393149Y1 (en) | 2005-04-15 | 2005-04-15 | Air-cleaning device for carriage in clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200393149Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200471708Y1 (en) * | 2012-11-15 | 2014-03-10 | (주)큐에스이엔지 | Shoes clean air shower device |
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2005
- 2005-04-15 KR KR20-2005-0010485U patent/KR200393149Y1/en active IP Right Grant
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200471708Y1 (en) * | 2012-11-15 | 2014-03-10 | (주)큐에스이엔지 | Shoes clean air shower device |
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