KR100626091B1

KR100626091B1 - Air shower unit

Info

Publication number: KR100626091B1
Application number: KR1020060046494A
Authority: KR
Inventors: 전영로
Original assignee: (주)태연이엔지
Priority date: 2005-11-25
Filing date: 2006-05-24
Publication date: 2006-09-20

Abstract

본 발명은 클린룸의 입구와 같은 곳에 설치하는 에어샤워(Air Shower)장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 작업자의 작업복이나 반입물에 유착되는 먼지와 같은 오염물을 제거함은 물론, 단순한 구성으로 생산성을 제고하며, 주변여건에 따라 적합한 외형을 다양하게 제공할 수 있는 에어샤워장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air shower (Air Shower) device installed in the same place as the entrance of the clean room, more specifically, to remove the contaminants such as dust adhered to the worker's work clothes or carry-on, as well as to improve productivity in a simple configuration The present invention relates to an air shower apparatus that can provide a variety of suitable shapes according to surrounding conditions.

본 발명의 에어샤워장치는 양쪽으로 구비된 출입수단과, 다수의 분사노즐이 일체된 복수의 덕트 형태인 지주부재 및 분사된 공기를 흡입 여과시켜 재순환시키는 송풍수단을 포함하는 것으로, 송풍수단은 분기부에 의해 복수의 지주부재와 연결되어 천정편에 마련되며, 송풍수단의 흡기를 위한 흡입구 또한 천정편에 구비된다.The air shower device of the present invention includes an access means provided on both sides, a plurality of duct-shaped support members having a plurality of injection nozzles, and a blowing means for suction-filtering and recirculating the injected air. The base is connected to the plurality of strut members and is provided on the ceiling piece, and an inlet for intake of the blowing means is also provided on the ceiling piece.

본 발명에 의하면 소정의 설정각도가 부여된 분사노즐로부터 상승기류가 유발되므로, 오염물을 효과적으로 제거하는 성능을 제고하며, 송풍수단에 의해 순환되는 공기의 유동경로를 간소화함으로써, 설치면적에 대한 점유율을 최소화함은 물론, 생산성을 제고하는 등과 같은 효과가 발휘된다.According to the present invention, since the raised air flow is induced from the injection nozzle given a predetermined set angle, it improves the performance of effectively removing contaminants, and by simplifying the flow path of the air circulated by the blowing means, the share of the installation area Minimizing, as well as improving the productivity is exhibited.

에어샤워, 클린룸, 방진, 오염방지 Air Shower, Clean Room, Dustproof, Pollution Prevention

Description

Air Shower Unit {Air Shower Unit}

도 1은 종래기술의 실시형태에 따른 횡단면 상태를 도시한 도면.1 illustrates a cross-sectional state in accordance with an embodiment of the prior art.

도 2a 및 2b는 도 1에서 도시된 "A-A" 및 "B-B"에 따른 종단면 상태를 도시한 도면.2A and 2B show longitudinal cross-sectional states according to " A-A " and " B-B " shown in FIG.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치를 입체적으로 도시한 도면.Figure 3 is a three-dimensional view of the air shower apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4a 및 4b는 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치의 횡단면 및 종단면 상태에서의 에어흐름을 개략적으로 도시한 도면.4a and 4b schematically show the air flow in the cross-sectional and longitudinal cross-sectional state of the air shower device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 에어샤워장치를 입체적으로 도시한 도면.5 is a three-dimensional view of the air shower apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 6a 내지 6c는 본 발명에 따른 에어샤워장치의 다양한 실시형태를 개략적으로 도시한 도면.6a to 6c schematically show various embodiments of an air shower apparatus according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

10 : 샤워부스 20 : 출입수단10: shower booth 20: access means

30 : 벽체 40 : 지주부재30 wall 40 holding member

41 : 분사노즐 42 : 소독수단41: spray nozzle 42: disinfection means

50 : 송풍수단 51 : 순환펌프50: blowing means 51: circulation pump

51a: 흡입관 51b: 토출관51a: suction tube 51b: discharge tube

52 : 여과필터 60 : 분기부52: filtration filter 60: branch

70 : 천정 71 : 흡입구70: ceiling 71: suction port

80 : 바닥 90 : 세정수단80 floor 90 washing means

본 발명은 클린룸의 입구와 같은 곳에 설치하는 에어샤워(Air Shower)장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 작업자의 작업복이나 반입물에 유착되는 먼지와 같은 오염물을 제거함은 물론, 단순한 구성으로 생산성을 제고하며, 주변여건에 따라 적합한 외형의 선택이 자유로운 에어샤워장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air shower (Air Shower) device installed in the same place as the entrance of the clean room, more specifically, to remove the contaminants such as dust adhered to the worker's work clothes or carry-on, as well as to improve productivity in a simple configuration The present invention relates to an air shower apparatus which freely selects a suitable appearance according to surrounding conditions.

일반적으로 에어샤워장치는 반도체와 같은 초정밀 부품의 제조공정상에서 제품의 품질 및 성능 제고를 위해 조성된 클린룸의 출입시 출입자나 반입물의 상태를 통제하기 위한 것으로, 피복이나 물건에 묻은 먼지와 같은 오염인자를 바람이나 세정액을 이용하여 제거할 수 있도록 마련된 일종의 소제장치라 할 수 있다.In general, the air shower device is used to control the condition of persons entering or entering the clean room to improve the quality and performance of products in the manufacturing process of ultra-precision parts such as semiconductors. It can be said to be a kind of cleaning device provided to remove the print using wind or cleaning liquid.

이와 같은 형태의 종래기술로서, 등록특허공보 제500428호(2005. 06. 30. 등록, 이하 '종래기술'라 함)와 같은 기술들을 들 수 있다. 상기한 종래기술에서 개시된 내용을 살펴보면 다음과 같다.As the prior art of this type, there may be mentioned technologies such as Patent Publication No. 500428 (registered on June 30, 2005, hereinafter referred to as 'prior art'). Looking at the contents disclosed in the prior art as follows.

상기한 종래기술은 샤워실(1)의 내부에 설치되어 출입자를 향해 에어를 분출하는 복수의 제트노즐(2)과, 이 제트노즐(2)에 공급통로(3a)로 연결되어 에어를 공급하는 송풍기(3), 그리고 이 송풍기(3)에 의해 공급되는 에어 속의 이물질을 걸려주는 필터수단(4)을 포함하는 것으로, 복수의 제트노즐(2)이 샤워실(1)의 내측 모서리부에 배치되어 중앙을 향해 대각선 방향으로 에어를 분출하도록 구성된 점, 송풍기(3)와 필터수단(4)이 샤워실(1)의 상부에 설치된 점 또는, 샤워실(1)의 내측 모서리부 및 측판 내측 각각에 에어 순환을 위한 공급통로(3a) 및 흡입통로(3b)가 별도로 구성된 점 등을 특징을 한다.The above-described prior art is provided with a plurality of jet nozzles (2) installed inside the shower room (1) for ejecting air toward the passengers, and connected to the jet nozzles (2) by a supply passage (3a) to supply air. A blower (3) and filter means (4) for catching foreign matter in the air supplied by the blower (3), wherein a plurality of jet nozzles (2) are arranged at the inner edge of the shower room (1) And a point configured to blow air in a diagonal direction toward the center, a point where the blower 3 and the filter means 4 are installed on the upper part of the shower room 1, or the inner edge of the shower room 1 and the inside of the side plate, respectively. It characterized in that the supply passage (3a) and the suction passage (3b) for the air circulation is configured separately.

상기한 종래기술의 경우, 샤워실(1)로 들어선 출입자를 중심으로 사방에서 에어가 분출되는 제트노즐(2)에 의해 출입자가 의도적으로 몸을 좌우로 돌리지 않고도 전체적으로 고른 샤워 성능을 발휘하며, 송풍기(3) 및 필터수단(4)을 샤워실(1)의 상부에 설치함으로써, 설치시 면적점유율을 낮추는 등의 효과가 발휘된다. 그러나 상기 종래기술은 도 2a 및 2b에서 도시된 바와 같이, 송풍기(3)를 중심으로 샤워실(1)의 내측 모서리부와 측판 내측 각각에 에어 순환을 위한 공급통로(3a) 및 흡입통로(3b)가 별도로 구비된 형태로, 샤워실(1)을 형성하는 전체적인 구조가 이 중으로 이루어져 복잡함으로 생산성이 떨어짐은 물론, 설치 장소의 여건에 따른 외형적인 변경이 어려운 문제점이 있다.In the case of the prior art described above, the jet nozzle (2) in which air is ejected from all directions around the person entering the shower room (1) exerts an even shower performance as a whole without the person intentionally turning the body left and right, and the blower (3) and the filter means 4 are provided in the upper part of the shower room 1, and the effect of reducing the area occupancy at the time of installation is exhibited. However, the prior art is a supply passage (3a) and the suction passage (3b) for the air circulation to the inner edge of the shower room (1) and the inner side of the side plate, respectively, as shown in Figures 2a and 2b ) Is provided in a separate form, the overall structure forming the shower room (1) is made of a double of the complexity, as well as the productivity is low, there is a problem that it is difficult to change the appearance according to the conditions of the installation site.

특히, 종래기술은 샤워실(1)의 내부 측벽 하단에 배기구(5)를 형성하고, 송풍기(3)를 샤워실(1)의 상부에 구비하여, 작동시 송풍기(3)는 흡입통로(3b)를 통해 배기구(5)로 에어를 흡입할 수밖에 없는 구성으로, 에어의 원활한 순환을 위해서는 송풍기(3)의 용량이 큰 것을 사용해야만 하는 설비 제원에 대한 한계성을 극복할 수 없는 문제점이 있다.In particular, in the prior art, the exhaust port 5 is formed at the lower end of the inner side wall of the shower room 1, and the blower 3 is provided at the upper part of the shower room 1, so that the blower 3 during operation is the suction passage 3b. There is a problem that can not only overcome the limitations on the equipment specifications that must use a large capacity of the blower (3) in order to smoothly circulate the air to the air intake through the exhaust port (5).

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 클린룸을 출입하는 사람의 피복이나 반입물에 유착된 먼지와 같은 오염물을 분사노즐에 의한 회오리 형태의 기류로부터 효과적으로 제거함은 물론, 송풍수단에 의해 순환되는 공기의 유동경로를 간소화시킴으로써, 생산성 등을 제고할 수 있는 에어샤워장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, the object of the present invention is to remove contaminants, such as dust adhering to the coating or immersion of the person entering and leaving the clean room from the cyclone type air flow by the spray nozzle The present invention provides an air shower device capable of effectively increasing productivity and the like by effectively removing and of simplifying a flow path of air circulated by the blowing means.

또한, 본 발명의 다른 목적은 설치하고자 하는 장소의 주변여건이나 사용자의 의도에 따라 다양한 외형의 변경이 가능하므로, 사용자의 취향에 적합한 디자인으로 설계 및 시공할 수 있음은 물론, 사용상의 편의를 도모할 수 있는 에어샤워장치를 제공하기 위한 것이다.In addition, the other object of the present invention can be changed in various appearances according to the surrounding conditions of the place to be installed or the user's intention, can be designed and constructed in a design suitable for the user's taste, as well as to facilitate the use. It is to provide an air shower device that can be.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 에어샤워장치는 양쪽으로 구비된 출입수단과 벽체 및 그 사이 각각에 마련된 지주부재 및 샤워부스 내에 분사된 공기를 흡입하고 여과시켜 재순환시키는 송풍수단을 포함하는 것으로, 송풍수단은 분기부에 의해 복수의 상기 지주부재와 연결된 형태로 흡기를 위한 흡입구와 천정에 설치되고, 지주부재는 다수의 분사노즐이 일체된 덕트 형태로 이루어지며, 상기 샤워부스의 벽체는 단일 구조로 이루어진 것에 핵심적인 특징이 있다.The air shower device of the present invention for achieving the above object is to include an access means provided on both sides and the wall and the holding member provided between each of them and the blowing means for sucking, filtering and recirculating the air injected in the shower booth The blower is connected to the plurality of support members by a branch and is installed at the inlet and the ceiling for intake, and the support member is formed in the form of a duct in which a plurality of injection nozzles are integrated, and the wall of the shower booth is a single unit. There is a key feature to the structure.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 구성을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the configuration according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

도 3 내지 5에서 도시한 바와 같이 본 발명의 에어샤워장치는 클린룸의 입구에 설치되어 출입자의 피복이나 반입물로부터 쾌적한 클린룸의 작업환경을 유지토록 하는 것으로, 벽체(30)와 출입수단(20), 천정(70) 및 바닥(80)에 의해 외부로부터 차단된 소정의 샤워부스(10) 형태로 이루어진다.As shown in FIGS. 3 to 5, the air shower apparatus of the present invention is installed at the entrance of the clean room to maintain a comfortable working environment of the clean room from the covering or carrying in of the accessor, and the wall 30 and the access means ( 20), the ceiling 70 and the bottom 80 is made of a predetermined shower booth 10 is blocked from the outside.

본 발명의 출입수단(20)은 적어도 양쪽으로 구비된 것으로, 한 쪽으로는 외부와 연통되게 마련되는 한편, 다른 쪽으로는 클린룸의 내부와 연통되게 마련된다. 이때, 도 6a 내지 6c에서처럼 샤워부스(10)의 형태에 따라 출입수단(20)이 둘 이상의 복수 형태로도 가능하다. 그리고 덕트 형태의 지주부재(40)에는 다수의 분사노 즐(41)이 소정 간격으로 일정하게 배치된 것으로, 이 지주부재(40)는 출입수단(20)과 벽체(30) 사이에 복수로 구비된다. 이와 같은 지주부재(40)는 출입수단(20)과 벽체(30)의 체결상태를 견고하게 유지시키는 역할을 하게 된다.Access means 20 of the present invention is provided at least on both sides, one side is provided in communication with the outside, the other side is provided in communication with the interior of the clean room. In this case, as shown in FIGS. 6A to 6C, the access means 20 may be formed in two or more forms according to the shape of the shower booth 10. In addition, a plurality of injection nozzles 41 are uniformly arranged at predetermined intervals in the duct-shaped support member 40, and the support members 40 are provided in plurality between the access means 20 and the wall 30. do. Such a holding member 40 serves to maintain the fastening state of the access means 20 and the wall 30 firmly.

또한, 본 발명은 외부로부터 차단된 샤워부스(10) 내로 분사된 공기를 흡입 여과시켜 재순환시키는 송풍수단(50)을 포함한다. 특히, 본 발명의 송풍수단(50)은 도 4a 및 4b에서 도시한 바와 같이 분기부(60)로 인해 복수의 지주부재(40)와 연결된 형태로 천정(70)에 설치되며, 송풍수단(50)의 흡기를 위한 흡입구(71) 또한 천정(70)에 마련된다. 이로부터 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치는 설치시 면적점유율이 저하됨은 물론, 송풍수단(50)에 의한 공기의 순환상태를 호전시킴으로써, 공기에 의한 샤워성능을 제고하며, 샤워부스(10)를 형성하는 벽체(30)의 구성이 단일하게 이루어짐으로 도 6a 내지 6c에서처럼 샤워부스(10)의 외형을 설치장소의 주변여건 및 사용상의 편의 등에 따라 다양한 형태로 형상 변경이 자유로운 특징이 있다.In addition, the present invention includes a blowing means (50) for recirculating by suction filtration of the air injected into the shower booth 10 blocked from the outside. In particular, the blowing means 50 of the present invention is installed on the ceiling 70 in the form of being connected to the plurality of holding members 40 due to the branch 60 as shown in Figures 4a and 4b, blowing means 50 Intake port 71 for intake of air) is also provided in the ceiling (70). From this, the air shower device according to the preferred embodiment of the present invention, as well as the area occupancy is lowered during installation, improves the circulation state of the air by the blowing means 50, thereby improving the shower performance by the air, shower boot ( 10) since the structure of the wall 30 forming a single configuration, as shown in Figures 6a to 6c has the characteristic that the shape of the shower booth 10 can be freely changed in various forms according to the surrounding conditions of the installation place and the convenience of use. .

본 발명의 송풍수단(50)은 공기의 흡입 및 토출을 위한 순환펌프(51)와, 이 순환펌프(51)의 흡입관(51a) 및 토출관(51b) 중 적어도 어느 한 쪽에 마련된 여과필터(52)를 포함하여 이루어진다. 즉, 본 발명의 여과필터(52)는 순환펌프(51)의 흡입관(51a) 쪽에 구비된 천정(70)의 흡입구(71)나 순환펌프(51)의 토출관(51b) 쪽에 구비된 분기부(60) 중 적어도 어느 한 쪽에 배치될 수 있다. 바람직하게는 양쪽 모두에 구비하되, 순환펌프(51)의 흡입관(51a) 쪽인 천정(70)의 흡입구(71)에 마련된 것보다 순환펌프(51)의 토출관(51b) 쪽인 분기부(60)에 마련된 여과필터(52)의 성능이 더 뛰어난 것을 적용하여 순환되는 공기 속에 포함된 먼지와 같은 이물질이 단계적으로 걸러지도록 하는 것이 좋다.Blowing means 50 of the present invention is a circulating pump 51 for the suction and discharge of air, and the filtration filter 52 provided on at least one of the suction pipe (51a) and the discharge pipe (51b) of the circulation pump 51. ) That is, the filtration filter 52 of the present invention has a branch provided at the suction port 71 of the ceiling 70 provided at the suction pipe 51a side of the circulation pump 51 or at the discharge pipe 51b side of the circulation pump 51. It may be arranged on at least one of the (60). Preferably, it is provided on both sides, but the branch portion 60 which is the discharge pipe 51b side of the circulation pump 51 than that provided in the suction port 71 of the ceiling 70 which is the suction pipe 51a side of the circulation pump 51. It is good to apply the superior performance of the filter filter 52 provided in the step to filter foreign matters, such as dust contained in the air circulated in stages.

본 발명에 따른 지주부재(40)의 분사노즐(41)은 각 지주부재(40) 별로 수평 및 수직방향으로 소정의 분사각도가 설정되어, 작동시 샤워부스(10) 내에서는 회오리와 같은 상승기류가 유발될 수 있도록 하는 것이 좋다. 도 4a와 같은 횡단면도 상에서는 출입자의 위치를 중심으로 각 지주부재(40)의 분사노즐(41)에서 분사되는 공기가 서로 어긋나게 사선 방향을 지향하도록 하고, 도 4b와 같은 종단면도 상에서는 소정의 각도로 상 방향을 지향하도록 하는 것이 좋다.The spray nozzle 41 of the strut member 40 according to the present invention has a predetermined spray angle set in the horizontal and vertical directions for each strut member 40, and in the shower booth 10 during operation, a rising air like a whirlwind. It is good to be able to cause. On the cross-sectional view as shown in FIG. 4A, the air injected from the injection nozzles 41 of the strut members 40 is directed to the diagonal direction so as to deviate from each other. It is good to orient yourself.

본 발명의 벽체(30)는 도 5에서처럼 대전방지 처리된 비닐 형태로도 좋으나, 바람직하게는 도 3에서처럼 아크릴판 형태가 좋다. 이때, 출입수단(20)도 벽체(30)의 실시형태에 따라 비닐셔터방식이나 회동방식에 의해 여닫는 스윙도어와 같은 형태로 마련하여 출입자가 손을 사용하지 않고도 개폐시킬 수 있는 형태 등 다양하게 응용될 수 있다. 그리고 본 발명에 따른 샤워부스(10))에는 출입자의 신발 바닥을 세정하기 위한 세정수단(90)이 탈부착 가능하게 마련된다. 여기서 세정수단(90)은 수용액 형태인 세정액을 담을 수 있는 일종의 그릇 형태로, 샤워부스(10)로 들어선 출입자가 위치하기 좋은 바닥(80)의 정중앙에 소정의 깊이로 함몰된 홈을 구비하여 세정수단(90)의 거치 및 탈거가 용이한 형태 등 다양하게 실시 될 수 있다.Wall 30 of the present invention may be in the form of an anti-static vinyl, as shown in Figure 5, preferably in the form of an acrylic plate, as shown in FIG. At this time, the access means 20 is also provided in a form such as a swing door that is opened or closed by a vinyl shutter method or a rotation method according to the embodiment of the wall 30, and various applications, such as a form that can be opened and closed without the user using a hand. Can be. And the shower booth 10 according to the present invention is provided with a detachable cleaning means 90 for cleaning the bottom of the shoes of the person. Here, the cleaning means 90 is a kind of vessel that can contain the cleaning solution in the form of an aqueous solution, and has a groove recessed to a predetermined depth in the center of the floor 80 where a person entering the shower booth 10 can be located. Mounting and removal of the means 90 can be implemented in various ways, such as easy form.

본 발명에 따른 에어샤워장치는 지주부재(40) 중 어느 한 곳에 감지센서 및 소독액 노즐로 이루어진 소독수단(42)을 구비하여, 출입자가 에어 샤워 중에 해당 위치로 손을 내밀면 감지센서에 의해 알코올과 같은 소독액이 분무 되도록 하는 형태로도 가능하다. 특히, 출입자가 직접 스위치를 조작하여 구동상태를 제어하는 형태 또는, 샤워부스(10) 내에 출입자의 출입여부를 확인하는 센서를 구비하여 이로부터 일련의 작동이 제어되게 하는 형태 등 다양하게 실시될 수 있다.Air shower device according to the present invention is provided with a disinfection means 42 consisting of a sensor and a disinfectant nozzle in any one of the holding member 40, and when the person reaches out to the corresponding position during the air shower and alcohol by the detection sensor It is also possible to have the same disinfectant solution sprayed. In particular, the person directly controls the driving state by operating the switch, or in the shower booth (10) has a sensor for checking whether the accessor can be implemented in a variety of forms, such as a series of operations to be controlled therefrom. have.

상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 작동관계를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, the operation of the preferred embodiment of the present invention configured as described above is as follows.

본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치는 도면에서 도시한 바와 같이 다양한 형태의 샤워부스(10) 내에서 순환하는 공기의 흐름에 의해 구성간의 작동이 이루어진다. 즉, 한 쪽 출입수단(20)을 통해 출입자가 샤워부스(10)로 들어선 뒤, 외부로부터 샤워부스(10)의 내부 공간이 차단된 상태에서 상술한 스위치나 센서의 가동으로 본 발명에 따른 에어샤워장치의 유기적인 작동관계가 개시된다.Air shower device according to a preferred embodiment of the present invention is the operation between the configuration by the flow of air circulating in the shower booth 10 of various types as shown in the figure. That is, after the person enters the shower booth 10 through one access means 20, the air according to the present invention is activated by the operation of the above-described switch or sensor in a state in which the interior space of the shower booth 10 is blocked from the outside. An organic operating relationship of the shower device is disclosed.

전술한 바와 같이, 출입자가 본 발명의 샤워부스(10) 내에 정위치한 상태에서 스위치나 센서 등으로부터 전원이 인가되면, 송풍수단(50)이 가동되면서 도 4b 에서 점선으로 도시한 화살표를 따라 내부 공기가 순환하게 된다. 즉, 순환펌프(51)의 흡입력에 의해 샤워부스(10)의 내부 공기가 천정(70) 흡입구(71)로 포집되어 흡입관(51a)을 따라 인입된다. 이때, 천정(70) 흡입구(71)에 마련된 여과필터(52)를 경유하면서 공기 속에 함입된 먼지와 같은 부산물을 일차적으로 여과시키게 된다.As described above, when power is applied from a switch or a sensor in a state in which the person is in the shower booth 10 of the present invention, the air blowing unit 50 is operated and the internal air along the arrow shown in dotted lines in FIG. 4B. Will cycle. That is, the internal air of the shower booth 10 is collected by the suction port 71 of the ceiling 70 by the suction force of the circulation pump 51 and is drawn along the suction pipe 51a. At this time, by-products such as dust embedded in the air are primarily filtered through the filtration filter 52 provided in the ceiling 70 suction port 71.

이렇게 여과된 공기는 다시 순환펌프(51)의 토출관(51b)에 연계된 분기부(60)를 경유하게 된다. 여기서 본 발명의 바람직한 실시형태는 분기부(60)에 마련된 또 다른 여과필터(52)를 순환하는 공기가 경유하게 함으로써, 흡입구(71)의 여과필터(52)에서 걸러지지 않은 미세한 먼지나 입자까지 여과시켜 청정한 공기 상태로 재활시킨다.The filtered air is again passed through the branch portion 60 connected to the discharge pipe 51b of the circulation pump 51. Here, in the preferred embodiment of the present invention, the air circulating through another filtration filter 52 provided in the branch portion 60 passes through, so that even fine dust or particles that are not filtered out of the filtration filter 52 of the intake port 71 are passed. Filter and rehabilitate in clean air.

계속해서, 분기부(60)에서 재활생태로 전환된 공기는 순환펌프(51)의 토출력에 의해 복수의 지주부재(40)로 각각 분할 공급된다. 덕트 형태의 각 지주부재(40)로 인입된 공기는 다시 일정 간격으로 지주부재(40) 일체된 분사노즐(41)을 통해 샤워부스(10)의 내부 공간으로 분사된다. 이때, 분사되는 공기는 수평 및 수직방향으로 소정의 각도가 설정된 분사노즐(41)에 의해 회오리와 같은 상승기류를 유발하게 된다. 이와 같은 회오리 기류는 출입자가 위치하기 좋은 중앙을 중심으로 유발되게 이루어져 출입자의 피복이나 반입물에 묻은 먼지와 같은 클린룸의 오염 매개체를 편리하고 효과적으로 제거하게 된다.Subsequently, the air converted into the rehabilitation ecology at the branch part 60 is dividedly supplied to the plurality of strut members 40 by the earth output of the circulation pump 51. The air drawn into each of the support members 40 in the duct form is injected into the inner space of the shower booth 10 through the injection nozzle 41 integrated with the support members 40 at regular intervals. At this time, the injected air causes an upward air flow, such as a whirlwind, by the injection nozzle 41 having a predetermined angle set in the horizontal and vertical directions. Such a tornado is induced around the center where the visitor can be located to conveniently and effectively remove the pollutant in the clean room such as the dust on the cover or entrant of the visitor.

동시에 출입자는 샤워부스(10)의 바닥(80) 중앙에 탈부착 가능하게 설치된 세정수단(90) 내에 발을 둠으로써, 세정수단(90)에 담긴 세정액으로부터 출입자의 신발 바닥을 소제하게 된다. 이와 같이 출입자는 피복 및 반입물에 묻은 각종 오염 매개체에 대한 일련의 과정을 완료한 뒤, 샤워부스(10)의 또 다른 출입수단(20)을 통해 반도체와 같은 초정밀 부품의 생산을 위한 클린룸으로 들어감으로써, 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치의 구성 간의 유기적인 작동을 종결하게 된다.At the same time, the person puts the foot in the cleaning means 90 detachably installed in the center of the bottom 80 of the shower booth 10, to clean the bottom of the person's shoes from the cleaning liquid contained in the cleaning means (90). In this way, the visitor completes a series of processes for various contaminants on the coating and the incoming materials, and then passes through another access means 20 of the shower booth 10 to a clean room for producing high-precision parts such as semiconductors. By entering, the organic operation between the configurations of the air shower apparatus according to the preferred embodiment of the present invention is terminated.

상기한 발명의 상세한 설명은 본 발명의 특정 실시형태에 한해서 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 개념을 이탈하지 않는 범위 내에서 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 여러 가지 형태로 변형 또는 변경 실시하는 것 또한 본 발명의 기재된 청구범위에 포함되는 것은 당연하다.Although the above detailed description of the invention has been described only with respect to specific embodiments of the invention, the technical spirit of the invention is not limited thereto, and it is common in the art to which the invention pertains without departing from the concept of the invention. It is obvious that modifications or changes in various forms by those skilled in the art are also included in the claims of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 에어샤워장치는 클린룸의 출입을 위한 사람의 피복이나 반입물에 부착된 먼지와 같은 오염물을 소정의 설정각도가 부여된 분사노즐로부터 유발되는 소정의 상승기류를 이용하는 것으로, 오염물을 효과적으로 제거하는 성능을 제고하며, 송풍수단에 의해 순환되는 공기의 유동경로를 간소화함으로써, 설치면적 점유율을 최소화함은 물론, 생산성을 제고하는 등과 같은 효과가 뛰어나다.As described above, the air shower apparatus of the present invention is used to remove a predetermined air flow from a spray nozzle to which contaminants such as dust adhered to a person's coat or a carry-on for entering and exiting a clean room are given a predetermined set angle. By using it, it is possible to improve the performance of effectively removing contaminants and to simplify the flow path of air circulated by the blowing means, thereby minimizing the installation area occupancy and increasing the productivity.

또한, 본 발명은 설치하고자 하는 장소의 주변여건이나 사용자의 의도에 따라 다양한 외형으로 변경 가능하므로, 사용 목적 및 취향에 적합한 디자인으로 설계 및 시공할 수 있는 등 시공상의 다양성 및 사용상의 편의성을 도모하는 효과가 발휘된다.In addition, the present invention can be changed to a variety of appearances according to the surrounding conditions of the place to be installed or the user's intention, so that it can be designed and constructed in a design suitable for the purpose and taste of use, to promote the diversity of construction and ease of use The effect is exerted.

Claims

delete

In the form of a shower booth (10) blocked from the outside to prevent contamination of the clean room,

Blowing means for sucking, filtering and recirculating the air injected into the access means 20 and the wall 30 and the support member 40 provided between each of the at least both sides, and the shower booth 10 blocked from the outside Including (50),

The blowing means 50 is installed in the suction port 71 and the ceiling 70 for the intake in the form connected to the plurality of the holding member 40 by the branch portion 60, the holding member 40 is a plurality The injection nozzle 41 is made of an integrated duct shape, the wall 30 of the shower booth 10 is an air shower device, characterized in that made of a single structure.

The method of claim 2,

The blowing means 50 is a circulating pump 51 for suctioning and discharging air, and a filtration filter 52 provided on at least one of the suction pipe 51a and the discharge pipe 51b of the circulation pump 51. Air shower device, characterized in that made.

The method of claim 2,

The injection nozzle 41 of the support member 40 has a horizontal and vertical injection angle set for each support member 40, so that a rising air like a whirlwind is caused in the shower booth 10. Air shower device.

The method of claim 2,

The wall 30 is an air shower device, characterized in that made of antistatic vinyl or acrylic plate form.

The method according to any one of claims 2 to 5,

The shower booth 10 is an air shower device, characterized in that the cleaning means for detaching the bottom of the worker's shoes (90) is provided to be detachable.