KR20210148643A - Workbench for clean room - Google Patents

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KR20210148643A
KR20210148643A KR1020200065741A KR20200065741A KR20210148643A KR 20210148643 A KR20210148643 A KR 20210148643A KR 1020200065741 A KR1020200065741 A KR 1020200065741A KR 20200065741 A KR20200065741 A KR 20200065741A KR 20210148643 A KR20210148643 A KR 20210148643A
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clean room
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workbench
fan filter
filter unit
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KR1020200065741A
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Inventor
임혁순
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세메스 주식회사
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    • EFIXED CONSTRUCTIONS
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Abstract

According to the present invention, a clean room workbench can effectively maintain a degree of cleanliness in a clean room by locating a plurality of fan filter units at appropriate positions. Furthermore, it is possible to maintain a high degree of cleanliness inside the clean room by reducing generation of vortex inside the clean room and removing particles generated in the work space when working at high place. The clean room workbench comprises: a base frame; a main frame; a work booth; and a lifting unit.

Description

클린룸용 작업대{WORKBENCH FOR CLEAN ROOM}Workbench for clean room {WORKBENCH FOR CLEAN ROOM}

본 발명은 클린룸용 작업대에 관한 것으로 보다 상세하게는 클린룸 내부에서 고소 작업을 위한 클린룸용 작업대에 관한 것이다.The present invention relates to a work bench for a clean room, and more particularly, to a work bench for a clean room for working at a height in a clean room.

일반적으로 반도체 소자, 디스플레이 등의 제조 공정은 외로부터의 이물질 유입을 차단할 수 있는 클린룸 내에서 이루어지며, 상기 클린룸 내부의 청정도는 제조 대상에 따라 다소 다르게 조절될 수 있다. 최근, 반도체 소자의 집적도가 크게 향상됨에 따라 클림룸 내부를 10 내지 100class 정도의 고청정 상태로 유지할 필요가 있다. 이를 위해, 클린룸의 천장에는 청정 공기를 제공하기 위한 팬 필터 유닛들이 배치될 수 있으며, 이에 의해 클린룸 내부에는 수직 하방 기류가 형성될 수 있다.In general, a manufacturing process of a semiconductor device, a display, etc. is performed in a clean room that can block the inflow of foreign substances from the outside, and the degree of cleanliness inside the clean room can be adjusted somewhat differently depending on the manufacturing object. Recently, as the degree of integration of semiconductor devices is greatly improved, it is necessary to keep the inside of the cleanroom in a high clean state of about 10 to 100 classes. To this end, fan filter units for providing clean air may be disposed on the ceiling of the clean room, whereby a vertical downward airflow may be formed inside the clean room.

한편, 클린룸 내부에서 클린룸 천장 부위와 같이 높은 곳에서 작업하는 고소 작업이 필요한 경우, 고소 작업대를 이용하여 할 수 있다. 고소 작업대는 고소 작업이 필요한 곳으로 이동될 수 있으며, 작업자가 올라서서 고소 작업을 할 수 있는 작업 공간을 제공한다. On the other hand, when it is necessary to work in a high place such as a clean room ceiling part in a clean room, it can be done by using an aerial work bench. The aerial platform can be moved to where aerial work is required and provides a working space where the operator can stand up and perform aerial work.

그러나, 고소 작업이 필요한 경우 예를 들면 클린룸 천장 부위에서의 작업이 필요한 경우 고소 작업대를 이용할 수 있으나, 작업시 파티클이 발생될 수 있으며 또한 클린룸 내부에서 고소 작업대에 의해 와류가 발생될 수 있다. 특히, 와류는 클린룸 내부에서 파티클을 확산시키는 추가적인 문제를 발생시킬 수 있으므로 고청정도 유지가 필요한 클린룸의 내부 작업을 가능하게 하는 작업대가 요구되고 있다. However, when work at height is required, for example, when work on the ceiling of a clean room is required, an aerial work platform can be used, but particles may be generated during work, and a vortex may be generated by the work table at height inside the clean room. . In particular, since the vortex may cause an additional problem of diffusing particles inside the clean room, there is a demand for a workbench that enables internal work in a clean room that requires high cleanliness maintenance.

한국공개특허 제10-2004-0040790호(2004.05.13.)Korean Patent Laid-Open Patent No. 10-2004-0040790 (May 13, 2004)

본 발명은 클린룸의 청정도를 저하시키기 않으면서 클린룸 내부에서의 고소 작업을 가능하게 하는 클린룸용 작업대를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a workbench for a cleanroom that enables high-place work inside the cleanroom without degrading the cleanliness of the cleanroom.

본 발명은 클린룸 내에서의 고소 작업을 위한 클린룸용 작업대에 있어서, 배출 영역을 포함하는 베이스 프레임; 메인 프레임; 상부가 개방되어 상기 고소 작업을 하기 위한 작업 공간이 구비되고, 제1 팬 필터 유닛을 포함할 수 있는 별도 공간을 포함하는 작업 부스; 상기 작업 부스를 수직 방향으로 위치시키기 위한 승강 유닛;을 포함하고, 상기 메인 프레임에 위치하며, 상기 제1 팬 필터 유닛과 서로 마주하게 배치되는 제2 팬 필터 유닛을 포함한다.The present invention provides a workbench for a cleanroom for aerial work in a cleanroom, comprising: a base frame including a discharge area; main frame; a work booth having an open upper portion, a work space for performing the work at height, and a separate space including a first fan filter unit; and a lifting unit for vertically locating the work booth, and a second fan filter unit positioned on the main frame to face the first fan filter unit.

또한, 상기 베이스 프레임의 하부면에 위치하고, 상기 클린룸용 작업대를 회전시키는 구동부를 포함할 수도 있고, 베이스 프레임의 하부면에 위치 고정을 위한 아웃트리거가 각각 장착될 수도 있다.In addition, it is located on the lower surface of the base frame and may include a driving unit for rotating the work table for the clean room, and an outrigger for fixing the position may be mounted on the lower surface of the base frame, respectively.

또한, 상기 메인 프레임은 작업자가 상기 작업 부스 안으로 이동하기 위해 구비되는 계단부; 상기 계단부의 일측에 결합되어 상기 계단부를 지지하고 상부에 상기 작업 부스가 배치될 수 있으며, 서로 이격되어 마주하게 배치되는 복수의 포스트부; 및 상기 복수의 포스트부와 결합되며, 상기 제2 팬 필터 유닛을 수용되는 연결 프레임;을 포함할 수 있다.In addition, the main frame includes a step portion provided for a worker to move into the work booth; a plurality of post parts coupled to one side of the step part to support the step part, the work booth may be disposed on the upper part, and spaced apart from each other to face each other; and a connection frame coupled to the plurality of post parts and accommodating the second fan filter unit.

또한, 상기 승강 유닛은 액추에이터, 리니어 모터, 또는 직선 이동 기구 중 어느 하나에 의하여 구동되는 것을 특징으로 한다.In addition, the lifting unit is characterized in that it is driven by any one of an actuator, a linear motor, or a linear movement mechanism.

또한, 상기 작업 부스의 하부와 상기 별도 공간은 연통되도록 통풍 구조를 가지며, 상기 제1 팬 필터 유닛과 상기 제2 팬 필터 유닛은 연통되도록 통풍 구조를 가지고, 상기 배출 영역은 상기 제2 팬 필터 유닛과 연통되도록 통풍 구조를 가지는 것을 특징으로 한다.In addition, the lower portion of the work booth and the separate space have a ventilation structure to communicate with each other, the first fan filter unit and the second fan filter unit have a ventilation structure to communicate with each other, and the discharge area is the second fan filter unit It is characterized in that it has a ventilation structure to communicate with.

또한, 상기 작업 부스의 측벽들 중 적어도 하나에는 상기 작업자의 출입을 위한 도어가 구비되는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, at least one of the side walls of the work booth may be characterized in that a door for entering and exiting the worker is provided.

본 발명에 따른 클린룸용 작업대는 복수의 팬 필터 유닛을 적절한 위치에 위치시킴으로써, 클린룸 내에서의 청정도 유지를 효과적으로 할 수 있다. 더욱이, 클린룸 내부의 와류 발생을 감소하고, 고소 작업시 작업 공간 내에서 발생된 파티클을 제거함으로써, 클린룸 내부의 고청정도를 유지할 수 있다. The cleanroom workbench according to the present invention can effectively maintain cleanliness in the cleanroom by locating a plurality of fan filter units at appropriate positions. Furthermore, it is possible to maintain a high degree of cleanliness inside the clean room by reducing the generation of vortices inside the clean room and removing particles generated in the work space when working at height.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명에 따른 클린룸용 작업대를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 클린룸용 작업대가 고소 작업시의 상태를 나타낸 측면 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 클린룸용 작업대가 작업 중이지 않을 때의 상태를 나타낸 측면 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 클린룸용 작업대의 평면도이다.
1 is a perspective view showing a work bench for a clean room according to the present invention.
Figure 2 is a side cross-sectional view showing the state of the work table for a clean room according to the present invention when working at a height.
3 is a side cross-sectional view showing a state when the work table for a clean room according to the present invention is not in operation.
4 is a plan view of a workbench for a clean room according to the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described using the same reference numerals only in the representative embodiment, and only configurations different from the representative embodiment will be described in other embodiments.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 본 발명에 따른 클린룸용 작업대를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다. 도 2는 본 발명에 따른 클린룸용 작업대를 이용하여 작업하는 경우를 나타낸 측면 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 클린룸용 작업대가 고소 작업하지 않은 경우를 나타낸 측면 단면도이다. 1 is a schematic perspective view for explaining a workbench for a clean room according to the present invention. 2 is a side cross-sectional view showing a case of working using the work table for a clean room according to the present invention, and FIG. 3 is a side cross-sectional view showing a case where the work table for a clean room according to the present invention does not work at height.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸용 작업대는 고청정도를 유지해야하는 클린룸 내부에서 천장 부위 등과 같은 상대적으로 높은 위치에서의 고소 작업을 위해 사용될 수 있다. 1 to 3 , the work table for a clean room according to an embodiment of the present invention may be used for work at a relatively high height, such as a ceiling part, in a clean room that needs to maintain a high degree of cleanliness.

본 발명은 고청정한 클린룸 내부를 유지시키기 위하여, 복수의 팬 필터 유닛을 포함하면서, 복수의 팬 필터 유닛의 위치를 적절하게 위치시킴으로써, 고청정도를 유지시킬 수 있도록 하였다. The present invention includes a plurality of fan filter units in order to maintain a highly clean interior of a clean room, and by appropriately positioning the plurality of fan filter units, high cleanliness can be maintained.

본 발명에 따른 클린룸용 작업대는 베이스 프레임(100), 메인 프레임(200), 작업 부스(300) 및 승강 유닛(400)을 포함한다.The work table for a clean room according to the present invention includes a base frame 100 , a main frame 200 , a work booth 300 , and a lifting unit 400 .

도 4에 나타난 바와 같이, 베이스 프레임(100)은 작업 부스(300)에서 발생된 파티클을 배출시키는 배출 영역을 포함할 수 있다. 배출 영역은 전체가 그물망 형태 또는 배플 플레이트 형태로 제작될 수 있다. 배출 영역 이외의 영역은 특별히 한정하지 아니하며, 배출 영역과 같이 그물망 형태 또는 배플 플레이트 형태로 제작될 수도 있다. As shown in FIG. 4 , the base frame 100 may include a discharge area for discharging particles generated in the work booth 300 . The discharge area may be manufactured in the form of a mesh or a baffle plate as a whole. The area other than the discharge area is not particularly limited, and may be manufactured in the form of a mesh or baffle plate like the discharge area.

또한, 베이스 프레임(100)의 하면에 구동부(110)를 포함할 수 있다. 구동부(110)로서 이동을 위한 바퀴를 예를 들 수 있다. 특히 바퀴들은 이동시 방향 전환을 용이하게 하기 위해 360도 회전 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. In addition, the driving unit 110 may be included on the lower surface of the base frame 100 . As the driving unit 110 , a wheel for movement may be exemplified. In particular, it is preferable that the wheels are configured to be rotatable 360 degrees in order to facilitate direction change during movement.

또한, 베이스 프레임(100)의 하면에 작업시 작업대의 위치를 고정시키기 위한 아웃트리거(120)를 포함할 수 있다. In addition, the lower surface of the base frame 100 may include an outrigger 120 for fixing the position of the workbench during operation.

도 4에 나타난 바와 같이, 아웃트리거(120)는 바퀴 등의 구동부를 따라 좌우이동한 후 지면과 접하여 작업대를 지지하거나, 구동부를 따라 좌우 이동하여 작업대의 적재함 바닥 상부에 안착될 수 있다. As shown in FIG. 4 , the outrigger 120 may move left and right along a driving unit such as wheels to support the workbench in contact with the ground, or move left and right along the driving unit to be seated on the upper part of the loading box of the workbench.

작업 부스(300)는 상부가 개방되어 있으며, 측벽들은 작업 부스(300)로부터 발생된 파티클이 외부로 비산되는 것을 방지하기 위한 벽들이 배치될 수 있다. 또한, 작업 부스(300)의 하부에 제1 팬 필터 유닛(320)을 포함할 수 있는 별도 공간(330)을 포함할 수 있다. The work booth 300 has an open top, and the side walls may have walls to prevent particles generated from the work booth 300 from scattering to the outside. In addition, a separate space 330 that may include the first fan filter unit 320 may be included under the work booth 300 .

이에, 작업 부스(300)의 하부는 베이스 프레임(100)과 같이 배출이 가능하도록 연통되도록 통풍 구조로 제작될 수 있다. Accordingly, the lower portion of the work booth 300 may be manufactured in a ventilation structure to communicate with the base frame 100 to enable discharge.

또한, 작업 부스의 측벽(310)들 중 적어도 하나에는 작업자의 출입을 위한 도어(311)가 구비될 수 있다. In addition, at least one of the side walls 310 of the work booth may be provided with a door 311 for a worker to enter and exit.

별도 공간(330)은 작업 부스(300) 내에서 발생되는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 위치에 있으면 충분하나, 본 발명에서는 작업 부스(300)의 하부에 별도 공간(330)을 위치시킨 경우를 일례로 하여 설명한다. It is sufficient if the separate space 330 is located at a position where particles generated in the work booth 300 can be effectively removed, but in the present invention, a case where the separate space 330 is located in the lower part of the work booth 300 is an example to be explained.

작업 부스(300)의 하부와 별도 공간(330)은 연통되도록 통풍 구조를 가짐으로써, 작업 부스(300) 내부에서 발생된 파티클을 1차적으로 효과적으로 제거할 수 있다. 이로써, 클린룸 내부의 청정도가 저하되는 것을 방지할 수 있다. Since the lower part of the work booth 300 and the separate space 330 have a ventilation structure to communicate with each other, it is possible to primarily effectively remove particles generated inside the work booth 300 . Accordingly, it is possible to prevent the degree of cleanliness inside the clean room from being deteriorated.

팬 필터 유닛(220, 320)은 하방 기류를 형성하기 위한 팬과 작업 부스(300) 내에서 발생된 파티클을 제거하기 위한 필터를 각각 포함할 수 있다. 특히, 팬 필터 유닛(220, 320)은 작업 부스(300)로부터 지면을 향한 하방 기류를 형성할 수 있으므로, 클린룸 내부의 전체적인 하방 기류를 변화시키지 않으며, 이를 통해 작업대에 의한 와류 발생을 충분히 감소시킬 수 있다. 이에, 작업 부스(300)의 별도 공간(330)에 제1 팬 필터 유닛(320)을 포함함과 더불어 메임 프레임 내에 제2 팬 필터 유닛(220) 2중으로 포함시킴으로써, 작업 부스(300) 내에서 발생된 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다. The fan filter units 220 and 320 may include a fan for forming a downward airflow and a filter for removing particles generated in the work booth 300 , respectively. In particular, since the fan filter units 220 and 320 can form a downward airflow from the work booth 300 toward the ground, it does not change the overall downward airflow inside the clean room, thereby sufficiently reducing the vortex generation by the workbench. can do it Accordingly, by including the first fan filter unit 320 in a separate space 330 of the work booth 300 and double including the second fan filter unit 220 in the main frame, in the work booth 300 The generated particles can be effectively removed.

메인 프레임(200)은 계단부(210), 포스트부(240), 연결 프레임(230)을 포함할 수 있다. The main frame 200 may include a step portion 210 , a post portion 240 , and a connection frame 230 .

계단부(210)는 작업자가 작업 부스(300)로 올라가거나 작업 부스(300)로부터 지상으로 내려오기 위한 구성으로 복수의 계단을 구비할 수 있다. 계단부(210)를 포함함으로써, 작업자가 작업 도구를 들고 작업 부스(300)로 오르거나 내릴 수 있으므로, 사다리를 이용하는 경우부터 작업 효율이 향상될 수 있으며, 작업 시간을 단축시킬 수 있다. The step unit 210 may be provided with a plurality of stairs in a configuration for a worker to ascend to the work booth 300 or to descend from the work booth 300 to the ground. By including the step 210, the operator can go up or down to the work booth 300 with a work tool, so that work efficiency can be improved from the case of using a ladder, and work time can be shortened.

계단부(210)는 후술될 포스트부(240)의 일면에 위치시키거나 양면에 위치시킬 수 있다. 또한, 계단부(210)는 작업대의 길이 방향으로 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지 않는다. The step portion 210 may be located on one side or on both sides of the post unit 240 to be described later. In addition, since the step 210 can be variously changed in the longitudinal direction of the workbench, the scope of the present invention is not limited thereby.

추가적으로 계단부(210)는 작업 부스(300)의 별도 공간(330)의 일면에 위치할 수 있으며, 이로써, 작업자가 작업 부스(300)에 용이하게 도달할 수 있다. Additionally, the step 210 may be located on one surface of the separate space 330 of the work booth 300 , and thus, the operator may easily reach the work booth 300 .

또한, 계단부(210)는 핸드 레일을 포함할 수 있으며, 이에 작업자는 핸드 레일을 이용하여 복수의 계단부(210)를 보다 안전하게 오르고 내릴 수 있다. In addition, the step portion 210 may include a hand rail, so that an operator can climb up and down the plurality of step portions 210 more safely by using the hand rail.

포스트부(240)는 서로 이격되어 마주하게 배치시킴으로써, 즉, 작업 부스(300)의 정면측과 후면측에 각각 배치되어 계단부(210)와 작업 부스(300)를 지지할 수 있다. The post unit 240 is spaced apart from each other and arranged to face each other, that is, it is disposed on the front side and the rear side of the work booth 300 , respectively, to support the step unit 210 and the work booth 300 .

연결 프레임(230)은 지상과 수평한 방향으로 포스트부(240)들끼리 연결되며, 제2 팬 필터 유닛(220)을 위치시킬 수 있는 공간이다. 연결 프레임(230)과 별도 공간(330) 사이 역시 베이스 프레임(100)과 같이 배출이 가능하도록 연통되도록 통풍 구조로 제작될 수 있다. The connection frame 230 is a space in which the post parts 240 are connected to each other in a horizontal direction to the ground, and the second fan filter unit 220 can be located. Between the connection frame 230 and the separate space 330, like the base frame 100, it may be manufactured in a ventilation structure to communicate so as to be discharged.

연결 프레임(230) 내에 제2 팬 필터 유닛(220)을 추가적으로 포함함으로써, 제1 팬 필터 유닛(320)에 의해서 제거되지 아니한 파티클을 제거할 수 있다.By additionally including the second fan filter unit 220 in the connection frame 230 , particles not removed by the first fan filter unit 320 may be removed.

보다 효율적인 파티클 제거를 위하여, 고소 작업이 이루어 지지 않을 때의 메인 프레임(200)의 길이 방향의 중간 위치 부근에 연결 프레임(230)을 위치시키고, 여기에 제2 팬 필터 유닛(220)을 위치시키는 것이 바람직하다. 즉, 고소 작업시 제1 팬 필터 유닛(320)과 제2 팬 필터 유닛(220)을 일정거리 이상으로 이격시켜 작동시킴으로써, 보다 우수한 고청정 클린룸을 유지시킬 수 있다. For more efficient particle removal, the connection frame 230 is positioned near the middle position in the longitudinal direction of the main frame 200 when work at height is not performed, and the second fan filter unit 220 is positioned there. it is preferable That is, when the first fan filter unit 320 and the second fan filter unit 220 are spaced apart by a certain distance or more to operate at high altitude, a more excellent high-clean clean room can be maintained.

승강 유닛(400)은 작업 부스(300)를 상하 수직 이동시키기 위한 구성이다. 승강 유닛(400)은 공압, 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구 중 하나에 의하여 구동될 수 있다. The lifting unit 400 is configured to vertically move the work booth 300 up and down. The lifting unit 400 may be driven by one of an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism.

더욱이 고소 작업을 보다 안정적으로 하기 위하여, 작업자의 요구에 따라 높낮이 조정이 가능하다. Moreover, in order to make work at height more stable, it is possible to adjust the height according to the needs of the operator.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings and the detailed description of the described invention referenced so far are merely exemplary of the present invention, which are only used for the purpose of explaining the present invention and are not intended to limit meaning or claim claims. It is not intended to limit the scope of the invention described in the scope. Therefore, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

100: 베이스 프레임
110: 구동부
120: 아웃트리거
200: 메인 프레임
210: 계단부
220: 제2 팬 필터 유닛
230: 연결 프레임
240: 포스트부
300: 작업 부스
310: 작업 부스 측벽
311: 도어
320: 제1 팬 필터 유닛
330: 별도 공간
400: 승강 유닛
100: base frame
110: driving unit
120: outrigger
200: main frame
210: stairs
220: second fan filter unit
230: connection frame
240: post unit
300: work booth
310: work booth side wall
311: door
320: first fan filter unit
330: separate space
400: elevating unit

Claims (9)

클린룸 내에서의 고소 작업을 위한 클린룸용 작업대에 있어서,
배출 영역을 포함하는 베이스 프레임;
메인 프레임;
상부가 개방되어 상기 고소 작업을 하기 위한 작업 공간이 구비되고, 제1 팬 필터 유닛을 포함할 수 있는 별도 공간을 포함하는 작업 부스;
상기 작업 부스를 수직 방향으로 위치시키기 위한 승강 유닛;
을 포함하고,
상기 메인 프레임에 위치하며, 상기 제1 팬 필터 유닛과 서로 마주하게 배치되는 제2 팬 필터 유닛을 포함하는 클린룸용 작업대.
In the work bench for a clean room for work at height in the clean room,
a base frame including an exhaust area;
main frame;
a work booth having an open upper portion, a work space for performing the work at height, and a separate space including a first fan filter unit;
a lifting unit for positioning the work booth in a vertical direction;
including,
and a second fan filter unit positioned on the main frame and disposed to face the first fan filter unit.
제1 항에 있어서,
상기 베이스 프레임의 하부면에 위치하고, 상기 클린룸용 작업대를 회전시키는 구동부를 포함하는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
The cleanroom workbench is located on the lower surface of the base frame and includes a driving unit for rotating the cleanroom workbench.
제1 항에 있어서,
상기 베이스 프레임의 하부면에 위치 고정을 위한 아웃트리거가 장착되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
A workbench for a clean room, characterized in that an outrigger for fixing the position is mounted on the lower surface of the base frame.
제1 항에 있어서,
상기 메인 프레임은
작업자가 상기 작업 부스 안으로 이동하기 위해 구비되는 계단부;
상기 계단부의 일측에 결합되어 상기 계단부를 지지하고 상부에 상기 작업 부스가 배치될 수 있으며, 서로 이격되어 마주하게 배치되는 복수의 포스트부; 및
상기 복수의 포스트부와 결합되며, 상기 제2 팬 필터 유닛을 수용되는 연결 프레임;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
The main frame is
a step portion provided for a worker to move into the work booth;
a plurality of post parts coupled to one side of the step part to support the step part, the work booth may be disposed on the upper part, and spaced apart from each other to face each other; and
a connection frame coupled to the plurality of posts and accommodating the second fan filter unit;
Clean room workbench comprising a.
제1 항에 있어서,
상기 승강 유닛은 액추에이터, 리니어 모터, 또는 직선 이동 기구 중 어느 하나에 의하여 구동되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
The lifting unit is a workbench for a clean room, characterized in that it is driven by any one of an actuator, a linear motor, or a linear movement mechanism.
제1 항에 있어서,
상기 작업 부스의 하부와 상기 별도 공간은 연통되도록 통풍 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
A workbench for a clean room, characterized in that it has a ventilation structure so that the lower part of the work booth and the separate space communicate with each other.
제1 항에 있어서,
상기 제1 팬 필터 유닛과 상기 제2 팬 필터 유닛은 연통되도록 통풍 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
The workbench for a clean room, characterized in that the first fan filter unit and the second fan filter unit have a ventilation structure to communicate with each other.
제1 항에 있어서,
상기 배출 영역은 상기 제2 팬 필터 유닛과 연통되도록 통풍 구조를 가지는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
The work bench for a clean room has a ventilation structure such that the discharge area communicates with the second fan filter unit.
제1 항에 있어서,
상기 작업 부스의 측벽들 중 적어도 하나에는 상기 작업자의 출입을 위한 도어가 구비되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 작업대.
According to claim 1,
At least one of the side walls of the work booth is a workbench for a clean room, characterized in that a door for entering and exiting the worker is provided.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20040040790A (en) 2002-11-08 2004-05-13 (주)케이디비테크놀러지 Mini environment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20040040790A (en) 2002-11-08 2004-05-13 (주)케이디비테크놀러지 Mini environment

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