KR200342741Y1 - 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬 - Google Patents

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KR200342741Y1
KR200342741Y1 KR20-2003-0035512U KR20030035512U KR200342741Y1 KR 200342741 Y1 KR200342741 Y1 KR 200342741Y1 KR 20030035512 U KR20030035512 U KR 20030035512U KR 200342741 Y1 KR200342741 Y1 KR 200342741Y1
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semiconductor
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이부락
김성배
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Abstract

본 고안은 반도체 및 에프피디(F.P.D:Flayer Panel Displayer) 제조장치를 이용하여 반도체 부품을 가공함에 있어, 가공되어진 부품의 표면 연마(세척)를 위해 사용되는 로울러 브러쉬에 관한 것으로, 특히, 로울러 브러쉬를 사용하는 과정에서, 모사가 탈리(탈모사 현상)되거나 표면 연바(세척)가 이루어지는 모사 끝단의 불균형으로 인해 발생되는 연마 불량을 예방함과 동시에, 로울러에 감겨지는 모사의 뒤틀림 현상 및 흔들림과 자리이동 등으로 인한 반도체 부품의 편연마 현상을 방지할 수 있도록 한 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬에 관한 것이다.
본 고안은 로울러 본체의 외주면에는 'U'자 모양의 단면을 갖는 삽입홈이 나선형태를 이루며 형성되고, 상기 삽입홈에는 다수의 모사가 와이어에 의해 절곡된 상태를 이루며 나선형으로 결합되되, 상기 모사는 삽입홈에 도포된 접착제에 의해 부착됨에 따라, 로울러 브러쉬를 이용하여 기판을 표면 연마처리함에 있어, 모사가 탈리(탈모사 현상)되는 것을 방지할 수 있고, 로울러 부러쉬에 대한 작업성과 효율성을 향상시킬 수 있는 것이다.

Description

반도체 제조장치의 로울러 브러쉬{Roller Bursh for Semi-conductor Manufacture Device}
본 고안은 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 및 에프피디(F.P.D:Flayer Panel Displayer) 제조장치를 이용하여 반도체 부품을 가공함에 있어, 가공되어진 부품의 표면 연마(세척)를 위해 사용되는 로울러 브러쉬에 관한 것이다.
특히, 로울러 브러쉬를 사용하는 과정에서, 모사가 탈리(탈모사 현상)되거나 세척이 이루어지는 모사 끝단의 불균형으로 인해 발생되는 연마 불량을 예방함과 동시에, 로울러에 감겨지는 모사의 뒤틀림 현상 및 흔들림과 자리이동 등으로 인한 반도체 부품의 편연마 현상을 방지할 수 있도록 한 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 부품의 제조과정은 단결정 성장 → 규소봉 절단 → 기판 표면연마 → 회로 설계 → MASK(RETICLE)제작 → 산화(OXIDATION)공정 →감광액(PR:Photo Resist)도포 → 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition) → 금속배선(Metallization) → 기판 자동선별 → 기판절단 → 칩 접착 → 금(金)선 연결 →성형(Molding) → 최종검사의 공정을 통해 얻게 된다.
이러한, 각각의 제조공정을 통해 각종 반도체 부품이 가공되어지는 과정에서, 반도체 부품의 정밀도와 불량율을 최소화 하기 위해 부품 즉, 기판의 표면연마 공정이 행해지고 있는 바, 현재, 반도체 부품의 기판 표면연마는 로울러 부러쉬에의해 이루어지고 있다.
상기와 같은, 반도체 부품의 기판을 표면연마하기 위한 종래의 로울러 브러쉬는 첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 베어링(102)에 의해 이송로울러(110)가 횡설되고, 동력전달장치(104)에 의해 회전되면서, 반도체 부품 즉, 기판(P)을 이송·공급하도록 설치되며, 상기 이송로울러(110) 상방에는 외주면에 모사(112)가 식재된 로울러 브러쉬(120)가 근접된 상태로 설치된 것이다.
이때, 상기 로울러브러쉬(120)는 '∪'자 모양의 고정체(114)에 다수의 모사(112)가 와이어(116)에 의해 절곡된 상태를 이루며 고정되고, 상기 고정체(114)는 원통형상의 로울러본체(118) 외주면에 코일형태로 감겨져 설치된다.
상기와 같이, 로울러본체(118) 외주면에 코일형태로 감겨지는 고정체(114)는 선단과 끝단 일부분이 용접되어 고정되며, 모사(112)는 와이어(116)에 의한 결속력에 의해 절곡된 형태로 끝단이 동일하게 일치된 상태를 이루며 결합되는 것이다.
따라서, 동력전달장치(104)에 의해 이송로울러(110)와 로울러브러쉬(120)가 회전되면서, 상기 이송로울러(110)에 의해 이송·공급되는 기판(P)의 표면 연마가 이루어지는 것이다.
그러나, 상기와 같은 종래의 로울러 브러쉬에서는 다음과 같은 문제점이 발생하였다.
첫째 - 이송로울러에 코일형태로 감기는 과정에서, 직선형태의 고정체가 감기는 과정에서, 변형 즉, 뒤틀림현상이 발생하는 문제점.
둘째 - 코일형태로 감겨진 고정체의 선단과 끝단 일부분이 용접된 상태로서,초기 상태에서는 비교적 견고한 고정이 가능하지만, 장기간 사용시 고정체의 흔들림과 자리이동 즉, 코일형태로 감겨진 고정체의 간격이 초기상태에서는 균일한 간격을 이루고 있으나, 사용중에 밀림현상으로 인해 자리이동이 발생되어 편연마현상이 발생되므로 연마불량을 초래하게 되는 문제점.
셋째 - 고정체에 모사가 절곡된 상태로 삽입되어 와이어의 결속·고정됨에 있어, 사용과정에서, 고정체의 자리이동 등으로 인해 와이어의 결속력에 의한 모사의 조임이 느슨하게 되고, 이로 인해 모사가 탈리(탈모사 현상)되어 정상적인 표면 연마가 이루어지지 못하여 제조되는 반도체 제품의 품질이 떨어지게 되는 문제점.
넷째 - 로울러 본체 외주면에 밀착되는 고정체 사이에 발생되는 마이크로 셀 현상으로 인해 녹이 발생하는 문제점.
다섯째 - 마이크로 셀 현상으로 인해 발생된 녹에 의해 기판이 오염되어 불량처리되는 문제점.
여섯째 - 로울러 본체와 고정체 사이에 각종 이물질이나 오염물질이 유입·적층되는 경우 이를 제거하기 위한 세정작업이 어려운 문제점.
이상에서와 같이, 종래의 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬에서는 많은 문제점을 안고 있다.
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 그 목적은 반도체 부품을 제조함에 있어, 기판의 표면 연마처리를 위해 사용되는 로울러 브러쉬의 모사가 탈리(탈모사 현상)되는 것을 방지하고, 브러쉬부재가 코일형태로 감기는 과정에서, 별도의 고정체 없이도 모사를 로울러 본체에 형성된 삽입홈에 직접 삽입·부착시키므로서, 고정체를 사용에 따른 번거로움과 뒤틀림 현상을 완전 배제시킬 수 있으며, 모사가 로울러 본체에 형성된 삽입홈에 끼워져 밀착된 상태로 결합되고, 와이어에 의한 결속력과 접착제에 의해 견고하게 결합됨에 따라, 코일형태로 감겨진 브러쉬 부재의 흔들림과 자리이동에 따른 모사의 불균형 및 편마모 현상을 예방할 수 있도록 된 새로운 형태의 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬를 제공하고자 하는 것이다.
본 고안의 다른 목적은 로울러 본체에 브러쉬 부재가 코일형태로 감겨져 결합되는 과정에서, 모사 일부분이 삽입홈에 유입된 상태로 접착제에 의해 고정된 상태를 이루게 되므로서, 모사와 로울러 본체 사이에 갭 발생이 전혀 없으며, 상호간에 마이크로 셀 현상이 전혀 없어, 이로 인한 녹 발생과 녹으로 인한 제품 불량에 대한 우려를 해소하고자 하는 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 반도체 제조장치를 이용하여 반도체 부품을 생산하는 과정에서, 기판의 표면 연마를 위해 설치되되, 로울러 본체가 다수의 베어링에 의해 지지되고, 동력전달장치에 의해 회전되도록 설치된 로울러 브러쉬에 있어서, 상기 로울러 본체의 외주면에는 'U'자 모양의 단면을 갖는 삽입홈이 나선형태를 이루며 형성되고, 상기 삽입홈에는 다수의 모사가 와이어에 의해 절곡된 상태를 이루며 나선형으로 결합되되, 상기 모사는 삽입홈에 도포된 접착제에 의해 부착된 특징을 갖는다.
이와 같은 본 고안에서, 상기 삽입홈의 내측면 하부 양측면에는 지지편이 돌출되고, 상기 로울러 본체의 외주면에 나선형태로 형성되는 삽입홈이 원형의 단면을 갖도록 형성된 특징을 갖는다.
도 1은 종래의 로울러 브러쉬를 나타내는 정면개략도,
도 2는 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬를 나타내는 분해 사시도,
도 3은 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬를 나타내는 사시도,
도 4는 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 설치상태를 나타내는 정면 개략도,
도 5는 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 제 1실시예를 나타내는 종단면도,
도 6은 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 제 2실시예를 나타내는 종단면도,
도 7은 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 제 3실시예를 나타내는 종단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10:로울러 부러쉬 20:로울러 본체
22:삽입홈 23:지지편
24:모사 25:요홈부
26:와이어 28:접착제
이하, 본 고안을 첨부된 도면에 의해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 로울러 브러쉬(10)는 다수의 베어링(102)에 의해 지지되도록 설치되고, 일측단에는 동력전달장치(104)가 설치되어 회전되도록 설치된 로울러 본체(20)의 외주면에는 일정범위에 걸쳐 나선형태를 이루며 'U'자 모양의 단면을 갖는 삽입홈(22)이 형성되고, 상기 삽입홈(22)에는 모사(24)가 절곡되어 접혀진 상태를 이루며 결합되되, 와이어(26)에 의해 결속되고, 삽입홈(22)에 도포된 접착제(28)에 의해 부착된 것이다.
도 2는 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬를 나타내는 분해 사시도, 도 3은 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬를 나타내는 사시도로서, 외주면에 'U'자 모양의 단면을 갖는 삽입홈(22)이 나선형태를 이루며 형성된 로울러 본체(20)에 양쪽 단부가 일치되도록 절곡된 상태로 모사(24)가 삽입홈(22)을 따라 삽입되는 것을 나타내는 것이다.
또한, 상기 모사(24)는 절곡된 상태로 삽입홈(22)을 따라 결합됨에 있어, 와이어(26)에 의해 견고하게 결속된다.
이때, 상기 삽입홈(22)에 결합된 모사(24)에는 일정량의 접착제(28)가 도포되므로서, 와이어(26)에 의한 결속력과 접착제(28)에 의한 접착력에 의해 견고하게 결합되는 것이다.
도 4는 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 설치상태를 나타내는 정면도로서, 베어링(102)에 의해 지지되도록 횡설되고, 일측단에는 동력전달장치(104)가 설치되어 일정한 속도로 회전되면서, 반도체 부품 즉, 기판(P)을 이송·공급하도록 설치된 이송로울러(110)의 상방에 해당되는 위치에 로울러 부러쉬(10)가 설치된 것을 나타내는 것이다.
이때, 상기 로울러 브러쉬(10)는 이송로울러(110)와 마찬가지로 베어링(102)에 의해 지지되고, 동력전달장치(104)에 의해 회전되도록 설치되되, 이송로울러(110)와 반대방향으로 회전된다.
또한, 로울러 브러쉬(10)는 외주면에 나선형태로 결합된 모사(24)의 단부가 이송로울러(110)에 의해 이송·공급되는 기판(P)을 표면 연마처리 할 수 있도록 근접되게 설치되는 것이다.
도 5는 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 제 1실시예를 나타내는 종단면도로서, 로울러 본체(20)에 모사(24)를 결합하기 위한 나선형태의 삽입홈(22)을 형성하되, 삽입홈(22)의 양측면 하부에 서로 대향되도록 지지편(23)이 돌출된 것을 나타내는 것이다.
도 6은 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 제 2실시예를 나타내는 종단면도로서, 로울러 본체(20)에 나선형으로 삽입홈(22)이 형성되되, 양측면 하단부에는 외측방향으로 요홈부(25)가 형성된 것을 나타내는 것이다.
도 7은 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 제 3실시예를 나타내는 종단면도로서, 로울러 본체(20)에 나선형태로 형성되는 삽입홈(22)이 원형태의 단면을 갖도록이루어진 것을 나타내는 것이다.
이때, 상기 삽입홈(22)에 결합되는 모사(24)는 절곡되는 부위가 원형으로 절곡되어 밀착되고, 와이어(26)와 접착제(28)에 의해 결속·부착된다.
이와 같은 본 고안의 사용상태를 설명하면 다음과 같다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 반도체 제조장치에 의해 반도체 부품이 제조되는 과정에서, 우수한 품질의 부품을 제조하기 위해서는 표면 연마처리공정이 요구되는 바, 이러한, 기판(P)의 표면 연마처리는 첨부 도면 도 4에 도시된 바와 같이, 이송로울러(110)에 의해 기판(P)이 이송·공급되는 과정에서, 그 상방에 근접되게 설치된 로울러 브러쉬(10)에 의해 이루어지는 것이다.
따라서, 상기 이송로울러(110)에 의해 기판(P)이 얹혀진 상태로 이송되면서, 표면에 로울러 브러쉬(10)의 모사(24)에 의해 연마처리되는 것으로서, 상기 이송로울러(110)와 로울러부러쉬(10)는 동력전달장치(104)에 의해 서로 반대방향으로 회전된다.
이와 같이, 이송로울러(110)에 의해 기판(P)이 이송·공급되고, 로울러 부러쉬(10)에 의해 표면 연마처리가 이루어지는 과정에서, 상기 로울러 부러쉬(10)의 모사(24)가 견고하게 고정되지 못하고 느슨하게 결합된 경우에는 회전력에 의해 모사(24)가 탈리되어 전체적으로 균일한 연마가 이루어지지 못하게 되며, 또한, 기판(P)에 접촉되는 부위의 모사(24)가 단부가 균일하지 않고 어느 일부위가 과다하게 삐져 나오거나 들어가게 되면, 그 부위에 해당되는 표면 연마처리가 정상적으로 이루어지지 못하고 편연마 현상이 발생하게 되는 바, 본 고안에 따른 로울러 부러쉬(10)는 표면 연마처리를 위한 모사(24)의 결합이 와이어(26)에 의한 결속력과 접착제(28)에 의한 접착력에 의해 견고하고 안정되게 결합된 상태이므로, 기판(P)의 표면 연마처리과정에서, 로울러 부러쉬(10)의 회전력에 의해 모사(24)가 전혀 탈리되지 않는 것이다.
이때, 상기 모사(24)를 결속하는 와이어(26)는 선단와 끝단이 로울러 본체(20)에 용접 또는 본드에 의해 고정된다.
예컨데, 상기 로울러 브러쉬(10)는 로울러 본체(20)에 나선형태로 삽입홈(22)이 형성되고, 이에 모사(24)가 와이어(26)에 의해 절곡된 상태로 직접 결합된 것이므로, 상기 모사(24)를 결합시키는 과정에서, 뒤틀림과 같은 변형이 전혀 발생되지 않는다.
그리고, 상기 삽입홈(22)에 모사(24)가 결합됨에 있어, 상호간에 갭(유격)이 전혀 발생되지 않는 상태, 즉, 밀착된 상태로 결합되며, 그 결합부위에 별도의 접착제(28)가 도포되므로서, 삽입홈(22)에 모사(24)가 밀착된 상태로 결합되기는 하지만, 그 결합부위가 접착제(28)에 의해 감싸지게 되므로, 접촉에 따른 마이크로 셀 현상과 이로 인한 녹 발생 우려가 전혀 없는 것이다.
이때, 상기 접착제(28)는 로울러 본체(20)에 형성된 삽입홈(22)에 도포되고, 모사(24)가 권취되는 과정에서, 모사(24)의 절곡된 중앙부위에 도포되며, 상기 모사(24)는 패이즈 커팅(Phase Cutting) 및 회전날 커팅방법에 의해 절단되고, 로울러 부러쉬(10)는 약 400∼600RPM의 회전속도를 갖는다.
이와 같이하여, 이송로울러(110)에 의해 이송·공급되는 기판(P)이 로울러브러쉬(10)에 의해 표면 연마처리가 이루어지는 것이다.
한편, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 로울러 브러쉬의 다른 실시예에 따른 사용상태를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제 1실시예는 도 5에 도시된 바와 같이, 로울러 부러쉬(10)의 로울러 본체(20)에 형성되는 삽입홈(22)에 지지편(23)을 돌출시키게 되면, 모사(24)가 와이어(26)에 의해 결속된 상태로 결합된 후, 접착제(28)에 의해 부착되는 과정에서, 도포된 접착제(28)가 응고되는 과정에서, 지지편(23)을 감싼 상태로 응고되므로서, 상기 접착제(28)가 지지편(23)에 의해 거치·고정된 상태를 이루게 된다.
따라서, 상기 모사(24)를 접착하고 있는 접착제(28)가 삽입홈(22)으로부터 쉽게 떨어져 나가지 않게 되는 것이다.
그리고, 제 2실시예로는 첨부 도면 도 6에 도시된 바와 같이, 로울러 본체(20)에 나선형태의 삽입홈(22)을 형성하되, 양측면 하단부에는 외측방향으로 요홈부(25)를 형성하므로서, 위에서 언급한 제 1실시예에서와 마찬가지로, 삽입홈(22)에 모사(24)가 와이어(26)에 의해 결속된 후, 도포되는 접착제(28)에 의해 부착됨에 있어, 도포된 접착제(28)가 요홈부(25)로 유입되어 응고됨에 따라, 접착력이 저하되더라도 쉽게 떨어져 나가지 않게 되는 것이다.
이와 같이, 제 1, 2실시예에 따른 로울러 브러쉬(10)에서는 모사(24)의 결합력, 즉, 와이어(26)에 의한 결속력과 접착제(28)에 의해 접착력은 물론, 지지편(23) 또는 요홈부(25)에 의해 접착제(28)가 응고되면서 거치·고정되도록 하여, 보다 더 향상된 모사(24)의 견고한 고정을 이룰 수 있는 것이다.
또한, 본 고안에 따른 로울러 브러쉬는 첨부 도면 도 7에 도시된 바와 같이, 제 3실시예를 갖게 되는 것으로서, 모사(24)가 결합하기 위해 로울러 본체(20)에 삽입홈(22)을 나선형으로 형성시키되, 단면 형상을 원형을 갖도록 함에 따라, 이에 결합되는 모사(24)가 원형을 이루도록 자연스럽게 절곡되고, 밀착된 상태로 견고하게 결합되도록 한 것이다.
이와 같이, 본 고안에 따른 로울러 부러쉬(10)의 모사(24)는 첨부 도면 도 2에 도시된 바와 같이, 삽입홈(22)의 단면형태를 'U'자 모양을 갖도록 하거나 또는, 첨부 도면 도 7에 도시된 바와 같이, 삽입홈(22)의 단면을 원형을 갖도록 하면, 모사(24)의 밀도 및 균일성을 조절할 수 있는 것이다.
본 고안에 따른 로울러 브러쉬(10)는 위에서 언급한 바와 같이, 로울러 본체(20)에 'U'자 모양 또는 원형의 단면형태로 나선형으로 삽입홈(22)이 형성되고, 삽입홈(22)의 내측면 하부 또는 하단부에 지지편(23)이 돌출되거나 요홈부(25)가 형성되도록 이루어짐은 물론이며, 이에 국한되지 않고 다양한 단면형태를 가질 수 있으며, 지지편이나 요홈부 또한, 다양한 형태를 갖도록 할 수 있는 것이다.
그리고, 본 고안에 따른 로울러 부러쉬(10)는 반도체 제조장치에서 기판을 표면 연마처리하기 위한 수단으로 사용됨은 물론, 각종 고정밀도작업이 요구되는 C.M.P(Chemical Mechanical Planarization) , P.D.P(Plasma Display Panel), 유기EL(유기 전계발광소자), Cu chip 연마 처리를 위한 수단으로도 사용할 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 로울러 브러쉬를 이용함에 따라, 기판을 표면 연마처리함에 있어, 모사가 탈리(탈모사 현상)되는 것을 방지할 수 있고, 코일형태로 감기는 과정에서, 별도의 고정체 없이도 모사를 로울러 본체에 형성된 삽입홈에 직접 삽입·부착시키므로서, 고정체를 사용에 따른 번거로움과 뒤틀림 현상을 완전 배제시킬 수 있어, 로울러 부러쉬에 대한 작업성과 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 모사가 로울러 본체에 형성된 삽입홈에 끼워져 밀착된 상태로 결합되고, 와이어에 의한 결속력과 접착제에 의해 결합됨에 따라, 모사의 견고성과 내구성을 향상시킬 수 있어 전체적인 로울러 부러쉬의 사용수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.
뿐만 아니라, 코일형태로 감겨진 브러쉬 부재의 흔들림과 자리이동에 따른 모사의 불균형 및 편마모 현상을 예방할 수 있어, 우수한 품질의 기판 표면 연마처리 및 반도체 부품을 생산할 수 있으며, 로울러 본체에 브러쉬 부재가 코일형태로 감겨져 결합되는 과정에서, 모사 일부분이 삽입홈에 유입된 상태로 접착제에 의해 고정된 상태를 이루게 되므로서, 모사와 로울러 본체 사이에 갭 발생이 전혀 없으며, 상호간에 마이크로 셀 현상이 전혀 없으므로, 녹 발생으로 인한 제품 불량을 줄일 수 있어 경제적인 효과를 얻을 수 있는 것이다.

Claims (4)

  1. 반도체 제조장치를 이용하여 반도체 부품을 생산하는 과정에서, 기판의 표면 연마를 위해 설치되되, 로울러 본체(20)가 다수의 베어링(102)에 의해 지지되고, 동력전달장치(104)에 의해 회전되도록 설치된 로울러 브러쉬에 있어서,
    상기 로울러 본체(20)의 외주면에는 'U'자 모양의 단면을 갖는 삽입홈(22)이 나선형태를 이루며 형성되고,
    상기 삽입홈(22)에는 다수의 모사(24)가 와이어(26)에 의해 절곡된 상태를 이루며 나선형으로 결합되며,
    상기 모사(24)가 결합되는 삽입홈(22)에는 접착제(28)가 도포되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 로울러 부러쉬.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 삽입홈(22)의 내측면 하부 양측면에는 지지편(23)이 돌출된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 로울러 부러쉬.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 삽입홈(22)의 양측면 하단부에는 요홈부(25)가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 로울러 부러쉬.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 로울러 본체(20)의 외주면에 나선형태로 형성되는 삽입홈(22)이 원형의 단면을 갖도록 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 로울러 부러쉬.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101856871B1 (ko) 2016-11-16 2018-05-10 송호진 브러쉬모 설치구조체의 제작방법
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