KR100879758B1 - 웨이퍼 캐리어의 제조방법 - Google Patents
웨이퍼 캐리어의 제조방법Info
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- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
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Abstract
Description
Claims (3)
- 웨이퍼의 양면을 연마하기 위한 웨이퍼의 양면 연마장치에 구비되는 웨이퍼 캐리어의 제조방법에 있어서,상기 웨이퍼 캐리어를 구성하는 본체를 미리 설정된 형상으로 가공하는 가공단계;웨이퍼를 삽입하기 위한 웨이퍼 유지공 및 슬러리를 유입하기 위한 슬러리 유입공을 상기 본체에 관통 형성하는 형성단계;상기 웨이퍼 유지공의 내측면에 탈부착 가능한 마스킹부재를 부착하는 마스킹단계;상기 마스킹부재가 부착된 본체에 디엘씨를 코팅하는 코팅단계; 및상기 디엘씨 코팅후에 상기 마스킹부재를 제거하는 제거단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어의 제조방법.
- 제 1항에 있어서,상기 마스킹단계에서, 상기 마스킹부재를 상기 본체의 전면 및 배면 중 적어도 하나의 면에 상기 웨이퍼 유지공의 가장자리로부터 0.1mm 내지 10mm 폭으로 더 부착하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어의 제조방법.
- 웨이퍼의 양면을 연마하기 위한 웨이퍼의 양면 연마장치에 구비되는 웨이퍼 캐리어의 제조방법에 있어서,상기 웨이퍼 캐리어를 구성하는 본체를 미리 설정된 형상으로 가공하는 가공단계;웨이퍼를 삽입하기 위한 웨이퍼 유지공 및 슬러리를 유입하기 위한 슬러리 유입공을 상기 본체에 관통 형성하는 형성단계;상기 웨이퍼 유지공의 내측면과 밀착되도록 상기 웨이퍼 유지공에 삽입부재를 삽입하는 삽입단계;상기 마스킹부재가 부착된 본체에 디엘씨를 코팅하는 코팅단계; 및상기 디엘씨 코팅후에 상기 삽입부재를 분리하는 분리단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어의 제조방법.
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KR1020070122569A KR100879758B1 (ko) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | 웨이퍼 캐리어의 제조방법 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020070122569A KR100879758B1 (ko) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | 웨이퍼 캐리어의 제조방법 |
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KR100879758B1 true KR100879758B1 (ko) | 2009-01-21 |
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KR1020070122569A KR100879758B1 (ko) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | 웨이퍼 캐리어의 제조방법 |
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KR (1) | KR100879758B1 (ko) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006303136A (ja) | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 両面研磨装置用キャリア及びこれを用いた両面研磨装置並びに両面研磨方法 |
JP2007276041A (ja) | 2006-04-05 | 2007-10-25 | Shirasaki Seisakusho:Kk | Dlcコーティングウエハホルダ、およびdlcコーティングウエハホルダの製造方法。 |
KR20070110033A (ko) * | 2005-02-25 | 2007-11-15 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 양면 연마 장치용 캐리어 및 이를 이용한 양면 연마 장치,양면 연마 방법 |
-
2007
- 2007-11-29 KR KR1020070122569A patent/KR100879758B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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