KR20030090210A - 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 절연 기판 위에 게이트선, 게이트 전극, 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계;상기 게이트 배선 위에 게이트 절연층, 불순물이 도핑되지 않은 반도체층, 불순물이 도핑된 반도체층을 순차적으로 적층하는 단계;상기 반도체층을 사진 식각 공정으로 패터닝하여 상기 게이트 전극과 대응되는 상기 게이트 절연층 위에 반도체층 및 저항성 접촉층을 형성하는 단계;상기 저항성 접촉층 위에 형성한 소스 전극 및 드레인 전극, 상기 게이트 절연층 위에 형성한 데이터 선, 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계;상기 데이터 배선 위에 보호층을 형성하는 단계;상기 보호층에 드레인 전극을 노출하는 제1 접촉구, 게이트 패드를 노출하는 제2 접촉구, 데이터 패드를 노출하는 제3 접촉구를 형성하는 단계;상기 보호층 상에 상기 제1 접촉구를 통해 상기 드레인 영역과 연결되는 화소 전극, 상기 제2 접촉구를 통해 상기 게이트 패드와 연결되는 보조 게이트 패드, 상기 제3 접촉구를 통해 상기 데이터 패드와 연결되는 보조 데이터 패드를 형성하는 단계를 포함하고,상기 게이트 배선 또는 상기 데이터 배선 중 적어도 하나의 배선은 도금법으로 형성하는 단계인 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항에서, 상기 도금법은 금속층을 형성한 후 패터닝하여 씨드층을 형성하고, 상기 씨드층을 전극으로 사용하여 상기 씨드층 위에 도금층을 전해 도금법으로 형성하는 단계인 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제2항에서, 상기 도금층은 구리, 은, 금, 알루미늄, 크롬, 니켈, 백금 중 선택된 하나의 금속으로 형성하는 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제2항에서, 상기 금속층은 몰리브덴, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 중 선택된 하나의 금속으로 형성하는 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제2항에서, 상기 금속층은 무전해 도금법 또는 스퍼터링 방법으로 형성하는 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 절연 기판 위에 게이트선, 게이트 전극, 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계;상기 게이트 배선 위에 게이트 절연층, 불순물이 도핑되지 않은 반도체층, 불순물이 도핑된 반도체층, 금속층을 순차적으로 적층하는 단계;상기 금속층, 불순물이 도핑된 반도체층, 불순물이 도핑되지 않은 반도체층을 식각하여 데이터 배선용 씨드층, 상기 씨드층과 동일한 패턴의 저항성 접촉층, 상기 소스 및 드레인 전극과 대응되는 소정 영역을 제외하고 상기 저항성 접촉층과동일한 패턴의 반도체층을 형성하는 단계;상기 데이터 배선용 씨드층을 전극으로 사용하여 상기 데이터 배선용 씨드층 위에 전해 도금으로 도금층을 형성하여 상기 씨드층과 상기 도금층의 이중층인 소스 및 드레인 전극, 데이터선, 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계;상기 데이터 배선 위에 보호층을 형성하는 단계;상기 데이터 배선 위에 상기 드레인 전극을 노출하는 제1 접촉구, 상기 게이트 패드를 노출하는 제2 접촉구 및 상기 데이터 패드를 노출하는 제3 접촉구를 가지는 보호층을 형성하는 단계;상기 보호층 위에 상기 제1 접촉구를 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극, 상기 제2 접촉구를 통해 상기 게이트 패드와 연결되는 보조 게이트 패드 및 상기 제3 접촉구를 통해 상기 데이터 패드와 연결되는 보조 데이터 패드를 형성하는 단계를 포함하는 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제6항에서, 상기 게이터 배선을 형성하는 단계는 금속층을 형성한 후 패터닝하여 씨드층을 형성하고, 상기 씨드층을 전극으로 사용하여 상기 씨드층 위에 전해도금으로 도금층을 형성하는 단계인 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제6 또는 제7항에서, 상기 금속층은 무전해 도금법 또는 스퍼터링 방법으로 형성하는 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제6항 또는 제7항에서, 상기 금속층은 몰리브덴, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 중 선택된 하나의 금속으로 형성하는 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 도금층은 구리, 은, 금, 알루미늄, 크롬, 니켈, 백금 중 선택된 하나의 금속으로 형성하는 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 절연 기판;상기 절연 기판 위에 게이트선, 상기 게이트선의 일부인 게이트 전극, 상기 게이트선의 일단에 연결되어 있는 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선;상기 기판 위에 형성되어 있는 게이트 절연층;상기 게이트 전극과 대응되는 상기 게이트 절연층 위에 형성되어 있는 반도체층;상기 반도체층 위에 일정거리 이격되어 대향되도록 형성되어 있는 저항성 접촉층;상기 게이트 절연층 위에 상기 게이트선과 수직하게 교차하도록 형성되어 있는 데이터선, 상기 데이터선의 분지이며 상기 저항성 접촉층의 일측과 연결되도록 형성되어 있는 소스 전극, 상기 소스 전극과 대향되며 상기 저항성 접촉층의 타측에 형성되어 있는 드레인 전극, 상기 데이터선의 일단에 연결되어 있는 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선;상기 데이터 배선 위에 형성되어 있으며 제1 내지 제3 접촉구를 포함하는 보호층;상기 보호층 위에 형성되어 있으며, 상기 제1 접촉구를 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극, 상기 제2 접촉구를 통해 상기 게이트 패드와 연결되는 보조 게이트 패드, 상기 제3 접촉구를 통해 상기 데이터 패드와 연결되는 보조 데이터 패드를 포함하고, 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선 중의 적어도 일부는 씨드층 및 도금층의 이중층으로 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판.
- 절연 기판;상기 절연 기판 위에 게이트선, 상기 게이트선의 일부인 게이트 전극, 상기 게이트선의 일단에 연결되어 있는 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선;상기 게이트 배선 위에 형성되어 있는 게이트 절연층;상기 게이트 절연층 위의 소정 영역에 형성되어 있는 반도체층;상기 반도체층 위의 소정 영역을 제외하고 상기 반도체층과 동일한 패턴으로 형성되어 있는 저항성 접촉층;상기 저항성 접촉층 위에 상기 저항성 접촉층과 동일한 패턴으로 형성되어 있는 소스 전극, 드레인 전극, 데이터선, 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선;상기 데이터 배선 위에 형성되어 있으며 제1 내지 제3 접촉구를 포함하는 보호층;상기 보호층 위에 형성되어 있으며, 상기 제1 접촉구를 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 화소전극, 상기 제2 접촉구를 통해 상기 게이트 패드와 연결되는 보조 게이트 패드, 상기 제3 접촉구를 통해 상기 데이터 패드와 연결되는 보조 데이터 패드를 포함하고,상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선 중의 적어도 일부는 씨드층 및 도금층의 이중층으로 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판.
- 제12항 또는 제13항에서, 상기 데이터 배선 중 드레인 전극은 씨드층으로 이루어지고, 상기 드레인 전극을 제외한 상기 데이터 배선은 상기 씨드층 및 도금층의 이중층으로 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 도금층은 구리, 은, 금, 알루미늄, 크롬, 니켈, 백금 중 선택된 하나의 금속으로 형성한 박막 트랜지스터 기판.
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