KR20030076602A - 기판 결합 방법 및 장치 - Google Patents

기판 결합 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20030076602A
KR20030076602A KR10-2003-7009084A KR20037009084A KR20030076602A KR 20030076602 A KR20030076602 A KR 20030076602A KR 20037009084 A KR20037009084 A KR 20037009084A KR 20030076602 A KR20030076602 A KR 20030076602A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrates
chamber
plates
pressure
film
Prior art date
Application number
KR10-2003-7009084A
Other languages
English (en)
Inventor
울리히 슈피어
슈테판 레온하르드트
Original Assignee
스티그 하마테크 악티엔게젤샤프트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스티그 하마테크 악티엔게젤샤프트 filed Critical 스티그 하마테크 악티엔게젤샤프트
Publication of KR20030076602A publication Critical patent/KR20030076602A/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/20—Making multilayered or multicoloured articles
    • B29C43/203—Making multilayered articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/16—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
    • B32B37/22—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of both discrete and continuous layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/3642—Bags, bleeder sheets or cauls for isostatic pressing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • B29C65/4805—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the type of adhesives
    • B29C65/483—Reactive adhesives, e.g. chemically curing adhesives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/78—Means for handling the parts to be joined, e.g. for making containers or hollow articles, e.g. means for handling sheets, plates, web-like materials, tubular articles, hollow articles or elements to be joined therewith; Means for discharging the joined articles from the joining apparatus
    • B29C65/7802—Positioning the parts to be joined, e.g. aligning, indexing or centring
    • B29C65/7805—Positioning the parts to be joined, e.g. aligning, indexing or centring the parts to be joined comprising positioning features
    • B29C65/7808—Positioning the parts to be joined, e.g. aligning, indexing or centring the parts to be joined comprising positioning features in the form of holes or slots
    • B29C65/7811—Positioning the parts to be joined, e.g. aligning, indexing or centring the parts to be joined comprising positioning features in the form of holes or slots for centring purposes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/001—Joining in special atmospheres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/40—General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
    • B29C66/41—Joining substantially flat articles ; Making flat seams in tubular or hollow articles
    • B29C66/45—Joining of substantially the whole surface of the articles
    • B29C66/452—Joining of substantially the whole surface of the articles the article having a disc form, e.g. making CDs or DVDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/81—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps
    • B29C66/816—General aspects of the pressing elements, i.e. the elements applying pressure on the parts to be joined in the area to be joined, e.g. the welding jaws or clamps characterised by the mounting of the pressing elements, e.g. of the welding jaws or clamps
    • B29C66/8163—Self-aligning to the joining plane, e.g. mounted on a ball and socket
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/82—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps
    • B29C66/824—Actuating mechanisms
    • B29C66/8242—Pneumatic or hydraulic drives
    • B29C66/82421—Pneumatic or hydraulic drives using an inflatable element positioned between the joining tool and a backing-up part
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/82—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps
    • B29C66/826—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps without using a separate pressure application tool, e.g. the own weight of the parts to be joined
    • B29C66/8266—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps without using a separate pressure application tool, e.g. the own weight of the parts to be joined using fluid pressure directly acting on the parts to be joined
    • B29C66/82661—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps without using a separate pressure application tool, e.g. the own weight of the parts to be joined using fluid pressure directly acting on the parts to be joined by means of vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/83—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof characterised by the movement of the joining or pressing tools
    • B29C66/832—Reciprocating joining or pressing tools
    • B29C66/8322—Joining or pressing tools reciprocating along one axis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B30—PRESSES
    • B30B—PRESSES IN GENERAL
    • B30B1/00—Presses, using a press ram, characterised by the features of the drive therefor, pressure being transmitted directly, or through simple thrust or tension members only, to the press ram or platen
    • B30B1/003—Presses, using a press ram, characterised by the features of the drive therefor, pressure being transmitted directly, or through simple thrust or tension members only, to the press ram or platen by an elastic bag or diaphragm expanded by fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B30—PRESSES
    • B30B—PRESSES IN GENERAL
    • B30B5/00—Presses characterised by the use of pressing means other than those mentioned in the preceding groups
    • B30B5/02—Presses characterised by the use of pressing means other than those mentioned in the preceding groups wherein the pressing means is in the form of a flexible element, e.g. diaphragm, urged by fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • B32B37/1009—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure using vacuum and fluid pressure
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C2043/3205—Particular pressure exerting means for making definite articles
    • B29C2043/3222—Particular pressure exerting means for making definite articles pressurized gas, e.g. air
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/3642—Bags, bleeder sheets or cauls for isostatic pressing
    • B29C2043/3644—Vacuum bags; Details thereof, e.g. fixing or clamping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/3642—Bags, bleeder sheets or cauls for isostatic pressing
    • B29C2043/3647—Membranes, diaphragms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/20—Making multilayered or multicoloured articles
    • B29C43/203—Making multilayered articles
    • B29C43/206—Making multilayered articles by pressing the material between two preformed layers, e.g. deformable layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • B29C65/4805—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the type of adhesives
    • B29C65/483—Reactive adhesives, e.g. chemically curing adhesives
    • B29C65/4845—Radiation curing adhesives, e.g. UV light curing adhesives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
    • B29C66/05—Particular design of joint configurations
    • B29C66/10—Particular design of joint configurations particular design of the joint cross-sections
    • B29C66/11—Joint cross-sections comprising a single joint-segment, i.e. one of the parts to be joined comprising a single joint-segment in the joint cross-section
    • B29C66/112—Single lapped joints
    • B29C66/1122—Single lap to lap joints, i.e. overlap joints
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
    • B29C66/342—Preventing air-inclusions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2017/00—Carriers for sound or information
    • B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
    • B29L2017/003—Records or discs
    • B29L2017/005—CD''s, DVD''s
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2429/00—Carriers for sound or information
    • B32B2429/02—Records or discs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Combined Devices Of Dampers And Springs (AREA)
  • Press Drives And Press Lines (AREA)

Abstract

본 발명은 특히 광데이타 캐리어를 형성하기 위해 둘 이상의 기판(3, 4)의 단순, 저가의 균일 조립체를 형성하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따라, 기판은 서로에 대해서 이동 가능한 두 개의 대향 플레이트(34, 38) 사이에서 서로 소정의 거리에 배치되고 상기 플레이트들 중 하나에 연결된 하나 이상의 가요성 막(16)은 막(16)의 대향 측면에 차압을 형성시킴으로써 이동된다.

Description

기판 결합 방법 및 장치 {METHOD AND DEVICE FOR ASSEMBLING SUBSTRATES}
이러한 형태의 장치는 예를 들어 동일 출원인에 의해 출원되고 아직 미공개된 DE 199 27 516.5호로부터 공지되어 있다. 상기 공지된 장치에 있어서, 양면 접착 필름(double-sided adhesive film)이 우선 제 1 기판에 도포된다. 그 후, 접착 필름이 위를 향한 상태에서 기판은 제 1 플레이트 상에 놓인다. 제 1 플레이트 상에는 기판의 내부 홀 내로 유입되어 기판을 중심 위치시키는 중심 핀이 제공된다. 그 후, 제 2 기판이 제 1 기판 상에 위치되고, 중심 핀의 적절한 노즈에 의해 제 1 기판과 평행하고 이격된 상태로 유지된다. 그 후, 밀폐 챔버가 기판 주위에 형성되고 저압으로 된다. 소정의 압력이 달성될 때, 챔버 내에 위치된 압력 램은 두 기판을 가압하여 서로 아교접착시키기 위해 아래로 이동된다. 가압 후에, 기판 사이에 배치된 접착 필름은 적절한 방식으로 경화된다.
이러한 장치에 있어서, 지지 플레이트와 압력 램은 두 기판을 균일하게 결합시키기 위해 서로 평행하게 되어야 하는 문제점이 발생하는데, 이는 장치의 복잡성및 비용을 상당히 증가시킨다.
본 발명은 특히 광데이타 캐리어를 형성하기 위해 둘 이상의 기판을 서로 결합시키는 방법 및 장치에 관한 것이며, 상기 방법 및 장치에 따라 기판들은 서로에 대해 이동 가능하고 대향 배치된 두 플레이트 사이에서 이격된 상태로 배치된다.
도 1은 기판을 결합시키기 전의 제 1 위치에 있는 기판 결합용 장치의 개략적인 횡단면도이며,
도 2는 기판을 결합시키는 중의 제 2 위치에 있는 도 1의 장치의 개략적인 횡단면도이며,
도 3은 도 1의 장치에 이용되는 중심 핀의 개략도이며,
도 4는 기판 결합용 장치의 선택적인 실시예의 개략도이다.
전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판의 균일한 결합이 간단하고 경제적인 방식으로 가능한 기판 결합용 방법 및 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명에 따라, 상기 본 발명의 목적은 특히 광데이타 캐리어를 형성하기 위해 둘 이상의 기판을 결합시키는 방법에 의해 실현되고, 상기 방법에 따라 기판은, 가요성 막과 연결된 플레이트 중 적어도 하나가 막의 대향 측면에 차압이 형성되는 방식으로 이동된다는 점에서, 서로에 대해 이동 가능하게 대향 배치된 플레이트 사이에서 이격된 상태로 배치된다. 플레이트 중 하나를 가요성 막에 장착시킴으로써, 플레이트의 부유 장착을 야기하여, 기판의 결합 중에 두 플레이트 서로에 대해 양호하고 균일한 구성을 가능하게 한다. 이는 기판의 균일한 가압을 가능하게 한다. 또한, 막의 대향 측면에 상대적으로 작은 차압을 발생시킴으로써, 높은 압력이 달성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따라, 차압은 플레이트를 둘러싸는 제 1 챔버 내에 저압을 가함으로써 달성되고, 이에 의해 챔버의 일 벽이 적어도 부분적으로 막에 의해 형성된다. 플레이트를 둘러싸는 제 1 챔버 내에 저압을 형성함으로써, 한편으론 요구된 차압이 형성되고, 다른 한편으론 기판의 결합이 기판 사이의 공기 버블의 위험을 상당히 감소시키는 저압 조건 하에서 수행된다.
저압은 바람직하게 막과 그에 장착되고 다른 플레이트로부터 이격된 플레이트를 초기에 유지시키기 위해, 플레이트 반대쪽의 막의 측면에 배치된 제 2 챔버 내에 형성된다. 이와 관련하여, 기판의 결합 전에 제 2 챔버 내의 압력은 바람직하게 플레이트가 제어되지 않은 방식으로 서로를 향해 조기에 이동하는 것을 방지하기 위해 제 1 챔버 내의 압력 보다 낮게 유지된다. 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따라, 제 2 챔버 내의 압력은 기판을 결합시키기 위해 주변압으로 유지되고, 제 1 챔버 내의 압력은 저압으로 유지된다. 제 2 챔버 내의 압력은 제어된 방식으로 주변압으로 유지될 수 있어서, 그 결과 서로를 향한 두 플레이트의 이동이 제어된다. 이는 기판의 균일한 결합을 보장한다.
기판의 결합 후에, 제 1 챔버에는 바람직하게 플레이트를 서로 분리시키기 위한 압력이 공급된다. 또한 제 1 챔버 내의 압력으로 인해 기판 사이에 배치된 접착제를 경화(curing or hardening)시킬 수 있다.
본 발명의 특히 바람직한 실시예에 따라, 기판은 결합되기 전에 기판의 내측 홀에서 결합하는 중심 핀에 의해 서로로부터 이격되게 유지되며, 그 결과 한편으론 기판의 중심이 서로에 대해 제공되고, 또한 바람직하지 않고 제어되지 않은 기판 결합이 방지된다.
또한 본 발명의 목적은 특히 광데이타 캐리어를 형성하기 위해 둘 이상의 기판을 서로 결합시키는 장치에 의해 실현되고, 상기 장치는 기판을 가압하기 위해 서로에 대해 이동 가능하게 대향 배치된 두 개의 플레이트를 포함하고, 상기 플레이트 중 적어도 하나는 가요성 막과 연결되며, 막의 대향 측면에 차압을 발생시키는 장치가 제공된다. 플레이트 중 하나와 가요성 막을 연결시킴으로써, 플레이트가 부유식으로 장착되고 양호한 구성이 다른 플레이트에 대해 가능한 이미 전술된 장점을 야기한다. 또한, 막의 대향 측면에 작은 차압을 발생시킴으로써, 차압이 플레이트와 막으로 구성된 상대적으로 큰 표면 상에 작용하기 때문에, 양호한 압력이 달성될 수 있다.
제 1의 본질적으로 밀폐된 챔버는 막의 대향 측면에 차압을 형성할 수 있게 하기 위해 막의 제 1 측면에 바람직하게 형성된다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따라, 제 2의 본질적으로 밀폐된 챔버는 차압의 양호한 제어 가능성을 보장하기 위해 막의 제 2 측면에 바람직하게 제공된다.
제 1 및/또는 제 2 챔버에 연결될 수 있는 적어도 하나의 진공 소오스가 바람직하게 제공된다. 진공 소오스는 소정의 차압을 발생시키고, 뿐만 아니라 저압 분위기에서 기판을 결합시킬 수 있는 위치에 있고, 그 결과 기판 사이의 공기 버블이 방지된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라, 소정의 차압을 형성하고, 또는 결합 후에 기판을 압력 분위기 내에 유지시키고 기판 사이에 배치된 접착제를 경화시키기 위해 제 1 및/또는 제 2 챔버와 연결될 수 있는 적어도 하나의 압력 소오스가 제공된다.
플레이트는 바람직하게 챔버들 중 하나의 챔버 내에 배치된다. 막과 플레이트가 다른 플레이트로부터 떨어지는 방향으로 이동하는 것을 제한하기 위해, 플레이트 반대쪽의 막의 측면에 지지 수단이 바람직하게 제공된다. 이동 제한의 결과, 편향이 본질적으로 단일 방향으로만 수행되기 때문에, 막의 수명이 연장될 수 있다.
막의 양호하고 균일한 장착, 및 플레이트 서로에 대한 양호한 구성을 위해, 이들은 바람직하게 본질적으로 수평하게 배치된다. 이와 관련하여, 막에 장착된 플레이트는 유리하게 다른 플레이트 상에 배치된다. 이러한 배열로 인해 막에 장착된 단일 플레이트가 예를 들어 회전 스위칭(rotary switching) 또는 인덱싱 테이블(indexing table)에 제공되는 복수의 플레이트와 협조할 수 있다. 이러한 방식에서, 장치의 작업 처리량은 증가하는 동시에 비용을 감소시킨다. 동일 막을 사용함으로써, 연속적이고, 균일한 처리 공정 결과가 야기될 수 있다. 이와 관련하여, 막은 탄소 부재, 특히 스프링에 의해 지지 수단에 대해 위로 예압된다.
플레이트들 중 하나의 플레이트에는 바람직하게 기판의 결합 중에 서로에 대해 기판을 중심 위치시키기 위해 기판의 내측 홀 내에 유입될 수 있는 중심 핀이 제공된다. 제어된 기판의 결합을 보장하기 위해, 중심 핀은 바람직하게 기판을 이격된 상태로 그리고 본질적으로 기판이 결합되기 전에 서로에 대해 평행하게 유지시킨다.
본 발명의 방법 및 장치는 CD, DVD 등과 같은 광기록 매체용으로 특히 적절하며, 여기서 두 기판은 데이타 캐리어를 형성하기 위해 서로 아교접착된다. 물론, 전술한 방식으로 복수의 기판을 결합시킬 수 있다. 본 발명의 방법 및 장치는 예를 들어 동일 출원인에 의해 출원되고 반복을 피하기 위한 범위에서 본 발명의 요지에 작성되는 미공개 DE 199 27 515.5호로부터 공지된 것처럼, 기판이 결합되기 전에 양면 접착 필름이 기판들 중 하나에 도포되는 장치와 함께 바람직하게 이용될수 있다.
본 발명은 도면 및 바람직한 실시예를 참조하여 보다 자세히 설명될 것이다.
도 1은 내부 홀을 갖고 예를 들어 CD 또는 DVD 또는 소정의 다른 데이타 캐리어를 형성하는 두 기판(3, 4)을 서로 결합시키는 장치(1)를 도시한다. 도 1은 기판(3, 4)이 서로 결합하기 전 위치의 장치를 도시한다. 기판(3, 4)의 결합 중에, 그들의 아교접착을 보장하기 위해, 도 1에서 알 수 있는 것처럼, 양면 접착 필름 형태의 접착제(5)가 기판(4)에 도포된다. 양면 접착 필름 뿐만 아니라 접착 필름을 도포하는 적절한 장치는 예를 들어 본 출원인에 의해 출원되고 반복을 피하기 위한 범위에서 본 발명의 요지에 작성되는 미공개 DE 199 27 516.5호로부터 공지되어 있다.
장치(1)는 서로에 대해 이동 가능하고 각각 본질적으로 U형상의 횡단면을 갖는 두 개의 하우징부(9, 10)로부터 형성된다. 상호 작용 상태에서, 두하우징부(9, 10)는 그들 사이에 챔버(12)를 형성한다. 챔버(12)는 두 하우징부(9, 10) 사이의 경계면(14)에서 주변에 대해 밀봉된다.
도 1에 따라 하부 하우징부를 나타내는 하우징부(10)에는 중합체 재료의 가요성 막(16)이 제공되는데, 상기 가요성 막은 하우징부(10)의 내부영역의 끝을 완전히 연결시키고 결과적으로 하우징부(9, 10) 사이에 형성된 챔버(12)를 상부 챔버부(18)와 하부 챔버부(19)로 분리시킨다. 물론, 상기 막(16)은 또한 예를 들어 금속과 같은 소정의 다른 적절한 재료로 제조될 수 있다. 하부 챔버부(19)는 진공 펌프와 같은 진공 소오스(22), 및 하우징부(10) 내의 적절한 도관(23)을 통해 저압으로 될 수 있으며, 이는 보다 자세히 후술된다. 동일한 방식으로, 상부 챔버부(18)는 진공 소오스(26)와 상부 하우징부(9) 내의 적절한 도관(27)을 통해 저압으로 될 수 있다. 상부 챔버부(18)는 또한 펌프와 같은 압력 소오스(30)와 상부 하우징부(9) 내의 적절한 도관(31)을 통해 가압될 수 있다. 진공 소오스 뿐만 아니라 압력 소오스의 기능은 보다 자세히 후술된다.
상부 챔버부(18)과 직면하는 플레이트(34)가 막(16)에 적절한 방식으로 장착되어, 플레이트(34)는 가요성 막(16)에 의해 이동 가능하다. 플레이트(34)는 예를 들어 막(16)에 접착될 수 있고, 또는 플레이트(34), 및 도시되지 않은 클램프 링 또는 유지 링이 막(16)을 그들 사이에 고정시킬 수 있다. 도 3에서 보다 자세히 후술되는 중심 핀(36)이 플레이트(34) 상에 제공된다.
플레이트(34)에 대향해 배치된 플레이트(38)가 상부 하우징부(9)에 제공된다. 플레이트(38)는 중심 핀(36)이 도 2에 도시된 것처럼 상부 플레이트(38)를 향한 하부 플레이트(34)의 이동 중에 이동할 수 있는 중심 개구(40)를 갖는다.
플레이트(34, 38)는 기판에 적절한 구조를 갖는다. 도 1에서, 플레이트(38)는 하우징부(9)에 장착된 별도 부품으로 도시된다. 물론, 플레이트는 또한 하우징부(9)와 일체로 형성될 수 있거나, 내부 하우징의 내측벽이 하부 플레이트(34)에 대한 플레이트 또는 협동 표면으로 작용할 수 있어서, 플레이트(38)와 같은 추가 플레이트가 제거된다.
하부 챔버부(18)에는 본질적으로 플레이트(34) 아래에 배치된 두 개의 지지 수단(42)이 제공된다. 지지 수단은 막(16)과 상부 플레이트(34)의 하향 방향으로의 이동을 제한하는데, 그 결과 막(16)은 단지 상방향으로만 편향되어, 그 작업 수명을 연장시킨다. 물론, 두 개의 지지 수단 대신에, 바람직하게 중앙에 배열된 단일 지지 수단(42)을 제공할 수 있다. 지지 수단은 또한 플레이트(34)에 의해 덮히는 막(16) 영역과 겹치지 않는 방식으로 배열될 수 있는데, 이는 상기 영역에서 막(16)에 작용하는 힘을 흡수하기 위함이다.
중심 핀(36)의 구성은 도 3을 참조하여 보다 자세히 설명된다. 중심 핀의 구성은 본 출원인에 의해 출원되고 반복을 피하기 위한 정도로 본 발명의 요지에 기록된 미공개 DE 199 27 514.9호에 보다 자세히 설명되어 있다. 중심 핀(36)은 주변 측벽(47)에 의해 측면이 제한되고 핀(36)의 베이스(48)에 의해 바닥이 제한된 상부 개방 중공형 공간(45)을 갖는다. 벽(47)의 외측 주변부는 기판(3, 4)의 내측 홀 형태로 구성되고, 특히 하부 영역에서 핀은 두 기판(3, 4)의 양호한 중앙 위치 및 안내를 보장하기 위해 정확하게 형성된 외측 주변부를 갖는다. 벽(47)의 상단부는 모서리가 깍여 있어서, 상방향으로 테이퍼진 베벨(49)을 형성한다. 베벨(49)은 기판이 핀(36) 상에 수용될 때 기판의 중심 위치 및 안내를 가능하게 한다.
핀(36)의 측벽(47) 상에는 복수의 이동 가능한 노즈(50)가 장착되는데, 도 3에는 두 개가 도시되어 있다. 바람직한 실시예에서는 네 개의 노즈(50)가 제공된다. 노즈(50)는 도 1 및 도 2에 도시된 위치 사이로 노즈의 이동을 가능하게 하기 위해 핀(36)의 벽(47) 상에 적절한 방식으로 피봇 가능하게 장착된다.
노즈(50)는 압축 스프링(52)에 의해 도 3에 도시된 위치로 핀(36)으로부터 방사상 외측으로 예압(preload)되고, 도 2에 도시된 위치로 스프링 예압에 대해 피봇 가능하다. 핀(36)의 중공형 공간(45)에는 상방향으로 테이퍼지고 중공형 공간(45) 내에서 이동 가능한 콘(53)이 제공된다. 콘(45)은 스프링(55)에 의해 도 3에 도시된 위치로 상방향으로 예압된다.
노즈(50)를 외측으로 가압하기 위해 압축 스프링(52)의 일단부는 콘(53)에 대해 지지되고 타단부는 노즈(50)에 대해 지지된다. 콘(53)이 스프링(55)의 예압에 대해 아래로 가압될 때 스프링(52)은 콘(53)의 원뿔형 표면을 따라 이동할 수 있어서, 그 결과 외측으로 향한 예압 힘이 변한다.
노즈(50)는 기판을 아래로 미끄러지게 할 수 있고, 기판의 정확한 안내를 가능하게 하는 선형 외측 표면을 갖는다. 기판(4) 상에 배치된 접착층(5)을 갖는 제 1 기판(4)이 도 3에 도시된 위치로 이동되면, 제 2 기판(3)은 노즈(50) 상에 위치될 수 있다. 노즈(50)가 방사상 외측으로 예압된다는 사실로 인해, 노즈가 기판(3)을 도시된 위치로 유지시켜, 제 1 기판(4)에 대해 이격된다. 노즈(50)의선형 외측 표면으로 인해, 기판(3)은 기판(4)과 평행하게 유지된다. 기판(3)이 기판(4)의 방향으로 가압되거나, 기판(4)이 기판(3)으로 가압되면, 노즈(50)는 압축 스프링(52, spring reload)에 대해 내측으로 가압되어, 그 결과 기판(3)이 기판(4) 쪽으로 이동할 수 있다. 이러한 이동 중에, 기판(3)은 기판(4)을 향해 정확하게 중심 위치된 방식으로 안내되고 기판(4)에 평행하게 유지된다.
도시된 중심 핀에 의해, 기판은 서로 결합되기 전에 노즈에 의해 이격된 채로 유지된다. 이러한 이격 유지 또는 지지 상태는 또한 선택적으로 기판의 결합 전에 기판을 이격된 상태로 유지하고, 서로 본질적으로 평행하게 유지시키는 위치에 있는 방사상 외측으로 예압된 구, 스프링 와셔, 핀 또는 유사한 장치에 의해 달성될 수 있다.
본 발명의 장치(1)의 작동이 도 1 및 도 2를 참조하여 보다 자세히 설명될 것이다. 장치(1)를 장착시키기 위해, 하우징부(9, 10)는 처리 장치가 기판(4, 3)을 각각 플레이트(34) 및 중심 핀(36) 상에 장착시킬 수 있도록 떨어져 이동된다. 이와 관련하여, 기판(4) 상에 놓이고 위를 향하는 접착층(5)을 갖는 기판(4)은 플레이트(34) 바로 위에 장착된다. 기판(3)은 그 후 중심 핀(36)의 노즈(50) 상에 장착되어 기판(3, 4)이 서로 평행하고 이격되게 유지된다.
하우징부(9, 10)는 이제 도 1에 도시된 위치로 이동되어, 상부 챔버(18)가 주변에 대해 밀봉된다. 이와 관련하여, 상부 플레이트(38)는 기판(3)의 상측면과 접촉하게 되지만, 기판(3, 4)은 중심 핀(36)에 의해 서로 이격된 상태를 계속 유지한다. 그 후 진공 펌프(22) 및 도관(23)에 의해 하부 챔버(19) 내에 저압이 형성된다. 동시에, 또는 그 후에, 또한 진공 펌프(26) 및 도관(27)에 의해 상부 챔버(18) 내에 저압이 형성된다. 이렇게 할 때 하부 챔버(19) 내의 압력이 상부 챔버(18) 내의 압력 보다 낮게 보장되어, 막이 지지 수단(42)에 대해 신뢰성 있게 당겨진다. 기판 사이에 공기 버블을 방지하는 소정의 압력이 상부 챔버(18) 내에 도달되자 마자, 하부 챔버(19) 내의 압력은 제어된 방식에서 주변압(ambient pressure)으로 상승된다. 두 챔버(18, 19) 사이의 차압, 및 상부 챔버(18) 내의 보다 낮은 압력을 야기시킨 결과, 그 상에 장착된 플레이트(34)를 갖는 막(16)은 제어된 방식에서 도 2에 도시된 위치로 상부 플레이트(38)로 위로 이동된다. 이러한 위치에서, 기판(3, 4)은 서로 균일하게 가압된다. 플레이트(34)의 부유 장착으로 인해, 상부 플레이트(38)에 대한 플레이트(34)의 양호한 형태를 야기하여 균일한 압축힘이 기판 상에 가해진다.
상부 챔버 내의 저압은 그 후 주변압으로 상승되어, 플레이트(34)와 함께 막(16)은 다시 아래로 이동된다. 두 개의 서로 결합된 기판은 플레이트(34)와 함께 이동하여 플레이트(38)로부터 해제된다. 막(16)은 지지 수단(42)에 대해 놓이게 되는데, 이는 막이 아래로 처지는 것을 방지하기 위함이다.
이제 상부 챔버(18) 내의 압력은 기판(3, 4) 사이에 배열된 접착제(5)의 결합 또는 경화 프로세스를 가속하기 위해 펌프(30)와 도관(31)에 의해 과압 상태(overpressure)로 된다. 선택적으로, 접착제는 예를 들어 자외선 조사(UV irradiation) 등과 같은 다른 방법에 의해 장치(1) 내에서 경화될 수 있다. 물론, 접착제는 또한 별도의 경화 스테이션 내에서 경화될 수 있다.
이러한 형식으로 결합된 기판(3, 4)을 제거하기 위해, 하부 및 상부 하우징부(9, 10)는 기판의 제거를 위한 적절한 처리 장치용 통로를 제공하기 위해 떨어진다.
도 4는 본 발명의 선택적인 실시예를 도시한다. 도 4는 내측 홀을 갖고, 제 1 실시예와 같이 예를 들어 CD 또는 DVD 또는 소정의 다른 데이타 캐리어를 형성하는 두 기판(103, 104)의 결합을 위한 장치(100)를 도시한다. 기판(103, 104)의 결합 중에, 두 기판의 아교결합을 보장하기 위해, 양면 접착 필름 형태의 접착제(105)가 기판(104)에 도포된다.
장치(100)는 서로에 대해 이동 가능하고 제 1 실시예에서처럼 본질적으로 각각 U 형상의 횡단면을 갖는 두 개의 하우징부(109, 110)로 형성된 하우징(107)을 갖는다. 상호작용 상태에서, 두 하우징부(109, 110)는 그들 사이에서 챔버(112)를 형성하고, 상기 챔버는 두 하우징부(109, 110) 사이의 경계면(114) 사이에서 주변부에 대해 밀봉된다.
상부 하우징부(109)에는 가요성 막(116)이 제공되는데, 상기 가요성 막은 하우징부(109)의 내부영역의 끝을 완전히 연결시켜 하우징부(109, 110) 사이에 형성된 챔버(112)를 상부 챔버부(118)와 하부 챔버부(119)로 분리시킨다.
상부 챔버부(118)는 진공 펌프와 같은 진공 소오스(122)와 상부 하우징부(109) 내의 적절한 도관(123)을 통해 저압으로 될 수 있다. 비교 가능한 방식에서, 하부 챔버부(119)는 진공 소오스(126), 및 상부 하우징부(109) 내의 적절한 도관(127)을 통해 저압으로 될 수 있다. 상부 챔버부(118)는 또한 펌프와 같은 압력 소오스(130)와 상부 하우징부(109) 내의 적절한 도관(131)을 통해 압력이 제공될 수 있다.
플레이트(134)가 막(116)에 적절한 방식으로 장착되고 하부 챔버부(119)와 직면하여, 플레이트(134)는 가요성 막(116)과 함께 이동 가능하다.
하부 하우징부(110)에는 플레이트(134)와 대향해 배치되고 중심 핀(136)이 위치되는 하부 플레이트(138)가 제공된다. 중심 핀(136)은 제 1 실시예의 중심 핀(36)과 동일한 구조를 갖는다. 막(116)에 장착된 상부 플레이트(134)는 중심 핀(136)이 하부 플레이트(138)를 향한 상부 플레이트(134)의 이동 중에 이동할 수 있는 중심 개구(140)를 갖는다.
상부 챔버(118)에는 상방향 이동, 즉 챔버(118) 내에서 막(116)과 이에 장착된 플레이트(134)의 상방향 이동을 제한하기 위해 지지 수단(142)이 제공된다.
상부 하우징부(109)와 막(116) 사이에서 연장하는 스프링(144)에 의해, 막(116)은 지지 수단(142)에 대향해 예압된다. 스프링(144)의 힘은 챔버(118, 119) 내의 압력 평형시에, 도 4에 도시된 위치에서, 막(116)과 이에 장착된 플레이트(134)를 유지하기 위해 스프링이 지지 수단(142)에 대향해 막을 약간 당기도록 설계된다. 물론, 소정의 다른 예압 장치가 또한 플레이트들을 서로로부터 떨어지게 예압시키도록 제공될 수 있다.
도 4에 도시된 장치(100)의 작동은 본질적으로 제 1 실시예와 동일하지만, 도 4의 실시예에서는 기판(103, 104)의 제어되지 않은 결합을 방지하기 위해 우선 상부 챔버(118)에 그 후 하부 챔버(119)에 저압이 형성된다.
도 1 및 도 4에 도시된 실시예들의 주요 차이점은 도 4의 실시예에서는 막에 장착된 플레이트가 하우징에 단단히 장착된 플레이트 상에 배치된다는 것이다. 또한, 압력 펌프(130) 뿐만 아니라 진공 펌프(122, 126)는 모두 상부 하우징부(109) 내에 제공된 적절한 도관(123, 127, 131)과 연결된다. 그러므로, 하부 하우징부(110)에는 펌프 또는 진공 펌프와 연통하는 도관이 형성되지 않는다.
그러므로 하부 하우징부(110)는 복수의 하부 하우징부(110)를 제공하는 회전 스위칭 또는 인덱싱 테이블의 일부로서 간단하고 경제적인 방식으로 구현될 수 있다. 기판의 로딩 및 제거는 상부 하우징부(109) 영역을 초과하여 수행될 수 있기 때문에, 상부 하우징부(109)는 복수의 하부 하우징부(110)에 대해 이용될 수 있어서, 장치의 작업 처리량을 증가시킨다.
도면에는 도시되지 않지만, 플레이트(134, 138)는 기판(103, 104)과 직면하는 그루브와 같은 적절한 표면 구조를 가지며, 이를 통해 예를 들어 압축 공기가 기판들을 가압하기 위해 기판에 가해질 수 있다. 압축 공기를 기판에 직접 가함으로써 기판을 가압할 수 있는 이러한 구조는 반복을 피하기 위한 범위에서 본 발명의 요지에 작성되는 전술된 DE 199 27 516.5호에 이미 설명되어 있다.
본 발명은 바람직한 실시예를 참조하여 설명되었지만, 구체적으로 설명된 실시예들에 제한되지는 않는다. 예를 들어, 하우징의 형태는 설명된 하우징 형태와 상이할 수 있다. 특히 도 4의 실시예에 있어서, 하부 하우징부(110)를 평평하게 만들고, 상부 하우징부의 U 형상 레그를 길게 할 수 있다. 그 후 플레이트는 상부 및 하부 챔버를 형성하기 위해 상부 하우징부(109)와 밀봉체를 형성할 수 있다.또한, 일 실시예의 특징은 이러한 특징이 호환될 수 있는 정도에서 다른 실시예에 이용될 수 있다. 또한 막의 대향 측면에 차압을 형성하기 위해 단일 챔버를 제공할 수 있다. 예를 들어, 플레이트 및 기판을 수용하는 챔버 중 하나에 저압을 제공하는 것으로 충분하다. 소정의 압력이 챔버 내에 도달하기 전에 기판의 제어되지 않은 결합을 방지하기 위해, 막은 예를 들어 스프링, 전자석, 또는 다른 유지 장치를 통해 플레이트가 서로 이격되는 위치에 유지될 수 있다.

Claims (20)

  1. 기판들이 서로에 대해 대향되게 배치되고 서로에 대해 이동 가능한 두 플레이트 사이에서 이격된 방식으로 배치되는, 특히 광데이타 캐리어를 형성하기 위한 둘 이상의 기판 결합 방법에 있어서,
    가요성 막과 연결된 플레이트들 중 하나 이상의 플레이트가 상기 막의 대향 측면들에 차압이 형성되는 방식으로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 플레이트를 둘러싸는 제 1 챔버 내에 저압을 형성하며 상기 제 1 챔버의 하나의 벽이 상기 막에 의해 일부분 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 플레이트들 반대쪽의 상기 막의 일 측면에 배치된 제 2 챔버 내에 저압을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 결합 방법.
  4. 제 2 항 및 제 3 항에 있어서,
    상기 기판들의 결합 전에, 상기 제 2 챔버 내의 압력이 상기 제 1 챔버 내의 압력 보다 낮게 유지되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 기판들을 결합시키기 위해 상기 제 2 챔버 내의 압력이 주변압이 되고, 상기 제 1 챔버 내의 압력이 저압으로 유지되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 챔버는 상기 기판의 결합 후에 가압되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판들이 결합되기 전에, 상기 기판들의 내측 홀에서 결합하는 중심 핀에 의해 이격된 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 방법.
  8. 기판을 가압하기 위해 서로에 대해 이동 가능한 대향 배치된 두 개의 플레이트를 포함하고, 특히 광데이타 캐리어를 형성하기 위한 둘 이상의 기판 결합 장치에 있어서,
    상기 플레이트들 중 하나 이상의 플레이트는 가요성 막과 연결되며, 상기 막의 대향 측면들에 차압을 발생시키는 장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 막의 제 1 측면에 제 1의 본질적으로 밀폐된 챔버가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 막의 제 2 측면 상에 제 2의 본질적으로 밀폐된 챔버가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 및/또는 제 2 챔버와 연결 가능한 하나 이상의 진공 소오스가 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  12. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 및/또는 제 2 챔버와 연결 가능한 하나 이상의 압력 소오스가 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  13. 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플레이트들은 상기 챔버들 중 하나의 챔버 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 막과 플레이트가 일 방향으로 이동하는 것을 제한하기 위해 상기 플레이트들 반대쪽의 상기 막의 측면에 지지 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  15. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플레이트들은 본질적으로 수평으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  16. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 막에 장착된 플레이트는 상기 다른 플레이트 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  17. 제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판들의 내측 홀에 유입될 수 있는 중심 핀이 상기 플레이트들 중 하나의 플레이트에 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 중심 핀은 기판들이 결합되기 전에 상기 기판들을 서로 이격되게 그리고 본질적으로 서로 평행하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  19. 제 8 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플레이트들은 예압 장치에 의해 서로로부터 멀어지게 예압되는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 예압 장치는 하나 이상의 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 결합 장치.
KR10-2003-7009084A 2001-01-08 2001-12-13 기판 결합 방법 및 장치 KR20030076602A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10100426A DE10100426B4 (de) 2001-01-08 2001-01-08 Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenfügen von Substraten
DE10100426.5 2001-01-08
PCT/EP2001/014660 WO2002053357A1 (de) 2001-01-08 2001-12-13 Verfahren und vorrichtung zum zusammenfügen von substraten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20030076602A true KR20030076602A (ko) 2003-09-26

Family

ID=7669903

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-7009084A KR20030076602A (ko) 2001-01-08 2001-12-13 기판 결합 방법 및 장치

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6953514B2 (ko)
EP (1) EP1349722A1 (ko)
JP (1) JP2004516941A (ko)
KR (1) KR20030076602A (ko)
CN (1) CN1243635C (ko)
CA (1) CA2433427A1 (ko)
DE (1) DE10100426B4 (ko)
HK (1) HK1063165A1 (ko)
IL (1) IL156710A0 (ko)
TW (1) TW587993B (ko)
WO (1) WO2002053357A1 (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10108383B4 (de) * 2001-02-21 2006-06-14 Steag Hamatech Ag Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten
TWI258316B (en) * 2002-10-25 2006-07-11 Ritdisplay Corp FPD encapsulation apparatus and method for encapsulating ehereof
US8238696B2 (en) 2003-08-21 2012-08-07 Microsoft Corporation Systems and methods for the implementation of a digital images schema for organizing units of information manageable by a hardware/software interface system
US7314536B2 (en) * 2004-10-14 2008-01-01 Sony Corporation Disc pairing in optical disc replication
DE102007041261B3 (de) * 2007-08-30 2009-03-19 Meier Vakuumtechnik Gmbh Laminator, Andrückmembran und Verfahren für das Laminieren von Bauteilstapeln
WO2010004006A2 (de) * 2008-07-10 2010-01-14 Singulus Technologies Ag Vorrichtung und verfahren zum prägen von strukturen in einem substrat, insbesondere in optischen datenträgern, halbleiterstrukturen und mikrostrukturen
PT2315587T (pt) 2008-08-13 2018-01-31 Actelion Pharmaceuticals Ltd Produto que contém macitentan, composição farmacêutica que o contém e uso de macitentan
CN102689450B (zh) * 2012-05-31 2014-10-22 清华大学 准等静压真空液压机
CA2880186C (en) * 2012-07-30 2015-09-15 Nissan Motor Co., Ltd. Film member stacking device and method of the same
USD749812S1 (en) 2014-10-02 2016-02-16 Ameriwood Industries, Inc. Hand truck

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2172002A (en) * 1936-12-31 1939-09-05 Merritt Engineering & Sales Co Automatic diaphragm press
GB739015A (en) 1953-06-30 1955-10-26 Wilts United Dairies Ltd Improvements in means for sealing materials by heat
FR1221866A (fr) * 1959-01-17 1960-06-07 Nouveau dispositif de presse hydraulique ou pneumatique avec récipient dilatable
US3383265A (en) * 1965-07-20 1968-05-14 Garabedian Armen Method and apparatus for welding plastics
DE3300622A1 (de) * 1983-01-11 1984-07-12 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines aus mindestens zwei plattenfoermigen bauelementen bestehenden schichtkoerpers
DE3935562A1 (de) * 1989-10-25 1991-05-02 Friz Maschinenbau Gmbh Membran-formpresse
DE4108936A1 (de) * 1991-03-19 1992-09-24 Kannegiesser H Gmbh Co Vorrichtung zum verkleben textiler flaechengebilde
IT1250461B (it) 1991-08-09 1995-04-07 Morton Int Inc Procedimento ed apparecchio per applicare in modo continuo in particolare maschere di saldatura su pannelli di circuiti stampati.
JP2678161B2 (ja) * 1991-10-30 1997-11-17 九州電子金属 株式会社 半導体ウエーハの真空貼着装置
DE4233622C2 (de) * 1992-10-06 2000-01-05 Rolf Hesch Preßverfahren zum Beschichten eines Werkstückes und Presse zur Durchführung des Verfahrens
JPH06131705A (ja) 1992-10-16 1994-05-13 Hitachi Ltd 光ディスク貼り合わせ装置
US5967030A (en) * 1995-11-17 1999-10-19 Micron Technology, Inc. Global planarization method and apparatus
SE506347C2 (sv) * 1996-04-01 1997-12-08 Toolex Alpha Ab Förfarande och anordning för sammanlimning av substrat till dataskivor
US6110321A (en) * 1997-02-28 2000-08-29 General Electric Company Method for sealing an ultracapacitor, and related articles
DE19715779A1 (de) * 1997-04-16 1998-10-22 Fairchild Technologies Gmbh Ge Verfahren und Einrichtung zum Verkleben scheibenförmiger Kunststoffsubstrate
DE19727516B4 (de) 1997-06-30 2006-05-04 T-Mobile Deutschland Gmbh Verfahren zur Bestimmung des internen Rauschens digitaler Schaltkreise
DE50000775D1 (de) * 1999-06-16 2002-12-19 Steag Hamatech Ag Vorrichtung und verfahren zum herstellen eines datenträgers
DE19927514C2 (de) * 1999-06-16 2002-07-18 Steag Hamatech Ag Vorrichtung zum zentrischen Zusammenfügen von Substraten

Also Published As

Publication number Publication date
CN1243635C (zh) 2006-03-01
IL156710A0 (en) 2004-01-04
HK1063165A1 (en) 2004-12-17
EP1349722A1 (de) 2003-10-08
CN1486240A (zh) 2004-03-31
CA2433427A1 (en) 2002-07-11
US20040055701A1 (en) 2004-03-25
JP2004516941A (ja) 2004-06-10
DE10100426A1 (de) 2002-08-14
WO2002053357A1 (de) 2002-07-11
US6953514B2 (en) 2005-10-11
TW587993B (en) 2004-05-21
DE10100426B4 (de) 2006-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6922229B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display apparatus and substrate assembling apparatus
JP3953767B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法及び製造装置
US20060027330A1 (en) Device for vacuum-pressing of DVD substrates
KR20030076602A (ko) 기판 결합 방법 및 장치
JP2007310041A (ja) 基板組立装置とそれを用いた基板組立方法
KR100653339B1 (ko) 액정 패널용 기판의 접합 장치 및 접합 방법
JP4413214B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法及び製造装置
JP2007331963A (ja) 成形装置及び金型の組み付け方法
JP3694691B2 (ja) 大型基板の組立装置及び組立方法
JP2006047575A5 (ko)
KR20040081054A (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법
KR100457440B1 (ko) 기판 결합 장치
KR100437089B1 (ko) 화학기계적 연마장치의 연마헤드
US6820797B2 (en) System and method for seal formation
KR101328886B1 (ko) 링 모양 점착부를 이용한 기판 탈부착 장치
KR101718283B1 (ko) 접합부재 제조장치 및 접합부재의 제조방법
JP3848942B2 (ja) 基板の組立方法およびその装置
JPH01101386A (ja) ウェーハの接着方法
KR102455166B1 (ko) 진공척 및 진공척의 구동방법
JP4465225B2 (ja) 基板接合装置、基板接合方法および記録ディスク製造方法
KR102600430B1 (ko) 기판 홀딩 장치
JP3796491B2 (ja) 基板貼り合わせ装置
JPS6211231A (ja) ウエハとマスクとの密着方法
JP2024035148A (ja) キャリア位置決め装置
CN114985996A (zh) 应用于激光焊接的压紧装置

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid