KR20030045683A - 다층형 세라믹제 히터 소자 및 그 제조 방법 - Google Patents

다층형 세라믹제 히터 소자 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 세라믹제 히터 요소 및 새로운 히터 소자를 포함하는 예열 플러그에 관한 것이다. 상기 히터 소자는 기저부와 히터부를 구비하고 있다. 상기 기저부 및 히터부의 양자를 통하여 도전층, 절연층 및 저항층이 연장되어 있다. 외부 도전층이 상기 기저부의 외측에 접합되어 도전성이 높은 귀환 경로를 제공한다. 이것은 상기 기저부 내의 저항층의 가열을 제한하는 경향이 있고, 상기 히터부 내에서 더 양호하고 더 신뢰성이 있는 열집중이 이루어지게 하는 결과를 가져 온다. 상기 히터 소자에는 비도전성의 외부 방수층이 더 제공된다. 상기 히터 소자를 조립하여 디젤 엔진용 예열 플러그를 형성할 수 있다.

Description

다층형 세라믹제 히터 소자 및 그 제조 방법 {MULTI-LAYER CERAMIC HEATER ELEMENT AND METHOD OF MAKING SAME}
다층형(多層形) 구조의 세라믹제 예열 플러그의 제조는 잘 알려져 있다. 그러한 종래의 예열 플러그의 예들은 미국 특허 제4,742,209호, 제5,304,778호 및 제5,519,187호에 기재되어 있다. 일반적으로, 이들 예열 플러그는 각각 도전성(導電性) 코어가 세라믹 절연층 및 저항층에 의하여 둘러싸여 있는 세라믹제 히터를 포함하고 있다. 이들 층은 별도로 주조되고 함께 조립된다. 이어서, 그 결과 생기는 소지(素地; green body)가 소결되어 세라믹제 히터를 형성하게 된다. 이러한 세라믹제 히터류는 몇 가지 결점을 안고 있다. 예열 플러그에 사용되는 경우, 이들 히터는 주기적인 가열 및 냉각을 겪게 되고, 그 결과 세라믹층들 사이의 계면 접합부에 높은 내부 응력이 생기며, 이것이 상기 예열 플러그의 고장을 조장하게 된다. 이 고장 비율을 감소시키기 위하여, 이들 세라믹제 히터를 디젤 엔진 내부의 최적 온도보다도 저온에서 작동시키려는 경향이 있다.
층형(層形) 예열 플러그의 내부 응력의 원인은 주로 상이하게 구성된 층들간의 열팽창 계수의 차이 때문이다. 상기 예열 플러그의 상이한 층들은 상이한 비율로 팽창 및 수축한다. 나아가, 잔류 응력은 특히 세라믹 조성의 소성(塑性) 변형 상태 이하에서 발생하는 냉각 기간 중의 불균등한 수축 및 상기 층들간의 불균일한 부착으로부터 생긴 제작 결과이다.
내부 응력을 감소시킨 세라믹제 히터는 1997년 6월 25일자의 미국 특허 출원 제08/882,306호에 기재되어 있다. 이 출원에는 계면 경계 영역 내에서 조성이 단계적으로 이루어지는 단일체로서 슬립(slip) 주조되는 세라믹제 히터가 기재되어 있다. 상기 출원에 기재되어 있는 세라믹제 히터는 내부 응력을 감소시켜 주지만, 그러한 히터에 필수적인 엄격한 기준에 맞추어 제조하기가 어렵다는 것이 알려지게 되었다. 특히, 이들 층 두께를 정확하게 조절하기가 어렵고, 최종 히터에서는 층 두께의 작은 차이조차도 열출력을 광범위하게 변화시킬 수 있다. 차량 및 엔진 제조업자들을 위하여 세라믹제 히터를 대량 생산하고자 하는 경우, 가열 특성 및 히터 소자의 기저부에서의 열손실 제한을 정확하게 조절하는 것이 중요하다.
그밖에, 종래의 세라믹제 히터 소자의 성능은 습기에 의한 영향을 받을 수 있다는 것이 알려지기에 이르렀다.
따라서, 이러한 종래 기술의 결점들을 극복하는 세라믹제 히터 소자의 제공이 요망되고 있다. 특히, 내부 열응력이 낮고, 주로 히터 소자의 가열 선단부(heating tip)에 초점을 두고 습기의 영향에 더 내구성인 가열 특성을 정확하게 조절 및 재생할 수 있는 세라믹제 히터 소자를 마련하는 것이 요망되고 있다.
본 발명은 세라믹제 히터 소자(素子)에 관한 것이다. 더 구체적으로 말하자면, 본 발명은 디젤 엔진용 고온 예열 플러그(glow plug)에 사용되는 세라믹제 히터와 동류(同類)의 세라믹제 히터 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
이제, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시 상태를 단지 실시예의 수단으로서 설명하겠다.
도 1은 종축을 따라 절취한 본 발명의 실시 상태에 의한 세라믹제 히터 소자의 개략적인 횡단면도이고,
도 2는 도 1의 A-A선을 따라 절취한 상기 세라믹제 히터 소자의 개략적인 횡단면도이며,
도 3은 도 1의 B-B선을 따라 절취한 상기 세라믹제 히터 소자의 개략적인 횡단면도이고,
도 4는 본 발명에 의한 예열 플러그의 횡단면도이며,
도 5는 본 발명의 히터 소자의 또 하나의 실시 상태의 횡단면도이다.
일반적으로, 본 발명에 의하면 세라믹제 히터 소자 및 새로운 히터 소자를 포함하는 예열 플러그가 제공된다. 상기 히터 소자에는 기저부 및 히터부가 구비되어 있다. 상기 기저부 및 히터부의 양자를 통하여 도전층(導電層), 절연층 및 저항층이 연장되어 있다. 외부 도전층이 상기 기저부의 외측에 접합되어 도전성이 높은 귀환 경로를 제공한다. 이것은 상기 기저부 내의 저항층의 가열을 제한하는 경향이 있고, 상기 히터부 내에서 더 양호하고 더 신뢰성이 있는 열집중이 이루어지게 하는 결과를 가져 온다. 상기 히터 소자의 외부 표면에 걸쳐 비도전성(非導電性)의 외부 방수층이 제공된다. 상기 히터 소자를 조립함으로써 디젤 엔진용 예열 플러그를 형성할 수 있다.
본 발명의 양호한 실시 상태에 있어서, 상기 세라믹제 히터는 일단부에 히터부가 형성되어 있는 기저부를 포함하고 있다. 이 히터부는 기저부보다 직경이 더 작다. 상기 기저부 및 히터부는 각각 세라믹 도전층 및 세라믹 저항층을 구비하고 있는데, 이들 도전층 및 저항층은 이들이 전기 접속되는 히터부의 선단부를 제외하고는, 세라믹 절연층에 의하여 분리되어 있다. 상기 기저부는 상기 세라믹 저항층과 전기 접속되는 외부 세라믹 도전층을 더 포함하고 있다. 비도전성의 외부 세라믹 방수층이 기저부 및 히터부에 걸쳐 연장되어 있다. 이 히터 내에는 도전성의 중심 코어가 선택 사양으로서 포함될 수 있는데, 이것은 상기 기저부의 길이를 실질적으로 연장시킨다.
본 발명의 또 하나의 실시 상태에 있어서는, 전술한 히터 소자를 채용하는디젤 엔진용 예열 플러그가 제공된다. 이 예열 플러그는 배럴 및 테이퍼형 슬리브를 포함하는 금속제 하우징을 구비하고 있다. 상기 슬리브 내에 쐐기 모양으로 정합(整合)하기 위한 테이퍼형 기저부를 구비하는 세라믹제 히터 소자가 상기 하우징 내에 장착된다. 상기 히터 소자에는 상기 기저부의 일단부에 히터부가 형성되어 있다. 이 히터부는 상기 기저부보다 직경이 더 작고, 일반적으로 하우징을 지나 연장되어 있다. 각각 세라믹 도전층 및 세라믹 저항층을 갖추고 있는 상기 기저부 및 히터부는, 이들이 전기 접속되는 히터부의 선단부를 제외하고는, 세라믹 절연층에 의하여 분리되어 있다. 상기 기저부는 상기 세라믹 저항층과 전기 접속되는 외부 세라믹 도전층을 더 포함하고 있다. 비도전성의 외부 방수층이 상기 기저부 및 히터부에 걸쳐 연장된다. 이 히터 내에는 도전성의 중심 코어가 선택 사양으로서 포함될 수 있는데, 이것은 상기 기저부의 길이를 실질적으로 연장시킨다.
이제, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명을 설명하겠다. 본 발명의 제1 실시 상태에 의한 세라믹제 히터 소자의 개략도는 도 1에서는 그의 종축에 따른 횡단면도로 나타나 있고, 도 2에서는 A-A선에 따른 횡단면도로 나타나 있다. 상기 히터 소자는 축척에 맞추어 나타낸 것이 아니며, 일반적으로 참조 부호10으로 나타나 있다.
히터 소자(10)는 기저부(20) 및 히터부(22)로 구성된다. 이들 기저부(20) 및 히터부(22)는 직경이 더 큰 기저부(20)에서 직경이 더 작은 히터부(22)로 좁아지는 일반적으로 원통형의 히터 소자를 형성하고 있다. 당업자에게 잘 알려져 있는 바와 같이, 기저부(20)는 통상 적절한 전기 접속점을 포함하는 금속제 하우징 내에 수용되는 크기로 되어, 디젤 엔진용 예열 플러그를 형성한다. 본 명세서에서 그 내용이 참고로 인용되고 있는 "금속체 내부에 세라믹제 히터가 쐐기 모양으로 수용된 전기 가열 장치"라는 명칭의 미국 특허 제5,880,432호에 기재되어 있는 바와 같이, 기저부(20)를 성형하는 한 가지 방법은 기저부가 적절한 금속제 하우징 내부에 쐐기 모양으로 고정되도록 기저부(20)를 테이퍼지게 하는 것이다. 히터 소자(10)의 기저부(20)를 이와 같이 성형할 수 있다는 것은 충분히 본 발명자의 예상 범위 내에 속하지만, 본 발명은 어떠한 세라믹제 히터 소자에도, 그의 특정한 형상이나 치수에 관계 없이, 유리하게 채택될 수 있다.
당업자에게 잘 알려져 있는 바와 같이, 히터부(22)는 기저부(20)보다 직경이 더 작다. 따라서, 이것은 히터부(22)에 높은 저항을 초래하며, 결국 열출력을 더 높이게 된다. 그러므로, 히터 소자(10)의 가열은 히터부(22) 내에서 이상적(理想的)으로 집중된다.
도 1 및 도 2에 나타낸 양호한 실시 상태를 참조할 경우, 기저부(20)는 6개의 세라믹 재료층으로 구성되어 있다. 잘 알려져 있는 바와 같이, 이들 세라믹 재료층의 조성은, 특히 MoSi2와 같은 도전성 세라믹 성분의 양이 다르기 때문에, 이들 상이한 층들의 도전성을 조절할 수 있다. 중심부로부터 시작하여 보면, 기저부(20)는 도전성의 내부 코어(24), 도전층(26), 전기 절연층(28), 전기 저항층(30), 외부 도전층(32) 및 외부 절연 방수층(38)으로 구성된다. 일반적으로, 기저부(20)는 히터 소자(10)를 예열 플러그로서 조립할 경우에 도선(도시되지 않았음)과 전기 접속시키는 접속공(接續孔; 34)도 역시 포함하고 있다. 설명의 목적상, 도전층(26) 및 전기 저항층(30)은 구별시켜 놓았다. 그러나, 후술하는 바와 같이, 이들 2개 층은 특성이 유사하고. 도전층(26) 내에서의 저항층(30)에 의한 어떠한 가열도 균등하고 양호하게 달성될 수 있다.
도 1 및 도 3에 의하면, 히터부(22)는 4개의 세라믹 재료층으로 구성되어 있다. 다시 가장 중심부로부터 시작하여 보면, 히터부(22)는 도전층(26), 절연층(28), 저항층(30) 및 외부 절연 방수층(38)으로 구성된다. 히터부(22)의 단부는 도전층(26)과 저항층(30)이 전기 접속되는 선단부(36)를 이루고 있다.
일반적으로, 상기 여러 가지 층들을 구성하는 세라믹 재료는 Si3N4, Y2O3, 실리콘 카바이드, 질화알루미늄, 알루미나, 실리카 및 지르코니아로 이루어지는 군 중에서 선택된다. 이 때, 이들 비도전성 세라믹 재료는 MoSi2, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 1개 이상의 도전성 성분으로 도우프(dope)된다. 층의 두께와 더불어, 상기 전도성 성분의 농도 백분율은 세라믹 재료의 도전율(導電率)을 결정한다. 약 10 내지 약 0 부피%의 소결 첨가제도 역시 포함될 수 있다. 소결 첨가제로서는 이트륨, 마그네시아, 칼슘, 하프니아 및 기타의 란탄족 원소를 들 수 있다. 상기 도전성 및 비도전성 성분들은 미립자로서 제공된다. 이들 미립자를 약 0.2 내지 약 0.8 미크론의 입도 범위로 할 수 있는 것이 최적이다. 상기 미립자 성분들은 물과 같은 용매 중에서 혼합 및 현탁되어 슬러리를 형성한다. 상업적으로 DARVAN CTM로서 알려져 있는 암모늄 폴리아크릴레이트와 같은 적절한 응고 방지제도 역시 첨가될 수 있다.
양호한 실시 상태에 있어서, 상기 비도전성 세라믹 재료는 Si3N4이고, 도전성 성분은 MoSi2이다. 내부 코어(24)는 MoSi241∼80 부피%, 도전층(26)은 MoSi230∼45 부피%, 절연층(28) 및 외부 방수층(38)은 MoSi20∼28 부피%, 저항층(30)은 MoSi230∼45 부피%, 그리고 외부 도전층(32)은 MoSi241∼80 부피%일 수 있다.
상기 양호한 실시 상태는 도전성의 내부 코어(24)를 구비하는 것으로 설명되어 있으나, 본 발명자는 히터 소자(10)를 코어 없이 5개의 층으로 구성할 수 있다고 생각한다. 이 경우, 도전층(26)은 도전성의 내부 코어(24)의 공간 용적도 역시 차지하게 된다. 현재로서 도전성의 내부 코어(24)가 히터 소자(10)에 부여하는 것으로 믿어지는 장점은 히터부(22) 내에서의 열전개(熱展開)를 집중시키기 위하여 기저부(20)에 걸친 도전율의 개선이다. 또한, 히터 소자(10)는 기저부(20)의 길이를 지나 연장되는 코어를 포함할 수 있다고 예상된다. 예를 들면, 어떤 적용예에서는 코어(24)를 거의 선단부(36)까지 연장시키는 것이 바람직할 수 있다.
세라믹제 히터 소자(10)는, 그 내용이 본 명세서에서 참고로 인용되고 있는 미국 특허 출원 제08/882,306호에 기재되어 있는 바와 같이, 슬립 주조법에 의하여 제조되는 것이 바람직하다. 이 미국 특허 출원에 기재되어 있는 방법을 다소 수정함으로써 추가의 층들, 즉 내부 코어(24)와 외부 도전층(32)이 결합된다. 양단부가 개방되어 있는 흡수성(吸收性)의 관상(管狀) 주형이 제공된다. 이 주형은 소석고(燒石膏) 또는 기타 어떠한 적절한 흡수성 재료로부터도 제작될 수 있다. 양호한 실시 상태에 있어서, 상기 주형에는 히터부(22)의 직경이 비교적 작은 히터 소자(10)를 생산하기 위한 내경이 더 작은 계단부가 마련되어 있다.
일반적으로, 히터 소자(10)의 연속층들이 상기 선단부(36)로부터 상기 주형에 첨가된다. 상기 방법은 외부 절연 방수층(38), 이어서 외부 도전층(32)을 부설한 다음 저항층(30)을 성형함으로써 시작된다. 그 다음에, 주형 내에서 절연층(28)을 성형한다. 표준 크기의 히터 소자에 있어서, 저항층(30)과 도전층(26) 사이에 효과적인 전기 절연 장벽을 제공하려면, 절연층(28)은 적어도 0.3 mm일 필요가 있다는 것을 알게 되었다. 그리고, 최종적으로 잘 알려진 방식에 따라 도전층(26)이 성형된다. 이 때, 기저부(20)의 길이가 실질적으로 연장되도록 내부 코어(24)를 주형의 대향 단부로부터 주형 내부로 사출한다. 이 때, 내부 코어(24) 내에 접속공(34)을 성형할 수 있다. 도전층(26)과 저항층(30) 사이에 전기 접속을 일체로 형성하기 위하여, 상기 소지(素地)의 선단부(36)는 그 소지를 주형으로부터 탈형(脫型)하기 전에, 예컨대 초음파봉(超音波棒)으로부터 선단부(36)까지 저강도 진동을 적용시킴으로써 수정된다. 저강도 진동에 의하여 선단부에 있는 입자들은 내부 및 외부 용적이 결합하는 도전성 선단부 내로 배합되어 들어간다. 액상이 주형의 벽면을 통하여 실질적으로 흡수되고 나면, 선단부가 수정된 상기 소지는 주형으로부터 탈형 및 공기 건조되도록 방치된다.
별법으로, 세라믹제 히터 소자(10)는 저항층(30)으로 시작하여 전술한 바와 같이 계속함으로써 성형될 수 있다. 이 때, 소지를 소결하기 전에 그 소지를 도전성 세라믹 슬러리에 침지시켜 외부 도전층(32)을 성형한다. 이것은 매우 얇은 도전성 재료막이 기저부(20)를 덮게 되는 결과를 가져온다. 그 다음에, 상기 소지를 세라믹 절연체에 침지시켜 외부 절연 방수층을 성형한다. 그리고 나서, 잘 알려져 있는 바와 같이, 상기 세라믹 소지를 소결 및 연마하여 히터 소자(10)를 생성한다. 외부 도전층(32)의 두께를 더욱 조절할 수 있으므로, 이제는 외부 도전층(32)을 주조하는 것이 바람직하다.
도 4를 참조하면, 전술한 미국 특허 제5,880,432호에 기재되어 있는 바와 같이, 히터 소자(10)를 조립하여 예열 플러그 조립체(40)를 형성할 수 있다. 히터 소자(10)는 배럴(44) 및 슬리브(46)로 구성되는 금속제 하우징(42) 내에 삽입된다. 슬리브(46)가 기저부(20)의 외부 테이퍼와 정합하도록 테이퍼져 있으므로, 상기 히터 소자(10)는 하우징(42) 내부의 적소에 쐐기 모양으로 유지된다. 전선(48)은 히터 소자(10)의 접속공(34) 내에 삽입되고, 히터 소자(10) 및 전선(48)은 배럴(44)을 에폭시로 채우거나 또는 부식성의 고온 환경에서 작용하기에 적합한 기타의 고정제로 채움으로써 적소에 고정된다. 이어서, 배럴(44)은 접속 마개(50)로 밀봉된다.
도 4에서 볼 수 있는 바와 같이, 슬리브(46), 따라서 하우징(42)은 외부 도전층(32)과 전기 접속 상태인 반면, 전선(48)은 내부 코어(24)와 전기 접속 상태에 있다. 작동시, 하우징(42) 및 전선(48) 사이에 전위차가 인가된다. 이 결과 전선(48)으로부터 도전성의 내부 코어(24)를 통하여 도전층(26)에 전류가 흐르게 된다. 이 때, 전류는 히터부(22)의 외부 저항층(30)을 통하여 흐르고, 외부 도전층(32)을 따라 하우징(42)으로 귀환한다. 전류가 히터부(22)의 영역 내에서 저항층(30)을 통하여 흐르므로, 상기 전류는 디젤 연료 점화에 충분한 온도까지 히터부(22)를 가열한다. 히터 소자(10)를 시험하여 보면, 상기 히터 소자(10)의 고장을 일으킴이 없이 1500℃ 범위 내의 히터 온도에서 반복 순환되는 결과를 나타낸다. 당업자들이 이해하는 바와 같이, 외부 도전층(32)의 높은 도전율은 기저부(20) 내의 저항층(30)을 통하여 전류가 거의 흐르지 않게 하는 결과를 낳으므로, 기저부의 가열을 제한하며, 히터부(22)의 저항층(30) 내에서의 열집중을 개선시킨다.
도 5를 보면, 본 발명의 세라믹제 히터 소자의 또 하나의 실시 상태가 도시되어 있는데, 참조 부호60에 의하여 개략적으로 표시되어 있다. 이 실시 상태는 내부 코어가 마련되어 있지 않다는 점에서 제1 실시예와 구별된다. 그 대신, 도전층(26)은 히터 소자(10)의 내부 용적을 채우고 내부 코어를 형성한다. 일반적으로, 이 4개의 층으로 된 세라믹제 히터 소자(60)는 히터부(22)에 전류를 전달하기 위하여 도전층(26)에 의지한다. 도전층(26)의 약간 덜 효율적인 저항성은 통상 1300℃의 범위로 동작 온도를 더 낮추는 결과를 가져오는 한편, 세라믹제 히터 소자의 제조 비용을 낮추는 이점이 있다.
당업자들이 이해하게 되는 바와 같이, 본 발명의 세라믹제 히터 소자는 종래의 기술에 비하여 여러 가지 장점이 있다. 4개층 또는 5개층 구조 및 외부 도전층(32)은 히터부(22)에서의 열집중을 더 효율적으로 만들고, 세라믹제 히터 소자의 안정성 및 균일성을 향상시킨다. 비도전성의 외부 방수층(38)은 히터 소자를 보호하고, 주변의 습기가 히터 소자의 전기적 특성에 미치는 영향을 최소화함으로써 성능을 더 향상시킨다. 따라서, 이것은 불량률이 적은 제품을 생산하는 결과로 되므로, 생산비가 저감되고 이익이 증대된다. 열집중도 역시 히터 소자가 거의 1300∼1500℃에서 반복적으로 순환될 수 있는 히터 소자를 생성하게 되는데, 이것은 통상 900∼1100℃에서 동작하는 종래 기술의 세라믹제 히터 소자에 비하여 상당한 개선이다.
이상, 본 발명의 양호한 실시 상태를 기재 및 예시하였으나, 본 발명은 이들 특정의 실시 상태에 한정되는 것이 아니라는 것을 이해하여야 한다. 다수의 변형예 및 수정예가 당업자에게 가능하게 된다. 본 발명의 한정을 위하여, 특허 청구의 범위가 참고로 첨부되어 있다.

Claims (21)

  1. 기저부와,
    이 기저부의 일단부에 형성되고 상기 기저부보다 직경이 더 작은 히터부
    를 포함하고,
    상기 기저부와 히터부는 각각 세라믹 도전층 및 세라믹 저항층을 구비하고, 상기 세라믹 도전층과 세라믹 저항층은 이들 세라믹 도전층 및 세라믹 저항층이 전기 접속되는 히터부의 선단부를 제외하고는 세라믹 절연층에 의하여 분리되어 있으며, 상기 기저부는 상기 세라믹 저항층과 전기 접속되는 외부 세라믹 도전층을 더 구비하고, 상기 기저부 및 히터부에 걸쳐 비도전성의 외부 세라믹 방수층이 마련되는 것인 세라믹제 히터 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도전층, 저항층, 절연층 및 방수층은 각각 Si3N4, 실리콘 카바이드, 질화알루미늄, 알루미나, 실리카 및 지르코니아로 이루어지는 군 중에서 선택되는 비도전성 세라믹 성분을 포함하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 세라믹제 도전층은 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 30∼45 부피% 함유하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 전도층, 저항층, 절연층 및 방수층은 각각 소결 보조 성분을 포함하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  5. 제2항에 있어서, 상기 세라믹제 저항층은 조성이 MoSi2, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 30∼45 부피% 함유하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  6. 제2항에 있어서, 상기 세라믹제 절연층 및 외부 방수층은 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 0∼28 부피% 함유하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  7. 제2항에 있어서, 상기 외부 전도층은 조성이 MoSi2, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 41∼80 부피% 함유하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  8. 제1항에 있어서, 상기 기저부의 길이를 실질적으로 연장하는 도전성의 내부 세라믹 코어를 더 포함하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  9. 제8항에 있어서, 상기 도전성의 내부 세라믹 코어는 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 41∼80 부피% 함유하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  10. 제1항에 있어서, 상기 전도층, 저항층, 절연층 및 외부 방수층은 슬립(slip) 주조되어 소지(素地; green body)를 형성하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  11. 제10항에 있어서, 상기 소지는 도전성의 세라믹 슬러리에 침지되어 외부 도전층을 형성하고, 이어서 비도전성의 세라믹 슬러리에 침지되어 외부 방수층을 형성하는 것인 세라믹제 히터 소자.
  12. 제10항에 있어서, 상기 외부 도전층 및 외부 방수층은 주조층인 것인 세라믹제 히터 소자.
  13. 배럴 및 테이퍼형 슬리브를 구비하고 있는 금속제 하우징과,
    상기 하우징 내부에 장착되는 것으로서, 상기 슬리브 내부에 쐐기 모양으로 정합하도록 테이퍼진 기저부와 이 기저부의 일단부에 성형되며 상기 기저부보다 직경이 더 작은 히터부를 포함하고, 상기 기저부와 히터부는 각각 세라믹 도전층 및세라믹 저항층을 구비하며, 상기 세라믹 도전층과 세라믹 저항층은 이들 세라믹 도전층 및 세라믹 저항층이 전기 접속되는 히터부의 선단부를 제외하고는 상기 세라믹 절연층에 의하여 분리되어 있으며, 상기 기저부는 상기 세라믹 저항층과 전기 접촉되는 외부 세라믹 도전층을 더 구비하며, 상기 기저부 및 히터부는 비도전성의 외부 세라믹 방수층이 더 마련된 세라믹제 히터 소자와,
    상기 도전층과 저항층 사이에 전위차를 인가하는 수단
    을 더 구비하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  14. 제13항에 있어서, 상기 도전층, 저항층, 절연층 및 방수층은 각각 Si3N4, 실리콘 카바이드, 질화알루미늄, 알루미나, 실리카 및 지르코니아로 이루어지는 군 중에서 선택되는 비도전성 세라믹 성분을 포함하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  15. 제13항에 있어서, 상기 세라믹 전도층은 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 30∼45 부피% 함유하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  16. 제13항에 있어서, 상기 전도층, 저항층, 절연층 및 방수층은 소결 보조 성분을 포함하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  17. 제13항에 있어서, 상기 세라믹 저항층은 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 30∼45 부피% 함유하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  18. 제13항에 있어서, 상기 세라믹 절연층 및 방수층은 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 0∼28 부피% 함유하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  19. 제13항에 있어서, 상기 외부 도전층은 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 41∼80 부피% 함유하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  20. 제13항에 있어서, 상기 기저부의 길이를 실질적으로 연장하는 도전성의 내부 세라믹 코어를 더 포함하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
  21. 제20항에 있어서, 상기 도전성의 내부 세라믹 코어는 조성이 MoSi2, Y2O3, TiN, ZrN, TiCN 및 TiB2로 이루어지는 군 중에서 선택되는 도전성 세라믹 성분을 41∼80 부피% 함유하는 것인 디젤 엔진용 예열 플러그.
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