KR20030040180A - 진공 펌프 - Google Patents

Abstract

펌프 이상이 발생하여 파괴 토오크가 발생한 경우라도, 펌프와 챔버 사이를 연결하는 체결 볼트가 꺾여서 파손되는 것을 방지하는 것으로서, 상면에 흡기구(2)를, 하부 일측부에 배기구(3)를 형성한 펌프 케이스(1)와, 케이스(1) 내에 세워져 설치된 고정자 기둥(5)에 회전자 축(7)을 통해 회전 가능하게 지지되고, 또한 외주에 다단으로 회전자 블레이드(10)를 다단으로 배치한 회전자(9)와, 케이스(1)의 내주부에 있고 상기 회전자 블레이드(10)와 번갈아 다단으로 고정 배치된 고정자 블레이드(11)와, 상기 회전자 축(7)과 고정자 기둥(5) 사이에 설치한 구동 모터(8)를 구비하고, 상기 케이스(1)의 상부 주가장자리에 설치한 플랜지(1a)를 진공 펌프(14)의 하부 개구 주가장자리에 복수의 볼트(15)를 통해 연결한 진공 펌프에 있어서, 상기 플랜지(1a)에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍(20)이 상기 챔버(14)의 부착면측을 향해 확장되어 뚫리는 복수의 단(20a, 20b, 20c) 부착 구멍으로 되어있다.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}

본 발명은 반도체 제조장치에 이용되는 진공 펌프에 관한 것으로, 특히, 파괴 토오크에 의해 펌프와 프로세스 챔버 사이를 연결하는 체결 볼트의 취성(脆性) 파괴를 방지하기 위한 구조에 관한 것이다.

반도체 제조공정에서의 드라이 에칭이나 CVD 등의 프로세스와 같이, 고진공의 프로세스 챔버 내에서 작업을 행하는 공정에서는 프로세스 챔버 내의 가스를 배기하여 상기 프로세스 챔버 내에 고진공의 상태를 얻는 수단으로서, 터보 분자 펌프라고 불리는 진공 펌프를 사용하고 있다.

도 1은 이러한 종류의 진공 펌프의 기본 구조를 도시하고 있다. 도면에서 1은 펌프 케이스이고, 이 케이스(1)는 상면의 개구부를 가스 흡기구(2)로 하고, 또한 하부 일측부에 배기구(3)가 되는 배기 파이프를 돌출하여 설치한 바닥이 있는원통형의 것이다.

케이스(1)의 바닥부는 엔드 플레이트(4)로 덮이고, 그 안 바닥면 중앙에는 고정자 기둥(5)이 세워져 설치되어 있다.

고정자 기둥(5)의 중심에는 상하로 볼 베어링(6)을 통해 회전자 축(7)이 회전 가능하게 축받이 되어 있다.

고정자 기둥(5)의 내측에는 구동 모터(8)가 배치되어 있고, 이 구동 모터(8)는 그 고정자(8a)를 고정자 기둥(5)의 내측에, 회전자(8b)를 회전자 축(7)에 배치한 구조이고, 회전자 축(7)을 그 축 중심 주위에 회전시키도록 구성되어 있다.

회전자 축(7)의 고정자 기둥(5)으로부터의 상부 돌출 단에는 고정자 기둥(5)의 외측 주위에 덮어 씌워지는 단면형으로 된 회전자(9)가 연결되어 있다.

상기 회전자(9)의 상부 외측 주위에는 복수의 회전자 블레이드(10)가 다단으로 고정 배치되어 있다. 한편, 펌프 케이스(1)의 내측에는 링 형상 스페이서(11a)를 통해 상기 각 회전자 블레이드(10)와 번갈아 복수의 고정자 블레이드(11)가 다단으로 고정 배치되어 있다.

이들 블레이드(10, 11)의 하부측에서 회전자(9)의 외측 주위에는 나사 고정자(12)가 고정 배치되어 있다. 이 나사 고정자(12)는 그 외주 형상이 회전자(9)의 하부측 외주면을 둘러싸는 통형의 형상이 되도록 형성되고, 그 내주부가 하측방을 향해 소직경화 된 테이퍼 콘 형상을 이루고, 그 테이퍼면에 나사 홈을 형성한 것이다.

그리고, 펌프 케이스(1)의 상측 가장자리 주위에는 플랜지(1a)가 형성되어있고, 이 플랜지(1a)를 프로세스 챔버(이하「챔버」라고 한다.)(14)의 하면 개구 주가장자리에 접촉시켜, 플랜지(1a)를 관통하는 복수의 체결 볼트(15)를 챔버(14)에 나사 고정함으로써, 이 펌프 케이스(1)가 챔버(14)에 연결되는 구조로 되어 있다.

다음에, 이상의 진공 펌프의 동작을 설명한다. 이 진공 펌프의 경우, 우선, 배기구(3)에 접속되는 도시하지 않은 보조펌프를 작동시켜 챔버(14) 내를 어느 정도의 진공상태로 한 후, 구동 모터(8)를 동작시키면, 회전자 축(7)과 이에 연결된 회전자(9) 및 회전자 블레이드(10)가 고속 회전한다.

그리고, 고속 회전하고 있는 최상단의 회전자 블레이드(10)가 흡기구(2)로부터 입사한 가스 분자에 하향 방향의 운동량을 부여하고, 이 하향 방향의 운동량을 가지는 가스 분자가 고정자 블레이드(11)로 안내되어, 다음단의 회전자 블레이드(10)측으로 보내진다. 이상의 가스 분자로의 운동량 부여와 이송 동작이 반복되어 다단에 행해짐으로써, 가스 흡기구(2)측의 가스 분자가 회전자(9) 하부측의 나사 고정자(12)의 내측으로 순차 이행하여 배기된다. 이러한 가스 분자의 배기 동작이 회전하는 회전자 블레이드(10)와 고정의 고정자 블레이드(11)의 상호 작용에 의한 분자 배기 동작이다.

또한, 상기와 같은 분자 배기 동작에 의해 회전자(9) 하부측의 나사 고정자(12)에 도달한 가스 분자는 회전하는 회전자(9)와 나사 고정자(12)의 내측에 형성된 나사 홈과의 상호 작용에 의해, 천이류(遷移流)로부터 점성류(粘性流)로 압축되어 가스 배기구(3)측으로 이송되고, 가스 배기구(3)로부터 도시하지 않은 보조펌프를 통해 외부로 배기된다.

그런데, 진공 펌프를 구성하고 있는 케이스(1), 회전자(9), 회전자 블레이드(10) 및 고정자 블레이드(11) 등의 구조재로서는 통상, 경합금, 그 중에서도 알루미늄 합금이 많이 이용되고 있다. 알루미늄 합금은 기계 가공이 뛰어나 정밀하게 가공하기 쉽기 때문이다. 그러나, 알루미늄 합금은 다른 재료에 비해 강도가 비교적 낮아, 사용 조건에 따라서는 크립(creep) 파괴를 일으키는 경우가 있다. 또한, 운전중, 주로 회전자 하부의 응력 집중을 기점으로 한 취성 파괴가 발생하는 경우가 있다.

그리고, 회전자(9)의 취성 파괴가 고속 회전 중에 발생하면, 회전자(9)의 외주에 일체로 구비되어 있는 회전자 블레이드(10)가 케이스(1)의 내주측에 배치되어 링 형상 스페이서(11a)에 충돌하는데, 이 충돌의 충격력에 대해 링 형상 스페이서(11a)의 강성이 낮아, 그 충격력으로 링 형상 스페이서(11a)가 직경 방향으로 팽창한다. 이 때, 링형상 스페이서(11a)와 펌프 케이스(1) 내주와의 사이에 공간이 없는 경우는 팽창된 링 형상 스페이서(11a)가 펌프 케이스(1)의 내주에 접촉하여, 펌프 케이스(1) 전체를 회전시키고자 하는 큰 파괴 토오크가 발생하며, 이 파괴 토오크에 의해, 챔버(14)를 파손하거나, 펌프 케이스(1)와 챔버(14)를 고정하고 있는 볼트(15)가 그 비틀림력에 의해 전단 파괴되는 문제가 있다.

상기 전단 파괴는 파괴 토오크의 발생에 의해, 펌프 케이스(1)의 플랜지(1a)와 챔버(14)와의 접촉면이 슬라이드면이 되고, 순간적으로 볼트 축의 접촉면 위치에 역방향의 매우 큰 힘이 작용하므로, 볼트(15)가 그 위치를 파단면으로 하여 꺾여서 파손되기 쉬워지므로 발생한다. 따라서, 일단 볼트(15)가 꺾여서 파손된 경우에는 볼트 축을 챔버(14)의 연결위치로부터 뽑아 낼 수 없고, 새롭게 탭을 세워 챔버(14)측에 남겨진 볼트 축을 제거하지 않으면 안되어, 펌프 교환작업이 번거로운 문제도 있다.

본 발명은 이상의 과제를 해결하는 것으로, 그 목적은 만일 펌프 이상이 발생하여 파괴 토오크가 발생한 경우에, 챔버로의 파괴 토오크 전달에 의한 챔버의 파손이나, 펌프와 챔버 사이를 연결하는 체결 볼트가 꺾여서 파손되는 것을 방지하고, 펌프 이상 발생 후의 펌프 교환 작업을 신속하게 행할 수 있도록 한 진공 펌프를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명이 적용되는 진공 펌프의 전체 구조를 도시하는 단면도,

도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 의한 플랜지와 챔버의 연결위치를 도시하는 주방향의 부분 단면도,

도 3a ∼ 3c는 파괴 토오크가 발생했을 때의 동작 설명용 단면도,

도 4는 본 발명의 제2 실시형태를 도시하는 주방향 부분 단면도,

도 5는 제2 실시형태의 변형예를 도시하는 주방향 부분 단면도,

도 6은 제2 실시형태의 다른 변형예를 도시하는 주방향 부분 단면도,

도 7은 본 발명의 플랜지와 챔버의 연결에 사용하는 신장 볼트를 도시하는 정면도,

도 8은 도 7의 신장 볼트를 제2 실시형태에 사용한 예를 도시하는 주방향 부분 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 펌프 케이스 1a : 플랜지

2 : 흡기구 3 : 배기구

5 : 고정자 기둥 7 : 회전자 축

8 : 구동 모터 9 : 회전자

10 : 회전자 블레이드 11 : 고정자 블레이드

14 : 챔버(프로세스 챔버) 15 : 볼트

15a : 볼트 머리부 15b : 볼트 축부

15c : 수나사부 15d : 가는 직경부

20 : 볼트 삽입 구멍 20a, 20b, 20c : 단

30, 40, 50 : 볼트 삽입 구멍 31, 41, 51 : 완충재

42 : 평 와셔 d : 간극

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 상면에 흡기구를, 하부 일측부에 배기구를 형성한 펌프 케이스와, 상기 펌프 케이스 내에 세워져 설치된 고정자 기둥에 회전자 축을 통해 회전 가능하게 지지됨과 동시에, 외주에 다단으로 회전자 블레이드를 배치한 회전자와, 상기 펌프 케이스 내주부에 있어 상기 회전자 축과 번갈아 다단으로 고정 배치된 고정자 블레이드와, 상기 회전자 축과 고정자 기둥의 사이에 설치한 구동 모터와, 상기 펌프 케이스의 상부 주가장자리에 설치한 플랜지를 챔버 하부 개구 주가장자리에 연결하는 복수의 볼트를 구비하고, 상기 플랜지에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍이 상기 챔버의 부착면측을 향해 확장되어 뚫리는 복수의 단이 있는 구멍으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이상의 구성에 의해 본 발명에서 파괴 토오크가 발생한 경우, 전단 응력이 각 단을 지점으로 이동하여 한군데에 집중하지 않고 이 사이에 충격이 흡수되므로, 볼트 축부는 단순히 소성 변형하게 되고, 이에 따라 챔버로의 파괴 토오크 전달을 저지하여 챔버의 파손을 방지함과 동시에 볼트의 파손을 방지할 수 있다.

본 발명은 상기 플랜지에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍과 볼트 축부와의 사이에 완충재가 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 것이다. 이 구조에 의하면, 완충재의 탄성 변형에 의한 완충 효과에 의해, 챔버로의 파괴 토오크 전달을 저지하여 챔버의 파손을 방지함과 동시에 볼트의 파손을 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 볼트 삽입 구멍이 상기 챔버측에서 직경이 커지는 2단의 단이 있는 구멍이고, 이 중 대직경부와 볼트 축부 사이에 완충재가 끼워져 있는 구조로 해도 되고, 또한, 상기 완충재의 볼트 축부에 대한 끼움 구멍의 상부측은 볼트 축부에 대해 간극이 발생함과 동시에, 볼트 머리부와 플랜지 사이에 와셔가 끼워져 있는 구성으로 할 수도 있고, 나아가 상기 볼트 삽입 구멍이 상기 챔버의 부착면측을 향해 직경이 확장되는 테이퍼 형상을 이루고, 또한 볼트 삽입 구멍과 볼트 축부와의 사이에 원추 사다리꼴 형상의 완충재를 끼운 구조 등, 완충재를 끼운 경우의 각종 형상 구조의 연구에 의해, 챔버로의 파괴 토오크 전달을 저지하여 챔버의 파손을 방지함과 동시에 볼트가 꺾여서 파손되는 것을 방지할 수도 있다.

본 발명에 있어서, 상기 볼트로는 그 볼트 머리부와 수나사부 사이의 몸체부가 가는 직경부로서 좁고, 이 가는 직경부의 직경이 수나사부의 골짜기 직경보다가늘게 형성되어 이루어지는 구조의 신장 볼트를 이용할 수 있다.

상기 신장 볼트를 이용하는 경우, 이 신장 볼트는 그 가는 직경부의 선단 부분이 상기 챔버측에 1 내지 2의 나사산 분량만큼 들어가도록 설정되게 할 수 있다.

상기 완충재에 대해서는 고무재로 이루어지는 구성을 채용해도 된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 진공 펌프의 기본 구조는 도 1과 동일하므로, 전체도는 생략함과 동시에, 동일 부분에는 동일 부호를 원용하여, 요부에 대해서만 다른 부호를 이용하여 설명한다.

도 2, 도 3은 본 발명의 제1 실시형태를 도시하는 것으로, 어느 것이나 플랜지(1a)의 주방향 단면의 일부를 도시하고, 도 2는 그 구조를, 도 3a∼3c는 그 작용을 설명하는 것이다.

도면에서, 볼트(15)는 일반적으로 사용되는 스테인레스 제의 것이고, 육각 구멍의 볼트 머리부(15a)와, 이에 일체화되어 소정 피치의 수나사부를 형성한 볼트 축부(15b)로 이루어져 있다.

챔버(14)의 부착면에는 플랜지(1a)의 주면에 따라, 상기 볼트 축부(15b)에 형성된 수나사부와 동일 피치의 복수의 암나사부(14a)가 형성되어 있다.

또한, 도면에는 한군데만 그려져 있지만, 실제의 볼트 부착 개수는 케이스(1)의 직경에 따라서 다르지만, 8∼12개 정도이고, 이에 따라 챔버(14)의 부착면에는 8∼12의 암나사부(14a)가 주방향 등간격으로 형성되어 있다.

이들 암나사부(14a)에 대향하여 플랜지(1a)에 형성된 볼트 삽입 구멍(20)의단면은 본 실시형태에서는 챔버(14)에 대한 부착면측을 향해 3단의 계단 형상으로 직경이 확대하는 형상으로 되어 있고, 1단째(20a)의 직경(d1)은 통상의 볼트 삽입 구멍과 동일한 직경이고, 2단째(20b)의 직경(d2)은 이보다 약간 큰 직경이며, 3단째 (20c)의 직경(d3)은 최대 직경으로 설정되어 있다.

이상의 구성에서, 이 진공 펌프에 어떠한 이상이 발생하고, 펌프 케이스(1)에 둘레 회전 방향의 파괴 토오크(F, F’)(F’는 F와 동등의 힘으로 반대 방향으로 작용하는 힘)가 발생하면, 우선 도 3a에 도시하는 바와 같이, 볼트(15)의 체결 토오크를 상회하는 강한 힘에 의해 플랜지(1a)가 둘레 방향으로 이동하는 결과, 볼트 축부(15b)는 볼트 삽입 구멍(20)의 1단째(20a)의 내측벽에 닿고, 이어서 볼트 축부(15b)의 기부(基部)보다 위의 위치에서 1단째(20a)의 상부 각부(角部)를 접촉점(CP1)으로 한 전단 응력이 발생해 구부러지고, 이어서 동 도면(b)에 도시하는 바와 같이, 2단째(20b)의 상부 각부를 접촉점(CP2)으로 하여 볼트 축부(15b)의 상부 위치가 구부러진다.

또한, 동 도면(c)에 도시하는 바와 같이, 볼트 축부(15b)의 다른 상부가 3단째(20c)의 상부 각부를 접촉점(CP3)으로 하여 더 구부러짐과 동시에, 플랜지(1a)와 챔버(14)와의 부착면 사이의 슬라이드에 의해 볼트 축부(15b)에 대한 전단력이 작용하게 된다.

이상 기술한 작용은 실제로는 순식간에 일어나지만, 볼트 축부(15b)에 대한 휘어짐 모멘트는 각 단(20a, 20b, 20c) 및 부착면의 4군데에서 시계열(어떤 현상의 시간적 변화를 관찰하여 얻은 값의 계열)적으로 발생하고, 전단 응력이 한군데에집중하지 않는 것 및 이 작용 사이에 플랜지(1a)가 주방향으로 이동하여 충격을 흡수하므로, 볼트 축부(15b)는 도 3c에 도시한 대로 단순히 소성 변형만 하게 되고, 이에 따라 챔버(14)로의 파괴 토오크 전달을 저지하여 챔버(14)의 파손을 방지함과 동시에 볼트(15)의 파손을 방지할 수 있다. 따라서, 펌프 이상 발생 후의 펌프 교환 작업시에, 탭을 세우지 않고, 스패너 등에 의해 볼트(15)를 뽑아 내는 작업이 가능해져, 펌프 교환 작업을 빠르게 행할 수 있다.

또한, 도 2, 도 3의 실시형태에 있어서, 후술하는 도 4의 실시형태와 같은 대직경부의 완충재 혹은 볼트와 볼트 삽입 구멍의 간극 전체에 걸치는 완충재를 사용하는 것도 가능하다.

도 4∼도 6은 완충재를 이용한 제2 실시형태 및 그 변형예를 나타내는 것이다.

도 4에서, 플랜지(1a)에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍(30)은 소직경부(30a)와 그 상부에 직경 확장된 대직경부(30b)의 2단으로 형성되고, 이 대직경부(30b)에 원통형으로 성형된 완충재(31)가 충전되어 있다. 여기서, 완충재(31)의 재질은 O-링과 마찬가지로 고무재 등으로 이루어지는 것이다.

이 도 4의 실시형태에서 파괴 토오크 발생시에는 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 단차 부위에서의 접촉 위치의 이동에 따른 볼트 축부(15b)에 대한 휘어짐 모멘트의 분산에 추가하여, 완충재(31)의 탄성 변형에 의한 완충 효과가 발생하고, 이러한 휘어짐 모멘트 분산효과와 완충 효과에 의해, 챔버(14)로의 파괴 토오크가 전달을 저지하여 챔버(14)의 파손을 방지함과 동시에 볼트 축부(15b)의 파손이 방지된다.

도 5는 제2 실시형태의 변형예를 나타내는 것이다. 이 도 5에서, 플랜지(1a)에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍(40)은 전체가 대직경의 직원통형이고 그 내부에 완충재(41)를 통해 볼트 축부(15b)를 삽입하는 것으로 하고, 그 볼트 축부(15b)의 선단 수나사부가 챔버(14)측의 암나사부(14a)에 나사로 고정되도록 구성하고 있다. 여기서, 완충재(41)는 볼트 삽입 구멍(30)에 압입하여 끼워지는 직원통형을 이루고, 그 상부 내주 직경을 볼트 축부(15b)보다 큰 직경으로 하고, 볼트 축부(15b)와의 사이에 소정의 간극(d)을 형성하고 있다. 또한, 볼트 머리부(15a)와 플랜지(1a)와의 사이에는 평 와셔(42)가 끼워지고, 이에 따라 볼트 삽입 구멍(30a)에 대한 머리부(15a)의 접촉 면적의 증가가 도모되고 있다.

이 도 5의 변형예에 의하면, 완충재(31)의 탄성 변형에 의한 완충 효과에 추가하여, 축부(15b)의 선단측에서 간극(d)이 형성됨에 의한 축부(15b)의 소성 변형 영역을 충분히 확보할 수 있으며 또한, 와셔(42)의 끼워짐에 의해 볼트(15)의 이동도 가능해지고, 이에 따라 챔버(14)로의 파괴 토오크 전달을 저지하여 챔버(14)의 파손을 방지함과 동시에 볼트 축부(15b)의 꺽여 파손됨을 방지할 수 있다.

도 6은 제2 실시형태의 다른 변형예를 나타내는 것이다. 이 도 6에서, 플랜지(1a)에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍(50)은 상부로 향해 확장되어 뚫리는 테이퍼 형상의 구멍으로서, 이 삽입 구멍(50)과 축부(15b) 사이에는 원추 사다리꼴 형상의 완충재(51)가 충전되어 있다.

이 도 6의 변형예에 의하면, 축부(15b)에 상정(想定)된 휘어짐 모멘트에 의한 변형 영역과 상이한 몇 개의 도형의 완충재(51)가 배치되어 있으므로, 변형 영역에 따라 균등한 완충 효과가 작용하고, 이에 따라 챔버(14)로의 파괴 토오크 전달을 저지하여 챔버(14)의 파손을 방지함과 동시에 볼트 축부(15b)의 꺾여 파손됨을 방지할 수 있다.

또, 도 6에서, 완충재(51) 없이 하는 것도 가능하다.

다음에, 본 발명의 플랜지(1a)와 챔버(14)를 연결하는 볼트로서 신장 볼트를 사용한 경우에 대해 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다.

도 7에 도시한 신장 볼트는 주지와 같이, 볼트 머리부(15a)와 수나사부(15c) 사이의 몸체부가 좁은 가는 직경부(15d)로 된 볼트로, 가는 직경부(15d)의 직경은 수나사부(15c)의 골짜기 직경보다 가늘게 형성되고, 볼트에 이상 하중이 가해졌을 때, 가는 직경부(15d)가 신장하여 주변 부품의 손상 등을 회피하는데 이용된다.

본 발명에 이용하는 체결 볼트에 이 신장 볼트를 사용하면, 챔버로의 파괴 토오크의 전달 저지, 볼트가 꺾여서 파손되는 것을 방지하는 본 발명의 작용을 한층 더 확실하게 한다.

도 8은 신장 볼트 사용예로, 이 파괴 토오크의 전달 저지, 볼트가 꺾여서 파손되는 것의 방지 작용을 설명한다. 챔버(14)측의 암나사부(14a)에 나사 고정된 신장 볼트(15)의 가는 직경부(15d)의 선단 부분이 챔버(14)측에 나사산 1∼2산만큼 들어가 있도록 설정되어 있다. 가는 직경부(15d)와 챔버(14)측의 암나사부(14a)와의 사이에는 공간이 있다. 이 상태에서 파괴 토오크가 플랜지(1a)에 가해지면, 도 3의 경우와 마찬가지로, 신장 볼트(15)에 전단력, 장력이 가해지는데, 신장볼트(15)는 그 가는 직경부(15d)가 충분 공간이 있는 볼트 삽입 구멍(20) 내에서 신장되고 또한 구부러지며, 경우에 따라서는 가는 직경부(15d)에서 절단하여, 수나사부(15c) 등 볼트의 다른 부분은 변형을 면한다. 파괴 토오크의 에너지는 신장 볼트의 가는 직경부(15d)의 변형에 의해 흡수된다.

따라서, 볼트의 수나사부(15c)나 챔버(14)의 암나사부(14a)도 전혀 변형되지 않고, 챔버(14)의 암나사부(14a)에서 체결 볼트(15)를 용이하게 빼낼 수 있다.

또한, 도 8의 실시형태에 있어서도, 신장 볼트(15)와 볼트 삽입 구멍(20)의 간극 상부, 혹은 전부에 완충재를 사용하는 것도 가능하다.

이상의 설명에 의해 명백한 바와 같이, 본 발명에 관한 진공 펌프에 있어서는 플랜지에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍이 챔버의 부착면측을 향해 확장되어 뚫리는 복수의 단이 있는 구멍으로 되어 있는 구조를 채용하였기 때문에, 만일 펌프 이상이 발생하여 파괴 토오크가 발생한 경우라도, 챔버로의 파괴 토오크의 전달에 의한 챔버 파괴를 방지하고, 또한, 펌프와 챔버 사이를 연결하는 체결 볼트가 꺾여서 파손되는 것을 방지하여 펌프 이상 발생 후의 펌프 교환처리를 신속하게 행할 수 있다.

Claims (8)

1. 상면에 흡기구를, 하부 일측부에 배기구를 형성한 펌프 케이스와,

   상기 펌프 케이스 내에 세워져 설치된 고정자 기둥에 회전자 축을 통해 회전 가능하게 지지됨과 동시에, 외주에 다단으로 회전자 블레이드를 배치한 회전자와,

   상기 펌프 케이스 내주부에 있어 상기 회전자 축과 번갈아 다단으로 고정 배치된 고정자 블레이드와,

   상기 회전자 축과 고정자 기둥 사이에 설치한 구동 모터와,

   상기 펌프 케이스의 상부 주가장자리에 설치한 플랜지를 챔버의 하부 개구 주가장자리에 연결하는 복수의 볼트를 구비하고,

   상기 플랜지에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍이 상기 챔버의 부착면측을 향해 확장되어 뚫리는 복수의 단이 있는 구멍으로 되어있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
2. 제1항에 있어서,

   상기 플랜지에 개구로 형성된 볼트 삽입 구멍과 볼트 축부와의 사이에 완충재가 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
3. 제2항에 있어서,

   상기 볼트 삽입 구멍이 상기 챔버측에서 직경이 커지는 2단의 단이 있는 구멍이고, 이 중 대직경부와 볼트 축부와의 사이에 상기 완충재가 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
4. 제2항에 있어서,

   상기 완충재의 볼트 축부에 대한 끼움 구멍의 상부측은 볼트 축부에 대해 간극이 생김과 동시에, 볼트 머리부와 플랜지 사이에 와셔가 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
5. 제2항에 있어서,

   상기 볼트 삽입 구멍이 상기 챔버의 부착면측을 향해 직경이 확대되는 테이퍼 형상을 이루고, 또한 볼트 삽입 구멍과 볼트 축부와의 사이에 원추 사다리꼴 형상의 완충재를 끼운 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
6. 제1항에 있어서,

   상기 볼트로서 그 볼트 머리부와 수나사부와의 사이의 몸체부가 가는 직경부로서 좁고, 이 가는 직경부의 직경이 수나사부의 골짜기 직경보다 가늘게 형성되어 이루어지는 구조의 신장 볼트를 이용한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
7. 제6항에 있어서,

   상기 신장 볼트는 그 가는 직경부의 선단 부분이 상기 챔버측으로 1 내지 2의 나사산 분량만큼 들어가도록 설정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
8. 제2항에 있어서,

   상기 완충재가 고무재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.