KR20030025616A - 식각 종말점 검출창 및 이를 채용하는 식각 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
파티클 검사로트 (개) | 정상 로트(개) | 파티클발생로트(개) | 정상로트율(%) | |
종래 식각 장치 #1(도4) | 191 | 166 | 25 | 86% |
종래 식각 장치 #2(도5) | 38 | 16 | 22 | 42% |
합 계 | 229 | 182 | 47 | 78% |
본발명의 식각 장치 #1(도4) | 31 | 27 | 4 | 87% |
본발명의 식각 장치 #2(도5) | 34 | 32 | 2 | 94% |
합 계 | 65 | 59 | 6 | 91% |
Claims (10)
- 식각 장치에서 식각 공정이 수행되는 가공 챔버의 일측에 체결되고, 식각 중에 방출되는 광의 이동 경로가 되는 관통홀이 형성되고, 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진 본체; 및상기 본체의 관통홀로 이동한 광이 상기 본체를 경유하여 나가는 부위에 밀착되고, 석영(quartz)으로 형성되어 상기 광을 상기 가공 챔버의 외부로 투과시키는 캡핑부를 구비하는 것을 특징으로 하는 식각 장치에 포함되는 식각 종말점 검출창.
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 표면에 산화 알루미늄(Al2O3) 피막이 형성된 것을 특징으로 하는 식각 장치에 포함되는 식각 종말점 검출창.
- 제1항에 있어서, 상기 본체의 외측벽에는 상기 가공 챔버에 상기 본체를 고정시키기 위한 제1 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 식각 종말점 검출창.
- 제1항에 있어서, 상기 캡핑부는 상기 본체로부터 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 식각 장치에 포함되는 식각 종말점 검출창.
- 제1항에 있어서, 상기 본체는 상기 광이 경유하여 나가는 관통홀의 소정 지름에서부터 상기 본체 하부면의 가장자리의 소정 부위까지 연장되는 제2 홈과, 상기 제2 홈의 측면으로부터 수직 방향으로 형성되는 제3 홈을 갖고, 상기 캡핑부는 상기 제3 홈으로 억지끼움에 의해 삽입되어, 상기 관통홀 하부면 전체를 석영에 의해 커버하는 것을 특징으로 하는 식각 장치에 포함되는 식각 종말점 검출창.
- 기판 상에 형성되어 있는 막들을 식각하여 설정된 패턴을 형성하기 위한 가공 챔버;상기 가공 챔버의 일측에 체결되고, 상기 식각중에 방출되는 광이 상기 가공 챔버의 외부로 투과하도록 구성되고, 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 형성되는 식각 종말점 검출창; 및상기 식각 종말점 검출창을 투과한 광의 파장을 검사하여 식각 종말점을 검출하는 검출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조에 사용되는 식각 장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 식각 종말점 검출창은,식각 중에 방출되는 광의 이동 경로가 되는 관통홀을 갖고, 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어지는 본체; 및상기 본체의 관통홀로 이동한 광이 상기 본체를 경유하여 나가는 부위에 밀착되고, 석영으로 형성되어 상기 광을 상기 가공 챔버의 외부로 투과시키는 캡핑부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조에 사용되는 식각 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 본체는 표면에 산화 알루미늄 피막이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조에 사용되는 식각 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 식각 종말점 검출창에는 상기 투과된 광을 상기 검출부로 전달하기 위한 광 케이블이 연결되는 것을 특징으로 하는 식각 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 검출부는 특정 파장을 통과시키는 광학 필터, 분광기, 및 특정 파장을 증폭한 후 전기적 신호로 변환하는 PMT(photomultiplier tube)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조에 사용되는 식각 장치.
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