KR20030019232A - 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법 및 증착 마스크 - Google Patents

일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법 및 증착 마스크 Download PDF

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Abstract

EL 표시 패널의 증착 패터닝 정밀도를 향상시킨다. 증착 마스크(12)를 증발원(16)과 플라스틱 기판(10) 사이에 배치하고, 증착 마스크(12)에 형성되어 있는 EL 소자의 증착층의 패턴에 대응한 개구부에 의해 선택적으로 증발원(16)으로부터의 증발 물질을 선택적으로 통과시켜 플라스틱 기판(10) 위에 증착층을 형성한다. 이 증착 마스크 재료로서, 열팽창 계수가 플라스틱 기판(10)과 동등, 예를 들면 ±30% 이내의 재료, 예를 들면 폴리이미드 등의 플라스틱 재료를 채용한다. 또한, 내열성에 대해서는 플라스틱 기판(10)보다 예를 들면 50℃ 정도 이상 높은 재료가 보다 바람직하다. 이러한 재료를 증착 마스크에 채용함으로써 증착 시에 플라스틱 기판의 열 변형과 증착 마스크의 열 변형을 동일한 정도로 할 수 있어, 증착 패터닝 정밀도를 향상시킬 수 있다.

Description

일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법 및 증착 마스크{METHOD OF FABRICATING ELECTRO-LUMINESCENCE ELEMENT AND DEPOSITION MASK}
본 발명은 플라스틱 기판 위에 형성되는 EL 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
각 화소에 발광 소자로서 유기 EL 소자 등을 채용한 EL 표시 패널이 알려져 있으며, 자발광의 플랫 패널로서, 그 보급이 기대되고 있다.
유기 EL 소자로서는 유리 기판 위의 ITO 등의 투명 전극으로 이루어지는 양극과 Al이나 마그네슘 합금 등의 금속 전극으로 이루어지는 음극 사이에 발광층을 포함하는 유기층이 적층된 구조가 알려져 있다.
이러한 유기 EL 소자의 제조에 있어서, 유기층이나 금속 전극의 형성에는 증착 방법이 채용되고 있으며, 증착에 있어서는 각층에 요구되는 소정 패턴에 대응한 개구부를 포함한 증착 마스크가 이용된다. 예를 들면, 유기 EL 소자에 이용되는 유기층 재료는 수분에 대하여 친화성이 없기 때문에, 기판 전면에 유기층을 형성한 후에 에칭하여 소정 형상으로 패터닝하는 등의 방법을 채용할 수 없으므로, 증착 마스크에 의해 사전에 증착 영역을 한정함으로써 증착과 동시에 유기층의 패터닝이 행해지고 있다.
증착은, 진공 챔버 내에 처리 대상인 소자 기판을 그 증착면을 아래로 향하여 세트하고, 증착 마스크는 기판의 증착면과 증발원 사이에 배치한 후, 증발원을 가열하여 증착 재료를 증발시키고, 마스크의 개구부를 통해 기판 표면에 부착시킴으로써 행해진다. 증착에서, 분위기 온도는 실온으로 설정되지만, 증발원을 가열하여 증착 재료를 증발시키기 때문에, 증발원 부근, 및 고온에서 날아오는 증발물을 차단하는 마스크 및 증착물이 퇴적되는 소자 기판도 상온보다 높은 온도가 된다.
한편, 마스크로는 니켈 마스크가 통상적으로 이용되고 있다. 이것은 스테인리스 기재(基材) 등의 상에 소정 패턴의 레지스트를 형성하고, 전착에 의해 니켈 마스크를 형성하는 방법이 확립되어 있으며, 양호한 정밀도의 마스크를 안정적으로 제조할 수 있기 때문이다.
현재 양산화가 진행되고 있는 유기 EL 표시 패널에서는, 내열성이 높은 유리 기판이 이용되고 있지만, 패널의 보다 대형화·박형화 등의 관점에서, 기판으로서 유리가 아니고, 플라스틱의 채용이 시도되고 있다. 유기 EL 소자에서는, 유기층의 양극과 음극에 끼워진 영역이 발광하기 때문에, 유기층과 전극에서 형성 위치에 어긋남이 생기면, 화소마다 발광 면적이나 발광 강도가 변동되게 된다. 따라서, EL 표시 패널의 제조에 있어서는 적층하는 각층의 패터닝을 정확하게 행할 필요가 있지만, 실제로 니켈 마스크를 이용하여 증착한 증착층은 충분한 패터닝 정밀도를 얻을 수 없다는 문제가 있었다.
본 발명자들은, 이 문제에 대하여, 반복 실험을 행하여 검토한 결과, 종래의 니켈 마스크의 열팽창율(130×10-7/K)이 플라스틱 기판과 크게 다르기 때문에, 패터닝 정밀도가 저하되고 있는 것이 원인인 것을 밝혀내었다.
본 발명은 증착에 있어서 고정밀도의 패터닝을 행할 수 있는 EL 표시 패널의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 증착 공정을 설명하는 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 증착 마스크의 평면 구조의 일례를 도시하는 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 방법에 의해 제조되는 유기 EL 표시 패널의 화소의 일부 단면 구조를 도시하는 도면.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉
10 : 플라스틱 기판
12 : 증착 마스크
14 : 지지 기구
16 : 증발원
18 : 흡착 기구
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서 이루어진 것으로, 다음과 같은 특징을 갖는다.
즉, 플라스틱 기판 위에의 복수의 일렉트로 루미네센스 소자를 제조하는 방법으로서, 일렉트로 루미네센스 소자의 증착층을 형성하기 위해서 증발원에서 증착 소자 재료를 증발시켜, 플라스틱 기판 위에 증착할 때에, 열팽창 계수가 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 재료를 이용한 증착 마스크를 이용하고, 해당 증착 마스크를 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치하여, 상기 증착 소자 재료의 증착과 동시에 상기 증착층을 패터닝한다.
본 발명의 다른 양태에서는, 플라스틱 기판 위에 증발원으로부터의 증발 물질을 선택적으로 통과시켜 일렉트로 루미네센스 소자의 증착층을 소망 패턴으로 형성하기 위한 개구부를 구비하고, 상기 플라스틱 기판 위에 상기 증착층을 형성할 때, 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치되는 증착 마스크로서, 열팽창 계수가 플라스틱의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 재료로 구성되어 있다.
본 발명의 다른 양태에서는, 상기 증착 마스크의 재료는 상기 플라스틱 기판보다 50℃ 정도 이상 높은 내열성을 갖는다.
이상과 같이 증착 마스크의 재료로서 소자의 플라스틱 기판에 이용되는 플라스틱과 같은 정도의 열팽창 계수를 갖는 재료를 이용함으로써, 증발원에 의해 가열되는 것에 기인하는 증착 마스크의 열 변형과 플라스틱 기판의 열 변형이 동등한 정도로 되어, 증착 마스크의 열 변형이 캔슬되므로, 플라스틱 기판 위에 증착층을 양호한 정밀도로 패터닝할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에서는, 플라스틱 기판 위에의 복수의 일렉트로 루미네센스 소자를 제조하는 방법에 있어서, 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 증착 소자층을 형성하기 위해서 증발원에서 증착 소자 재료를 증발시켜, 플라스틱 기판 위에 증착할 때에, 적어도 마스크 파지부에 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 열팽창 계수를 갖는 재료가 이용된 마스크 지지 기구에 의해, 증착 마스크를 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치하고, 상기 증착 소자 재료의 증착과 동시에 상기 증착 소자층을 패터닝한다.
또한, 상기 증착 마스크 및 상기 마스크 파지부의 재료는, 상기 플라스틱 기판보다 50℃ 정도 이상 높은 내열성을 가진 것을 이용할 수 있다. 내열성이 플라스틱 기판보다 50℃ 이상 높아, 플라스틱 기판보다 증착원 측에 배치되는 중착 마스크 및 마스크 파지부는 충분한 내구성을 발휘할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에서는, 플라스틱 기판 위에의 복수의 일렉트로 루미네센스 소자를 제조하는 방법에 있어서, 일렉트로 루미네센스 소자의 증착층을 형성하기 위해서 증발원에서 증착 소자 재료를 증발시켜, 플라스틱 기판 위에 증착할 때에, 열팽창 계수가 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 재료를 이용한 증착 마스크를 이용하고, 적어도 마스크 파지부에 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 열팽창 계수를 갖는 재료가 이용된 마스크 지지 기구에 의해, 증착 마스크를 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치하고, 상기 증착 소자 재료의 증착과 동시에 상기 증착 소자층을 패터닝한다.
이와 같이, 마스크 파지부로서, 플라스틱 기판과 마찬가지인 열팽창 계수를갖는 재료, 즉 증착 마스크와 유사한 열팽창 계수의 재료를 채용함으로써, 증착 시에 파지부의 온도가 상승해도, 이 파지부와 증착 마스크 사이에서의 열 응력이 작아, 과대한 응력이 증착 마스크에 걸리는 것을 방지할 수 있다.
〈실시예〉
이하, 본 발명의 실시예에 대하여, 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 실시예에 따른 제조 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
EL 패널을 구성하기 위한 플라스틱 기판(10)의 하방에는 플라스틱 기판(10)보다 전체적으로 큰 증착 마스크(12)가 배치된다. 도 1에서는 플라스틱 기판(10)을 분리하여 도시했지만, 실제로는 거의 전면에서 접하고 있다. 마스크(12)의 단부는 지지 기구(14)에 의해 지지된다.
증착 마스크(12)의 하방에는 증발 재료를 가열(예를 들면 300℃ 정도)하는 증발원(16)이 배치되어 있다. 본 예에서는 이 증발원(16)은 도 1에서의 좌우 방향 및 전후 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 증발원(16)을 이동함으로써, 플라스틱 기판(10)의 전면에 마스크(12)의 개구부를 통해 증발물을 증착한다. 이 증착 마스크(12)는 형성해야 할 증착층(유기 EL 소자의 유기층 등)의 패턴에 대응한 개구부를 갖고 있으며, 예를 들면 화소별로 독립된 유기 발광층을 형성하는 경우에 이용하는 증착 마스크(12)에서는, 도 2에 도시한 바와 같은 패턴으로 개구부가 형성되어 있다.
도 2는 이 증착 마스크(12)의 평면 구조의 예를 도시하고 있다. 이 마스크(12)는 유기 EL 소자의 발광층 등의 유기층을 형성하기 위한 마스크의 일례이다. 또, 유기 EL 소자의 구조에 대해서는 후술한다. 마스크(12)에는 플라스틱 기판에 매트릭스 형상으로 배치되는 R, G, B용 유기 EL 소자의 대응 발광 영역 내, 동일 색의 발광 영역에만 개구부가 형성되어 있다. 이 마스크(12)는 유기 EL 소자를 R, G, B마다 각기 다른 유기 발광 재료 등으로 형성하는 경우에 이용할 수 있고, 하나의 색의 유기층 또는 발광층을 형성할 때, 도 1과 같이 플라스틱 기판(10)의 하방에 배치하여 증착하고, 증발원(16)의 증발 재료를 변경하고, 또한 증착 마스크(12)는 다른 색용으로 변경하거나, 또는 마스크 개구부가 플라스틱 기판(10)과의 상대 관계에 있어서 도 2의 일점쇄선의 위치가 되도록 이동시켜, 다른 색의 유기층을 순차적으로 증착 형성한다.
또한, 플라스틱 기판(10)의 상방에는, 필요에 따라 정전 흡착 기구(18) 등을 배치함으로써, 증착 마스크(12)를 흡착하여 마스크 중심부가 자기 중량으로 하방을 향하여 휘어지는 것을 방지하고 있다.
이러한 장치에 있어서, 소정의 증발 재료를 증발원(16)에 세트함과 함께, 대응하는 마스크(12)를 세트하여 증착을 행한다. 실제로는 증발원(16)의 증발 재료 및 마스크(12)를 변경하여, EL 패널을 형성하기 위한 각층을 순차적인 증착에 의해 적층한다.
본 실시예에서는 상술한 바와 같이 EL 패널 기판으로서 플라스틱 기판(10)을 이용하고 있으며, 증착 마스크(12)의 재료로서, 열팽창 계수가 플라스틱 기판(10)의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 재료, 예를 들면 플라스틱 재료를 이용한다. 이에 의해, 본 실시예와 같이 증착원(16)이 이동 가능하게 구성된 경우에 있어서, 증착원이 접근했을 때, 증착 마스크(12) 및 플라스틱 기판(10)의 온도 상승에 의한 열 변형이 같은 정도로 된다.
또한, 증착 마스크(12)는 증착 대상인 플라스틱 기판(10)보다 고온인 증착원(16)의 근처에 배치되기 때문에, 증착원(16)과의 거리에도 의하지만, 마스크 온도는 플라스틱 기판(10)보다 20℃∼30℃ 가까이 높은 온도로 된다. 이것은 도 1과 같이 증착원(16)을 이동시켜 증착을 행하는 경우에 있어서는, 증착원(16)이 근접하면 국부적으로 마스크 온도가 20℃∼30℃ 가깝게 상승하게 된다. 따라서, 내열성에 대해서는 상기 마스크와 기판과의 온도 차를 고려하여, 기판(10)보다 증착 마스크(12)가 40℃∼50℃ 이상 높은 내열성을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 열팽창 계수에 대해서는 이 증착 마스크(12)와 플라스틱 기판(10)과의 온도 차를 고려하여, 마스크 재료의 열팽창 계수는 플라스틱 기판보다 상기 온도 차에 상당하는 분만큼 열팽창 계수가 낮은 재료를 이용하면 보다 바람직하다.
플라스틱 기판(10)으로서, 예를 들면 열팽창 계수가 2.7×10-5/K(켈빈) 정도로, 내열성(유리 전이 온도)이 150℃인 폴리카보네이트(PC: Polycarbonate)를 이용한 경우, 증착 마스크(12)의 플라스틱 재료로는 동일 재료인 폴리카보네이트(고내열성 폴리카보네이트[유리 전이 온도 205℃ 정도]를 포함함), 열팽창 계수가 상기 폴리카보네이트와 동등한 폴리이미드(PI: Polyimide)[열팽창 계수 2.0×10-5/K∼2.5×10-5/K, 유리 전이 온도 275℃ 정도], 폴리아릴레이트(PAR: Polyarylate)[열팽창계수 2.0×10-5/K∼2.5×10-5, 유리 전이 온도 215℃ 정도], 폴리에테르설폰(PES: Polyethersulphone)[열팽창 계수 2.5×10-5/K, 유리 전이 온도 215℃ 정도] 등을 들 수 있다.
이들 재료는 폴리카보네이트의 내열성(유리 전이 온도)이 150℃ 정도인 것에 대하여, 모두 내열성이 50℃ 이상 높다. 따라서, 증착 마스크(12)에 이 폴리이미드를 이용하면 상술한 바와 같이 플라스틱 기판(10)보다 고온으로 되어도 충분한 내구성을 얻을 수 있게 된다.
이상에서 예시한 플라스틱 재료로는 한정되지 않지만, 증착 마스크 재료로서, 플라스틱 기판(10)과 근사한 열팽창 계수, 예를 들면 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내, 보다 바람직하게는 26% 이내의 재료를 이용함으로써, 증착 시에 증착 마스크(12)의 열팽창과 플라스틱 기판(10)의 열팽창이 상쇄되어, 온도 상승의 영향을 배제함으로, 정확한 패터닝을 행할 수 있다.
또한, 마스크 지지 기구(마스크 프레임)(14)에 대해서는, 이 지지 기구(14)가 증착 마스크(12)의 단부를 파지하는 구성인 경우에, 지지 기구(14)의 적어도 마스크 파지부(20)를 증착 마스크(12)와 동등한 열팽창율을 구비한 재료로 구성하는 것이 바람직하다. 즉, 예를 들면 상기 증착 마스크(12)에 채용 가능한 플라스틱 외, Al(열팽창 계수 2.4×10-5/K)이나, 종래의 Ni 마스크 재료 등보다 열팽창 계수가 큰 Ni 재료(열팽창 계수 3.51×10-5/K∼열팽창 계수 1.89×10-5/K) 등의 재료를마스크 파지부(20)에 이용한 마스크 지지 기구가 바람직하다. 이러한 재료를 이용함으로써, 열전도 등에 의해 파지부 온도가 상승한 경우에 증착 마스크(12)에 과대한 응력이 걸리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 증착 마스크(12)와 마스크 파지부(20)가 마찬가지로 열 변형함으로써, 파지력을 잃기 어렵다. 또한, 증착 마스크의 재료에 관계없이, 마스크 지지 기구(14)의 적어도 마스크 파지부(20)에는 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 열팽창 계수이고, 보다 바람직하게는, 플라스틱 기판보다 내열성이 적어도 50℃ 이상 높은 상기 증착 마스크 재료로 설명한 바와 같은 재료를 이용함으로써, 플라스틱 기판보다 증착원(16)측의 위치하는 마스크 지지 기구(14)로서 필요한 마스크의 지지 기능과 내구성을 달성할 수 있다.
유기 EL 소자는, 예를 들면 도 3에 도시한 바와 같은 단면 구조를 구비하고 있으며, 플라스틱 기판(10) 위에, 제1 전극(90), 유기층(100) 및 제2 전극(92)이 이 순서대로 적층되어 구성되어 있다. 제1 전극(90)은 ITO(Indium Tin Oxide) 등을 이용한 투명 전극으로서, 양극으로 기능하며, 제2 전극(92)은 예를 들면 알루미늄이나 그의 합금 등이 이용된 금속 전극으로서, 음극으로 기능한다. 유기층(100)은 예를 들면 제1 전극(90)측으로부터 정공 수송층(110), 발광층(120) 및 전자 수송층(130)이 이 순서대로 적층되어 구성되어 있다. 그리고, 이들 유기 EL 소자를 구성하는 층 중, 유기층(100), 제2 전극(92) 등이 증착 방법에 의해 형성되어 있으며, 그 때 증착되는 층에 요구되는 패턴에 따라 개구부가 형성된 상술한 바와 같은 증착 마스크(12)를 이용한다. 또, 각 화소에 형성되는 유기 EL 소자를 박막 트랜지스터 등의 스위치 소자에 의해 개별적으로 제어하는 액티브 매트릭스형 유기 EL 패널인 경우에는, 도 3의 제1 전극(90)과 플라스틱 기판(10)과의 층간에 스위치 소자를 형성한다. 스위치 소자를 이용하지 않는 단순 매트릭스형 패널의 경우에는, 각각 스트라이프 형상의 제1 전극(90)과, 제2 전극(92) 사이에 유기층(100)을 끼워 교차하는 구조로 형성된다. 이들에 있어서 1패널 상에 R, G, B의 각 발광색을 나타내는 유기 EL 소자를 형성하여 풀 컬러 표시 패널로 하는 경우에는, R, G, B용 각 색별로 독립된 패턴의 발광층을 형성하거나, 각 화소별로 독립된 패턴의 발광층을 형성할 필요가 있다. 특히 화소마다 발광층 등을 증착 형성하는 경우에는, 증착하는 층과 다른 층과의 위치 관계의 여유가 작기 때문에 위치 정렬 정밀도가 높아야 한다. 이 경우에도, 증착 마스크(12)로서, 열팽창율이 플라스틱 기판(10)과 같은 정도의 재료를 이용하기 때문에, 증착 시의 플라스틱 기판(10)과 증착 마스크(12)와의 변형량의 차가 적어, 정확하게 패터닝할 수 있다.
이상 본 발명에 따르면, 플라스틱 기판 위에 형성되는 유기 EL 소자 등의 증착층을 증착 마스크에 의해 성막과 동시에 패터닝하는 경우에, 플라스틱 기판과 증착 마스크가 열 변형해도 이들 변형량이 동등하기 때문에, 증착층의 패터닝 정밀도를 향상시킬 수 있다.

Claims (7)

  1. 플라스틱 기판 위에의 복수의 일렉트로 루미네센스 소자를 제조하는 방법에 있어서,
    일렉트로 루미네센스 소자의 증착층을 형성하기 위해서 증발원에서 증착 소자 재료를 증발시켜, 플라스틱 기판 위에 증착할 때에, 열팽창 계수가 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 재료를 이용한 증착 마스크를 이용하고,
    상기 증착 마스크를 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치하여, 상기 증착 소자 재료의 증착과 동시에 상기 증착층을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증착 마스크의 재료는, 상기 플라스틱 기판보다 50℃ 정도 이상 높은 내열성을 갖는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법.
  3. 플라스틱 기판 위에의 복수의 일렉트로 루미네센스 소자를 제조하는 방법에 있어서,
    상기 일렉트로 루미네센스 소자의 증착 소자층을 형성하기 위해서 증발원에서 증착 소자 재료를 증발시켜, 플라스틱 기판 위에 증착할 때에, 적어도 마스크파지부에 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 열팽창 계수를 갖는 재료가 이용된 마스크 지지 기구에 의해, 증착 마스크를 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치하고, 상기 증착 소자 재료의 증착과 동시에 상기 증착 소자층을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법.
  4. 플라스틱 기판 위에의 복수의 일렉트로 루미네센스 소자를 제조하는 방법에 있어서,
    일렉트로 루미네센스 소자의 증착층을 형성하기 위해서 증발원에서 증착 소자 재료를 증발시켜, 플라스틱 기판 위에 증착할 때에, 열팽창 계수가 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 재료를 이용한 증착 마스크를 이용하고,
    적어도 마스크 파지부에 상기 플라스틱 기판의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 열팽창 계수를 갖는 재료가 이용된 마스크 지지 기구에 의해, 증착 마스크를 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치하고, 상기 증착 소자 재료의 증착과 동시에 상기 증착 소자층을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 증착 마스크 및 상기 마스크 파지부의 재료는, 상기 플라스틱 기판보다 50℃ 정도 이상 높은 내열성을 갖는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 제조 방법.
  6. 플라스틱 기판 위에 증발원으로부터의 증발 물질을 선택적으로 통과시켜 일렉트로 루미네센스 소자의 증착층을 소망 패턴으로 형성하기 위한 개구부를 포함하고, 상기 플라스틱 기판 위에 상기 증착층을 형성할 때, 상기 증발원과 상기 플라스틱 기판 사이에 배치되는 증착 마스크에 있어서,
    열팽창 계수가 플라스틱의 열팽창 계수에 대하여 ±30% 이내의 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 마스크.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 증착 마스크의 재료는 상기 플라스틱 기판보다 50℃ 정도 이상 높은 내열성을 갖는 것을 특징으로 하는 증착 마스크.
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