KR20030015382A - 전도성 영역을 함유하는 분말 침착용 기판 - Google Patents
전도성 영역을 함유하는 분말 침착용 기판 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은, 특히,
입자가 정전기 침착에 의해 침착될 소정의 영역을 규정하기에 적합한 홀(23) 패턴을 갖는 유전성 필름층(21); 및
유전성 필름(21)에 대해 적층된 전도성 필름(a) 또는 홀(23) 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는, 중합체를 포함하는 전도성 부재(22)[전도성 부재가 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는 경우, 홀 내부에 나타나는 전도성 부재 부분이 전도성 상감을 포함한다]를 포함하며,
당해 전도성 부재(22)가 하나 이상의 전극 패드와 접촉하여 소정 영역에서 전위를 제공하고, 유전성 필름(21)이 소정 영역을 전기적으로 고립시킴을 특징으로 하는 전도성 상감 필름을 제공한다.
Description
본 발명은, 전기력으로 분말을 구인(attraction)하여 이를 국부 침착시키는 기술을 사용하여 분말을 상부에 침착시킨, 지지체로서 사용되는 기판에 관한 것이다.
본 출원인 또는 본 출원인과 함께 연구한 이들은 전기력을 사용하여 물질의 침착을 조절하는 장치 및 기술을 선행 문헌에서 기술한 바 있다. 이러한 침착에 의해, 기판의 공간적으로 분해된 영역으로, 예를 들면, 약제를 조절된 양으로 침착시킬 수 있다. 이들 기술은 전형적으로, 입자 또는 과립을 구인하는 전기력(예: 정전기력)을 제공하는 장치["정전기 척(chuck)"]에 탑재된 기판 위에 하전된 입자 또는 과립을 침착시킨다. 당해 입자 또는 과립은 전형적으로 하전된 상태이나, 입자 또는 과립의 분극화 유도를 통해 구인이 이루어질 수 있다. 정전기 척은, 예를 들면, 전위가 인가되어 인력을 생성시키는 전극 패드를 갖는다. 전위가 상이한 인접 전극을 사용하여 인력을 형성시키거나 입자 또는 과립을 바람직하지 않은 위치로부터 이동시킬 수 있다. 이러한 정전기 척의 하나가 도 3에 도시되어 있다. 일단 소정의 위치로 구인된 과립 또는 입자는 이로부터 도체에 가장 근접한 곳을 통해 화상력을 유도할 수 있으며, 이러한 화상력은 과립 또는 입자를 유지시키는 힘에 크게 기여할 수 있다. 다른 보존력이 다른 전하 및 전하 재분배 유도력, 충전력 및 반 데르 발스력을 포함한다.
당해 기술에 대한 한계는 소정의 위치에 효과적으로 구인될 수 있는 입자 또는 과립의 양이다. 이러한 한계의 한가지 원인은 소정의 침착 위치에 인접한 전기력의 강도 및 편재에 대한 실제적인 한계이다. 본 발명은, 전도성 물질이 패턴화 상감(patterned inlay)되어 있는 침착용 기판을 형성시킴으로써 이러한 문제를 극복하며, 여기서 전도성 상감 물질은 정전기 척의 전극 패드에 인접하거나 이로부터의 연장물로서 작용하여 침착 위치 주변의 전하 밀도를 증대시킨다. 본 발명은 침착 상태를 개질시키고 침착량을 증대시킨다.
발명의 요약
본 발명은, 예를 들면, 입자가 정전기 침착에 의해 침착될 소정의 영역을 규정하기에 적합한 홀 패턴을 갖는 유전성 필름층; 및 유전성 필름에 대해 적층된 전도성 필름(a) 또는 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는, 중합체를 포함하는 전도성 부재[전도성 부재가 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는 경우, 홀 내부에 나타나는 전도성 부재 부분이 전도성 상감을 포함한다]를 포함하며, 당해 전도성 부재가 하나 이상의 전극 패드와 접촉하여 소정 영역에서 전위를 제공하고, 유전성 필름이 소정 영역을 전기적으로 고립시킴을 특징으로 하는 전도성 상감 필름을 제공한다. 본 발명은 기판의 소정 영역에 측정된 양의 입자를 침착시키는 데 사용될 수 있으며, 이때 소정 영역에 침착된 입자의 양은 측정된 양일 수 있다.당해 측정된 양은 투여 단위를 형성하는 약제일 수 있다. 또는, 예를 들면, 전도성 상감 필름은 둘 이상의 소정 영역에 측정된 양의 진단 시약을 갖는 진단 제품을 포함할 수 있다.
본 발명은 또한, 표면과 접촉하는 하나 이상의 전극을 포함하는 정전기 척 표면에, 전극으로부터 당해 전도성 상감 필름의 소정 영역 주변으로 전위를 전달하기에 효과적인 전도성 중합체 및 당해 소정 영역을 전기적으로 고립시키기에 효과적인 유전성 필름을 포함하는 전도성 상감 필름을 적층시키는 단계; 전위를 하나 이상의 전극에 인가하는 단계, 입자를 전도성 상감 필름에 구인시키는 단계; 및 입자를 소정 영역에 선택적으로 침착시키는 단계를 포함하는, 기판에 전기 구인성 침착시키는 방법에 관한 것이다. 본원에서 사용되는 용어 "정전기 척"은 하전된 분말/입자를 구인하는 데 사용되며, 이러한 척은 반드시 분말/입자가 도포될 기판과 전기적으로 부착될 필요는 없다. 당해 기판은, 예를 들면, 진공 또는 접착제를 사용하여 척 위에 적층될 수 있다.
추가로, 입자가 정전기 침착에 의해 침착될 소정 영역을 한정하기에 적합한 홀 패턴을 갖는 유전성 필름층, 및 유전성 필름에 대해 적층된 전도성 필름(a) 또는 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는, 중합체를 포함하는 전도성 부재[전도성 부재가 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는 경우, 홀 내부에 나타나는 전도성 부재 부분이 전도성 상감을 포함한다]를 포함하는 전도성 상감 필름의 일부 또는 전부(이는, 유전성 필름에 의해 둘러싸인 상감을 포함한다); 및 하나 이상의 상감에 선택적으로 침착된 소정량의 약제, 비타민, 감미제, 약초, 수의용 약제 또는 진단제를 포함하는, 약제, 비타민제, 감미제, 약초제, 수의용 제형 또는 진단 제품이 제공된다..
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따르는 전도성 상감 필름을 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따르는 전도성 상감 필름을 도시한 것이다.
도 3은 정전기 척의 한 예를 도시한 것이다.
도 1에 본 발명의 한 예시양태를 도시하였다. 도 1a는 유전성 필름(21)에 적층된 전도성 필름(2)을 갖는 전도성 상감 필름(20)의 단면을 도시한 것이다. 당해 유전성 필름(21)은 소정 영역(23)의 외부 영역에 하전된 입자가 구인되지 않도록 하면서 당해 입자가 소정 영역(23)으로 선택적으로 구인되도록 비교적 낮은 전도도 및 두께를 갖는다.
적합한 유전성 필름은, 예를 들면, 에틸셀룰로즈, 셀룰로즈 아세테이트 프탈레이트, 하이드록시프로필메틸 셀룰로즈(HPMC), 하이드록시프로필메틸 셀룰로즈 프탈레이트, 하이드록시프로필 셀룰로즈(HPC), 메틸셀룰로즈, 개질된 전분, 단백질(예: 가교결합된 젤라틴), 알긴산, 아크릴 중합체[예: 메틸 메타크릴레이트; 에틸 아크릴레이트; 및 유드라짓(EudragitTM) 아크릴 공중합체와 같은, 메틸 메타크릴레이트 및 에틸 아클릴레이트 등의 공중합체], 폴리알킬렌 옥사이드(예: 폴리에틸렌 옥사이드), 폴리비닐 알콜, 폴리비닐피롤리돈(PVP), 가교결합된 PVP, 폴리락타이드, 폴리(락타이드-코-글리콜라이드), 부직포, 종이 등의 필름을 포함한다. 필름 형성 공정은 중합체 용액 또는 분산액의 주조 및 중합체 분말의 사출성형을 포함한다.
당해 전도성 필름은 바람직하게는 사람이 소비하기에 적합한 재료로 형성된다. 특정 재료의 경우, 이러한 바람직한 제한은 소비 가능한 제품의 양 및 투여에 적합하다는 의미이다. 바람직하게는, 당해 전도성 필름은 그 자체가 전도성인 중합체로 형성되거나 필름으로 혼입된 전도성 물질에 대한 구조적인 골격을 제공하는 중합체로 형성된다. 당해 전도성 물질은, 예를 들면, 금속성 직조물, 금속 입자(예: 금, 은 또는 철 입자), 카본 블랙 입자, 기타 이온성 종 입자 등일 수 있다. 당해 전도성 물질은 젤라틴 또는 기타 단백질 물질과 같은 전도성 중합체일수도 있다. 전도성 물질을 삽입시키기에 적합한 중합체는 에틸셀룰로즈, 셀룰로즈 아세테이트 프탈레이트, HPMC, 하이드록시프로필메틸 셀룰로즈 프탈레이트, HPC, 메틸 셀룰로즈, 개질된 전분, 단백질(예: 가교결합된 젤라틴), 알긴산, 아크릴 중합체[예: 메틸 메타크릴레이트; 에틸 아크릴레이트; 및 유드라짓(EudragitTM) 아크릴 공중합체와 같은, 메틸 메타크릴레이트 및 에틸 아클릴레이트 등의 공중합체], 폴리알킬렌 옥사이드(예: 폴리에틸렌 옥사이드), 폴리비닐 알콜, 폴리비닐피롤리돈(PVP), 가교결합된 PVP, 폴리락타이드, 폴리(락타이드-코-글리콜라이드), 부직포, 종이 등을 포함한다. 수용성 중합체의 예는 수용액으로부터 주조될 수 있으며, 당해 주조 및 건조는 하한 임계 용액 온도("LCST") 이상의 온도에서 수행된다. HPC에 대한 LCST는 전형적으로 50 내지 55℃의 범위이다. 필름 성형 방법은 다시 중합체 용액 또는 분산액을 주조하는 공정과 중합체 분말을 압출성형하는 공정을 포함할 수 있다.
바람직하게는, 전도성 상감 필름, 예를 들면, 전도성 필름(22) 또는 전도성 상감(32)(하기 참조)의 전도성 부재의 저항은 105Ω/스퀘어 이하, 보다 바람직하게는 104또는 103Ω/스퀘어 이하이다.
소정 영역(23)은, 예를 들면, 전도성 필름에 필름을 적층시키기 전에 유전성 필름을 절단함으로써 형성될 수 있다. 소정 영역(23)의 크기는 약제가 적용되는 크기로서, 특히 너비 또는 직경이 1 내지 10mm이다.
본 발명의 전도성 상감 필름은 바람직하게는 가요성이다. 입자가 침착된 전도성 상감 필름의 부재는 바람직하게는 수 팽윤성 또는 수 분산성이어서, 침착된 입자의 적합한 수용액(입자가 침착된 전도성 상감 필름의 목적하는 용도에 따라, 예를 들면, 산성, 염기성 또는 중성일 수 있음) 중에서의 분산 또는 분해(하기 참조)를 용이하게 한다. 전도성 상감 필름의 적합한 두께는 0.5 내지 10mm, 보다 바람직하게는 1.0 내지 5mm이다.
본 발명의 또 다른 예시 양태가 도 2에 도시되어 있다. 도 2a는 유전성 필름(31) 내에 전도성 상감(32)을 갖는 전도성 상감 필름(30)의 단면을 도시한 것이다. 당해 유전성 필름(31)은 소정 영역(33)의 외부 영역으로 하전된 입자가 구인되지 않도록 하면서 당해 입자가 소정 영역(33)으로 선택적으로 구인되도록 비교적 낮은 전도도 및 두께를 갖는다. 당해 양태는 전도성 상감(32)이 정전기 척의 표면 위의 전도성 패드와 함께 정렬되도록 설계될 수 있다. 다시, 당해 유전성 필름은 입자 구인장이 소정 영역에 한정되도록 소정 영역의 전기적 고립을 유지시키도록 선택된다.
도 2의 양태는, 예를 들면, 소정 영역에 상응하는 홀이 형성되는 유전성 필름을 박리층 위에 적층시킴으로써 형성될 수 있다. 내부에 전도성 입자가 현탁될 수 있는 중합체 용액 또는 수 팽윤성 겔을 사용하여 홀을 충전시킨다. 수 팽윤성 겔 형성 중합체는, 예를 들면, 에틸셀룰로즈, 셀룰로즈 아세테이트 프탈레이트, 하이드록시프로필메틸 셀룰로즈(HPMC), 하이드록시프로필메틸 셀룰로즈 프탈레이트, 하이드록시프로필 셀룰로즈(HPC), 메틸셀룰로즈, 개질된 전분, 단백질(예: 가교결합된 젤라틴), 알긴산, 아크릴 중합체[예: 메틸 메타크릴레이트; 에틸 아크릴레이트; 및 유드라짓(EudragitTM) 아크릴 공중합체와 같은, 메틸 메타크릴레이트 및 에틸 아클릴레이트 등의 공중합체], 폴리알킬렌 옥사이드(예: 폴리에틸렌 옥사이드), 폴리비닐 알콜, 폴리비닐피롤리돈(PVP), 가교결합된 PVP, 폴리락타이드, 폴리(락타이드-코-글리콜라이드), 부직포, 종이 등의 필름을 포함한다. 당해 용액 또는 수 팽윤성 겔은, 예를 들면, 습도 및 온도 조절 챔버에서 건조시킴으로써 유전성 필름에 삽입된다. 이와 같이 형성된 전도성 상감 필름으로부터 박리층을 박리시킨다.
도 2의 양태는 도 1 및 도 2의 양태의 혼성 양태를 형성하기 위해 전도성 필름에 적층될 수 있음을 알 수 있다.
본 발명의 전도성 상감 필름은 상부에 입자를 정전기적으로 침착시키는 방법에서 사용될 수 있다. 입자를 하전(예: 유도 또는 트리보 하전에 의해 하전)하고침착량을 측정하는 방법을 포함하여, 침착공정을 수행하기 위해 정전기 척을 사용하는 방법은 후술되는 다수의 특허 및 특허원에 기재되어 있다. 당해 침착량 측정은 침착후 광학적 측정을 포함할 수 있으며, 침착을 동력학적으로 모니터하는 전기적 감지기를 사용할 수 있다. 입자를 하전하는 한 가지 유용한 방법은 전위가 인가되는 전도성 벽을 갖는 제트 밀을 통해 입자를 통과시킴으로써 하전을 도입한다.
도 3은, 침착 전극(14)이 유전층(바람직하게는, 대기)(15)에 의해 차폐 전극(13)으로부터 분리된 공평면상 척(10)의 단면을 도시한 것이며, 이의 형태는 기재 물질(12)에 배치된다. 침착 전극(14)은 바람직하게는 시리즈 300 스테인레스 스틸로 형성된다. 침착 전극(14)은 회로판(11)에 접속하기 위해 핀 리셉터클(16)을 함유한다. 기재 물질(12)은 노릴(NorylR) 중합체[제조원: 미국 마이애미주 핏츠필드 소재의 지이 플라스틱스(GE Plastics)]로 구성된다. 노릴 공업용 플라스틱은 개질된 폴리페닐렌 옥사이드, 또는 폴리페닐렌 옥사이드 및 폴리페닐렌 에테르, 수지이다. 이러한 수지의 개질은 폴리스티렌 또는 폴리스티렌/부타디엔과 같은 제2 중합체와의 혼합을 포함한다. 혼합비 및 기타 첨가제를 변경시킴으로써, 다양한품질의 생성물이 제조된다. 개질되지 않은, 이들 중합체는 분자상 주쇄 내에 규칙적으로 밀접하게 이격되어 있는 환구조를 특징으로 한다. 이러한 특징은 강한 분자간 인력과 함께 극도의 경도 및 가요성 결여를 유발한다. 차폐 전극(13)은, 예를 들면, 접착제 또는 고무계 양면 접착 테이프에 의해 기재 물질(12)에 부착된 전도성 물질(예: 300 시리즈 스테인레스 스틸)로부터 제조될 수 있다. 유전체(15)의 바람직한 양태인 고리상 갭은 차폐 전극(13)을 형성할 전도체 층에서 일련의 홀을 천공함으로써 제조될 수 있다. 침착 전극(14)은, 예를 들면, 기재 물질로 압착 또는 접착될 수 있다. 당해 조립체는 바람직하게는 연마되어, 예를 들면, 허용치가 0.0002in인 편평한 공평면상 표면을 형성시킨다. 유전체(15)가 대기(정전기 척이 작동하는 대기)인 경우, 대기를 포함하는 전극의 유전성 분리 부분이, 사용시, 유전체(15)와 함께 정렬된 정전기 척의 상부 표면이 침착과 침착 사이 완전히 방전되도록 하기에 충분한 것이 바람직하다. 이와 같은 양의 유전체 분리가 "실질적" 분리이다.
이러한 정전기 척은 상술한 감지 회로를 제공하기 위해 전자장치를 조절하도록 별도로 접속될 수 있는 전기적으로 고립된 차폐 전극을 혼입시키기 위해 기술된 기법으로 간단하게 개질될 수 있다. 치수 A는, 예를 들면, 0.01in일 수 있고, 치수 B는, 예를 들면, 0.157in일 수 있고, 치수 C는, 예를 들면, 0.236in일 수 있고, 치수 D, 화소 사이의 피치는, 예를 들면, 0.3543in일 수 있다. 당해 정전기 척은, 예를 들면, 침착 전극에 인가된 700V 이하 또는 1400V 이하의 전압으로 작동될 수 있다.
본 발명에 의해 침착된 입자 또는 과립의 측정된 량은 약제, 비타민제, 감미제, 약초제, 수의용 제형 및 진단 제품(소정량의 조절 물질 또는 진단제 함유) 등과 같은 다수의 물질에 유용할 수 있다.
용어 설명
다음 정의는 본원에서 빈번하게 사용되는 특정 용어에 대한 이해가 용이하도록 제공되었다.
침착용 "입자"는, 본원의 목적상, 통상 평균 직경이 약 3nm 이상(예: 평균 직경 약 500nm 또는 800nm 이상), 바람직하게는 약 100nm 내지 약 5mm, 예를 들면, 약 100nm 내지 약 500㎛인 분자 응집물이다. 입자는, 예를 들면, 마이크로미터 크기의 분말 입자, 또는 "비드"라고 지칭될 수 있는 중합체 구조물이다. 비드는 피복되거나, 흡착된 분자를 갖거나, 포획된 분자를 갖거나, 기타 물질을 함유할 수 있다.
"전기 구인성 건식 침착"은 표면에 하전된 입자를 구인 또는 침착하기 위해 전기력을 사용하는 방법을 지칭한다.
"투여 단위"는 소정의 물질의 편의상의 양을 지칭한다. 약제의 경우, 당해 용어는 전형적으로 편리한 개수의 투여 단위를 사용하여 약제가 적합한 투여량으로 투여될 때까지 합산된 양을 지칭한다.
본원에 기술된 발명은 본 출원인 또는 본 출원인과 함께 연구한 이들에 의해 기술된 다수의 장치 및 방법과 조합하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 발명의 명칭이 "영역 매칭 전극을 사용하는 정전기 감지 척(Electrostatic sensing chuck using area matched electrode)"인 1999년 10월 14일자로 출원된 선(Sun) 등의 미국 특허원 제09/417,736호, 및 발명의 명칭이 "유동화 분말의 분산 및 하전용 장치(Device for the dispersal and charging of fluidized powder)"인 1999년 10월 14일자로 출원된 선(Sun) 등의 미국 특허 제09/417,820호가 본 발명과 조합하여 사용될 수 있다. 본 발명의 다양한 양태와 함께 사용될 수 있는 기타 장치 또는 방법은, 예를 들면, 발명의 명칭이 "기판에 다수의 물건을 배치하기 위한 척 및 방법(Chucks and methods for positioning multiple objects on a substrate)"인 1998년 8월 4일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제5,788,814호; 발명의 명칭이 "정전기 척 및 이에 대한 입자 침착 장치(Electrostatic chucks and a particle deposition apparatus therefor)"인 1999년 1월 12일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제5,858,099호; 발명의 명칭이 "기판의 소정 영역에 대해 약제 분말을 정전기적으로 침착시키기 위한 장치(Apparatus for electrostatically depositing a medicament powder upon predefined regions of a substrate)"인 1998년 2월 3일자로 허여된 프렛춰(Pletcher) 등의 미국 특허 제5,714,007호[참조: 1999년 12월 28일자로 허여된 미국 특허 제6,007,630호]; 발명의 명칭이 "정전기 척을 사용하여 약제를 제조하는 방법(Method of making pharmaceutical using electrostatic chuck)"인 1998년 12월 8일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제5,846,595호; 발명의 명칭이 "음향 분배기(Acoustic dispender)"인 1998년 5월 19일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제5,753,302호; 발명의 명칭이 "반발장 지침을 사용하는비드 운반기 척(Bead transporter chucks using repulsive field guidance)"인 2000년 8월 1일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제6,098,368호; 발명의 명칭이 "비드 크기 선정기를 사용하는 비드 조절 척(Bead manipulating chucks with bead size selector)"인 1999년 11월 23일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제5,988,432호; 발명의 명칭이 "비드 조절 척용 초점을 맞춘 음향 비드 하전기/분배기(Focused acoustic bead charger/dispenser for bead manipulating chucks)"인 2001년 1월 2일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제6,168,666호; 발명의 명칭이 "비드 조절 척용 교류 파상형 바이어싱(AC wave forms biasing for bead manipulating chucks)"인 2000년 11월 21일자로 허여된 선(Sun) 등의 미국 특허 제6,149,774호; 발명의 명칭이 "평면상 기판을 클램핑하기 위한 장치(Apparatus for clamping a planar substrate)"인 1998년 6월 10일자로 출원된 선(Sun) 등의 미국 특허원 제09/095,321호; 발명의 명칭이 "건식 분말 침착 장치(Dry powder deposition apparatus )"인 2000년 5월 16일자로 허여된 폴리니엑(Poliniak) 등의 미국 특허 제6,063,194호; 발명의 명칭이 "약제학적 생성물 및 이의 제조방법(Pharmaceutical product and method of making)"인 1998년 6월 10일자로 출원된 미국 특허원 제09/095,616호에 제시된 운반기 척, 음향 비드 분배기 및 기타 분말 조절 장치를 사용하는 방법을 포함한다. 원추형 반사 챔버를 포함하는 추가의 분말 처리 장치가, 발명의 명칭이 "유동식 확산기를 포함하는 제품(Article comprising a diffuser with flow)"인 1999년 11월 12일자로 출원된 오마라(O'Mara) 등의 미국 특허원 제09/438,801호에 기술되어 있다.
본 명세서에서 언급된 특허 및 특허원을 포함하지만 이에 한정되지는 않는 모든 공보 및 참고 문헌은, 이들 각각의 공보 또는 참고 문헌이 전체적으로 나타낸 바와 같이 본원에서 참고로 특정하게 개별적으로 인용되는 경우, 본원에 참고로 전체적으로 인용되었다. 본 특허원이 우선권을 주장하는 특허원도 또한 공보 및 참고문헌에 대해 상술한 바와 같은 방식으로 전체적으로 본원에 참고로 인용된다.
다음 실시예는 추가로 본 발명을 설명하지만, 결코 본 발명의 범주를 제한하는 것으로 이해되어서는 안된다.
실시예 1 :에틸셀룰로즈(EC) 및 HPMC의 2층 중합체 필름
2층 중합체 필름은 소수성 에틸셀룰로즈(EC) 필름층 및 친수성 HPMC 필름층으로 이루어진다.
단계 1: 에틸셀룰로즈(EC) 층을 제조하기 위해 마일라(Mylar) 필름에 트리아세틴 또는 기타 가소화제로 가소화된 EC 분산액을 주조한다. 건조 공정은 55℃ 및 35% 상대 습도로 온도/습도 조절된 챔버에서 수행한다.
단계 2: 생성된 EC 필름에 대해 HPMC 용액을 주조하여 친수성 층을 제조한다. 건조 공정은 28℃ 및 45% 상대 습도에서 수행한다. 이어서, 2층 필름을 마일라 필름으로부터 박리시킨다.
실시예 2:전도성 영역을 사용하여 부착시킨 중합체 필름
카본 블랙을 하이드록시프로필 셀룰로즈 중합체 용액 내로 분산시켜 전도성 중합체 필름을 제조한다. 원판형 필름 부분을 필름으로부터 천공한다. 전도성 원판은 이어서 EC 필름(실시예 1에서와 같음) 위에 적층시키고 초음파 용접으로 밀봉한다. 당해 EC 필름은 표면 저항이 높다(20% 상대 습도에서 2.6E + 12Ω/스퀘어에서 표적화되고 30% 상대 습도에서 1.2E + 12Ω/스퀘어에서 표적화된다).
본 발명은 바람직한 양태에 대해 강조하면서 기술되었지만, 당해 분야의 통상의 기술을 가진 이들에게는, 바람직한 장치 및 방법에서의 변형이 사용될 수 있으며, 본 발명이 본원에 특정하게 기술된 바와는 다르게 실시될 수 있다는 점이 명백할 것이다. 따라서, 본 발명은 이후 기술되는 청구의 범위에 규정된 바와 같은 본 발명의 요지 및 범주 내에 포함되는 모든 변형을 포함한다.
Claims (15)
- 입자가 정전기 침착에 의해 침착될 소정의 영역을 규정하기에 적합한 홀 패턴을 갖는 유전성 필름층; 및유전성 필름에 대해 적층된 전도성 필름(a) 또는 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는, 중합체를 포함하는 전도성 부재[전도성 부재가 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는 경우, 홀 내부에 나타나는 전도성 부재 부분이 전도성 상감을 포함한다]를 포함하며,당해 전도성 부재가 하나 이상의 전극 패드와 접촉하여 소정 영역에서 전위를 제공하고, 유전성 필름이 소정 영역을 전기적으로 고립시킴을 특징으로 하는 전도성 상감 필름.
- 제1항에 있어서, 전기구인성 침착에 의해 소정 영역에 침착된 입자를 추가로 포함하는 전도성 상감 필름.
- 제2항에 있어서, 소정 영역에 침착된 입자의 양이 측정된 양인 전도성 상감 필름.
- 제2항에 있어서, 입자가 약제를 포함하고 각각의 소정 영역이 투여 단위로 규정되는 전도성 상감 필름.
- 제2항에 있어서, 입자가 진단 시약을 포함하고, 전도성 상감 필름이 둘 이상의 소정 영역에서 측정된 양의 진단 시약을 포함하는 진단 제품을 포함하는 전도성 상감 필름.
- 제1항에 있어서, 전도성 부재가 유전성 필름에 대해 적층된 전도성 필름(a)을 포함하는 전도성 상감 필름.
- 제1항에 있어서, 전도성 부재가 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하고, 홀 내부에 나타나는 전도성 부재 부분이 전도성 상감을 포함하는 전도성 상감 필름.
- 표면과 접촉하는 하나 이상의 전극을 포함하는 정전기 척 표면에, 전극으로부터 당해 전도성 상감 필름의 소정 영역 주변으로 전위를 전달하기에 효과적인 전도성 중합체 및 당해 소정 영역을 전기적으로 고립시키기에 효과적인 유전성 필름을 포함하는 전도성 상감 필름을 적층시키는 단계,전위를 하나 이상의 전극에 인가하는 단계,입자를 전도성 상감 필름에 구인시키는 단계 및입자를 소정 영역에 선택적으로 침착시키는 단계를 포함하는, 기판에 전기 구인성 침착시키는 방법.
- 입자가 정전기 침착에 의해 침착될 소정 영역을 규정하기에 적합한 홀 패턴을 갖는 유전성 필름층, 및 유전성 필름에 대해 적층된 전도성 필름(a) 또는 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는, 중합체를 포함하는 전도성 부재[전도성 부재가 홀 내부에 삽입된 전도성 필름(b)을 포함하는 경우, 홀 내부에 나타나는 전도성 부재 부분이 전도성 상감을 포함한다]를 포함하는 전도성 상감 필름의 일부 또는 전부(이는, 유전성 필름에 의해 둘러싸인 상감을 포함한다); 및하나 이상의 상감에 선택적으로 침착된 소정량의 약제, 비타민, 감미제, 약초, 수의용 약제 또는 진단제를 포함하는, 약제, 비타민제, 감미제, 약초제, 수의용 제형 또는 진단 제품.
- 제9항에 따르는 약제 투여 단위.
- 제9항에 따르는 비타민 투여 단위.
- 제9항에 따르는 감미제 투여 단위.
- 제9항에 따르는 약초제 투여 단위.
- 제9항에 따르는 수의용 제형 투여 단위.
- 제9항에 따르는 진단 제품.
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