KR20030010442A

KR20030010442A - 극박 수정편 측정 분류장치

Info

Publication number: KR20030010442A
Application number: KR1020010055904A
Authority: KR
Inventors: 이와모토가즈오
Original assignee: 가부시키가이샤 휴모 라보라토리
Priority date: 2001-07-25
Filing date: 2001-09-11
Publication date: 2003-02-05
Also published as: JP2003040433A; KR100450600B1; CN1232815C; TW504482B; CN1399129A

Abstract

본 발명은 극박(極博) 수정편을 공급하거나 반송하는 과정에서 쪼개거나 부수지 않고, 안전하고 안정되게 공급 반송할 수 있는 수정편 측정 분류장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명에 의한 수정편 측정 분류장치에 있어서, 볼 피더(5)와 직진 피더(4)는 수평으로 배치되고, 상기 볼 피더(5)의 수정편 활주면의 경사각과 직진 피더 슈트(2)의 수정편 활주면의 경사각은 같은 각도(35∼45도)로 기울어져 있다. 회전 반송부는, 회전축 중심으로 회전하는 흡착 노즐(6)의 하단면이 상기 직진 피더 슈트(2)의 수정편 활주면에 평행해지도록 상기회전 중심축이 기울어져 배치되어 있다.

Description

극박 수정편 측정 분류장치{DEVICE FOR INSPECTING AND CLASSFYING FILM CRYSTAL PIECE}

본 발명은, 극히 작고 얇은 수정편을 검사, 분류등의 과정에서 이송하는 반송장치를 이용한 극박(極薄) 수정편 측정 분류장치에 관한다. 보다 상세히 설명하면, 본 발명에 의한 수정편 측정 분류장치는, 수정편을 검사하는 공정에 있어서, 수정편을 깨뜨리거나 부수지 않고 안전하고 안정되게 공급 반송할 수 있는 극박 수정편 측정 분류장치에 관한 것이다.

수정편을 검사하기 위한 측정 분류장치에서는, 수평으로 배치된 수정편 반송부에, 파트 피더 유닛에서 수정편을 받아 검사 스테이션에 가져와 검사를 하고, 검사 결과에 따라 분류하고 있다.

도 8을 참조하여, 종래의 픽 앤드 프레스 유닛을 사용함으로써, 파트 피더 유닛으로 수정편을 픽업하는 상황을 설명한다. 파트 피더 유닛은, 공지된 바와 같이 볼 피더와 직진 피더로 구성되어 있다. 볼 피더의 배출단에 직진 피더의 직진 피더 슈트가 배치되어 있다.

직진 피더 슈트의 말단에는 스톱퍼판(도시생략)이 설치되어 있다. 이 말단에 보내져 온 수정편을 픽 앤드 프레스 유닛으로 픽업한다. 픽 앤드 프레스 유닛의 암(65)은 흡착 노즐(63)을 지지하고 있다. 흡착 노즐(63)은, 도시하고 있지 않은 진공원에 흡착용 에어 튜브(64)를 통해 접속되어 있다.

직진 피더 슈트(61)의 표면이 수정편(1)의 활주면이 되어, 수정편(1)을 l장만이 활주하도록 엣지의 돌출량을 수정편 1장의 두께로 조정할 수 있는 엣지판(62)이 부착되어 있다. 직진 피더 슈트(61)는 수평보다 15∼20도 정도 경사져 있고, 중복된 수정편의 최하단의 것을 남겨, 상측의 수정편이 자연스럽게 낙하하도록 구성되어 있다. 또한 수정편(1)이 엣지판(62)을 따라 진행되도록 안내하는 안내판(66)이 설치되어 있다.

수정편(1)을 흡착하기 위해서, 픽 앤드 프레스 유닛을 하강시켜 하강 위치에서 흡착 노즐(63)로 수정편(1)을 흡착시킨다.

그러나 흡착 노즐(63)의 하단면과 수정편(1)이 평행하지 않기 때문에, 흡착 노즐(63)이 수정편의 중심을 흡착하지 못하고 유지 위치에서 벗어나는 일이 발생할 수 있다.

이 상태의 수정편을 픽 앤드 프레스 유닛으로 흡착 반송하여 반송부의 포켓에 넣고자 한다면, 수정편(1)을 쪼개거나 부수거나 할 수 있다. 또는 포켓에 넣지 않고 주위로 산란시켜버릴 수 있다.

한편, 볼 피더는 도시하지 않았지만, 볼 피더의 수정편 활주면(60)(도8에 파선으로 나타냄)은 수평보다 30∼45도 정도 경사져 있다.

직진 피더 슈트(61)의 경사각(l5∼20도 정도)은, 상기 픽 앤드 프레스 동작을 고려하여 상기 볼 피더의 각도보다 작게 한다. 따라서 볼 피더와 직진 피더 슈트의 이음매에서 수정편의 안정 공급이 저해될 우려가 있다.

최근, 종래의 수정편에 비해 극히 얇고 소형의 것이 널리 이용되게 되었다. 높은 발진 주파수를 얻기 위해서, 두께가 l0 수㎛가 되고, 소형의 기기에 대응해야 할 면적이 예를 들어 1mm× 2mm 인 소위 극박의 수정편의 수요가 늘어나고 있다. 이러한 수정편의 취급은 대단히 어렵다.

본 발명의 목적은, 이러한 문제점을 해결하고, 극박 수정편을 공급이나 반송의 도중에 쪼개거나 부수지 않고 안전하고 안정되게 공급 반송할 수 있는 수정편 측정 분류장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 본 발명에 의한 극박 수정편 측정 분류장치의 주요부를 나타내는 측면도이다.

도 2는 도 1의 X-X 방향에서 본 평면도이다.

도 3은 도 1의 직진 피더와 회전 반송부의 흡착 노즐과의 관계 위치를 확대하여 나타낸 도면이다.

도 4는 도 2중에 나타낸 8개의 흡착용 암 내에서 B 위치에 설치된 극박 수정편을 위치 결정하기 위한 위치 결정 유닛의 측면도이다.

도 5는 도 4에 나타낸 위치 결정 유닛의 상면도이다.

도 6은 도 2중에 나타낸 8개의 흡착용 암 내에서 C 위치에 설치된, 수정편의 특성 측정을 하기 위한 측정 유닛의 측면도이다.

도 7은 도 6의 측정 유닛으로 극박 수정편의 특성 측정을 행하고 있는 상황을 나타내는 설명도이다.

도 8은 종래의 픽 앤드 프레스 방식에 의한 파트 피더 유닛으로 수정편을 픽업하는 상황을 나타내는 설명도이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 수정편 2, 6l 직진 피더 슈트

3, 62 엣지판 4 직진 피더

5 볼 피더 6, 63 흡착 노즐

7 흡착축 8 흡착용 암

9, 64 흡착용 에어 튜브 10 베이스 판

1l 출력축 12 인덱스 핸들러 유닛

13, l4, 22, 23 타이밍 풀리

15, 24 타이밍 벨트 16, 25 모터

20 분류 수납상자 21 분류 테이블

30 위치 결정 클로(claw) 31 4개 클로를 갖는 에어 척 유닛

32, 44, 56 블록 40 스프링 프로브

41 프로브 홀더 42, 52 접속선

43 에어 슬라이드 테이블 50 하전극자

5l 절연 부시 53 전극 홀더

54 슬라이드 유닛 55 마이크로메터 헤드

60 볼 피더의 수정편 활주면

65 암 66 안내판

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제 1항에 따른 극박 수정단 측정 분류장치는, 파트 피더 유닛으로 픽업한 극박 수정편을 회전 반송부에서 반송하는 과정에서 특성의 측정, 상기 측정의 결과에 따른 분류를 행하는 수정편 측정 분류장치에 있어서, 상기 파트 피더 유닛은, 수평으로 배치되어 볼 피더와 상기 볼 피더의 부품 활주면의 경사각과 직진 피더 슈트의 부품 활주면의 경사각이 같은 각도로 기울어져 있는 파트 피더 유닛으로 이루어지고, 상기 회전 반송부는, 축중심으로 회전하는 흡인 노즐의 하단면이 상기 직진 피더 슈트의 부품 활주면에 평행해지도록 상기 회전 중심축이 기울어져 배치되어 구성되어 있다.

청구항 2에 따른 장치의 상기 회전 반송부는, 청구항 1에 따른 극박 수정편 측정 분류 장치에 있어서, 원주상에 등간격으로 흡착 노즐이 복수개 배치되고, 그 간격만큼의 산출 및 회전기능과, 상승 위치와 하강 위치 사이를 이동하는 상하 움직임 기능을 구비하고, 각 노즐에 하강 위치에서 극박 수정편을 픽업하도록 구성되어 있다.

청구항 3에 따른 극박 수정편 측정 분류장치는, 청구항 2에 따른 극박 수정편 측정 분류장치에 있어서, 또한, 픽업한 극박 수정편의 위치 결정 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 4에 따른 극박 수정편 측정 분류장치는, 청구항 l, 2 또는 청구항 3에 따른 극박 수정편 측정 분류장치에 있어서, 상기 직진 피더 슈트의 수정편의 활주면을 상기 볼 피더의 수정편 활주면의 경사각 30∼45도와 같은 각도로 한 것이다.

이하 도면등을 참조하여 본 발명에 의한 극박 수정편 측정 분류장치의 실시예를 자세히 설명한다. 도 1은 각 기구를 일체로 조성한 극박 수정편 측정 분류장치의 주요부의 측면도이며, 도 2는 본 발명의 극박 수정편 측정 분류장치의 주요부를, 도 1중 X-X 화살표 방향에서 본 평면도이다.

도 3은 도 1의 직진 피더(4)와 반송부의 흡착 노즐(6)과의 관계 위치를 확대하여 나타낸 도이다. 본 실시예 장치의 취급 대상인 수정편은, 두께가 10 수㎛ 이며 면적이 예를 들어 1mm×2mm인 소형의 극박 수정편이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 파트 피더 유닛은 볼 피더(5)와 직진 피더(4)로 구성되어 있다. 직진 피더(4)에는 도3에 나타낸 바와 같이, 직진 피더 슈트(2)가 부착되어 있어, 볼 피더(5)의 수정편의 배출단에 직진 피더 슈트(2)가 배치되어 있다. 직진 피더 슈트(2)의 표면이 수정편의 활주면이 되어 수정편 1장만이 활주하도록 엣지의 돌출량을 수정편 1장의 두께로 조정할 수 있는 엣지판(3)과, 활주면의 선단에 도시하지 않은 스톱퍼판이 직진 피더 슈트(2)에 부착되어 있다.

더욱이 직진 피더 슈트(2)의 수정편의 활주면이 볼 피더(5)의 수정편 활주면의 수평에서의 경사각 30∼45도와 같은 각도가 되도록 직진 피더 슈트(2)는 기울어져 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 직진 피더 슈트(2)의 선단에 있는 수정편(1)은 회전 반송부에 부착된 흡착 노즐(6)이 하강하여 흡인에 의해 픽업된다.

흡착 노즐(6)은 흡착축(7)에 붙어 있어, 흡착축(7)은 도시하지 않은 진공원에 흡착용 에어 튜브(9)로 접속되어 있다.

회전 반송부는, 흡착 노즐(6)이 수정편(1)의 중심을 수직으로 흡인하도록, 직진 피더 슈트(2)의 수정편(1)의 활주면의 경사각과 같은 각도만큼 수평에서 기울어져 있다.

회전 반송부는, 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 8개의 흡착용 암(8)이 등분할로 배치되어 있다. 각각의 흡착용 암(8)의 선단에 동일 원주상에 흡착축(7)이 부착되어 있어, 이 흡착축(7)의 선단에 흡착 노즐(6)이 부착되어 있다. 각각의 흡착축(7)은, 도시하지 않은 개개로 독립된 진공원에 흡착용 에어 튜브(9)로 접속되어 있어 결정된 타이밍에서 흡인된 온-오프가 이루어진다.

인덱스 핸들러 유닛(12)은, 간격만큼의 산출 기능과 상하움직임 기능을 갖고 있어, 출력축(11)을 회전 및 상하 움직인다. 8등분할되어 배치된 8개의 흡착용 암(8)의 기저부의 중심은, 상기 출력축(11)에 고정되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 인덱스 핸들러 유닛(12)의 입력축(12A)에는 타이밍 풀리(13)가 설치되어 있다. 모터(16)의 출력축에 부착된 타이밍 풀리(14)와 상기 타이밍 풀리(13)는 타이밍 벨트(15)로 연결되어 있고, 인덱스 핸들러 유닛(12)은 모터(16)의 출력축(16A)의 회전에 의해서 구동된다. 8개의 흡착용 암(8)은, 상기 출력축(11)에 의해 시계 방향으로 회전된다.

각각의 암은 각도 방향의 정지 위치 내, 도 2에 나타낸 A의 위치에서 파트 피더 유닛으로부터의 수정편의 픽업을 행하고, B의 위치에서 수정편의 위치 결정을 하고, C의 위치에서 수정편의 특성 측정을 하고, 다음 위치에서 분류 수납 상자(20)에 수정편을 낙하시켜 수납을 한다. 분류 수납상자(20)는 분류 테이블(21)에 복수개 탑재 되어 있어, 분류 테이블(21)의 회전축에 부착된 타이밍 풀리(22)와 모터(25)의 출력축에 부착된 타이밍 풀리(23)에 걸린 타이밍 벨트(24)를 통해 모터(25)에 의해서 구동된다. 복수개의 분류 수납 상자(20)내의 어느 상자에 수정편을 수납할지는, 수정편의 특성 측정의 결과에 따라 결정된다. 수납이 결정된 분류 수납 상자(20)는, 수정편을 낙하 수납시키는 흡착 노즐의 위치까지 모터(25)에 의해서 구동된다.

상술한 회전 반송부와, 위치 결정을 하는 유닛과, 특성 측정을 하는 유닛과, 분류 수납부는 본 장치의 베이스판(10)상에 구축되어 있다. 도 4는 도 2중에 나타난 8개의 흡착용 암(8)내의 B의 위치에 설치된 극박 수정편을 위치 결정하기 위한 위치 결정 유닛의 측면도이다. 도 5는, 도 4에 나타낸 위치 결정 유닛의 표면도이다. 도 6은, 도 2중에 나타낸 8개의 흡착용 암(8) 내의 C의 위치에 설치된, 수정편의 특성 측정을 행하기 위한 측정 유닛의 측면도이다.

수정편(1)의 위치 결정 유닛은, 도 4에 나타낸 바와 같이, 베이스판(10)상에 블록(32)을 통해 에어 척 유닛(3l)이 부착되어 있다. 에어 척 유닛(31)에는 4개의 위치 결정 클로(claw)(30)가 부착되어 있다. 각각의 위치 결정 클로(30)가 열려 있는 상태에서, 수정편(1)을 흡착한 채로 위치 결정 클로(30)가 있는 높이 위치까지흡착 노즐(6)이 하강한다. 이 강하한 위치에서, 4개 클로를 가진 에어 척 유닛(31)을 동작시켜, 각각의 위치 결정클로(30)를 닫음으로써 수정편(1)의 위치를 보정하여 흡착 노즐(6)이 수정편(1)의 중심 위치가 되도록 한다. 상기 위치 보정이 완료되면, 각각의 위치 결정 클로(30)를 열어, 흡착 노즐(6)을 상승시켜, 흡착용 암(8)은 다음의 특성 측정 유닛으로 이동한다.

수정편(1)의 특성 측정 유닛은, 도 6에 나타낸 바와 같이, 베이스판(l0)의 위에 블록(44)을 통해 에어 슬라이드 테이블(43)이 부착된다. 에어 슬라이드 테이블(43) 위에 측정용의 스프링 프로브(40)를 부착한 프로브 홀더(41)가 부착되어 있다. 프로브 홀더(41)는 전기적인 절연재로 되어 있다.

측정용의 스프링 프로브(40)와 도시하지 않은 특성 측정용의 계측기는 접속선(42)으로 연결되어 있다. 더욱이, 베이스판(10)의 위에 블록(56)을 통해 슬라이드 유닛(54)과 마이크로메터 헤드(55)가 설치되어 있다. 슬라이드 유닛(54)에는 전극 홀더(53)가 부착되어 있다. 측정용의 하전극자(50)를 전기적인 절연재로 되어있는 절연 부시(51)에 매립 접착하고, 상기 절연 부시(51)를 전극 홀더(53)에 매립 접착한다. 측정용의 하전극자(50)는 상기 계측기에 접속선(52)으로 연결되어 있다. 수정편(1)을 흡착하는 8개의 흡착 노즐(6)은 모두 측정용의 상부전극이 되어 있어, 흡착 노즐(6)을 부착하고 있는 8개의 흡착축(7)은 모두 전기적인 절연재로 되어있다.

도 7은 상기 특성 측정 유닛으로 수정편(1)의 특성 측정을 하고 있는 상황의 설명도이다. 흡착 노즐(6)로 수정편(1)을 흡착한 상태로 흡착 노즐(6)이 하강한다.하강단에서 수정편(1)과 하전극자(50)와의 간격이 20∼30㎛가 되도록 마이크로메터 헤드(55)를 사용하여 미리 조정해 둔다. 여기서 에어 슬라이드 테이블(43)을 동작시켜 스프링 프로브(40)를 상부전극인 흡착 노즐(6)에 접촉시킨다. 이로 인해, 수정편(1)은 흡착된 상태로 접촉없이 특성 측정을 할 수 있다.

본 발명에 의하면, 극박 수정편을 공급하는 볼 피더의 극박 수정편의 활주면의 경사각과 직진 피더 슈트의 극박 수정편의 활주면의 경사각이 같은 각도로 되어 있기 때문에, 볼 피더와 직진 피더 슈트의 이음매에서 극박 수정편의 안정 공급이 저해되는 일이 없어진다.

본 발명에 의하면, 본 장치의 회전 반송부는, 흡착 노즐이 극박 수정편의 중심을 수직으로 흡인하도록, 직진 피더 슈트의 극박 수정편의 활주면의 경사각과 같은 각도만큼 수평에서 기울여져 있기 때문에, 흡착 노즐을 극박 수정편에 가능한 한 가까이 하여 흡인할 수 있고, 안정된 픽업이 가능해진다.

더욱이, 본 발명에 의한 장치를 이용하면, 흡착 노즐로 극박 수정편을 흡착한 상태로, 극박 수정편의 위치 결정, 무접촉에 의한 특성 측정을 할 수 있다.

따라서, 파트 피더 유닛에서 극박 수정편을 픽업한 후, 분류 수납상자에 극박 수정편을 낙하시키기까지의 사이에 한번도 극박 수정편을 떼놓는 일이 없기 때문에, 반송중에 극박 수정편을 쪼개거나 부수거나 혹은 주위에 산란시키거나 하는 일이 없고, 안전하고 안정된 반송이 가능해진다.

Claims

파트 피더 유닛으로 픽업한 극박 수정편을 회전 반송부에서 반송하는 과정에서 특성의 측정, 상기 측정의 결과에 따른 분류를 행하는 수정편 측정 분류장치에 있어서,

상기 파트 피더 유닛은, 수평으로 배치되어 볼 피더와 상기 볼 피더의 부품 활주면의 경사각과 직진 피더 슈트의 부품 활주면의 경사각이 같은 각도로 기울어져 있는 파트 피더 유닛으로 이루어지고,

상기 회전 반송부는, 축중심으로 회전하는 흡인 노즐의 하단면이 상기 직진 피더 슈트의 부품 활주면에 평행해지도록 상기 회전 중심축이 기울어져 배치되어 구성되는 것을 특징으로 하는 극박 수정편 측정 분류장치.
제 1 항에 있어서,

상기 회전 반송부는, 원주상에 등간격으로 흡착 노즐이 복수개 배치되고, 그 간격만큼의 산출 및 회전기능과, 상승 위치와 하강 위치 사이를 이동하는 상하 움직임 기능을 구비하고, 각 노즐에 하강 위치에서 극박 수정편을 픽업하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 극박 수정편 측정 분류 장치.
제 2 항에 있어서,

픽업한 극박 수정편의 위치 결정 기능을 더 갖는 것을 특징으로 하는 극박수정편 측정 분류장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 직진 피더 슈트의 수정편의 활주면은 상기 볼 피더의 수정편 활주면의 경사각 30∼45도와 같은 각도인 것을 특징으로 하는 극박 수정편 측정 분류장치.