KR20030004050A - 플라즈마표시패널 및 플라즈마표시패널 제조방법 - Google Patents

플라즈마표시패널 및 플라즈마표시패널 제조방법 Download PDF

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KR20030004050A
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닛본 덴기 가부시끼가이샤
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Abstract

열방향에서 소정 간격으로 형성된 복수개의 면방전전극쌍들 가지며, 상기 면방전전극쌍들의 각각은 방전간극이 상기 유지전극들 사이에 만들어지도록 행방향으로 연장하는 한 쌍의 유지전극들을 가진다. 투명전도박막으로 이루어진 상기 유지전극들의 각각에는, 상기 방전간극에 면하도록 줄모양으로 형성된 주전극부, 폭이 주전극부보다 좁은 금속막, 및 대응하는 상기 주전극부의 방전간극측에 반대인 측에 형성된 부전극부가 제공된다. 이 구성으로, 높은 영상품질과 낮은 전력소비량이 얻어질 수 있다.

Description

플라즈마표시패널 및 플라즈마표시패널 제조방법{Plasma display panel and method of manufacturing plasma display panel}
본 발명은 텔레비전수상기, 컴퓨터 등을 위한 평판디스플레이로서 사용되는 플라즈마표시패널, 및 플라즈마표시패널(PDP)을 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 교류(AC)구동 표면방전형 플라즈마표시패널 및 이 AC구동 표면방전형 플라즈마표시패널에 관한 것이다.
본 발명은 2001년 6월 25일자 출원된 일본특허출원 제2001-191765호를 우선권주장하며, 이 문헌은 참조로써 여기에 통합되었다.
도 7은 앞면절연기판(2)의 일부가 절단된 종래의 AC구동표면방전형 플라즈마표시패널(이후 "PDP"라 함)(1)의 개략적인 구조를 보여주는 전개사시도이다. 도 8은 PDP(1)의 앞면절연기판(2)이 제거된 상태를 보여주는 상면도이다. 도 9는 도 8의 A-A'선을 따른 단면도를 보여주는 확대단면도이다. PDP(1)는 일본특허 제3036496호, 일본공개특허공보 평11-202831호 등에 개시되어 있다.
PDP(1)에서는, 도 7 내지 도 9에 보인 것처럼, 앞면절연기판(2) 아래에, 각각이 행방향(도 8의 가로방향)으로 연장되는 복수 쌍들의 유지전극들(3a 및 3b)이소정 간격으로 열방향(도 8의 세로방향)으로 배치되어, 방전간극(4)이 각 쌍 사이에 놓인다. 앞면절연기판(2)은 나중에 설명될 것처럼 뒷면절연기판(8)과 유사한 2㎜ 내지 5㎜의 두께를 가지도록 소다석회유리 등으로 이루어진다. 양 유지전극들(3a 및 3b)은 산화주석, 산화인듐, 및 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명전도성 박막들로 이루어지고 면방전전극쌍(3)을 형성한다.
복수 쌍들의 버스전극들(5a 및 5b)이 복수 쌍들의 유지전극들(3a 및 3b)의 하부면들의 각각의 한쪽 끝에 각각 형성된다. 버스전극들(5a 및 5b)은 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 각각의 전기전도도가 낮은 유지전극들(3a 및 3b)의 저항값들을 만들기 위해 형성된다. 유지전극들(3a 및 3b)과 버스전극들(5a 및 5b)이 앞면절연기판(2)에 형성되지 않은 개개의 하부면들은 투명한 유전체층(6)에 의해 덮여진다. 유전체층(6)은 10㎛ 내지 40㎛ 두께의 저융점유리로 이루어진다. 보호층(7)이 방전 중의 이온 충돌로부터 유전체층(6)을 보호하기 위해 유전체층(6)의 하부면에 형성된다. 보호층(7)은 2차방출계수가 크고 스퍼터링저항이 양호한 산화망간 등으로 이루어지고 0.5㎛ 내지 2.0㎛의 두께를 가지도록 진공증착 등에 의해 형성된다.
한편, 열방향 즉, 유지전극들(3a 및 3b)의 형성방향에 수직한 방향으로 연장하는 줄모양(stripe)의 복수개의 데이터전극들(9)이 소정 간격으로 형성된다. 데이터전극(9)은 은막 등으로 이루어진다. 데이터전극(9)과, 데이터전극들(9)이 형성되지 않은 뒷면절연기판(8)의 상부면들은 백색유전체층(10)에 의해 덮어진다. 데이터전극(9)을 제외한 유전체층(6)상에는, 표시셀들(12)을 분리하기 위한 복수개의 분리벽들(13)이 열방향으로 형성된다. 표시셀(12)은 표시화면을 형성하기 위한 최소단위이다. 도 8에서, 점선으로 둘러싸인 영역은 표시셀들(12) 중의 하나를 나타낸다.
방전기체의 방전에 의해 발생되는 자외선을 가시광의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 삼원색들로 변환하기 위한 3개의 형광층들(14R, 14G 및 14B)이 데이터전극(9)상의 유전체층(8)의 상부면 및 분리벽(13)의 측면에 형성된다. 형광층들(14R, 14G 및 14B)은 형광층(14R), 형광층(14G) 및 형광층(14B)의 순서로 행방향에서 순차 반복적으로 형성된다. 자외선을 동일 색의 가시광으로 각각 변환하기 위한 형광층들(미도시)은 열방향으로 연속적으로 형성된다.
각각의 방전기체공간(15)은, 보호층(7)의 하부면, 형광층들(14R, 14G 및 14B)의 각 상부면, 및 서로 인접한 2개의 분리벽들(13)에 의해 형성된 각각의 공간 내에 유지된다. 방전기체공간(15)은 20㎪ 내지 80㎪의 압력 하의 크세논, 헬륨, 네온 또는 그 혼합기체와 같은 방전기체로 채워진다. 유지전극들(3a 및 3b), 버스전극들(5a 및 5b), 데이터전극(9), 형광층들(14R, 14B 및 14G) 및 방전기치공간(15)을 포함한 영역은 표시셀(12)을 만든다. 표시셀의 크기가 세로방향(열방향)으로 1.05㎜이고 가로방향(행방향)으로 0.355㎜인 경우, 폭이 300㎛ 내지 500㎛d고 두께는 0.1㎜ 내지 2.0㎜인 유지전극들(3a 및 3b)은 그것들 간에 50㎛ 내지 300㎛의 방전간극(4)을 가지도록 만들어진다.
다음으로, PDP(1)에 구비되는 유지전극들(3a 및 3b)과 버스전극들(5a 및 5b)을 형성하는 방법을 도 10a 내지 10e를 참조하여 설명한다. 유지전극들(3a 및 3b)은 도 10a 내지 10e에 보인 시프트오프(shift-off)법에 의해 형성된다. 도 10a 내지 10e는 도 8의 A-A'선을 따르는 단면을 확대하고 위로 향하게 뒤집은 앞면절연기판(2)의 한 측면을 보여주는 확대단면도들이다. 먼저, 도 10a에 보인 것처럼, 감광성건조막(21)이 앞면절연기판(2)상에 적층된다. 이 감광성건조막(21)은 지지막(미도시) 및 이 지지막상에 형성된 감광성수지(미도시)를 구비한다. 그 후, 도 10b에 보인 것처럼, 감광성건조막(21)은 건조막(21)을 패터닝하도록 노광 및 현상된다. 그 후, 도 10c에 보인 것처럼, 투명전도박막(22)이 패터닝된 감광성건조막(21)상에 형성된다. 그 후, 도 10d에 보인 것처럼, 감광성건조막(21)을 제고하여 소정 형상의 유지전극들(3a 및 3b)이 얻어진다. 그 후, 도 10e에 보인 것처럼, 은페이스트(미도시)의 패턴인쇄가 유지전극들(3a 및 3b)에 행해진 후, 소정 형상의 버스전극들(5a 및 5b)이 어닐링(예컨대, 560℃에서 30분 동안 수행)에 의해 형성된다.
이제, 하나의 표시셀(12)이 PDP(1)에서 방출하는 개괄적인 원리를 설명한다. 먼저, 방전을 유지하기 위한 전압신호가 유지전극들(3a 및 3b)에 기해질 때, 방전기체공간(15)에서는 방전이 일어난다. 이 방전에 의해 발생된 전자들은 크세논원자들, 헬률원자들, 네온원자들 등(이후, 크세논원자들 등)과 충돌하여, 크세논원자들 등은 여기되거나 이온화된다. 예를 들면, 존재하는 크세논원자들은 147㎚ 내지 190㎚의 진공자외선영역의 자외선들을 발생한다. 발생된 자외선들은 형광층들(14R, 14G 및 14B)에 조사된다. 자외선들이 각각 조사된 형광층들(14R, 14G 및 14B)은 가시적색광, 가시녹색광 및 가시청색광을 발생한다. 이 가시적색광, 가시녹색광 및가시청색광은 백색유전체층(10)에 의해 각각 반사되고, 그 후 보호층(7), 유전체층(6), 유지전극들(3a 및 3b) 및 앞면절연기판(2)을 통과하여 밖으로 나간다.
한편, 방전기체공간에서 발생하는 방전은, 전하들이 유전체층(6)의 하부면에 축적된 후, 자동적으로 중지된다. 예를 들면, 양의 펄스전압이 유지전극(3a)에 그리고 음의 펄스전압이 유지전극(3b)에 전압신호로서 인가되는 경우, 방전기체공간(15)에서의 방전에 의해 발생하는 전자들은 유지전극(3a)으로 이동하고 크세논원자들과 같은 양의 이온들은 유지전극(3b)으로 이동한다. 이러한 과정에 의해, 유지전극(3a) 아래에 형성된 유전체층(6)의 하부면은 음으로 대전되고 유지전극(3b) 아래에 형성된 유전체층(6)의 하부면은 양으로 대전되고, 그 후 대전은 중지된다.
근래에, 일반 디스플레이들에 관련하여, 또 AC구동표면방전형 PDP에 관련하여, 높은 영상품질과 낮은 전력소비량이 요구되었다.
그러나, 종래의 PDP(1)에서는, 영상품질을 향상시키기 위하여 유지전극들(3a 및 3b)에 인가되는 전압을 증가시킴으로써 휘도를 높이는 경우, 방전에 의해 야기되는 전력소비량은 증가한다.
그러면, 높은 영상품질과 낮은 소비전력을 이루기 위해, 제1기법 내지 제3기법이 고려되었으나 다음과 같은 새로운 문제들이 발생한다.
첫 번째 기법으로, AC구동표면방전형 PDP의 소비전력을 줄이기 위해서는, 표시셀의 발광효율을 향상시키고 방전에 의해 소비되는 전력을 줄이는 것이 필요하다. 일반적으로, AC구동표면방전형 PDP에서는, 방전전류밀도가 낮을수록, 자외선의 발광효율이 높아진다. 그 결과, 가시광의 발광효율이 높아지는 경향이 있다. 또, 유지전극에 인가되는 전압이 감소되고 방전전류가 감소되는 경우, 방전전류밀도는 낮아진다. 그러므로, 표시셀의 발광효율을 높이는 것이 가능하다. 그러나, 유지전극에 인가되는 전압이 감소되는 경우, 방전은 불안정하게 되어, 안정한 표시동작을 행하는 것이 불가능하다.
두 번째 기법으로, 유지전극들(3a 및 3b)의 폭들이 좁게 되고 유지전극들(3a 및 3b)의 영역들이 감소되는 경우, 유전체층(6)의 하부면과 유지전극들(3a 및 3b)간의 용량을 줄이는 것이 가능하다. 유지전극(3a)에 인가되는 전압이 유지전극(3b)에 인가되는 전압과 동일하게 되는 경우, 전하량이 유전체층(6)의 하부면에 축적되는 것은 중단된다. 그러므로, 방전전류를 줄이는 것이 가능하다. 그러나, 이 두 번째 기법에서는, 전술한 바와 같이, 유지전극들(3a 및 3b)의 영역들이 감소되므로, 표시셀(12)의 방전전류밀도는 결코 변하지 않고, 그러므로, 발광효율은 좀처럼 바뀌지 않는다. 또한, 유지전극들(3a 및 3b)의 영역들이 감소되는 경우, 전하는 유지전극들(3a 및 3b)에서 두루 확산하지 않고, 그러므로, 형광층들(14R, 14G 및 14B)의 일부만이 방출한다. 그 결과, 표시셀(12)의 휘도는 나빠지게 되고, 충분한 영상품질을 얻을 수 없다.
세 번째 기법으로, 일본공개특허공보 평8-22772호는 다음의 기법을 개시한다. 이 기법에서는, 투명전도박막으로 이루어진 유지전극이 행방향으로 연장하는 주요부 및 주요부로부터 인접한 유지전극으로 돌출하는 돌출부를 각 표시셀마다 구비한다. 또, 돌출부는 행방향의 폭이 행방향의 상단부의 폭보다 좁은 협소(좁고 작은)부분을 가진다. 이 기법에서, 협소부분이 제공되어, 소비전력을 줄이도록 하나의 표시셀에 대한 방전전류는 감소된다. 그 결과, 발광효율은 향상된다. 그러나, 이 기법에서는, 방전이 협소부분 근처에 집중하고 표시셀에서 두루 확산하지 않으므로, 휘도가 낮아질 가능성이 있다. 또한, 이 기법에서는, 투명전도박막으로 이루어진 유지전극이 복잡한 형상으로 패터닝되며, 크랙이 협소부분에서 발생하고 깨어질 가능성이 있다.
전술한 바를 고려한 본 발명의 목적은 높은 영상품질 및 낮은 전력소비량 둘 다를 제공할 수 있는 플라즈마표시패널 및 플라즈마표시패널 제조방법을 제공함에 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 앞면절연기판(32)이 보여지지 않은 AC구동표면방전형 PDP(31)를 보여주는 상면도,
도 2a 내지 2f는 PDP(31)의 유지전극들(33a 및 33b)의 형성방법을 설명하기 위한 공정도들,
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 앞면절연기판(52)이 보여지지 않은 AC구동표면방전형 PDP(51)를 보여주는 상면도,
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 앞면절연기판(62)이 보여지지 않은 AC구동표면방전형 PDP(61)를 보여주는 상면도,
도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 앞면절연기판(82)이 보여지지 않은 AC구동표면방전형 PDP(81)를 보여주는 상면도,
도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 앞면절연기판(92)이 보여지지 않은 AC구동표면방전형 PDP(91)를 보여주는 상면도,
도 7은 앞면절연기판(2)의 일부가 절단된 종래의 AC구동표면방전형 PDP(1)의 개략적인 구조를 보여주는 확대사시도,
도 8은 앞면절연기판(2)이 보여지지 않는 종래의 AC구동표면방전형 PDP(1)를보여주는 상면도,
도 9는 도 8의 A-A'선을 따라 취해진 단면을 보여주는 확대단면도,
도 10a 내지 10e는 PDP(1)의 유지전극들(3a 및 3b)과 버스전극들(5a 및 5b)을 형성하는 방법을 설명하기 위한 종래의 공정도들.
본 발명의 제1양태에 따르면, 열방향에서 소정 간격으로 형성된 복수개의 면방전전극쌍들 가지며, 상기 면방전전극쌍들의 각각은 행방향으로 연장하는 한 쌍의 유지전극들을 가져, 방전간극이 상기 유지전극들 사이에 만들어지고, 투명전도박막으로 이루어진 상기 유지전극들의 각각에는, 상기 방전간극에 면하도록 줄모양으로 형성된 주전극부, 폭이 상기 주전극부보다 좁은 금속막, 및 대응하는 상기 주전극부의 방전간극측에 반대인 측에 형성된 부전극부가 제공되는 플라즈마표시패널이 제공된다.
전술한 바에서, 바람직한 형태는, 상기 부전극부에, 상기 주전극부로부터의소정 거리에서 상기 행방향으로 연장하는 제1평행부, 상기 주전극부 및 상기 제1평행부 사이에서 상기 제1평행부로부터의 소정 거리에서 상기 행방향으로 연장하는 제2평행부가 제공되는 것이다.
또한 바람직한 형태는, 상기 부전극부에, 각각의 표시셀을 분리하기 위해 상기 열방향으로 연장하는 인접한 분리벽들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 주전극부까지 연장하며 세로부의 끝부분이 상기 주전극부와 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1 및 상기 제2평행부들과는 일체로 된 세로부가 제공되는 것이다.
또한 바람직한 형태는, 상기 부전극부에, 각각의 표시셀을 분리하기 위해 상기 열방향으로 연장하는 인접한 분리벽들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 주전극부까지 연장하며 제1세로부의 끝부분이 상기 주전극부와 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1 및 상기 제2평행부들과는 일체로 된 제1세로부와, 상기 분리벽의 상면측에서 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하며 상기 제2세로부의 끝부분이 상기 주전극부와 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1 및 제2평행부들과는 일체로 된 제2세로부가 제공되는 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제2세로부의 폭이 상기 분리별의 폭과 동일하거나 상기 분리벽의 상기 폭보다 좁은 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제2세로부의 폭이 상기 분리벽의 폭의 절반 이하인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제2평행부의 폭이 1㎛ 내지 50㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제2평행부의 폭이 1㎛ 내지 30㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제1세로부의 폭이 1㎛ 내지 50㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제1세로부의 폭은 1㎛ 내지 30㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 주전극부에, 상기 행방향으로 연장하는 주전극평행부와, 상기 열방향으로 연장하여 각 표시셀을 분리하는 인접한 분리벽으로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 주전극부의 방전간극측에 반대인 측에서 상기 주전극부로부터 돌출하는 주전극돌출부가 제공되며, 상기 제1세로부는 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부에 수직한 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하고 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부와는 상기 제1세로부의 끝부분이 대응하는 상기 주전극부와는 전기적으로 접촉하는 방식으로 일체로 된 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 주전극돌출부의 상기 행방향에서의 및 상기 열방향에서의 길이들은 30㎛ 내지 60㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 부전극부에, 상기 주전극부로부터의 소정 간격에서 상기 행방향으로 연장하는 제1평행부, 각각의 표시셀을 분리하도록 상기 열방향으로 연장하는 각각의 분리벽 위에서 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하며 상기 제1세로부의 끝부분이 상기 주전극부와는 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1평행부와는 일체로 된 제1세로부, 그리고 인접한 분리벽들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하며 제2세로부의 끝부분은 상기 주전극부의 측면 근처에 도달하는 제2세로부와 상기 제2평행부들의 각각의 끝부분이 인접한 상기 제1세로부들 근처에 도달하는 방식으로 근사적 중앙으로부터 인접한 상기 제1세로부들까지 각각 연장하는 제2평행부들을 구비한 십자부들로서 십자부는 상기 제1세로부와 일체로 된 십자부들이 제공되는 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제1세로부의 폭이 상기 분리벽의 폭과 동일하거나 상기 분리벽의 폭보다 좁은 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제1세로부의 폭은 상기 분리벽의 폭의 절반 이하인 것이다.
또한 바람직한 형태는, 상기 제1평행부로부터의 영향이 없는 거리에서 상기 제1평행부와는 평행하게 상기 행방향으로 연장하는 버스전극평행부, 및 버스전극세로부의 끝부분이 상기 제1평행부와는 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1평행부 및 상기 버스전극평행부에 수직한 상기 열방향으로 상기 제1평행부까지 연장하는 버스전극세로부를 포함하는 버스전극부로서, 상기 부전극부와는 일체로 된 버스전극부를 더 포함하는 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 주전극부의 폭은 30㎛ 내지 100㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 주전극부의 폭은 40㎛ 내지 80㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부의 폭들은 40㎛ 내지 80㎛인 것이다.
또한, 바람직한 형태는, 상기 제1평행부의 폭은 30㎛ 내지 60㎛인 것이다.
게다가, 상기 주전극부 및 상기 제1평행부 사이의 간격과 상기 제2평행부 및상기 제1평행부 사이의 간격 둘 다가 30㎛ 내지 140㎛인 것이다.
본 발명의 제2양태에 따르면, 제1양태에 따른 플라즈마표시패널을 제조하는 방법으로서, 앞면절연기판 위에 또는 복수개의 면방전전극쌍들을 형성한 후의 앞면절연기판 위에 감광성은페이스트를 코팅하는 제1단계; 및 상기 감광성은페이스트를 노광 및 현상하고 상기 감광성은페이스트를 패터닝한 후 어닐링에 의해 상기 부전극부를 형성하는 제2단계를 포함하는 플라즈마표시패널 제조방법이 제공된다.
본 발명의 제3양태에 따르면, 제1양태에 따른 플라즈마표시패널을 제조하는 방법으로서, 앞면절연기판 위에 또는 복수개의 면방전전극쌍들을 형성한 후의 앞면절연기판 위에 은페이스트를 코팅하는 제1단계; 및 상기 은페이스트를 패터닝한 후의 어닐링에 의해 상기 부전극부를 형성하는 제2단계를 포함하는 플라즈마표시패널 제조방법이 제공된다.
본 발명의 전술한 및 다른 목적들, 이점들 및 특징들은 첨부 도면들을 참조한 다음의 설명으로부터 더 명확하게 될 것이다.
제1실시예
본 발명의 제1실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른, 앞면절연기판(32)이 보여지지 않는 AC구동표면방전형 PDP(31)를 보여주는 상면도이다.
이 PDP(31)에서, 앞면절연기판(32)의 아래에는, 도 1에 보인 것처럼, 모두 행방향(도 1의 가로방향)으로 연장하는 복수 쌍들의 유지전극들(33a 및 33b)이 열방향(도 1의 세로방향)에서 소정 간격으로 교대로 배치되어, 각 쌍간에방전간극(34)이 만들어지게 한다. 앞면절연기판(32)(도 2a∼2f에 보임)은 2㎜ 내지 5㎜의 두께를 가지도록 소다석회유리 등으로 이루어진다. 유지전극들(33a 및 33b)은 면방전전극쌍(33)을 형성한다. 유지전극(33a)은 주전극부(35a) 및 부전극부(36a)를 구비한다. 유사하게, 유지전극(33b)은 주전극부(35b) 및 부전극부(36b)를 구비한다.
양 주전극부들(35a 및 35b)은 산화주석, 산화인듐, 또는 ITO와 같은 줄모양의 투명전도박막들로 이루어진다. 주전극부들(35a 및 35b)의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛이고 바람직하게는 40㎛ 내지 80㎛이다.
복수 쌍들의 부전극부들(36a 및 36b)은 복수 쌍들의 주전극부들(35a 및 35b)의 하부면들에 주전극부들(35a 및 35b)에 대응하도록 각각 형성된다. 주전극부(35a)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀들(12)마다 형성된 제1평행부(371), 제2평행부(372) 및 복수개의 세로부들(373)을 구비한다. 제1평행부(371)는 주전극부(35a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(35a)와 평행하게 형성된다. 제2평행부(372)는 주전극부(35a) 및 제1평행부(371) 사이에서 그리고 주전극부(35a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(35a)와 평행하게 형성된다. 각각의 세로부(373)는 제1평행부(371) 및 제2평행부(372)와 일체로 되고 제1평행부(371) 및 제2평행부(372)에 수직한 열방향에서 주전극부(35a)까지 연장하고, 각세로부(373)의 상부면은 주전극부(35a)의 하부면과 전기적으로 접촉하게 된다. 각 세로부(373)는, 도 1에서 점선으로 둘러싸인 영역인 표시셀(12)의 인접한 분리벽들(13)로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에 형성된다. 마찬가지로, 부전극부(36b)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀들(12)마다 형성되는 제1평행부(381), 제2평행부(382) 및 복수개의 세로부들(383)을 구비한다. 부전극부들(36a 및 36b)은, 방전간극(34)의 중심축이 대칭선으로서 사용되는 선대칭관계에 있고, 그러므로, 부전극부(36b)의 상세한 설명은 생략된다.
제1평행부들(371및 381)의 폭들은 바람직하게는 전도도가 낮은 주전극부들(35a 및 35b)의 저항값들을 낮추도록 하기 위해 30㎛ 내지 60㎛이다. 다시 말하면, 제1평행부들(371및 381)은 종래의 버스전극들과 유사한 기능을 한다. 제2평행부들(372및 382)의 폭들 및 세로부들(373및 383)의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛d고 바람직하게는 1㎛ 내지 30㎛이다. 제1실시예에서, 주전극부(35a) 및 제2평행부(372)간의 간격 및 제2평행부(372) 및 제1평행부(371)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 140㎛이다. 마찬가지로, 주전극부(35b) 및 제2평행부(382)간의 간격 및 제2평행부(382) 및 제1평행부(381)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 40㎛이다.
더욱이, 주전극부들(35a 및 35b) 및 부전극부들(36a 및 36b)과,주전극부들(35a 및 35b) 및 부전극부들(36a 및 36b)이 형성되지 않은 앞면절연기판(32)(도 2a∼2f에 보여짐)의 하부면에 순차적으로 형성되는 유전체층(미도시) 및 보호층(미도시)은, 종래의 PDP의 그것들과 유사하고, 그러므로, 그런 것들에 대한 설명은 생략한다. 또한, 데이터전극, 유전체층, 분리벽, 3종류의 형광층들, 및 방전기체공간에 채워지는 방전기체는 종래의 PDP에서와 유사하므로, 그것들에 대한 설명도 생략한다.
다음으로, PDP(31)에 구비되는 유지전극들(33a 및 33b)을 형성하는 방법을 도 2a 내지 2f를 참조하여 설명한다. 주전극부들(35a 및 35b)은 도 2a 내지 2f에 보인 리프트오프법에 의해 형성된다. 도 2a 내지 2f는 도 1의 B-B'선을 따르는 단면을 확대하고 뒤집은 앞면절연기판(32)의 한면을 보여주는 확대단면도들이다. 먼저, 도 2a에 보인 것처럼, 감광성건조막(41)이 앞면절연기판(32)상에 형성된다. 이 감광성건조막(41)은 지지막(미도시)과 이 지지막상에 형성된 감광성수지(미도시)를 구비한다. 그 후, 도 2b에 보인 것처럼, 감광성건조막(41)은 감광성건조막(41)을 패터닝하도록 노광 및 현상된다.
그 후, 도 2c에 보인 것처럼, 투명전도박막(42)이 패터닝된 감광성건조막(41)상에 형성된다. 그 후, 도 2d에 보인 것처럼, 소정 형상들의 주전극부들(35a 및 35b)이 감광성건조막(41)을 제거함으로써 얻어진다. 그 후, 도 2e에 보인 것처럼, 감광성은페이스트(43)가 주전극부들(35a 및 35b)을 갖는 앞면절연기판(32)상에 코팅된다. 그 후, 도 2f에 보인 것처럼, 감광성은페이스트(43)는 노광 및 현상되어, 감광성은페이스트(43)는 패터닝되고, 그 후 어닐링이 수행되어(예컨대, 550℃에서 10분 동안 수행), 제1평행부(371), 제2평행부(372) 및 세로부(373)를 구비한 부전극부(36a)(도 1에 보임)와, 제1평행부(381), 제2평행부(382) 및 세로부(383)를 구비한 부전극부(36b)가 형성된다. 전술한 어닐링조건 하에 형성된 부전극부들(36a 및 36b)의 시트저항들은 3mΩ/□ 내지 4mΩ/□이었다. 여기서, 세로부들(373및 374)은 도 2f에 보여지진 않았다.
전술한 바와 같이, 제1실시예에 따르면, 줄모양의 주전극부들(35a 및 35b)이 방전간극(34)의 양측에서 행방향으로 연장하도록 형성되므로, 방전은 안정하게 되고 방전전압은 감소될 수 있다. 또한, 주전극부들(35a 및 35b)이 투명전도박막들로 이루어지므로, 방전간극(34) 근처의 강한 광은 통과할 수 있어, 높은 휘도표시가 얻어질 수 있다. 실험에 의하면, 주전극부들(35a 및 35b)의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛로 설정되었고, 높은 휘도표시가 안정한 방전으로 얻어졌다. 특히, 주전극부들(35a 및 35b)의 폭들이 40㎛ 내지 80㎛로 설정되었을 때, 방전전압을 줄이는 것과 높은 휘도표시를 얻는 것이 가능하였다.
또한, 제2평행부(372)와 세로부(373)는 주전극부(35a) 및 제1평행부(371) 사이에 형성되고, 제2평행부(382)와 세로부(383)는 주전극부(35b) 및 제1평행부(381) 사이에 형성된다. 제2평행부들(372및 382)과 세로부들(373및 383)은 금속막들로 이루어지고 1㎛ 내지 50㎛의 두께를 가진다. 그러므로, 제1실시예의 구조에 의하면, 다음의 이유들에 의해 표시셀(12)의 발광효율에 10% 내지 40%의 개선이 있게 된다.
전술한 바와 같이, 일반적으로, AC구동표면방전형 PDP에서는, 방전전류밀도가 낮을수록, 자외선의 발광효율이 높다. 그 결과, 가시광의 발광효율이 높게 되는 경향이 있다. 제1실시예에서, 제2평행부들(372및 382)의 폭들과 세로부들(373및 383)의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛로 설정되고, 개구가 부전극부들(36a 및 36b)을 형성하는 전극부들 사이의 각 영역에 제공되어, 방전전류밀도는 그러한 영역들에서 높게되지 않도록 제어된다. 전술한 바와 같이, 방전전류밀도는 제어되고, 이것이 표시셀(12)의 발광효율이 개선될 수 있는 이유일 것이다. 금속막은 가시광을 차단하지만, 제2평행부들(372및 382)의 폭들과 세로부들(373및 383)의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛로 설정된다. 그러면, 차단되는 가시광의 량은 전체 가시광의 량보다 훨씬 작고, 그러므로, 휘도에 영향을 주는 량은 얻어지지 않는다.
실험에 의하면, 제2평행부들(372및 382)의 폭들과 세로부들(373및 383)의 폭들이 1㎛ 내지 30㎛로 설정될 때, 높은 휘도표시가 얻어질 수 있다. 또한, 제1실시예의 구조에서는, 유지전극들(33a 및 33b)에 가해지는 전압이 감소되지 않으므로, 관련기술의 설명에서 제1문제로서 설명된 방전이 불안정하고 안정한 표시동작이 수행될 수 없는 위험은 발생하지 않는다.
또한, 제1실시예의 구조에 의하면, 제2평행부들(372및 382)과 세로부들(373및 383)이 제공되고, 그것들의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛로 설정된다. 또, 주전극부들(35a 및 35b)의 면적들이 감소하고 주전극부들(35a 및 35b)의 형상들은줄모양이고, 일본공개특허공보 평8-22772호에 개시된 돌출부는 제공되지 않는다. 이 구조에 의하면, 방전전류밀도가 제어되고, 방전은 유지전극들(33a 및 33b)에 두루 확산한다. 이 구조에서는, 형광층들(14R, 14G 및 14B) 모두를 자외선에 의해 여기하는 것이 가능하므로, 표시셀(12)의 휘도는 높아지고 충분한 영상품질이 얻어질 수 있다.
그러므로, 제1실시예의 구조에 의하면, 더 높은 영상품질을 달성하고 전력소비량을 줄이는 것이 가능하다.
또한, 제1실시예의 구조에 의하면, 감광성은페이스트(43)는 노출 및 현상되어 패터닝된 다음, 어닐링이 수행된다. 그 후, 높은 패터닝정밀도를 요하는, 제1평행부(371), 제2평행부(372) 및 세로부(373)를 구비한 부전극부(36a)와 제1평행부(381), 제2평행부(382) 및 세로부(383)를 구비한 부전극부(36b)가 형성된다. 그러므로, 노광시의 용액이 막의 두께에 의해 영향을 받고 투명전도막이 불충분한 패터닝정밀도를 갖는 감광성건조막을 사용하여 패터닝되는 종래의 기법에 비교하여, 부전극부들(36a 및 36b)을 양호한 패터닝정밀도로 쉽사리 형성하는 것이 가능하다.
한편, 제1실시예의 구조에 의하면, 주전극부들(35a 및 35b)은 공정비용이 더 싼 감광성건조막을 사용하여 패터닝된다. 그러나, 주전극부들(35a 및 35b)의 폭들이 30㎛ 내지 100㎛이므로, 패터닝정밀도가 부전극부들(36a 및 36b)의 패터닝정밀도보다 조악하게 되고, 그러므로, 주전극부들(35a 및 35b)을 값싸고 용이하게 패터닝하는 것이 가능하다.
또한, 제1실시예의 구조에 의하면, 부전극부들(36a 및 36b)이 금속막으로 이루어지므로, 주전극부(35a)와 세로부(373)의 접합점 또는 제1평행부(371) 및 세로부(373)의 교차부에 크랙이 좀처럼 발생하지 않아 전선이 끊어지는 일은 좀처럼 일어나지 않는다.
제2실시예
본 발명의 제2실시예를 설명한다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른, 앞면절연기판(52)이 보여지지 않는 AC구동표면방전형 PDP(31)를 보여주는 상면도이다.
이 PDP(51)에서, 앞면절연기판(52)(미도시)의 아래에는, 도 3에 보인 것처럼, 모두 행방향(도 3의 가로방향)으로 연장하는 복수 쌍들의 유지전극들(53a 및 53b)이 열방향(도 3의 세로방향)에서 소정 간격으로 교대로 배치되어, 각 쌍간에 방전간극(54)이 만들어지게 한다. 앞면절연기판(52)은 2㎜ 내지 5㎜의 두께를 가지도록 소다석회유리 등으로 이루어진다. 유지전극들(53a 및 53b)은 면방전전극쌍(53)을 형성한다. 유지전극(53a)은 주전극부(55a) 및 부전극부(56a)를 구비한다. 유사하게, 유지전극(53b)은 주전극부(55b) 및 부전극부(56b)를 구비한다.
양 주전극부들(55a 및 55b)은 산화주석, 산화인듐, 또는 ITO와 같은 줄모양의 투명전도박막들로 이루어진다. 주전극부들(55a 및 55b)의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛이고 바람직하게는 40㎛ 내지 80㎛이다.
복수 쌍들의 부전극부들(56a 및 56b)은 복수 쌍들의 주전극부들(55a 및 55b)의 하부면들에 주전극부들(55a 및 55b)에 대응하도록 각각 형성된다. 주전극부(55a)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀들(12)마다 형성된 제1평행부(571), 제2평행부(572) 및 복수개의 제1세로부들(573)과, 분리벽(13) 위에 제공된 복수개의 제2세로부들(574)을 구비한다. 제1평행부(571)는 주전극부(55a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(55a)와 평행하게 형성된다. 제2평행부(572)는 주전극부(55a) 및 제1평행부(571) 사이에서 그리고 주전극부(55a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(55a)와 평행하게 형성된다. 각각의 제1세로부(573)는 제1평행부(571) 및 제2평행부(572)와 일체로 되고 제1평행부(571) 및 제2평행부(572)에 수직한 열방향에서 주전극부(55a)까지 연장하고, 각각의 제1세로부(573)의 상부면은 주전극부(55a)의 하부면과 전기적으로 접촉하게 된다. 각각의 제1세로부(573)는, 도 3에서 점선으로 둘러싸인 영역인 표시셀(12)의 인접한 분리벽(13)들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에 형성된다. 각각의 제2세로부(574)는 제1평행부(571) 및 제2평행부(572)와 일체로 되고 제1평행부(571) 및 제2평행부(572)에 수직한 열방향에서 주전극부(55a)까지 연장하고, 각각의 제1세로부(573)의 상부면은 주전극부(55a)의 하부면과 전기적으로 접촉하게 된다. 또한, 각각의 제2세로부(574)는 인접한 제1세로부(573)의 길이와 거의 유사한 길이를 갖는 분리벽(13) 위에 형성된다. 마찬가지로, 부전극부(56b)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀들(12)마다 형성되는 제1평행부(581), 제2평행부(582) 및 복수개의 제1세로부들(583)과, 분리벽(13)위에 마련된 복수개의 제2세로부들(584)을 구비한다. 부전극부들(56a 및 56b)은, 방전간극(54)의 중심축이 대칭선으로서 사용되는 선대칭관계에 있고, 그러므로, 부전극부(56b)의 상세한 설명은 생략된다.
제1평행부들(571및 581)의 폭들은 바람직하게는 전도도가 낮은 주전극부들(55a 및 55b)의 저항값들을 낮추도록 하기 위해 30㎛ 내지 60㎛이다. 다시 말하면, 제1평행부들(371및 381)은 종래의 버스전극들과 유사한 기능을 한다. 제2평행부들(572및 582)의 폭들, 세로부들(373및 383)의 폭들, 및 제1세로부들(573및 583)의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛d고 바람직하게는 1㎛ 내지 30㎛이다. 제2실시예에서, 주전극부(55a) 및 제2평행부(572)간의 간격 및 제2평행부(572) 및 제1평행부(571)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 140㎛이다. 마찬가지로, 주전극부(55b) 및 제2평행부(582)간의 간격 및 제2평행부(582) 및 제1평행부(581)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 40㎛이다. 제2세로부들(574및584)의 폭들은 발광효율 및 휘도의 점에서분리벽(13)의 폭보다 좁거나 분리벽(13)의 폭과 동일한 것이 바람직하다.
더욱이, 주전극부들(55a 및 55b) 및 부전극부들(56a 및 56b)과, 주전극부들(55a 및 55b) 및 부전극부들(56a 및 56b)이 형성되지 않은 앞면절연기판(52)(미도시)의 하부면에 순차적으로 형성되는 유전체층(미도시) 및 보호층(미도시)은, 종래의 PDP의 그것들과 유사하고, 그러므로, 그런 것들에 대한 설명은 생략한다. 또한, 뒷면절연기판상에 순차 형성되는 데이터전극, 유전체층, 분리벽, 및 3종류의 형광층들과, 방전기체공간에 채워지는 방전기체는 종래의 PDP에서와 유사하므로, 그것들에 대한 설명도 생략한다. 또한, PDP(51)에 구비되는 유지전극들(53a 및 53b)을 형성하는 방법은, 부전극부들(56a 및 56b)의 형상들이 부전극부들(36a 및 36b)의 형상들과 다르기 때문인 감광성은페이스트(43, 미도시)의 패터닝 시의 패턴형상을 제외하면, 제1실시예에서와 거의 유사하다. 그러므로, 이 방법에 관한 설명은 생략된다.
전술한 바와 같이, 제2실시예에서는, 제2세로부들(574및 584)이 분리벽(13) 위에 있다. 제1실시예에 의해 얻어진 효과에 더하여, 다음의 효과가 얻어질 수 있다. 제2세로부들(574및 584)이 분리벽(13) 위에 있으므로, 방전은 분리벽(13) 근처에서 확산하며, 방전에 의해 여기된 크세논원자들 등은 자외선을 발생하며, 발생된 자외선은 분리벽(13)의 측벽들(미도시)로 그리고 이 측벽들 근처에 형성된 형광층들(14R, 14G 및 14B)(모두 미도시)로 조사된다. 이 구조로, 표시셀(12)의 휘도를 제1실시예보다 높게 할 수 있다.
전술한 바와 같이, 발광효율 및 휘도의 견지에서는, 제2세로부들(574및 584)의 폭들은 분리벽(13)과 동일하거나 그보다 좁은 것이 바람직하다. 분리벽(13)의 폭은 바닥과 상면에서 변화한다. 여기서, 분리벽(13)의 폭은 분리벽(13)의 상면폭을 나타낸다. 이후로는, 분리벽(13)의 폭도 상면폭을 나타낸다.
한편, 제조의 관점에서는, 제2세로부들(574및 584)의 폭들이 분리벽(13)의 폭의 절반 이하인 것이 바람직하다. 그 이유를 설명한다. 유지전극들(53a 및 53b)을 형성한 후의 어닐링공정에서는 앞면절연기판(미도시) 및 뒷면절연기판(미도시)에서 왜곡이 발생한다. 그러므로, 앞면절연기판 및 뒷면절연기판이 합쳐질 때, 앞면절연기판 및 뒷면절연기판간의 위치관계가 어긋날 가능성이 있다.
제2세로부들(574및 584)이 분리벽(13) 위에 형성되어야 함에도 불구하고 변위가 발생하여 제2세로부들(574및 584)이 분리벽(13) 위에 형성되지 않는 경우, 방전상태는 바뀌고, 특성은 매 PDP(51)마다 바뀐다. 또한, 변위의 경우, 강한 방전이 분리벽(13) 근처에서 발생할 때, 방전에 의해 여기된 크세논원자들 등은 자외선을 효율적으로 발생하지 않고, 그러므로, 발광효율은 낮다. 이때, 제2세로부들(574및 584)의 폭들은 분리벽(13)의 절반 이하이다. 그러므로, 앞면절연기판 및 뒷면절연기판의 변위가 발생함에도 불구하고, 변위가 행방향에서 단지 분리벽(13)의 절반뿐이라면, 제2세로부들(574및 584)의 폭들은 분리벽(13)으로부터 변위되는 경우는 없다. 이 구조로써, 변위에 의해 야기된 영향을 줄일 수 있다.
제3실시예
본 발명의 제3실시예를 설명한다.
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른, 앞면절연기판(62)이 보여지지 않는 AC구동표면방전형 PDP(31)를 보여주는 상면도이다.
이 PDP(61)에서, 앞면절연기판(62, 미도시)의 아래에는, 도 4에 보인 것처럼, 모두 행방향(도 4의 가로방향)으로 연장하는 복수 쌍들의 유지전극들(63a 및 63b)이 열방향(도 3의 세로방향)에서 소정 간격으로 교대로 배치되어, 각 쌍간에 방전간극(64)이 만들어지게 한다. 앞면절연기판(62)은 2㎜ 내지 5㎜의 두께를 가지도록 소다석회유리 등으로 이루어진다. 유지전극들(63a 및 63b)은 면방전전극쌍(63)을 형성한다. 유지전극(63a)은 주전극부(65a) 및 부전극부(66a)를 구비한다. 유사하게, 유지전극(63b)은 주전극부(65b) 및 부전극부(66b)를 구비한다.
양 주전극부들(65a 및 65b)은 산화주석, 산화인듐, 또는 ITO와 같은 줄모양의 투명전도박막들로 이루어진다. 주전극부(65a)는 평행부(691) 및 돌출부들(692)을 구비하고, 주전극부(65b)는 평행부(701) 및 돌출부들(702)을 구비한다. 평행부들(691및 701)은 행방향으로 연장하도록 형성되고, 평행부들(691및 701)의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛이고 바람직하게는 40㎛ 내지 80㎛이다. 돌출부들(692)은 도 4에서 점선으로 둘러싸인 영역으로서 보여진 표시셀(12)의 인접한 분리벽들(13)로부터의 거리들이 거의 동일한 상부위치에 형성되고 또 방전간극(64)에 면하는 측면에 대향하는 측면의 평행부(691)로부터 돌출하도록 형성된다. 유사하게는, 돌출부들(702)은 도 4에서 점선으로 둘러싸인 영역으로서 보여진 표시셀(12)의 인접한 분리벽들(13)로부터의 거리들이 거의 동일한 상부위치에 형성되고, 방전간극(64)에 면하는 측면에 대향하는 측면의 평행부(701)로부터 돌출하도록 형성된다. 돌출부들(692및 702)의 형상에 대하여, 행방향 및 열방향의 양 길이는 30㎛ 내지 60㎛으로 설정되고 예를 들면 50㎛이다. 이 조건하에서, 돌출부들(692및 702)과 후술되는 세로부들(683및 703)의 충분한 전기접촉을 얻는 것이 가능하다. 또한, 주전극부들(65a 및 65b)을 통해 돌출부들(692및 702)을 구비하고, 주전극부들(35a 및 35b; 도 1에 보여짐) 줄모양들이 패터닝된 제1실시예와 동일한 수득율을 얻는 것이 가능하다. 복수 쌍들의 부전극부들(66a 및 66b)은 복수 쌍들의 주전극부들(65a 및 65b)의 하부면들상에 주전극부들(65a 및 65b)에 대응하도록 각각 형성된다. 부전극부(66a)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀들(12)마다 형성된 제1평행부(671), 제2평행부(672) 및 복수개의 세로부들(673)을 구비한다. 제1평행부(671)는 주전극부(65a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(65a)와 평행하게 형성된다. 제2평행부(672)는 주전극부(65a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(65a)와 평행하게 주전극부(65a) 및 제1평행부(671) 사이에 형성된다. 각각의 세로부(673)는 제1평행부(671) 및 제2평행부(672)와 일체로 되고 제1평행부(671) 및 제2평행부(672)에 수직한 열방향에서 주전극부(65a)까지 연장하고, 각 세로부(673)의 단부의 상부면은 돌출부(692)의 하부면과 전기적으로 접촉하게 된다. 각 세로부(673)는, 도 4에서 점선으로 둘러싸인 영역인 표시셀(12)의 인접한 분리벽들(13)로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에 형성된다. 유사하게, 부전극부(66b)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀들(12)마다 형성되는 제1평행부(681), 제2평행부(682) 및 복수개의 세로부들(683)을 구비한다. 부전극부들(66a 및 66b)은, 방전간극(64)의 중심축이 대칭선으로서 사용되는 선대칭관계에 있고, 그러므로, 부전극부(66b)의 상세한 설명은 생략된다.
제1평행부들(671및 681)의 폭들은 바람직하게는 전도도가 낮은 주전극부들(65a 및 65b)의 저항값들을 낮추도록 하기 위해 30㎛ 내지 60㎛이다. 다시 말하면, 제1평행부들(671및 681)은 종래의 버스전극들과 유사한 기능을 한다. 제2평행부들(672및 682)의 폭들 및 세로부들(673및 683)의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛이고 바람직하게는 1㎛ 내지 30㎛이다. 제3실시예에서, 주전극부(65a)의 평행부(691) 및 제2평행부(672)간의 간격 및 제2평행부(672) 및 제1평행부(671)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 140㎛이다. 유사하게, 주전극부(65b)의 평행부(701) 및 제2평행부(682)간의 간격 및 제2평행부(682) 및 제1평행부(681)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 140㎛이다.
더욱이, 주전극부들(65a 및 65b) 및 부전극부들(66a 및 66b)과, 주전극부들(65a 및 65b) 및 부전극부들(66a 및 66b)이 형성되지 않은 앞면절연기판(62; 미도시)의 하부면에 순차적으로 형성되는 유전체층(미도시) 및 보호층(미도시)은, 종래의 PDP의 그것들과 유사하고, 그러므로, 그런 것들에 대한 설명은 생략한다. 또한, 데이터전극, 유전체층, 분리벽, 뒷면절연기판에 순차적으로 형성되는 3종류의 형광층들 (모두 미도시), 및 방전기체공간에 채워지는 방전기체는 종래의 PDP에서와 유사하므로, 그것들에 대한 설명도 생략한다. 또한, PDP(61)에 구비되는 유지전극들(63a 및 63b)을 형성하는 방법은, 주전극부들(65a 및 65b) 및 부전극들(66a 및 66b)의 형상들이 주전극부들(35a 및 35b; 도 1에 보여짐) 및 부전극들(36a 및 36b; 도 1에 보여짐)의 그것들과 다르므로, 감광성건조막(41; 도 2a에 보여짐) 및 감광성은페이스트 (43; 도 2e에 보여짐)의 패터닝 시의 패턴형상을 제외하면, 제1실시예에서와 거의 유사하다. 그러므로, 이 방법에 관한 설명은 생략된다.
전술한 바와 같이, 제3실시예에 의해, 주전극부(65a)는 돌출부(692)를 구비하고, 금속막으로 이루어진 부전극부(66a)를 형성하는 세로부(673)의 각 상부는 대응하는 돌출부(692)의 하부면만 전기적으로 접촉하게 된다. 유사하게,주전극부(65b)는 돌출부(702)를 구비하고, 금속막으로 이루어진 부전극부(66b)를 형성하는 세로부(683)의 각 상부는 대응하는 돌출부(702)의 하부면만 전기적으로 접촉하게 된다. 그러므로, 제3실시예에 의하면, 투명하지 않고 가시광을 차단하는 금속막의 영역을 줄이는 것이 가능하므로, 제1실시예와 비교하여 휘도를 더 높게 하고 휘도효율을 향상시키는 것이 가능하다.
제4실시예
본 발명의 제4실시예를 설명한다.
도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 앞면절연기판(82)이 보여지지 않은 AC구동표면방전형 PDP(81)를 보여주는 상면도이다.
PDP(81)에서, 앞면절연기판(82)(미도시)의 아래에는, 도 5에 보인 것처럼, 모두 행방향(도 5의 가로방향)으로 연장하는 복수 쌍들의 유지전극들(83a 및 83b)이 열방향(도 5의 세로방향)에서 소정 간격으로 교대로 배치되어, 각 쌍간에 방전간극(84)이 만들어지게 한다. 앞면절연기판(82)은 2㎜ 내지 5㎜의 두께를 가지도록 소다석회유리 등으로 이루어진다. 유지전극들(83a 및 83b)은 면방전전극쌍(83)을 형성한다. 유지전극(83a)은 주전극부(85a) 및 부전극부(86a)를 구비한다. 유사하게, 유지전극(83b)은 주전극부(85b) 및 부전극부(86b)를 구비한다.
양 주전극부들(85a 및 85b)은 산화주석, 산화인듐, 또는 ITO와 같은 줄모양의 투명전도박막들로 이루어진다. 주전극부들(85a 및 85b)의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛이고 바람직하게는 40㎛ 내지 80㎛이다. 복수 쌍들의 부전극부들(86a 및86b)은 주전극부들(85a 및 85b)의 하부층들에 주전극부들(85a 및 85b)에 대응하도록 형성된다. 부전극부(86a)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 평행부(871), 분리벽(13) 위에 제공된 복수개의 세로부들(872) 및 개개의 표시셀들(12)마다 제공된 복수개의 십자부들(873)을 구비한다. 평행부(871)는 주전극부(85a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(85a)와 평행하게 형성된다. 각 세로부(872)는 평행부(871)와 일체로 되고, 평행부(871)에 수직한 열방향으로 분리벽(13) 위의 주전극부(85a)까지 연장하고, 각각의 세로부(872)의 상부면단부는 주전극부(85a)의 하부면과 전기적으로 접촉하게 된다. 각각의 세로부(873)는 평행부(871)와 일체로 되고, 도 5에서 점선으로 둘러싸인 영역인 표시셀(12)의 인접한 분리벽(13)들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에 형성된다. 각각의 십자부(873)는 세로부(873a) 및 평행부(873b)를 구비한다. 세로부(873a)는 평행부(873b)에 수직한 열방향에서 주전극부(85a)까지 연장한다. 세로부(873a)의 상부가 주전극부(85a)의 방전가스(84)에 면하는 측면에 대향하는 측면 근처에 이르게 된다. 평행부(873b)는 행방향으로 거의 중심에서 두 개의 인접한 세로부(872)까지 연장하고, 세로부(872)의 측면 근처에 이르게 된다. 유사하게, 부전극부(86b)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 제1평행부(881), 분리벽(13) 위에 형성된 복수개의 세로부들(882) 및 개개의 표시셀들(12)마다 형성된 복수개의 십자부들(883)을 구비한다. 부전극부들(86a 및 86b)은, 방전간극(84)의 중심축이 대칭선으로서 사용되는 선대칭관계에 있고, 그러므로, 부전극부(86b)의 상세한 설명은 생략된다.
제1평행부들(871및 881)의 폭들은 바람직하게는 전도도가 낮은 주전극부들(85a 및 88b)의 저항값들을 낮추도록 하기 위해 30㎛ 내지 60㎛이다. 다시 말하면, 평행부(871) 및 제1평행부(881)는 종래의 버스전극들과 유사한 기능을 한다. 세로부들(872및 882)의 폭들은 발광효율 및 휘도의 관점에서 분리벽(13)의 폭보다 좁거나 분리벽(13)의 폭과 동일한 것이 바람직하다. 그리고, 세로부들(872및 882)의 폭들은 제조의 관점에서 분리벽(13) 폭의 절반 이하인 것이 바람직하다. 십자부들(873 및 883)의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛, 바람직하게는 1㎛ 내지 30㎛이다. 제4실시예에서, 주전극부(85a) 및 평행부(871)간의 간격, 주전극부(85b) 및 평행부(881)간의 간격 둘 다는 60㎛ 내지 280㎛이다.
더욱이, 주전극부들(85a 및 85b) 및 부전극부들(86a 및 86b)과, 주전극부들(85a 및 85b) 및 부전극부들(86a 및 86b)이 형성되지 않은 앞면절연기판(82)(미도시)의 하부면에 순차적으로 형성되는 유전체층(미도시) 및 보호층(미도시)은, 종래의 PDP의 그것들과 유사하고, 그러므로, 그런 것들에 대한 설명은 생략한다. 또한, 데이터전극, 유전체층, 분리벽, 뒷면절연기판(미도시)에순차적으로 형성되는 3종류의 형광층들(모두 미도시), 및 방전기체공간에 채워지는 방전기체는 종래의 PDP에서와 유사하므로, 그것들에 대한 설명도 생략한다. 또한, PDP(81)에 구비되는 유지전극들(83a 및 83b)을 형성하는 방법은, 부전극들(86a 및 86b)의 형상들이 부전극들(36a 및 36b; 도 1에 보여짐)의 그것들과 다르므로, 감광성건조막(41; 도 2a에 보여짐) 및 감광성은페이스트(43; 도 2e에 보여짐)의 패터닝 시의 패턴형상을 제외하면, 제1실시예에서와 거의 유사하다. 그러므로, 이 방법에 관한 설명은 생략된다.
전술한 바와 같이, 제4실시예에 의해, 제2실시예와 달리, 십자부(873)에 대해, 세로부(873a)의 단부의 상부면은 주전극부(85a)의 하부면과 전기적으로 접촉하지 않는다. 세로부(873a)의 단부는 인접한 세로부(872)의 측면과 전기적으로 접촉하지 않는다. 그러므로, 제4실시예의 구조에 의하면, 제2실시예와 비교하여 투명하지 않고 가시광을 차단하는 금속막의 영역을 줄이는 것이 가능하므로, 휘도를 더 높게 하고 휘도효율을 향상시키는 것이 가능하다.
제5실시예
본 발명의 제5실시예를 설명한다.
도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 앞면절연기판(92)이 보여지지 않은 AC구동표면방전형 PDP(91)를 보여주는 상면도이다.
이 PDP(91)에서, 앞면절연기판(92, 미도시)의 아래에는, 도 6에 보인 것처럼, 모두 행방향(도 6의 가로방향)으로 연장하는 복수 쌍들의 유지전극들(93a 및93b)이 열방향(도 6의 세로방향)에서 소정 간격으로 교대로 배치되어, 각 쌍간에 방전간극(94)이 만들어지게 한다. 앞면절연기판(92; 미도시)은 2㎜ 내지 5㎜의 두께를 가지도록 소다석회유리 등으로 이루어진다. 유지전극들(93a 및 93b)은 면방전전극쌍(93)을 형성한다. 유지전극(93a)은 주전극부(95a) 및 부전극부(96a)를 구비한다. 유사하게, 유지전극(93b)은 주전극부(95b) 및 부전극부(96b)를 구비한다.
양 주전극부들(95a 및 95b)은 산화주석, 산화인듐, 또는 ITO와 같은 줄모양의 투명전도박막들로 이루어진다. 주전극부들(95a 및 95b)의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛이고 바람직하게는 40㎛ 내지 80㎛이다. 복수 쌍들의 부전극부들(96a 및 96b) 및 복수 쌍들의 버스전극부들(98a 및 98b)은 주전극부들(95a 및 95b)의 하부층들상에 주전극부들(95a 및 95b)에 대응하도록 형성된다. 부전극부(96a)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀(12)마다 제공된 제1평행부(971), 제2평행부(972) 및 복수개의 세로부들(973)을 구비한다. 제1평행부(971)는 주전극부(95a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(95a)와 평행하게 형성된다. 제2평행부(972)는 주전극부(95a)로부터의 소정 거리에서 행방향으로 연장하도록 주전극부(95a)와 평행하게 주전극부(95a) 및 제1평행부(971) 사이에 형성된다. 각각의 세로부(973)는 제1평행부(971) 및 제2평행부(972)와 일체로 되고, 제1평행부(971) 및 제2평행부(972)에 수직한 열방향으로 연장한다. 세로부(973)의 각각의 상부는 주전극부(95a)의 하부면과 전기적으로 접촉하게 된다. 각 세로부(973)는, 도 6에서 점선으로 둘러싸인 영역인 표시셀(12)의 인접한 분리벽들(13)로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에 형성된다. 또한, 버스전극부(98a)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막으로 이루어지고, 부전극부(96a)와 일체로 되고, 평행부(991), 및 분리벽(13) 위에 제공된 복수개의 세로부들(992)을 구비한다. 평행부(991)는 방전에 의해 영향받지 않고 행방향으로 연장하도록 제1평행부(971)로부터의 소정 거리에서 제1평행부(971)와 평행하게 형성된다. 각각의 세로부(993)는 제1평행부(971), 제2평행부(972) 및 평행부(991)와 일체로 되고, 제1평행부(971), 제2평행부(972) 및 평행부(991)에 수직한 열방향으로 연장한다. 각각의 세로부(973)의 단부의 상부면은 제1평행부(971)의 하부면과 전기적으로 접촉하게 된다. 유사하게, 부전극부(96b)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 개개의 표시셀들(12)마다 형성된 제1평행부(1001), 제2평행부(1002) 및 복수개의 세로부들(1003)을 구비한다. 또한, 버스전극부(98b)는 은으로 된 후막들, 또는 알루미늄 또는 구리로 된 박막들과 같은 금속막들로 이루어지고, 부전극부(96b)와 일체로 되고, 평행부(1011), 및 분리벽(13) 위에 형성된 복수개의 세로부들(1012)을 구비한다. 부전극부들(96a 및 96b)은, 방전간극(94)의 중심축이 대칭선으로서 사용되는 선대칭관계에 있고, 그러므로, 부전극부(96b)의 상세한 설명은 생략된다.
제1평행부들(971및 1001)의 폭들, 제2평행부들(972및 1002)의 폭들, 및 세로부들(973및 1003)의 폭들은 1㎛ 내지 50㎛d고 바람직하게는 1㎛ 내지 30㎛이다. 제5실시예에서, 주전극부(95a) 및 제2평행부(972)간의 간격 및 제2평행부(972) 및 제1평행부(971)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 140㎛이다. 유사하게, 주전극부(95b) 및 제2평행부(1002)간의 간격 및 제2평행부(1002) 및 제1평행부(1001)간의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 140㎛이다. 또한, 버스전극부들(98a 및 98b)을 형성하면서, 평행부(991) 및 평행부(1002)간의 간격 둘 다는 전도도가 낮은 주전극부들(95a 및 95b)의 저항값들을 낮추도록 하기 위해 30㎛ 내지 60㎛이다.
더욱이, 주전극부들(95a 및 95b), 부전극부들(96a 및 96b), 버스전극부들(98a 및 98b), 및 전극부들(95a 및 95b), 부전극부들(96a 및 96b), 버스전극부들(98a 및 98b)이 형성되지 않은 앞면절연기판(92; 미도시)의 하부면에 순차적으로 형성되는 유전체층(미도시) 및 보호층(미도시)은, 종래의 PDP의 그것들과 유사하고, 그러므로, 그런 것들에 대한 설명은 생략한다. 또한, 데이터전극, 유전체층, 분리벽, 뒷면절연기판(미도시)에 순차적으로 형성되는 3종류의 형광층들 (모두 미도시), 및 방전기체공간에 채워지는 방전기체는 종래의 PDP에서와 유사하므로, 그것들에 대한 설명도 생략한다. 또한, PDP(91)에 구비되는 유지전극들(93a 및 93b) 및 버스전극부(98a 및 98b)를 형성하는 방법은, 부전극부들(96a 및 96b)의형상들이 부전극들(36a 및 36b; 도 1에 보여짐)의 그것들과 다르고, 버스전극부들(98a 및 98b)이 제공되므로, 감광성은페이스트 (43; 도 2e에 보여짐)의 패터닝 시의 패턴형상을 제외하면, 제1실시예에서와 거의 유사하다. 그러므로, 이 방법에 관한 설명은 생략된다.
전술한 바와 같이, 제5실시예에 의해, 버스전극부들(98a 및 98b)이 제공되므로, 다음의 효과들이 제1실시예의 효과들에 덧붙여 얻어질 수 있다. 각각의 전도도가 낮은 주전극부들(95a 및 95b)의 저항값들이 버스전극부들(98a 및 98b)에 구비된 평행부(991) 및 평행부(1001)에 의해 낮아지므로, 저항값들을 제1평행부(971) 및 제1평행부(1001)에 의해 낮출 필요가 없다. 이 구조로 인해, 제1평행부(971) 및 제1평행부(1001)의 폭들을 더 크게 하여 방전을 제1평행부(971) 및 제1평행부(1001)로 확산시킬 필요가 없다. 그러므로, 제1실시예와 비교하여, 투명하지 않고 가시광을 차단하는 금속막의 영역을 줄이는 것이 가능하므로, 휘도를 더 높게 하고 휘도효율을 더 향상시키는 것이 가능하다.
그러므로, 본 발명이 전술한 실시예들로 한정되지 않고 발명의 범주 및 정신을 벗어남없이 변경되거나 변형될 수 있다는 것이 명백하다.
예를 들면, 제1실시예는, 도 2a 내지 도 2f에 보여진 것처럼, 주전극부들(35a 및 35b)이 형성된 후에 부전극부들(36a 및 36b)이 형성되는 방법을 보여준다. 본 발명은 이에 한정되지 않고, 주전극부들(35a 및 35b)은 부전극부들(36a 및 36b)이 형성된 후에 형성될 수 있다. 다른 실시예들도 이에 유사하다.
또한, 제1실시예는, 부전극부들(36a 및 36b)이 감광성은페이스트(43)를 패터닝함으로써 형성되는 방법을 보여준다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 부전극부들(36a 및 36b; 둘 다 도 1에 보여짐)은 감광성은페이스트(43; 도 2e에 보여짐)를 패터닝한 후에 어닐링에 의해 형성될 수 있다. 다른 실시예들도 이에 유사하다. 부전극부들(36a 및 36b)이 감광성은페이스트(43)의 패터닝에 의해 형성될 때, 부전극부들(36a 및 36b)이 감광성은페이스트(43)를 패터닝함으로써 형성되는 경우보다, 공정이 더 단순해지고 재료사용율이 더 향상될 수 있는 이점들이 있다.
또한, 목적 및 구조들에서 모순이 없다면, 모든 실시예들은 서로 전환할 수 있다. 예를 들면, 버스전극부들(98a 및 98b)이 다른 실시예에서 부전극부들과 일체로 될 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 높은 영상품질 및 낮은 전력소비량 둘 다를 제공할 수 있는 플라즈마표시패널 및 플라즈마표시패널 제조방법이 제공된다.

Claims (24)

  1. 열방향에서 소정 간격으로 형성된 복수개의 면방전전극쌍들 가지며, 상기 면방전전극쌍들의 각각은 행방향으로 연장하는 한 쌍의 유지전극들을 가져, 방전간극이 상기 유지전극들 사이에 만들어지며,
    투명전도박막으로 이루어진 상기 유지전극들의 각각에는, 상기 방전간극에 면하도록 줄모양으로 형성된 주전극부, 폭이 상기 주전극부보다 좁은 금속막, 및 대응하는 상기 주전극부의 방전간극측에 반대인 측에 형성된 부전극부가 제공되는 플라즈마표시패널.
  2. 제1항에 있어서, 상기 부전극부에는, 상기 주전극부로부터의 소정 거리에서 상기 행방향으로 연장하는 제1평행부, 상기 주전극부 및 상기 제1평행부 사이에서 상기 제1평행부로부터의 소정 거리에서 상기 행방향으로 연장하는 제2평행부가 제공되는 플라즈마표시패널.
  3. 제2항에 있어서, 상기 부전극부에는, 각각의 표시셀을 분리하기 위해 상기 열방향으로 연장하는 인접한 분리벽들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 주전극부까지 연장하며 세로부의 끝부분이 상기 주전극부와 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1 및 상기 제2평행부들과는 일체로 된 세로부가 제공되는 플라즈마표시패널.
  4. 제2항에 있어서, 상기 부전극부에는, 각각의 표시셀을 분리하기 위해 상기 열방향으로 연장하는 인접한 분리벽들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 주전극부까지 연장하며 제1세로부의 끝부분이 상기 주전극부와 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1 및 상기 제2평행부들과는 일체로 된 제1세로부와, 상기 분리벽의 상면측에서 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하며 상기 제2세로부의 끝부분이 상기 주전극부와 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1 및 제2평행부들과는 일체로 된 제2세로부가 제공되는 플라즈마표시패널.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2세로부의 폭은 상기 분리별의 폭과 동일하거나 상기 분리벽의 상기 폭보다 좁은 플라즈마표시패널.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제2세로부의 폭은 상기 분리벽의 폭의 절반 이하인 플라즈마표시패널.
  7. 제2항에 있어서, 상기 제2평행부의 폭은 1㎛ 내지 50㎛인 플라즈마표시패널.
  8. 제2항에 있어서, 상기 제2평행부의 폭은 1㎛ 내지 30㎛인 플라즈마표시패널.
  9. 제4항에 있어서, 상기 제1세로부의 폭은 1㎛ 내지 50㎛인 플라즈마표시패널.
  10. 제4항에 있어서, 상기 제1세로부의 폭은 1㎛ 내지 30㎛인 플라즈마표시패널.
  11. 제4항에 있어서, 상기 주전극부에는, 상기 행방향으로 연장하는 주전극평행부와, 상기 열방향으로 연장하여 각 표시셀을 분리하는 인접한 분리벽으로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 주전극부의 방전간극측에 반대인 측에서 상기 주전극부로부터 돌출하는 주전극돌출부가 제공되며, 상기 제1세로부는 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부에 수직한 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하고 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부와는 상기 제1세로부의 끝부분이 대응하는 상기 주전극부와는 전기적으로 접촉하는 방식으로 일체로 된 플라즈마표시패널.
  12. 제11항에 있어서, 상기 주전극돌출부의 상기 행방향에서의 및 상기 열방향에서의 길이들은 30㎛ 내지 60㎛인 플라즈마표시패널.
  13. 제1항에 있어서, 상기 부전극부에는, 상기 주전극부로부터의 소정 간격에서 상기 행방향으로 연장하는 제1평행부, 각각의 표시셀을 분리하도록 상기 열방향으로 연장하는 각각의 분리벽 위에서 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하며 상기 제1세로부의 끝부분이 상기 주전극부와는 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1평행부와는 일체로 된 제1세로부, 그리고 인접한 분리벽들로부터의 거리들이 거의 동일한 위치에서 상기 열방향으로 상기 주전극부까지 연장하며 제2세로부의 끝부분은 상기 주전극부의 측면 근처에 도달하는 제2세로부와 상기 제2평행부들의 각각의 끝부분이 인접한 상기 제1세로부들 근처에 도달하는 방식으로 근사적 중앙으로부터 인접한 상기 제1세로부들까지 각각 연장하는 제2평행부들을 구비한 십자부들로서 십자부는 상기 제1세로부와 일체로 된 십자부들이 제공되는 플라즈마표시패널.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1세로부의 폭은 상기 분리벽의 폭과 동일하거나 상기 분리벽의 폭보다 좁은 플라즈마표시패널.
  15. 제13항에 있어서, 상기 제1세로부의 폭은 상기 분리벽의 폭의 절반 이하인 플라즈마표시패널.
  16. 제2항에 있어서, 상기 제1평행부로부터의 영향이 없는 거리에서 상기 제1평행부와는 평행하게 상기 행방향으로 연장하는 버스전극평행부, 및 버스전극세로부의 끝부분이 상기 제1평행부와는 전기적으로 접촉하는 방식으로 상기 제1평행부 및 상기 버스전극평행부에 수직한 상기 열방향으로 상기 제1평행부까지 연장하는 버스전극세로부를 포함하는 버스전극부로서, 상기 부전극부와는 일체로 된 버스전극부를 더 포함하는 플라즈마표시패널.
  17. 제1항에 있어서, 상기 주전극부의 폭은 30㎛ 내지 100㎛인 플라즈마표시패널.
  18. 제1항에 있어서, 상기 주전극부의 폭은 40㎛ 내지 80㎛인 플라즈마표시패널.
  19. 제11항에 있어서, 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부의 폭들은 30㎛ 내지 100㎛인 플라즈마표시패널.
  20. 제11항에 있어서, 상기 제1평행부 및 상기 제2평행부의 폭들은 40㎛ 내지 80㎛인 플라즈마표시패널.
  21. 제2항에 있어서, 상기 제1평행부의 폭은 30㎛ 내지 60㎛인 플라즈마표시패널.
  22. 제2항에 있어서, 상기 주전극부 및 상기 제1평행부 사이의 간격과 상기 제2평행부 및 상기 제1평행부 사이의 간격 둘 다는 30㎛ 내지 140㎛인 플라즈마표시패널.
  23. 열방향에서 소정 간격으로 형성된 복수개의 면방전전극쌍들 가지며, 상기 면방전전극쌍들의 각각은 행방향으로 연장하는 한 쌍의 유지전극들을 가져, 방전간극이 상기 유지전극들 사이에 만들지고, 투명전도박막으로 이루어진 상기 유지전극들의 각각에는, 상기 방전간극에 면하도록 줄모양으로 형성된 주전극부, 폭이 상기 주전극부보다 좁은 금속막, 및 대응하는 상기 주전극부의 방전간극측에 반대인 측에 형성된 부전극부가 제공되는 플라즈마표시패널을 제조하는 방법에 있어서,
    앞면절연기판 위에 또는 복수개의 면방전전극쌍들을 형성한 후의 앞면절연기판 위에 감광성은페이스트를 코팅하는 제1단계; 및
    상기 감광성은페이스트를 노광 및 현상하고 상기 감광성은페이스트를 패터닝한 후 어닐링에 의해 상기 부전극부를 형성하는 제2단계를 포함하는 플라즈마표시패널 제조방법.
  24. 열방향에서 소정 간격으로 형성된 복수개의 면방전전극쌍들 가지며, 상기 면방전전극쌍들의 각각은 행방향으로 연장하는 한 쌍의 유지전극들을 가져, 방전간극이 상기 유지전극들 사이에 만들지고, 투명전도박막으로 이루어진 상기 유지전극들의 각각에는, 상기 방전간극에 면하도록 줄모양으로 형성된 주전극부, 폭이 상기 주전극부보다 좁은 금속막, 및 대응하는 상기 주전극부의 방전간극측에 반대인 측에 형성된 부전극부가 제공되는 플라즈마표시패널을 제조하는 방법에 있어서,
    앞면절연기판 위에 또는 복수개의 면방전전극쌍들을 형성한 후의 앞면절연기판 위에 은페이스트를 코팅하는 제1단계; 및
    상기 은페이스트를 패터닝한 후의 어닐링에 의해 상기 부전극부를 형성하는 제2단계를 포함하는 플라즈마표시패널 제조방법.
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