KR200278989Y1 - 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드 - Google Patents

집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드 Download PDF

Info

Publication number
KR200278989Y1
KR200278989Y1 KR2020020009689U KR20020009689U KR200278989Y1 KR 200278989 Y1 KR200278989 Y1 KR 200278989Y1 KR 2020020009689 U KR2020020009689 U KR 2020020009689U KR 20020009689 U KR20020009689 U KR 20020009689U KR 200278989 Y1 KR200278989 Y1 KR 200278989Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
contactor
conductive
ring
silicon portion
silicon
Prior art date
Application number
KR2020020009689U
Other languages
English (en)
Inventor
신종천
정영배
Original Assignee
주식회사 아이에스시테크놀러지
정영배
신종천
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이에스시테크놀러지, 정영배, 신종천 filed Critical 주식회사 아이에스시테크놀러지
Priority to KR2020020009689U priority Critical patent/KR200278989Y1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200278989Y1 publication Critical patent/KR200278989Y1/ko
Priority to PCT/KR2003/000610 priority patent/WO2003083493A1/en
Priority to AU2003218803A priority patent/AU2003218803A1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07364Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
    • G01R1/07378Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate adapter, e.g. space transformers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 고안은 BGA(ball grid array) 반도체소자(2)의 볼리드(ball lead, 4)가 접촉되는 영역에 형성된 도전성 실리콘부(8)와; 상기 도전성 실리콘부(8)를 지지할 수 있도록 반도체소자(2)의 리드단자(4)가 접촉되지 않는 영역에 형성되어 절연층 역할을 하는 절연 실리콘부(6)로 구성되는 집적화된 실리콘 콘택터로서, 상기 반도체소자(2)의 테스트를 수행하는 소켓보드(12)의 접촉패드(10)와 반도체소자(2)의 리드단자(4)를 전기적으로 연결하는 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에 링(ring) 타입으로 금(Au) 또는 백금계의 도금인 전도성물질이 실장되는 것을 특징으로 하는 전기접촉 패드이다.

Description

집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드{Ring type contactor pad of integrated silicone contactor}
본 고안은 현재 특허출원중인 '집적화된 실리콘 콘택터'(출원번호 10-2001-0075606)의 도전성 실리콘부 상단 표면에 링(ring) 타입의 전도성물질이 실장된 콘택트 패드(contact pad)에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 반도체소자의 테스트를 수행하는 소켓보드의 접촉패드와 반도체소자의 리드단자를 전기적으로 연결하는 도전성 실리콘부의 상단 표면에 링타입으로 전도성이 뛰어난 금(Au) 또는 백금계의 도금인 금속링이 실장되거나, 플렉시블(flexible) PCB의 접촉패드(contact pad)의 via hole을 크게 한 링이 실장된 전기접촉 패드에 관한 것이다.
본 고안의 출원인은 현재 도1과 같은 발명(집적화된 실리콘 콘택터)을 출원 중에 있다. 도1을 참조하여 상기 발명(기존 기술)을 설명한다.
집적화된 실리콘 콘택터(20)는 BGA(ball grid array) 반도체소자(2)의 볼리드(ball lead, 4)가 접촉되는 도전성 실리콘부(8)와, 도전성 실리콘부(8) 사이에서 절연층 역할을 하는 절연 실리콘부(6)로 구성된다. 상기 실리콘 콘택터(20)는 반도체소자의 테스트를 수행하는 PCB인 소켓보드(12)에 탑재된다. 소켓보드(12)의 접촉패드(10)에는 도전성 실리콘부(8)가 접촉되어, 반도체소자(2)의 볼리드(4)와 소켓보드(12)의 접촉패드(10)가 전기적으로 연결되도록 한다. 도전성 실리콘부(8)는 실리콘에 도전성 파우더를 혼합하여 굳힌 것으로서, 전기가 흐르는 도체로 작용하며 실리콘에 탄성이 있으므로 소켓보드(12) 또는 반도체소자(2)와 수평이 맞이 않아도 접촉이 양호하게 된다. 절연 실리콘부(6)는 도전성 실리콘부(8)의 사이사이에 충전되어 전체 콘택터(20)의 위치를 안정되게 하고, 반도체소자(2)의 리드단자(4)가 눌러졌을 때 도전성 실리콘부(8)가 원래의 형태로 수직으로 세워질 수 있도록 한다.
본 고안의 목적은 기존의 집적화된 실리콘 콘택터의 도전성 실리콘부 상단 표면에 전도성이 뛰어난 금 또는 백금계의 도금을 실장하여, 각 도전성 실리콘부가 독립적으로 눌려지게 하여 주변장치의 평탄도에 대응이 쉬워지게 하며, 소켓을 누를 때 작은 힘을 필요로하므로 동시에 여러 개의 반도체소자를 눌러 전기적인 접촉이 이루어질 수 있도록 한 링타입의 콘택트 패드를 제공함에 있다.
도1은 종래의 콘택터 구성도.
도2a는 본 발명에 따른 콘택터 구성도.
도2b는 도2a의 확대 평면도.
<도면부호의 설명>
반도체소자(2), 리드단자(4), 절연 실리콘부(6), 링타입의 전도성물질(7), 도전성 실리콘부(8), 접촉패드(10), 소켓보드(12), 실리콘 콘택터(20)
본 고안은 현재 특허출원중인 '집적화된 실리콘 콘택터'(출원번호 10-2001-0075606)의 변형된 구성이다.
본 고안에 따른 실리콘 콘택터의 구성을 도2a 및 2b를 참조하여 설명한다.
도2a에서 보는 바와 같이, 본 고안의 실리콘 콘택터(20)는 BGA(ball grid array) 반도체소자(2)의 볼리드(ball lead, 4)가 접촉되는 영역에 형성된 도전성 실리콘부(8)와 상기 도전성 실리콘부(8)를 지지할 수 있도록 반도체소자(2)의 리드단자(4)가 접촉되지 않는 영역에 형성되어 절연층 역할을 하는 절연 실리콘부(6)로 구성된다.
상기 반도체소자(2)의 테스트를 수행하는 소켓보드(12)의 접촉패드(10)와 반도체소자(2)의 리드단자(4)를 전기적으로 연결하는 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에는 링타입의 전도성물질(7)로 전도성이 뛰어난 금(Au) 또는 백금계의 도금인 금속링이 실장되어 있다. 또한, 본 고안에 따르면, 상기 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에 실장되는 링타입의 전도성물질(7)로 플렉시블(flexible) PCB의 접촉패드 (contact pad)의 via hole을 크게 한 링이 실장가능하다.
도2b의 확대 평면도에서 보는 바와 같이, 본 고안의 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에는 링타입의 전도성물질(7)이 실장되어 있으며, 도전성 실리콘부(8)의 사이사이에는 절연 실리콘부(6)가 충전되어 전체 콘택터(20)의 위치를 안정되게 하고, 반도체소자(2)의 리드단자(4)가 눌러졌을 때 도전성 실리콘부(8)가 원래의 형태로 수직으로 세워질 수 있도록 한다.
그리고, 상기 도전성 실리콘부(8)는 실리콘에 도전성 금속 파우더를 혼합하여 굳힌 것으로서, 전기가 흐르는 도체로 작용한다. 또한, 도2a의 확대도에서 보는 바와 같이, 상기 도전성 실리콘부(8)의 하부는 절연 실리콘부(6)의 하부보다 돌출되었는데, 이는 도전성 실리콘부(8)와 소켓(12)의 접촉패드(10)와의 접촉을 확실히 하기 위함이며, 반드시 돌출되어야 하는 것은 아니다. 본 고안에 따르면, h는 약 20∼50㎛인 것이 바람직하다.
그리고, 본 고안에서는 반도체소자(2)로서 BGA소자를 예로 들었지만, 본 고안의 적용대상이 이에 한정되는 것이 아님은 당업자에게 자명할 것이다.
이와같이, 기존의 집적화된 실리콘 콘택터의 도전성 실리콘부 상단 표면에 전도성이 뛰어난 금 또는 백금계의 도금인 금속링을 실장하거나 플렉시블 (flexible) PCB의 접촉패드(contact pad)의 via hole을 크게 한 링을 실장함으로써, 발생할 수 있는 장점을 도2a 및 2b를 참조하여 설명한다.
첫째, 콘택터(20)의 도전성 실리콘부(8)의 주변에는 소프트한 절연 실리콘부 (6)가 채워져 있으므로, 소켓(12)을 누를 때 필요한 힘이 덜 들어가므로 기존의 전기접촉 패드와는 달리 동시에 여러 개의 반도체소자(2)를 눌러 전기적인 접촉이 이루어지도록 하는 테스트 시스템에 유리하다.
둘째, 반도체소자(2)의 테스트시, 각 도전 실리콘부(8)가 독립적으로 눌려지므로 주변 장치의 평탄도에 대응이 쉬워지기 때문에, 특성이 향상될 수 있다.
세째, 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에 실장된 링타입의 전도성물질(7) 내부에 있는 도전성 실리콘부(8)가 소자(2)의 리드단자(4)에 의해 눌릴 때 퍼지지 않도록 하며, 변위를 최소화하므로 콘택터(20)의 수명이 길어진다.
이상에서와 같이, 본 고안의 링타입 콘택터 패드에 따르면, 기존의 전기접촉 패드와는 달리 동시에 여러 개의 반도체소자를 눌러 전기적인 접촉이 이루어지도록 하는 테스트 시스템에 효율적이며, 각각의 도전 실리콘부가 독립적으로 눌려지므로 주변 장치의 평탄도에 대응이 쉬워져 특성이 향상될 수 있다. 또한, 금속 링 내부에 있는 도전성 실리콘부가 반도체소자의 리드단자에 의해 눌릴 때 퍼지지 않도록 하며, 변위를 최소화하므로 콘택터의 수명이 길어지는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. BGA(Ball Grid Array) 반도체소자(2)의 볼리드(Ball Lead, 4)가 접촉되는 영역에 형성된 도전성 실리콘부(8)와; 상기 도전성 실리콘부(8)를 지지할 수 있도록 반도체소자(2)의 리드단자(4)가 접촉되지 않는 영역에 형성되어 절연층 역할을 하는 절연 실리콘부(6)로 구성되는 집적화된 실리콘 콘택터로서,
    상기 반도체소자(2)의 테스트를 수행하는 소켓보드(12)의 접촉패드(10)와 반도체소자(2)의 리드단자(4)를 전기적으로 연결하는 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에 링(ring) 타입의 전도성물질이 실장되는 것을 특징으로 하는, 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드.
  2. 청구항 1에서, 상기 도전성 실리콘부(8)는 실리콘에 도전성 금속 파우더가 혼합된 것을 특징으로 하는, 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드.
  3. 청구항 1 또는 2에서, 상기 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에 실장되는 링타입의 전도성물질(7)은 금(Au) 또는 백금계의 도금인 금속링인 것을 특징으로 하는, 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드.
  4. 청구항 1 또는 2에서, 상기 도전성 실리콘부(8)의 상단 표면에 실장되는 링타입의 전도성물질(7)로 플렉시블(flexible) PCB의 접촉패드(contact pad)의 viahole을 크게 한 링이 실장가능한 것을 특징으로 하는, 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드.
  5. 청구항 1에서, 상기 도전성 실리콘부(8)의 하부는 절연 실리콘부(6)의 하부보다 돌출된 것을 특징으로 하는, 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드.
KR2020020009689U 2002-04-01 2002-04-01 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드 KR200278989Y1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020020009689U KR200278989Y1 (ko) 2002-04-01 2002-04-01 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드
PCT/KR2003/000610 WO2003083493A1 (en) 2002-04-01 2003-03-27 Ring type contactor pad of integrated silicone contactor
AU2003218803A AU2003218803A1 (en) 2002-04-01 2003-03-27 Ring type contactor pad of integrated silicone contactor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020020009689U KR200278989Y1 (ko) 2002-04-01 2002-04-01 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200278989Y1 true KR200278989Y1 (ko) 2002-06-20

Family

ID=32291597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020020009689U KR200278989Y1 (ko) 2002-04-01 2002-04-01 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR200278989Y1 (ko)
AU (1) AU2003218803A1 (ko)
WO (1) WO2003083493A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004112195A1 (ja) 2003-06-12 2004-12-23 Jsr Corporation 異方導電性コネクター装置およびその製造方法並びに回路装置の検査装置
US7438563B2 (en) 2004-12-06 2008-10-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Connector for testing a semiconductor package

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5518410A (en) * 1993-05-24 1996-05-21 Enplas Corporation Contact pin device for IC sockets
JPH08148603A (ja) * 1994-11-22 1996-06-07 Nec Kyushu Ltd ボールグリッドアレイ型半導体装置およびその製造方法
JP3577848B2 (ja) * 1996-09-30 2004-10-20 ソニー株式会社 半導体装置の外形カット方法及びそれに用いる半導体製造装置
TW411537B (en) * 1998-07-31 2000-11-11 Siliconware Precision Industries Co Ltd Semiconductor package with CSP-BGA structure
KR100403759B1 (ko) * 2000-08-01 2003-11-01 주식회사 이엘피 반도체 프로브 칩을 이용한 반도체 프로브 모듈과 그의 제조방법, 이를 이용한 프로브 스테이션

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004112195A1 (ja) 2003-06-12 2004-12-23 Jsr Corporation 異方導電性コネクター装置およびその製造方法並びに回路装置の検査装置
US7438563B2 (en) 2004-12-06 2008-10-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Connector for testing a semiconductor package

Also Published As

Publication number Publication date
WO2003083493A1 (en) 2003-10-09
AU2003218803A1 (en) 2003-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6954000B2 (en) Semiconductor component with redistribution circuit having conductors and test contacts
KR100926777B1 (ko) 돌출도전부가 도전패드에 마련된 테스트 소켓
US20100193970A1 (en) Micro pin grid array with pin motion isolation
KR101145886B1 (ko) 전기적 접속체 및 그 전기적 접속체를 포함한 테스트 소켓
US5686842A (en) Known good die test apparatus and method
KR200312740Y1 (ko) 도전성 스프링을 갖는 집적화된 실리콘 콘택터
EP1892754A3 (en) Method of electroplating solder bumps of uniform height on integrated circuit substrates
US6388458B1 (en) Spring element for use in an apparatus for attaching to a semiconductor and a method of making
US6942493B2 (en) Connector structure for connecting electronic parts
JP2901603B1 (ja) 電子部品導電シート
KR200312739Y1 (ko) 도전체가 실장된 집적화된 실리콘 콘택터
KR200278989Y1 (ko) 집적화된 실리콘 콘택터의 링타입 콘택터 패드
WO2006054823A1 (en) Integrated silicone contactor with conduction reinforceing layer
JPS63275127A (ja) 半導体チップの実装体
KR970053678A (ko) 반도체 패키지
WO1999021227A1 (en) Connector assembly for accommodating bga-style components
KR200278785Y1 (ko) 집적화된 실리콘 콘택터의 역사다리꼴 콘택터 패드
US6630839B1 (en) Contactor, a method of manufacturing the contactor and a device and method of testing electronic component using the contactor
KR200372268Y1 (ko) 매개판을 포함하는 집적화 실리콘 콘택터
KR200374262Y1 (ko) 반도체시험용 소켓보드 조립체
JP2885202B2 (ja) 半導体パッケージ用検査治具
KR200328984Y1 (ko) 고주파수용 테스트소켓
US6826037B2 (en) Electronic structure
JPH11176545A (ja) Bgaソケットアダプタ
JPH02185036A (ja) 電気的接続接点

Legal Events

Date Code Title Description
REGI Registration of establishment
T201 Request for technology evaluation of utility model
EXTG Extinguishment
T601 Decision on revocation of utility model registration