KR200263804Y1 - 진공밸브 - Google Patents

Abstract

본 고안은 제 1 포트가 진공실과 연결되고, 제 2 포트가 진공펌프에 연결되며, 액추에이터 실린더에 의해 밸브 하우징에 배치된 밸브헤드가 상하로 작동하는 진공밸브에 있어서, 상기 밸브헤드(71)는 측면이 테이퍼져 있으며, 테이퍼부(73)에 홈(75)이 형성되고, 상기 홈(75)에 O-링(79)이 장착되고, 상기 밸브 하우징(61)은 시일링부(63)가 상기 밸브헤드(71)의 형상에 대응되도록 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

진공밸브{Vacuum valve}

본 고안은 진공실과 진공펌프 사이에 배치되는 진공밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밸브헤드의 양측면이 테이퍼져 있으며, 상기 밸브헤드에 대응되도록 밸브 하우징의 시일링부가 경사진 진공밸브에 관한 것이다.

대한민국특허 제211746호(1999. 5. 4 등록)에 "양방향 진공밸브"가 소개되어있다. 상기 양방향 진공밸브는 진공실과 진공펌프 사이에 배치되어, 상기 진공밸브가 개방될 때, 실린더 케이싱내의 피스톤에 가해지는 압축가스의 압력이 불균형해짐에 따라 상기 피스톤을 미리 설정된 위치까지 이송시키는 제1이송 수단과; 상기 미리 설정된 위치에서 일정시간이 경과한 후 상기 진공밸브의 개방에 의해 발생되는 압축가스의 압력이 불균형해짐에 따라 상기 피스톤을 상기 미리 설정된 위치로부터 더 이송시키는 제2이송수단과; 상기 제1이송수단에 의해 상기 피스톤이 이송됨에 따라 상기 진공실을 상기 진공펌프에 연결시키는 리크 벤트가 형성된 스커트 피스와; 상기 제2이송수단에 의해 상기 피스톤이 이송됨에 따라 상기 진공실과 상기 진공밸브를 서로 연결시키는 대구경을 갖는 주 밸브장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

그러나, 양방향 진공밸브는 도 1에 도시된 바와같이 밸브헤드(3)의 측면(5)이 상부면(9)과 하부면(11)에 대해 수직하게 형성되며, 밸브 하우징(21)의 시일링부(23)가 상기 밸브헤드(3)에 대응되도록 평평하게 형성된다. 따라서, 상기 양방향 진공밸브는 상기 밸브 하우징(21)의 시일링부(23)에 이물질이 쌓일 수 있어, 상기 상부면(25)에 이물질이 쌓일 경우 밸브의 완전 밀폐가 이루어지지 않으며, 진공펌프(31)에 의해 진공압을 받는 상기 밸브헤드(3)의 하부면(11)의 노출면적이 넓어 상기 밸브헤드(3)를 위로 들어올리기 위한 힘이 많이 소요되는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안의 목적은 밸브헤드의 양측면이 테이퍼져 있어 진공펌프에의해 진공압을 받는 상기 밸브헤드의 하부면의 노출면적이 상대적으로 적어 상기 밸브헤드를 위로 들어올리기 위한 힘이 적게 소요되며, 상기 밸브 하우징의 시일링부가 경사지게 형성되어 이물질이 상기 시일링부에 쌓이지 않으며 배기속도를 증가시킬 수 있는 진공밸브를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은 제 1 포트가 진공실과 연결되고, 제 2 포트가 진공펌프에 연결되며, 액추에이터 실린더에 의해 밸브 하우징에 배치된 밸브헤드가 상하로 작동하는 진공밸브에 있어서, 상기 밸브헤드의 측면이 테이퍼져 있으며, 테이퍼부에 홈이 형성되고, 상기 홈에 O-링이 장착되고, 상기 밸브 하우징의 시일링부가 상기 밸브헤드의 형상에 대응되도록 경사지게 형성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 종래의 진공밸브를 도시한 단면도

도 2는 본 고안에 따른 진공밸브를 도시한 사시도

도 3은 도 2의 진공밸브를 도시한 부분 단면도

*도면의 주요부분에 대한 부호설명*

51, 53 : 포트 61 : 밸브 하우징

63 : 시일링부 71 : 밸브헤드

73 : 테이퍼부 79 : O-링

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 고안에 따른 진공밸브는 제 1 포트(51)가 진공실(83)과 연결되고, 제 2 포트(53)가 진공펌프(81)에 연결되며, 액추에이터 실린더 (55)에 의해 밸브 하우징(61)에 배치된 밸브헤드(71)가 상하로 작동한다.

상기 밸브헤드(71)는 측면이 테이퍼져 있으며, 테이퍼부(73)에 홈(75)이 형성되고, 상기 홈(75)에 O-링(79)이 장착된다.

상기 밸브 하우징(61)은 시일링부(63)가 상기 밸브헤드(71)의 형상에 대응되도록 경사지게 형성된다.

상기와 같이 구성된 본 고안에 따른 진공밸브는 진공실의 진공압을 낮추기 위해 도 3에 도시된 상태에서 밸브헤드(71)를 다시 상승시킬 경우 진공펌프에 의해 압력을 받는 밸브헤드(71)의 하부면(77)의 노출면적이 작아 선행기술보다 상대적으로 밸브헤드(71)를 들어올리는 힘이 적게 들고, 밸브 하우징(61)의 시일링부(63)가 경사지게 형성되어 상기 시일링부(63)에 이물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있어 언제나 밸브헤드(71)가 밸브 하우징(61)의 시일링부(63)에 완전 밀착될 수 있으며, 진공배기속도가 증가된다.

위에서 설명한 바와같이 본 고안에 따른 진공밸브는 밸브헤드의 양측면이 테이퍼져 있어 진공펌프에 의해 진공압을 받는 상기 밸브헤드의 하부면의 노출면적이 상대적으로 적어 상기 밸브헤드를 위로 들어올리기 위한 힘이 적게 소요되며, 상기 밸브 하우징의 시일링부가 경사지게 형성되어 이물질이 상기 시일링부에 쌓이지 않으며, 배기속도를 증가시키는 효과가 있다.

이것에 의해, 본 고안에 따른 진공밸브는 화학진공을 요하는 곳에 적합하다.

Claims (1)

1. 제 1 포트가 진공실과 연결되고, 제 2 포트가 진공펌프에 연결되며, 액추에이터 실린더에 의해 밸브 하우징에 배치된 밸브헤드가 상하로 작동하는 진공밸브에 있어서,

   상기 밸브헤드(71)는 측면이 테이퍼져 있으며, 테이퍼부(73)에 홈(75)이 형성되고, 상기 홈(75)에 O-링(79)이 장착되고,

   상기 밸브 하우징(61)은 시일링부(63)가 상기 밸브헤드(71)의 형상에 대응되도록 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.