KR20020095730A

KR20020095730A - 척의 접지장치

Info

Publication number: KR20020095730A
Application number: KR1020010033913A
Authority: KR
Inventors: 박영철
Original assignee: 삼성전자 주식회사
Priority date: 2001-06-15
Filing date: 2001-06-15
Publication date: 2002-12-28

Abstract

척의 접지장치에 대해 개시되어 있다. 그 장치는, 척에 연결되는 척연결선과, 척연결선에 연결되는 주연결선과, 주연결선을 감싸는 탄성력을 갖는 스프링과 주연결선에 연결된 접지선과, 접지선을 접지시키는 접지부를 구비한다. 주연결선을 탄성력을 갖는 스프링으로 보호함으로써 척연결선이 단락되지 않고, 열에 안정한 척 접지장치를 제공할 수 있다.

Description

척의 접지장치{Apparatus for earthing of chuck}

본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로서, 특히 척의 접지장치에 관한 것이다.

웨이퍼를 안착시키고 소정의 공정을 수행하는 척은 반도체 소자의 제조공정에 필수적으로 이용된다. 한편, 공정 또는 측정 중에 척에 발생할 수 있는 전기적인 오류를 방지하기 위해서는 척을 접지시키고 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 일반적인 척의 접지장치에 대해 살펴보기로 한다. 도1은 일반적인 척의 접지장치를 설명하기 위해 도시한 위에서 바라본 단면도이다.

도1을 참조하면, 척의 접지장치는 척지지부(10) 상에 설치된 척(20)에 연결되는 척연결선(24)과, 척연결선(24)을 고정시키는 연결단자(22)와, 척연결선(24)에 연결되는 주연결선(36)과, 척연결선(24)과 주연결선(36)을 결합시키는 제1 연결탭(26)과, 주연결선(36)에 연결된 접지선(40)과, 주연결선(36)과 접지선(40)을 결합시키는 제2 연결탭(38) 및 접지선(40)을 접지시키는 접지부(42)를 구비한다. 여기서, 참조부호 28은 주연결선(36)을 제1 연결탭(26)과 연결하는 탭연결선, 참조부호 32는 주연결선(36)의 단부를 안정시키는 고정링 및 참조부호 30은 주연결선(36)과 탭연결선(28)을 결합시키는 고정탭이다.

한편, 척(20)은 공정중에 척지지부(10) 상에서 많은 횟수의 이동이 있다. 이러한, 척(20)의 이동과 함께 척을 접지하는 접지장치도 함께 움직인다. 그런데, 이동과 함께 척연결선(24)이 단락된다. 척연결선(24)의 단락으로 발생되는 문제점을 열거하면, 첫째 척연결선(24)이 단락되면서 위로 상승하여 척(20)에 안착된 웨이퍼의 정렬불량을 야기한다. 둘째, 웨이퍼를 압착하는 진공에 에러가 발생하여 웨이퍼가 아래로 떨어진다. 그 결과, 웨이퍼는 깨지고 주변장치, 예를 들면 프루브 카드로딩 유닛(probe card loading unit)을 훼손하기도 한다. 셋째, 척(20)의 전기적인 저항(Ω)치가 증가하여 프루브 카드에 의한 웨이퍼의 상태 측정시 측정불량으로 오차가 발생하는 등의 사례가 빈발한다.

또한, 공정수행중에 가해지는 열에 척 접지장치가 취약한 문제점도 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 척연결선이 단락되지 않고 열에 안정한 척 접지장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 일반적인 척의 접지장치를 설명하기 위해 위에서 바라본 단면도이다.

도 2는 본 발명에 의한 척의 접지장치를 설명하기 위해 측면에서 바라본 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 ; 척 102 ; 연결단자

104 ; 척연결선 106 ; 제1 연결탭

108 ; 탭연결선 110 ; 고정탭

112 ; 고정링 114 ; 스프링

116 ; 주연결선 118 ; 피복

120 ; 제2 연결탭 122 ; 접지선

124 ; 접지부

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 의한 척의 접지장치는, 웨이퍼가 안착되는 척을 접지하는 방법에 있어서, 상기 척에 연결되는 척연결선과, 상기 척연결선을 고정시키는 연결단자와, 상기 척연결선에 연결되는 주연결선과, 상기 척연결선과 상기 주연결선을 결합시키는 제1 연결탭과, 상기 주연결선을 감싸는 탄성력을 갖는 스프링과 상기 주연결선에 연결된 접지선과, 상기 주연결선과 접지선을 결합시키는 제2 연결탭 및 상기 접지선을 접지시키는 접지부를 구비한다.

본 발명에 의한 척의 접지장치에 있어서, 상기 주연결선은 2중으로 피복된 피복전선인 것이 바람직하며, 상기 피복전선을 이루는 피복은 비가연성의 물질인 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 척의 접지장치에 있어서, 상기 스프링의 직경은 3.5㎜ 내지 5.0㎜인 것이 바람직하며, 상기 제1 연결탭과 제2 연결탭은 2중으로 할 수 있으며, 또한 상기 연결단자의 형상은 3각 내지 8각을 갖는 다각형인 것이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정하는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도2는 본 발명에 의한 척의 접지장치를 설명하기 위해 측면에서 바라본 단면도이다.

도2를 참조하면, 척의 접지장치는 척(100)에 연결되는 척연결선(104)과, 척연결선(104)을 고정시키는 연결단자(102)와, 척연결선(104)에 연결되는 주연결선(116)과, 척연결선(104)과 주연결선(116)을 결합시키는 제1 연결탭(106)과, 주연결선(116)을 감싸며 탄성력을 갖는 스프링(114)과, 주연결선(116)에 연결된 접지선(122)과, 주연결선(116)과 접지선(122)을 결합시키는 제2 연결탭(120) 및 접지선(122)을 접지시키는 접지부(124)를 구비한다. 제1 연결탭(106) 및 제2 연결탭(120)과 주연결선(116)사이에는 탭연결선(108)으로 연결된다. 또한, 주연결선(116)의 단부는 상기 탭연결선(108)과 결합시키는 고정탭(110)과 주연결선(116)을 안정시키는 고정링(112)을 더 구비한다.

여기서, 주연결선(116)은 2중으로 피복(118)된 피복전선이 바람직하며, 피복전선을 이루는 피복(118)은 비가연성의 물질인 것이 바람직하다. 왜냐하면, 반도체 소자의 제조공정은 주로 고온에서 진행되기 때문에, 이때 발생되는 열로부터 주연결선(116)을 보호하기 위함이다. 주연결선(116)은 척(100)의 움직임과 함께 해야 하기 때문에 적절한 탄성력에 의한 유동성을 갖어야 한다. 따라서, 주연결선(116)을 감싸는 피복(118)은 적절한 탄성력을 갖는 물질이다.

또한, 본 발명의 실시예에 사용되는 스프링(114)은 주연결선(116)을 감싸며 탄셩력을 갖는 물질이다. 상기 스프링(114)의 직경은 적절한 탄성력을 고려하여 3.5㎜ 내지 5.0㎜으로 설정할 수 있다.

한편, 제1 연결탭(106)과 제2 연결탭(120)은 2중으로 이루어진다. 이는 탭연결선(108)이 탈락되는 것을 방지하고 척연결선(104)의 접촉을 확실하게 하기 위함이다. 탭이 2중으로 되어 있으면, 탭연결선(108)을 2중으로 고정시키는 역할을 한다.

나아가, 연결단자(102)의 형상은 3각 내지 8각을 갖는 다각형이다. 연결단자(102)의 형상이 다각형이면, 척연결선(104)을 척(100)에 용이하게 탈착할 수 있다.

이상 본 발명을 상세히 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고 당업자에 의해 많은 변형 및 개량이 가능하다.

상술한 본 발명에 의한 척의 접지장치에 따르면, 주연결선은 탄성력을 갖는 스프링으로 보호함으로써 척연결선이 단락되지 않고, 또한 열에 강한 피복을 함으로써 열에 안정한 척 접지장치를 제공할 수 있다.

Claims

웨이퍼가 안착되는 척을 접지하는 방법에 있어서,

상기 척에 연결되는 척연결선;

상기 척연결선을 고정시키는 연결단자;

상기 척연결선에 연결되는 주연결선;

상기 척연결선과 상기 주연결선을 결합시키는 제1 연결탭;

상기 주연결선을 감싸는 탄성력을 갖는 스프링;

상기 주연결선에 연결된 접지선;

상기 주연결선과 접지선을 결합시키는 제2 연결탭; 및

상기 접지선을 접지시키는 접지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 척의 접지장치.
제1항에 있어서,

상기 주연결선은 2중으로 피복된 피복전선인 것을 특징으로 하는 척의 접지장치.
제2항에 있어서,

상기 피복전선을 이루는 피복은 비가연성의 물질인 것을 특징으로 하는 척의 접지장치.
제1항에 있어서,

상기 스프링의 직경은 3.5㎜ 내지 5.0㎜인 것을 특징으로 하는 척의 접지장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 연결탭과 제2 연결탭은 2중으로 이루어진 것을 특징으로 하는 척의 접지장치.
제1항에 있어서,

상기 연결단자의 형상은 3각 내지 8각을 갖는 다각형인 것을 특징으로 하는 척의 접지장치.