KR20020091370A - 포토스피너설비의 유량제어장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스피너설비에서 디벨로프 또는 순수의 유량을 제어하는 유량제어장치에 관한 것이다.

본 발명에 의한 유량제어를 위해, 각종 밸브를 개폐하기 위한 제어신호 및 유량 및 압력을 제어하기 위한 신호를 출력하는 콘트롤러와, 순수(DI)공급라인에 연결되어 상기 콘트롤러의 제어에 의해 압력을 제어하는 제1 및 제2 압력밸브와, 상기 순수공급라인을 통해 공급되는 DI의 유량의 속도에 따른 펄스값의 출력에 따른 유량검출신호를 출력하는 제1 및 제2 핀플로우와, 상기 핀플로우를 통해 유입되는 DI를 여과하는 제1 및 제2 필터와, 상기 제1필터를 통해 여과된 DI의 유량을 측정하는 제1유량계와, 상기 제1유량계를 통과한 DI를 분사하는 린스노즐과, 상기 제2 필터를 통해 여과된 DI를 분사하는 백린스노즐과, 디벨로프 용액을 저장하고 있는 복수의 디벨로프탱크와, 디벨로프 공급라인을 통해 유입되는 디벨로프 용액에 섞여 있는 기포를 제거하기 위한 탈기시스템과, 상기 탈기시스템으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 출력하는 제3핀플로우와, 상기 제3핀플로우를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과하는 제3 필터와, 상기 제3필터를 통해 여과된 디벨로프용액의 유량을 측정하는 제2유량계와, 상기 제2유량계를 통과한 디벨로프용액을 분사하는 디벨로프노즐로 구성한다.

Description

포토스피너설비의 유량제어장치{DEVICE FOR CONTROLING AMONNT OF FLOWING WATER OF PHOTO SPINNER EQUIPMENT }

본 발명은 스피너설비의 유량제어장치에 관한 것으로, 특히 스피너설비에서 디벨로프 또는 순수의 유량을 제어하는 유량제어장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정중 폴리미드(Polymide)공정은 웨이퍼상에 보호막을 형성하는 공정으로 보호막의 재질로 비감광성 포토레지스트를 사용하고 있다. 따라서 웨이퍼상에 포토레지스트를 도포한 후 베이크 장치내에 웨이퍼를 넣고 기 설정된 온도로 가열하여 도포된 포토레지스트를 경화시킴으로 써 보호막이 형성된다.

이러한 반도체 제조공정에서 포토레지스트를 도포하기 위해서는 스피너라는 설비가 사용된다. 스피너는 포토레지스트를 공급하고 분사하는 포토레지스트 공급라인과 포토레지스트 분사노즐이 구비되어 있으며, 이와 별도로 도포공정 후 웨이퍼의 사이드와 이면 등 포토레지스트의 도포가 불필요한 부분에 잔류하는 포토레지스트를 세정, 제거하기 위한 용제 공급라인이 구비되어 있으며, 이 용제라인을 통하여 통상 시너(Thiner)라 불리우는 용제가 공급되어 웨이퍼의 가장자리에 잔류하는 포토레지스트를 린스하는 사이드린스 및 웨이퍼의이면에 잔류하는 포토레지스트를 린스하는 백린스 등을 수행한다.

도 1은 종래의 포토스피너설비의 유량제어장치의 구성도이다.

각종 밸브를 개폐하기 위한 제어신호 및 유량 및 압력을 제어하기 위한 신호를 출력하는 콘트롤러(30)와, 순수(DI)공급라인(11)에 연결되어 상기 콘트롤러(30)의 제어에 의해 압력을 제어하는 제1 및 제2 압력밸브(10, 12)와, 상기 순수공급라인(11)을 통해 공급되는 DI의 유량의 속도에 따른 펄스값의 출력에 따른 유량검출신호를 출력하는 제1 및 제2 핀플로우(14, 16)와, 상기 핀플로우(14, 16)를 통해 유입되는 DI를 여과하는 제1 및 제2 필터(18, 20)와, 상기 제1 및 제2 필터(18,20)를 통해 여과된 DI를 분사하는 린스노즐(26) 및 백린스노즐(28)과, 상기 제1 필터(18)와 상기 린스노즐(26) 사이에 설치되어 상기 린스노즐(26)이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제1 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(22)와, 상기 제2 필터(20)와 상기 백린스노즐(28) 사이에 설치되어 상기 백린스노즐(28)이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제2 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(24)와, 디벨로프 용액을 저장하고 있는 복수의 디벨로프 A, B(32, 34)와, 디벨로프 공급라인(33)을 통해 유입되는 디벨로프 용액에 섞여 있는 기포를 제거하기 위한 탈기시스템(36)과, 상기 탈기시스템(36)으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 출력하는 제3핀플로우(38)와, 상기 제3핀플로우(38)를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과하는 제3 필터(40)와, 상기 제3 필터(40)를 통해 여과된 디벨로프용액을 분사하는 디벨로프노즐(44)과, 상기 제3 필터(40)와 상기 디벨로프노즐(44) 사이에 설치되어 상기 디벨로프노즐(44)이 분사를 완료할 시 분사되는 디벨로프용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제3 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(42)로 구성되어 있다.

먼저 복수의 디벨로프탱크A,B(32, 34)로부터 디벨로프공급라인(33)을 통해 디벨로프 용액이 공급되면 탈기시스템(36)은 디벨로프 용액중에 포함된 기포를 제거한다. 그리고 제3핀플로우(38)는 상기 탈기시스템(36)으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 콘틀롤러(36)로 출력하고, 콜트롤러(30)의 제어에 의해 유량을 제어하도록 한다. 제3 필터(40)는 상기 제3핀플로우(38)를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과한다. 상기 제3핀플로우(38)는 바람개비와 같은 형상으로 이루어진 프로펠러가 유량의 속도에 따라 회전하며, 그 회전수를 검출하여 유량을 검출한다. 디벨로프노즐(44)은 상기 제3 필터(40)를 통해 여과된 디벨로프용액을 분사한다. 이때 제3 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(42)는 상기 제3 필터(40)와 상기 디벨로프노즐(44) 사이에 설치되어 상기 디벨로프노즐(44)이 분사를 완료할 시 분사되는 디벨로프용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 한다.

또한 포토레지스트 도포공정 후 웨이퍼의 사이드와 이면 등 포토레지스트의 도포가 불필요한 부분에 잔류하는 포토레지스트를 세정, 제거하기 위해 DI를 공급하여 세정한다. 순수공급라인(11)을 통해 DI가 공급되면 제1 및 제2 압력밸브(10, 12)는 상기 콘트롤러(30)의 제어에 의해 압력을 제어한다. 그리고 제1압력밸브(10)를 통해 DI가 공급되면 제1핀플로우(14)는 DI의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 콘틀롤러(36)로 출력하고, 콜트롤러(36)의 제어에 의해 유량을 제어하도록 한다. 제1 필터(18)는 상기 제1핀플로우(14)를 통해 유입되는 DI를 여과한다. 상기 제1핀플로우(14)는 바람개비와 같은 형상으로 이루어진 프로펠러가 유량의 속도에 따라 회전하며, 그 회전수를 검출하여 유량을 검출한다. 린스노즐(26)은 상기 제1 필터(18)를 통해 여과된 DI를 분사한다. 이때 제1 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(22)는 상기 제1 필터(18)와 상기 린스노즐(26) 사이에 설치되어 상기 린스노즐(26)이 분사를 완료할 시 분사되는 디벨로프용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 한다.

또한 제2압력밸브(12)를 통해 DI가 공급되면 제2핀플로우(16)는 DI의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 콘틀롤러(36)로 출력하고, 콜트롤러(36)의 제어에 의해 유량을 제어하도록 한다. 제2 필터(20)는 상기 제2핀플로우(16)를 통해 유입되는 DI를 여과한다. 상기 제2핀플로우(16)는 바람개비와 같은 형상으로 이루어진 프로펠러가 유량의 속도에 따라 회전하며, 그 회전수를 검출하여 유량을 검출한다. 백린스노즐(28)은 상기 제2 필터(20)를 통해 여과된 DI를 분사한다. 이때 제2 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(24)는 상기 제2 필터(20)와 상기 백린스노즐(28) 사이에 설치되어 상기 백린스노즐(28)이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 한다.

상기와 같은 종래의 유량제어장치는 제1 내지 제3 핀플로우(16, 18, 38)에 의해 바람개비 형상으로 이루어진 프로펠러를 이용하여 유속에 따른 유량을 검출하도록 하므로, 제1 내지 제3 핀플로우(16, 18, 38)로 역류 등의 발생으로 인해 정확한 유량검출이 되지 않아 케미컬의 토출량의 변화를 일정하게 제어할 수 없는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 포토스피너설비에서 유량변화를 정확하게 체크하여 케미컬 토출의 변화를 일정하게 제어할 수 있는 포토스피너설비의 유량제어장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 포토스피너설비의 유량제어장치의 구성도

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 포토스피너설비의 유량제어장치 구성도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

50: 콘트롤러 60, 62: 제1 및 제2 압력밸브

64, 66, 88: 제1 내지 제3 핀플로우 68, 70, 90: 제1 내지 제3필터

72, 92: 제1 및 제2 유량계 74, 76, 94 :제1 내지 제3석밸밸브

78: 린스노즐 80: 백린스노즐

82, 84: 디벨로프탱크 A,B 86: 탈기시스템

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 토스피너설비의 유량제어장치에 있어서, 각종 밸브를 개폐하기 위한 제어신호 및 유량 및 압력을 제어하기 위한 신호를 출력하는 콘트롤러와, 순수(DI)공급라인에 연결되어 상기 콘트롤러의 제어에 의해 압력을 제어하는 제1 및 제2 압력밸브와, 상기 순수공급라인을 통해 공급되는 DI의 유량의 속도에 따른 펄스값의 출력에 따른 유량검출신호를 출력하는 제1 및 제2 핀플로우와, 상기 핀플로우를 통해 유입되는 DI를 여과하는 제1 및 제2 필터와, 상기 제1필터를 통해 여과된 DI의 유량을 측정하는 제1유량계와, 상기 제1유량계를 통과한 DI를 분사하는 린스노즐과, 상기 제2 필터를 통해 여과된 DI를 분사하는 백린스노즐과, 디벨로프 용액을 저장하고 있는 복수의 디벨로프탱크와, 디벨로프 공급라인을 통해 유입되는 디벨로프 용액에 섞여 있는 기포를 제거하기 위한 탈기시스템과, 상기 탈기시스템으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 출력하는 제3핀플로우와, 상기 제3핀플로우를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과하는 제3 필터와, 상기 제3필터를 통해 여과된 디벨로프용액의 유량을 측정하는 제2유량계와, 상기 제2유량계를 통과한 디벨로프용액을 분사하는 디벨로프노즐로 구성함을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 포토스피너설비의 유량제어장치 구성도이다.

각종 밸브를 개폐하기 위한 제어신호 및 유량 및 압력을 제어하기 위한 신호를 출력하는 콘트롤러(50)와, 순수(DI)공급라인(61)에 연결되어 상기 콘트롤러(50)의 제어에 의해 압력을 제어하는 제1 및 제2 압력밸브(60, 62)와, 상기 순수공급라인(61)을 통해 공급되는 DI의 유량의 속도에 따른 펄스값의 출력에 따른 유량검출신호를 출력하는 제1 및 제2 핀플로우(64, 66)와, 상기 핀플로우(64, 66)를 통해 유입되는 DI를 여과하는 제1 및 제2 필터(68, 70)와, 상기 제1필터(68)를 통해 여과된 DI의 유량을 측정하는 제1유량계(72)와, 상기 제1유량계(72)를 통과한 DI를 분사하는 린스노즐(78)과, 상기 제1유량계(72)와 상기 린스노즐(78) 사이에 설치되어 상기 린스노즐(78)이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제1 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(74)와, 제2 필터(70)를 통해 여과된 DI를 분사하는 백린스노즐(80)과, 상기 제2 필터(70)와 상기 백린스노즐(80) 사이에 설치되어 상기 백린스노즐(80)이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제2 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(76)와, 디벨로프 용액을 저장하고 있는 복수의 디벨로프 A, B(82, 84)와, 디벨로프 공급라인(85)을 통해 유입되는 디벨로프 용액에 섞여 있는 기포를 제거하기 위한 탈기시스템(86)과, 상기 탈기시스템(86)으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 출력하는 제3핀플로우(88)와, 상기 제3핀플로우(88)를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과하는 제3 필터(90)와, 상기 제3필터(90)를 통해 여관된 리벨로프 용액의 유량을 측정하는 제2유량계(92)와, 상기 제2유량계(92)를 통과한 디벨로프용액을 분사하는 디벨로프노즐(96)과, 상기 제2유량계(92)와 상기 디벨로프노즐(96) 사이에 설치되어 상기 디벨로프노즐(96)이 분사를 완료할 시 분사되는 디벨로프용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제3 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(94)로 구성되어 있다.

상술한 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 동작을 상세히 설명한다.

먼저 복수의 디벨로프탱크A,B(82, 84)로부터 디벨로프공급라인(85)을 통해 디벨로프 용액이 공급되면 탈기시스템(86)은 디벨로프 용액중에 포함된 기포를 제거한다. 그리고 제3핀플로우(88)는 상기 탈기시스템(86)으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 콘틀롤러(50)로 출력하고, 콜트롤러(50)의 제어에 의해 유량을 제어하도록 한다. 제3 필터(90)는 상기 제3핀플로우(88)를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과한다. 상기 제3핀플로우(88)는 바람개비와 같은 형상으로 이루어진 프로펠러가 유량의 속도에 따라 회전하며, 그 회전수를 검출하여 유량을 검출한다. 그리고 유량계(92)는 상기 제3 필터(90)로부터 여과된 DI의 유량을 측정하여 콘트롤러(5)로 인가한다. 이때 콘트롤러(50)는 디벨로프 토출량을 미리 설정하여 토출량이 일정하도록 제어한다. 이때 디벨로프노즐(96)은 상기 제2유량계(92)를 통과한 디벨로프용액을 분사한다. 이때 제3 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(94)는 상기 제2 유량계(92)와 상기 디벨로프노즐(96) 사이에 설치되어 상기 디벨로프노즐(96)이 분사를 완료할 시 분사되는 디벨로프용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 한다.

또한 포토레지스트 도포공정 후 웨이퍼의 사이드와 이면 등 포토레지스트의 도포가 불필요한 부분에 잔류하는 포토레지스트를 세정, 제거하기 위해 DI를 공급하여 세정한다. 순수공급라인(11)을 통해 DI가 공급되면 제1 및 제2 압력밸브(60, 62)는 상기 콘트롤러(50)의 제어에 의해 압력을 제어한다. 그리고 제1압력밸브(60)를 통해 DI가 공급되면 제1핀플로우(64)는 DI의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 콘틀롤러(50)로 출력하고, 콜트롤러(50)의 제어에 의해 유량을 제어하도록 한다. 제1 필터(68)는 상기 제1핀플로우(64)를 통해 유입되는 DI를 여과한다. 상기 제1핀플로우(64)는 바람개비와 같은 형상으로 이루어진 프로펠러가 유량의 속도에 따라 회전하며, 그 회전수를 검출하여 유량을 검출한다. 그리고 제1유량계(72)는 상기 제1 필터(68)로부터 여과된 DI의 유량을 측정하여 콘트롤러(50)로 인가한다. 이때 콘트롤러(50)는 DI 토출량을 미리 설정하여 토출량이 일정하도록 제어한다. 린스노즐(78)은 상기 제1 유량계(72)를 통과한 DI를 분사한다. 이때 제1 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(74)는 상기 제1 유량계(72)와 상기 린스노즐(78) 사이에 설치되어 상기 린스노즐(78)이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 한다.

또한 제2압력밸브(62)를 통해 DI가 공급되면 제2핀플로우(66)는 DI의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 콘틀롤러(50)로 출력하고, 콜트롤러(50)의 제어에 의해 유량을 제어하도록 한다. 제2 필터(70)는 상기 제2핀플로우(66)를 통해 유입되는 DI를 여과한다. 상기 제2핀플로우(66)는 바람개비와 같은 형상으로 이루어진 프로펠러가 유량의 속도에 따라 회전하며, 그 회전수를 검출하여 유량을 검출한다. 백린스노즐(80)은 상기 제2 필터(70)를 통해 여과된 DI를 분사한다. 이때 제2 석백밸브(SUCK BACK VALVE)(76)는 상기 제2 필터(70)와 상기 백린스노즐(80) 사이에 설치되어 상기 백린스노즐(80)이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 한다.

또한 본 발명의 제1 및 제2 유량계(72, 92)는 케미컬의 토출여부, 토출량, 토출시간을 측정하는 기능을 구비하고 있어 케미컬의 디펜스(DIPENSE) 미동작, 토출량변화, 제1 및 제3 필터(68,90)의 교환주기의 감지가 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명은 디벨로프 공급라인과 DI라인에 디벨로프용액이나 DI 공급 시 유량센서인 유량계를 설치하여 유량을 정확하게 측정하여 이상발생 시 메인설비로 인터록신호를 보내 설비의 진행상태를 제어하며, 또한 디벨로프 공급라인과 DI라인에 디벨로프용액이나 DI 공급 시 정확한 유량을 측정하여 디벨로프 베드(DEVELOPE BAD)나 노패턴(NO PATTERN)으로 인한 웨이퍼 손상을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (7)

1. 포토스피너설비의 유량제어장치에 있어서,

   각종 밸브를 개폐하기 위한 제어신호 및 유량 및 압력을 제어하기 위한 신호를 출력하는 콘트롤러와,

   순수(DI)공급라인에 연결되어 상기 콘트롤러의 제어에 의해 압력을 제어하는 제1 및 제2 압력밸브와,

   상기 순수공급라인을 통해 공급되는 DI의 유량의 속도에 따른 펄스값의 출력에 따른 유량검출신호를 출력하는 제1 및 제2 핀플로우와,

   상기 핀플로우를 통해 유입되는 DI를 여과하는 제1 및 제2 필터와,

   상기 제1필터를 통해 여과된 DI의 유량을 측정하는 제1유량계와,

   상기 제1유량계를 통과한 DI를 분사하는 린스노즐과,

   상기 제2 필터를 통해 여과된 DI를 분사하는 백린스노즐과,

   디벨로프 용액을 저장하고 있는 복수의 디벨로프탱크와,

   디벨로프 공급라인을 통해 유입되는 디벨로프 용액에 섞여 있는 기포를 제거하기 위한 탈기시스템과,

   상기 탈기시스템으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 출력하는 제3핀플로우와,

   상기 제3핀플로우를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과하는 제3 필터와,

   상기 제3필터를 통해 여과된 디벨로프용액의 유량을 측정하는 제2유량계와,

   상기 제2유량계를 통과한 디벨로프용액을 분사하는 디벨로프노즐로 구성함을 특징으로 하는 포토스피너설비의 유량제어장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1유량계와 상기 린스노즐 사이에 설치되어 상기 린스노즐이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제1 석백밸브와,

   상기 제2 필터와 상기 백린스노즐 사이에 설치되어 상기 백린스노즐이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제2 석백밸브와,

   상기 제2유량계와 상기 디벨로프노즐 사이에 설치되어 상기 디벨로프노즐이 분사를 완료할 시 분사되는 디벨로프용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제3 석백밸브를 더 구비함을 특징으로 하는 포토스피너설비의 유량제어장치.
3. 포토스피너설비의 유량제어장치에 있어서,

   각종 밸브를 개폐하기 위한 제어신호 및 유량 및 압력을 제어하기 위한 신호를 출력하는 콘트롤러와,

   순수(DI)공급라인에 연결되어 상기 콘트롤러의 제어에 의해 압력을 제어하는 제1 및 제2 압력밸브와,

   상기 순수공급라인을 통해 공급되는 DI의 유량의 속도에 따른 펄스값의 출력에 따른 유량검출신호를 출력하는 제1 및 제2 핀플로우와,

   상기 핀플로우를 통해 유입되는 DI를 여과하는 제1 및 제2 필터와,

   상기 제1필터를 통해 여과된 DI의 유량을 측정하는 제1유량계와,

   상기 제1유량계를 통과한 DI를 분사하는 린스노즐과,

   상기 제2 필터를 통해 여과된 DI를 분사하는 백린스노즐로 구성함을 특징으로 하는 포토스피너설비의 유량제어장치.
4. 제3항에 있어서,

   디벨로프 용액을 저장하고 있는 복수의 디벨로프탱크와,

   디벨로프 공급라인을 통해 유입되는 디벨로프 용액에 섞여 있는 기포를 제거하기 위한 탈기시스템과,

   상기 탈기시스템으로부터 기포가 제거된 디벨로프용액의 유량 속도에 따른 유량검출신호를 출력하는 제3핀플로우와,

   상기 제3핀플로우를 통해 유입되는 디벨로프용액을 여과하는 제3 필터와,

   상기 제3필터를 통해 여과된 디벨로프용액을 분사하는 디벨로프노즐을 더 구비함을 특징으로 하는 포토스피너의 유량제어장치.
5. 제4 에 있어서,

   상기 제3필터를 통해 여과된 디벨로프용액의 유량을 측정하는 제2유량계를 더 구비함을 특징으로 하는 포토스피너설비의 유량제어장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 제1유량계와 상기 린스노즐 사이에 설치되어 상기 린스노즐이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제1 석백밸브와,

   상기 제2 필터와 상기 백린스노즐 사이에 설치되어 상기 백린스노즐이 분사를 완료할 시 분사되는 DI의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제2 석백밸브와,

   상기 제2유량계와 상기 디벨로프노즐 사이에 설치되어 상기 디벨로프노즐이 분사를 완료할 시 분사되는 디벨로프용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 제3 석백밸브를 더 구비함을 특징으로 하는 포토스피너설비의 유량제어장치.
7. 제4항 내지 제6항 중 그 어느 한 항에 있어서,

   상기 제1 및 제2유량계는 케미컬의 디펜스 미동작, 토출량변화, 필터의 교환주기의 감지함을 특징으로 하는 포토스피너설비의 유량제어장치.