KR100297990B1 - 현상장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 현상공정 시에, 기판 상에 분사되는 현상액의 양을 자동으로 조절가능한 현상장치에 관한 것이다.

본 발명은 현상액이 표시된 적정수위까지 차오르도록 현상액 양을 조절하기 위한 유량조절기를 구비한 현상장치에 있어서, 상기 유량조절기는 일측에 광을 조사시키기 위한 발광센서와, 타측에 발광센서로부터 조사된 광을 쎈씽하기 위한 수광센서를 구비한 것이 특징이다.

따라서, 본 발명의 현상장치는 현상액이 유량조절기를 통과할 때 공급되는 현상액 양이 기준치(적정수위)를 벗어난 경우에 수광 및 발광센서에 의해 이를 자동으로 센씽이 가능함에 따라, 현상불량을 사전에 방지할 수 있는 이점이 있다.

Description

현상장치

본 발명은 포토공정 시 사용되는 현상장치에 관한 것으로, 특히, 현상액 양을 자동으로 조절함으로써 적정량의 현상액을 기판 상에 분사시킬 수 있는 현상장치에 관한 것이다.

도 1은 종래기술에 따른 현상장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

종래기술에 따른 현상장치는 도 1과 같이, 현상액이 저장되는 현상액탱크(10)와, 현상액을 분사시키기 위한 분사부(12)와, 일단은 현상액탱크(10)에 연결설치되고 타단은 분사부(12)에 연결설치된 연결관(14)과, 연결관(14)에 설치되어 현상액탱크(10)로부터 공급되는 현상액의 양이 조절되는 유량조절기(16)와, 연결관(14) 내의 현상액을 필터링하기 위한 필터(18)로 구성된다. 유량조절기(16)에는 표면에 일정간격의 눈금이 형성되어서, 눈금을 이용하여 적정수위까지 현상액을 공급시킨다.

분사부(12)는 현상액이 스프레이 방식으로 분사되는 노즐(nozzle)이 이용된다.

상기 구성을 갖는 종래기술에 따른 현상장치를 이용하여 현상액이 기판 상에 분사되는 과정을 알아본다.

현상액탱크(10)로부터 현상액이 연결관 내로 유입되며, 유입되는 현상액의 양은 유량조절기(16)를 통해 측정된다. 이어서, 현상액은 필터를 통해 불순물 등이 여과되어 분사부(12)를 통해 공정챔버(20) 내의 기판(22) 상에 분사된다. 참고로, 도면번호 24는 기판안착부로, 모터 등의 회전수단에 의해 고속회전된다.

따라서, 고속회전되는 기판(22) 상에 분사부(12)를 통해 공급되는 현상액이 분사된다.

그러나, 종래의 현상장치에서는 작업자가 직접 유량조절기의 수치를 확인하면서 기판 상에 분사되는 현상액 양을 조절하였다. 따라서, 수작업에 따른 공정 지연 및 현상액양 조절이 제대로 정확하게 이루어지지 않아 현상공정 불량을 초래하는 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 해결하고자, 본 발명의 목적은 분사부로 부터 공급되는 현상액을적정량만큼 자동으로 조절가능한 현상장치를 제공하려는 것이다.

상기 목적을 달성하고자, 본 발명은 현상액이 표시된 적정수위까지 차오르도록 현상액 양을 조절하기 위한 유량조절기를 구비한 현상장치에 있어서, 상기 유량조절기는 일측에 광을 조사시키기 위한 발광센서와, 타측에 발광센서로부터 조사된 광을 쎈씽하기 위한 수광센서를 구비한 것이 특징이다.

도 1은 종래기술에 따른 현상장치를 개략적으로 도시한 도면이고,

도 2는 본 발명에 따른 현상장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 3은 본 발명에 따른 현상장치에 있어서, 광센서가 부착된 부분을 확대한 도면이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10, 100. 현상액공급탱크 12, 120. 분사부

14, 140. 연결관 16, 160. 유량조절기

18, 180. 필터 20, 200. 공정챔버

22, 220. 기판 24, 240. 기판안착부

190. 솔레노이드밸브 a. 발광센서

b. 수광센서 c. 적정수위

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하겠다.

도 2는 본 발명에 따른 현상장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 현상장치에 있어서, 광센서가 부착된 부분을 확대한 도면이다.

본 발명의 현상장치는 도 2와 같이, 현상액이 저장되는 현상액탱크(100)와, 현상액을 분사시키기 위한 분사부(120)와, 일단은 현상액탱크(100)에 연결설치되고 타단은 분사부(120)에 연결설치되어 현상액이 이동되는 통로인 연결관(140)과, 연결관(140)에 설치되어 현상액탱크(100)로부터 공급되는 현상액의 양이 조절되는 유량조절기(160)와, 유량조절기(160)에 설치되어 적정량의 현상액을 감지하기 위한 광센서(a)(b)와, 연결관(140) 내의 현상액을 필터링하기 위한 필터(180)로 구성된다.

분사부(120)로는 현상액이 스프레이 방식으로 분사되는 노즐이 이용된다.

도면번호 190은 솔레노이드밸브로, 연결관(140)에 설치되어, 현상액공급탱크(100)에서 분사부(120)로 흐르는 현상액의 공급 및 차단됨을 제어한다.

본 발명의 광센서는 유량조절기(160)의 적정수위(c)와 대응된 위치에 설치되어 광을 조사시키기 위한 발광센서(a)와, 발광센서(a)로 부터 조사된 광을 수광하여 솔레노이드 밸브(190)를 제어하기 위한 신호를 출력시키는 수광센서(b)로 구성된다.

즉, 본 발명에서는 도 3과 같이, 솔레노이드 밸브 신호를 입력단으로 하는 수광 및 발광센서(a)(b)를 유량조절기(160) 양측에 설치시키고, 수광센서(a)는 일단은 입력전압에 연결되고, 타단은 접지부에 연결된다. 그리고, 발광센서(b)는 저항값을 구성하는 브리지(bridge)회로에 연결된다. R1, C1 은 공정챔버(200) 내에 기판(220)이 인입되어 현상액 분사까지의 지연시간을 주기 위한 것으로, 타이머(timer)역할을 한다. 그리고, R2는 공정챔버 내에 기판이 없을 경우 C1에 충전된 전하를 방전시키는 역할을 하며, OP AMP는 V1, V2의 값을 입력받아 두 값을 비교하여 출력값을 결정한다.

즉, V1 〉 V2 인 경우 OP AMP출력값은 1이고, V1 〈 V2 인 경우 OP AMP출력값은 0이 된다.

상기 구성을 갖는 본 발명의 현상장치를 통하여 자동으로 적정량의 현상액 양이 센싱되는 과정을 알아본다.

현상액탱크(20)로부터 현상액이 연결관(24) 내로 유입되며, 이 현상액은 유량조절기(260)내의 적정수위(c)까지 차오른다.

이 때, 유량조절기(260)의 눈금이 적정수위(c)를 벗어난 경우에 수광센서(a)로 부터 광이 조사되면, 발광센서(b)에서 수광센서(b)로 부터 조사된 광을 감지하지 못함에 따라, 수광센서에서는 신호를 출력시킨다. 수광센서(b)로 부터 출력된 신호에 따라, 에러음(경고음)을 발생시키거나 솔레노이드밸브(190)를 제어함으로써 연결관(140) 내로의 현상액 공급을 차단시킨다.

그리고, 적정양의 현상액이 필터(160)를 통해 불순물 등이 여과된 후에 분사부(22)를 통해 기판(220) 상에 분사된다.

도면에 도시된 바와 같이, 공정챔버(200) 내부에는 기판안착부(240)가 설치되어 있으며, 이 기판안착부(240)는 모터의 회전작동에 의해 고속회전된다.

따라서, 본 발명의 수광 및 발광센서(a)(b)에 의해 현상공정을 진행시키기에 적정량만큼의 현상액이 분사부(120)를 통하여 고속회전되는 기판(220)상에 분사된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 현상장치는 현상액이 유량조절기를 통과할 때 공급되는 현상액 양이 기준치(적정수위)를 벗어난 경우에 광센서가 이를 자동으로 센씽함으로써 현상불량을 사전에 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (1)

1. 현상액이 저장된 현상액탱크와,

   상기 현상액을 기판에 분사시키기 위한 분사부와,

   상기 현상액탱크와 상기 분사부 사이에 연결설치된 연결관과,

   상기 연결관을 개폐시키어 상기 현상액을 공급/차단시키기 위한 솔레노이드밸브와, 상기 연결관에 설치되며, 적정수위와 대응된 위치에 발광센서 및 수광센서가 설치되어, 상기 발광센서 및 상기 수광센서에 의해 상기 현상액탱크로부터 공급되는 현상액이 적정수위에 초과됨을 감지하여 상기 솔레노이드밸브를 제어함으로써, 상기 분사부를 통해 상기 기판으로 분사되는 상기 현상액 양을 조절하기 위한 유량조절기와,

   상기 연결관 내의 현상액을 필터링하기 위한 필터를 구비한 현상장치.