KR20020078816A - 센드 페이퍼 부착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 더미 웨이퍼에 센드 페이퍼를 반자동으로 부착할 수 있는 장치에 관한 것으로, 더미 웨이퍼에 피부착물을 부착하기 위한 장치는 상면에 더미 웨이퍼가 놓여지는 로딩면을 갖는 스테이지와, 상기 피부착물을 상기 로딩면으로부터 이격된 위치에 놓아두기 위한 서포트 수단과 , 로딩면에 놓여진 더미 웨이퍼의 일측으로부터 점진적으로 피부착물을 부착시키기 위한 프레스 부재를 갖는다.

Description

센드 페이퍼 부착 장치{SAND PAPER ATTACH APPARATUS}
본 발명은 더미 웨이퍼에 센드 페이퍼를 부착시키기 위한 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반자동으로 센드 페이퍼를 부착할 수 있는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치에 관한 것이다.
일반적으로 프로우브 카드(20)에는 웨이퍼의 패드에 전기적으로 연결되어 웨이퍼의 양/불량을 검사하도록 하는 다수개의 팁(tip;22)이 설치되어 있다. 이 팁은 끝단의 모양을 둥글게 만들고 또한 공기와 맞닿아 산화되는 작용을 없애기 위하여 도 6에서와 같이, 센드 페이퍼(sand paper;12)가 부착된 더미 웨이퍼(10)를 이용하여 팁의 끝을 연마하는 작업을 행했다.
이러한 연마 작업에 사용되는 더미 웨이퍼(10)에는 센드 페이퍼(12)가 부착되어 있는데, 이 센드 페이퍼의 부착은 수작업에 의해 이루어지기 때문에 다음과 같은 문제점이 발생된다.
첫째, 더미 웨이퍼에 센드 페이퍼를 부착 후 접착이 용이하도록 센드 페이퍼 위를 종이로 문지르게 되는데, 이 과정에서 센드 페이퍼 표면에 이물질이 누적되어 센드 페이퍼 기능이 저하된다. 둘째, 부착 과정에서 센드 페이퍼와 더미 웨이퍼 사이에 기포가 발생될 수 있다. 이러한 기포 발생은 추후 프로브 카드의 팁에 충격을 가하여 불량을 유발시키는 원인이 된다. 셋째, 센드 페이퍼 부착시 더미 웨이퍼 중앙에 부착해야 하는데, 작업자의 숙련도에 따라 부착 불량이 발생될 수 있다. 넷째, 부착 작업에 많이 시간이 소요된다. 평균적으로 1장 부착하는데 1분이 소요된다.(이 시간은 숙달된 작업자의 경우에 해당된다.) 다섯째, 작업자에 따라 부착 방법이 다르기 때문에 그에 따른 차이가 발생된다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 더미 웨이퍼에 센드 페이퍼를 쉽게 부착할 수 있는 새로운 형태의 센드 페이퍼 반자동 부착 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센드 페이퍼 부착 장치를 개략적으로 보여주는 사이도;
도 2는 센드 페이퍼 부착 장치의 평면도;
도 3은 센드 페이버 부착 장치의 측면도;
도 4 및 도 5는 더미 웨이퍼에 센드 페이퍼를 부착하는 과정을 설명하기 위한 도면;
도 6은 더미 웨이퍼를 이용하여 프로우브 카드의 팁 끝을 연마하는 작업을 개략적으로 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 스테이지112 : 상면
114 : 로딩면116 : 위치 확인 라인
118 : 홀120 : 가이드 레일
122 : 스톱퍼130 : 프레스 수단
132 : 롤러134 : 브라켓
136 : 핸들150 : 서포트 수단
152 : 측판154 : 지지봉
156 : 미니 롤러158 : 홀더
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 더미 웨이퍼에 피부착물을 부착하기 위한 장치는 상면에 더미 웨이퍼가 놓여지는 로딩면을 갖는 스테이지 및; 상기 로딩면에 놓여진 더미 웨이퍼의 일측으로부터 점진적으로 피부착물을 부착시키기 위한 프레스 부재 그리고 상기 피부착물을 상기 로딩면으로부터 이격된 위치에 놓아두기 위한 서포트 수단을 갖는다.
이와 같은 본 발명에서 상기 서포트 수단은 상기 로딩면 상부를 가로질려 설치되는 그리고 피부착물이 얹혀지는 적어도 두 개의 지지봉과; 상기 스테이지의 서로 대응되는 양측면에 설치되는 그리고 상기 지지봉의 양단이 고정되는 측판을 갖는다. 그리고 상기 지지봉에 상기 피부착물이 붙지 않고 쉽게 미끄러지도록 지지봉에 설치되는 다수의 미니 롤러들과 상기 지지봉에 서로 이격되게 설치되고, 상기 피부착물이 똑바로 미끄러져 내려가도록 상기 피부착물의 양측을 가이드 해주는 한쌍의 홀더를 갖는다. 이 한 쌍의 홀더는 피부착물의 사이즈에 따라 상기 지지봉에서 서로간의 간격을 조절될 수 있다.
이와 같은 본 발명에서 상기 서포트 수단은 피부착물이 경사지게 얹혀지도록 상기 2개의 지지봉이 경사지게 설치될 수 있다.
이와 같은 본 발명에서 상기 스테이지는 상기 로딩면의 가장자리에 홈을 형성할 수 있다. 그리고 로딩면은 상기 스테이지의 상면보다 낮게 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명에서 상기 프레스 수단과 상기 서포트 수단은 더미 웨이퍼에 대한 피부착물의 부착 방향으로 슬라이드 이동될 수 있다. 이를 위해 상기 스테이지는 양측면에 상기 프레스 수단과 상기 서포트 수단이 더미 웨이퍼에 대한 피부착물의 부착 방향으로 슬라이드 이동되는 것을 가이드 해주기 위한 가이드 레일이 설치될 수 있다.
이와 같은 본 발명에서 상기 프레스 수단은 더미 웨이퍼에 피부착물을 부착시키기 위한 롤러와; 상기 롤러의 양단이 고정되는 브라켓 및; 상기 롤러를 이동시키기 위한 핸들을 갖는다. 이 롤러는 소정의 쿠션을 갖는 재질로 이루어질 수 있다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센드 페이퍼 부착 장치를 개략적으로 보여주는 사이도이다. 도 2는 센드 페이퍼 부착 장치의 평면도이다. 도 3은 센드 페이버 부착 장치의 측면도이다.
본 발명에 따른 센드 페이퍼 반자동 부착 장치(100)는 크게 스테이지(110), 프레스 수단(130) 그리고 서포트 수단(150)으로 이루어진다.
센드 페이퍼(10)를 부착하기 위한 더미 웨이퍼(W)는 상기 스테이지(110)의 상면(112)에 형성된 로딩면(114)에 놓여진다. 이 로딩면(114)은 스테이지의 상면(112)보다 0.6mm 낮게 형성되며, 스테이지의 상면(112)에는 센드 페이퍼(10)의 하측 포지션을 맞추기 위한 위치 확인 라인(116)이 표시되어 있다. 그리고 스테이지의 상면(112)에는 로딩면(114) 가장자리에 인접하게 4개의 홈(118)이 형성되어 있는데, 이 홈(118)들은 더미 웨이퍼(W)를 로딩면(114)에 올려놓거나 또는 들어올리는 작업이 용이하도록 하기 위함이다. 이 홀(118)들이 있음으로 해서 상기 로딩면(114)으로부터의 더미 웨이퍼(W) 착탈이 쉽다. 상기 스페이지(110)의 양측면(113)에는 상기 서포트 수단(150)과 상기 프레스 수단(130)의 이동을 위한 가이드 레일(120)이 설치되어 있다.
더미 웨이퍼(W)에 부착하기 위한 센드 페이퍼(10)는 상기 서포트 수단(150)에 의해 로딩면(114)으로부터 이격된 위치에 경사지게 놓여지며, 센드 페이퍼(10)의 하단은 상기 더미 웨이퍼(W)의 부착면 일측(위치 확인 라인)에 위치하는 것이 바람직하다. 예컨대,상기 경사각은 60도가 바람직하다. 이 서포트 수단(150)은 두 개의 지지봉(154), 측판들(152), 미니 롤러(156) 그리고 한 쌍의 홀더(158)를 갖는다. 상기 측판(152)들은 상기 스테이지(110)의 서로 대응되는 양측면(113)에 각각 설치된 가이드 레일(120)상에 설치된다. 이 측판(152)들의 상단에는 상기 지지봉(154)의 양단이 고정되며, 지지봉(154)은 상기 로딩면(114) 상부를 가로질러 설치된다. 상기 지지봉(154)에는 상기 센드 페이퍼(10)가 붙지 않고 쉽게 미끄러질 수 있도록 상기 미니 롤러(156)들이 설치된다. 상기 한 쌍의 홀더(158)는 상기 지지봉(154)에 서로 이격되게 설치되며, 그 간격은 상기 센드 페이퍼(10)의 사이즈(7inch-12inch)에 따라 조절이 가능하다. 홀더(158)는 상기 지지봉(154)과 지지봉(154) 사이로 센드 페이퍼(10)가 빠지지 않도록 "┣" 타입으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 센드 페이퍼(10)는 상기 한 쌍의 홀더(158)가 양측 포지션을 맞출 수 있도록 가이드해주기 때문에 틀어지지 않고 똑바로 그리고 상기 미니 롤러(156)들에 의해 미끄러지듯이 내려가 더미 웨이퍼(W)의 정위치에 부착되어 질 수 있는 것이다.
상기 지지봉(154)들 상에 얹혀진 센드 페이퍼(10)는 점진적으로 프레스 수단(130)의 롤러(132)에 의해 눌리어지면서 상기 더미 웨이퍼(W)의 부착면 일측으로부터 점진적으로 부착된다. 상기 프레스 수단(130)은 상기 스테이지(110)의 폭보다 넓은 길이를 갖는 롤러(132)와, 상기 롤러(132)의 양단이 힌지 고정되는 브라켓(134) 그리고 핸들(136)을 갖는다. 상기 브라켓(134)은 상기 가이드 레일(120)을 따라 상기 서포트 수단(150)의 측판(152)과 함께 슬라이드 이동되도록 상기 가이드 레일(120)상에 설치된다. 상기 롤러(132))는 상기 가이드 레일(120)을 따라 이동하는 브라켓(134)을 따라 상기 더미 웨이퍼(W)의 부착면상을 굴러가게 되고, 이때, 굴러가는 롤러(132)와 상기 더미 웨이퍼(W) 사이에 위치된 센드 페이퍼(10)는 상기 더미 웨이퍼(W)의 부착면에 점진적으로 부착되게 되는 것이다. 한편, 상기 가이드 레일(120)에는 브라켓의 이동을 제한하는 스톱퍼(122)가 설치되어 있어, 상기 롤러(132)의 이동 범위를 제한할 수 있는 것이다. 상기 롤러(132)의 대기 위치에서 임의 이동을 차단하기 위해 상기 스테이지(110)의 상면(112)(롤러 바로 아래)에는 상기 롤러(132)를 고정하기 위한 고정핀(미도시됨)이 설치된다.
상기 롤러(132)는 소정의 쿠션을 갖는 재질(실리콘 또는 고무)로 이루어져 있기 때문에, 더미 웨이퍼(W)의 부착면에 센드 페이퍼를 압착할 때 더미 웨이퍼의 깨짐을 예방하고 센드 페이퍼(10)의 부착 밀도를 증가시킬 수 있다.
여기서 본 발명의 구조적인 특징은 센드 페이퍼가 얹혀져 있는 서포트와, 이 서포트에 얹혀진 센드 페이퍼의 일측부터 점진적으로 더미 웨이퍼의 부착면에 부착시키는 롤러를 갖는 프레스 수단을 갖는데 있다.
도 4 및 도 5는 더미 웨이퍼에 센드 페이퍼를 부착하는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 먼저 더미 웨이퍼를 스테이지의 로딩면에 올려놓는다. 그리고 센드 페이퍼를 2개의 지지봉 위에 놓는다. 이때, 센드 페이퍼는 하측 포지션을 스테이지에 표시된 위치확인 실선에 맞추고, 좌/우측 포지션은 한 쌍의 홀더에 맞게 올려놓는다. 이렇게 더미 웨이퍼와 센드 페이퍼의 부착 준비가 완료된 상태에서 핸들을 잡아 앞으로 밀면, 상기 롤러는 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 브라켓을 따라 상기 더미 웨이퍼의 부착면상을 굴러가게 되고, 이때, 굴러가는 롤러와 상기 더미 웨이퍼 사이에 위치된 센드 페이퍼는 하측부터 상기 더미 웨이퍼의 부착면에 점진적으로 균일하게 부착되게 되는 것이다.
이상에서, 본 발명에 따른 센드 페이퍼의 반자동 부착 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
이와 같은 본 발명의 센드 페이퍼 반자동 부착 장치는 다음과 같은 이점이 있다. 첫째, 센드 페이퍼 표면에 이물질이 누적되지 않는다. 둘째, 센드 페이퍼와 더미 웨이퍼 사이에 기포가 발생되지 않는다. 셋째, 더미 웨이퍼의 정중앙에 센드 페이퍼를 부착시킬 수 있다. 넷째, 수작업에 비해 작업 시간을 현저히 단축시킬 수 있다. 다섯째, 작업자의 숙련도에 상관없이 균일한 부착 품질을 얻을 수 있다.

Claims (16)

  1. 더미 웨이퍼에 피부착물을 부착하기 위한 장치에 있어서:
    상면에 더미 웨이퍼가 놓여지는 로딩면을 갖는 스테이지 및;
    상기 로딩면에 놓여진 더미 웨이퍼의 일측으로부터 점진적으로 피부착물을 부착시키기 위한 프레스 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 피부착물을 상기 로딩면으로부터 이격된 위치에 놓아두기 위한 서포트(support)수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 서포트 수단은 상기 로딩면 상부를 가로질려 설치되는 그리고 피부착물이 얹혀지는 적어도 두 개의 지지봉과;
    상기 스테이지의 서로 대응되는 양측면에 설치되는 그리고 상기 지지봉의 양단이 고정되는 측판을 포함하는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 서포트 수단은 상기 지지봉에 상기 피부착물이 붙지 않고 쉽게 미끄러지도록 지지봉에 설치되는 다수의 미니 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 서포트 수단은 피부착물이 경사지게 얹혀지도록 상기 2개의 지지봉이 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 서포트 수단은 상기 지지봉에 서로 이격되게 설치되고, 상기 피부착물이 똑바로 미끄러져 내려가도록 상기 피부착물의 양측을 가이드 해주는 한 쌍의 홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 홀더는 피부착물의 사이즈에 따라 상기 지지봉에서 서로간의 간격을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 로딩면의 가장자리에 홈을 형성하여, 상기 로딩면으로부터 더미 웨이퍼의 탈착이 용이하도록 한 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 로딩면은 상기 스테이지의 상면보다 낮게 형성되는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레스 수단과 상기 서포트 수단은 더미 웨이퍼에 대한 피부착물의 부착 방향으로 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 스테이지는 양측면에 상기 프레스 수단과 상기 서포트 수단이 더미 웨이퍼에 대한 피부착물의 부착 방향으로 슬라이드 이동되는 것을 가이드 해주기 위한 가이드 레일이 설치되는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레스 수단은 더미 웨이퍼에 피부착물을 부착시키기 위한 롤러와; 상기 롤러의 양단이 고정되는 브라켓 및; 상기 브라켓과 연결되고 상기 더미 웨이퍼에 대한 피부착물의 부착 방향으로 상기 롤러를 이동시키기 위한 핸들을 포함하는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 롤러는 피부착물 부착시 더미 웨이퍼의 깨짐 방지 및 피부착물의 부착밀도 증가를 위해 소정의 쿠션을 갖는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 가이드 레일에는 상기 롤러의 이동 범위를 제한하기 위한 스톱퍼가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 스테이지에는 상기 롤러가 최초 위치에서 고정되도록 롤러 고정 핀이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지에는 센드 페이퍼의 하단 포지션을 맞추기 위한 위치 확인 라인이 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 센드 페이퍼 반자동 부착 장치.
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