TW528647B - Apparatus for attaching sand papers on dummy wafers - Google Patents

Description

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i明背景 L·發明 本發明係有關於一種用於使砂紙半自動地附於虛設晶 圓上的襞置。 ϋ知ϋΐτ之說明 一探針卡係形成一用以在製造半導體裝置，如電晶體 與積體電路的過程中所使用之探針測量用裝置之組件的其 中一個，如第6圖所示，該探針卡20具有多數探針或尖端22 以便在測試半導體裝置之電氣特性時對應於且電性接觸於 多數被製造在一半導體晶圓上之半導體裝置之電極墊。由 於在該等電極墊及該等探針之間的接觸係一具有小接觸面 積之點接觸，該等探針之末端是呈圓形的。同時，該等探 針之末端也必須加以拋光以防止它們在接觸空氣時氧化。 該拋光係經由一與一砂紙10連接之虛設晶圓…來達成。 但是，直到目前為止，一製備該虛設晶圓W以進行拋 光之操作，即，將該砂紙10附著於該虛設晶圓w，係以一 工之方式來實施。將該砂紙10以人工之方式附著於該虛設 晶圓W會有下列問題，首先，在被附著至一虛設晶圓之後， 該砂紙之一表面通常會用一物質，如紙片加以磨擦以增加 黏著性。由於這磨擦，外來物質之污染物會堆積在該砂紙 之表面上而破壞其功能。其次，在附著時，在該砂紙與該 虛設晶圓之間可形成多數氣泡，這些氣泡會施加一衝擊於 該等探針之末端上因此在拋光時產生一缺陷於其中。第 三，該砂紙應適當而正確地附著在該虛設晶圓之中心，如 本紙張尺度適用中國國家標準（哪）A4規格（21〇X297公釐） (請先閲讀背面之it意事項再填寫本頁)

-4- 528647 A7 ----— Μ ____ 五、發明説明（) 第6圖所示，但是，在以人工方式附著時正確地附著該砂紙 疋無法保證的且會依工作者之技術或經驗而不同。如果它 未被正確地附著於該虛設晶圓之中心，則所得到的虛設晶 圓將具有不佳之品質，例如，一熟練之工作者要花一分鐘 附著一張砂紙。最後，由於該附著方法可依工作者不同而 不同’故會產生品質不佳之虛設晶圓。 發明概要 為了解決上述問題，本發明之一實施例之一特徵是提 供一可以輕易地將一物體附著於一虛設晶圓上的新裝置。 依據本發明，這及其他特徵係由一種用於使一物體半 自動地附於一虚設晶圓上的裝置來提供，該裝置包含一具 有該虛設晶圓放置於其上之一載置表面的載置台，一用於 將忒物體逐漸地附於放置在該載置表面上之虛設晶圓的施 壓設備，及一用於將該物體放置在一與該載置表面分隔開 之位置的支持設備。 在本發明之一較佳實施例中，該支持設備包括至少兩 設置成與該載置表面交叉而與該載置表面成一角度以將該 物體放置於其上之支持桿，及設置在該載置台之相對側上 以固定該等支持桿之兩端之側板。 該支持設備更包括多數設置在該等支持桿上的迷你滾 筒以便讓該物體可以輕易地滑動而不會黏著於該等支持桿 上，及一對互相分離設置在該等支持桿上用以引導該物體 之兩側之固定器，使得該物體可以正確地向下滑動。該等 固疋器係設置成在它們之間之距離係可調整的以容納不同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公釐）

•、町— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -·: •5- 五、發明説明彳) 尺寸之物體。 以便讓 該支持設備之兩域桿可㈣置成為傾斜者， 該物體得以被放置在其上的一斜面上。 同時，該載置台可具有多數形成在該載置表面之一邊 緣處的開孔或槽孔轉易地載置或㈣該虛設晶圓。該載 置表面也可設置成較該載置台之一上表面更低。 在本發明之一實施例中，設置在該載置台之兩侧處之 ，軌可讓該施壓設備及該支持設備移動，使得它們可以沿 著-可讓該物體附著於該虛設晶圓上之方向滑動。 在本發明之-實施例之裝置中，該施壓設備包括一用 以將該物體附著於該虛設晶圓上的滾筒，多數用以可轉動 地固定該滾筒之兩端的托架，及一與該等托架連接以使該 滾筒沿著可讓該物體附著於該虛言免晶圓上之方向移動之握 把。該滚筒係*具有-預定彈性之材料所製成以防止該虛 設晶圓被破壞並且增加在該物體附著時之黏著性。 圖式之簡要說明 本發明之前述及其他特徵及優點將可藉詳細說明其顯 示於附圖中之較佳實施例而更加清楚，且在附圖之不同視 圖中，類似之標號表示相同的零件，該等圖式未依比例顯 示，而所強調的是在顯示本發明之原理。 第1圖顯示本發明之一較佳實施例之一用於使一砂紙 附於一虛設晶圓上之裝置的一示意立體圖。 弟2圖顯示本發明之一實施例之附著裝置的一頂視平 面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -6- 528647 五、發明説明 第3圖顯示本發明之一實施例之附著裝置的一側視平 面圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 苐4圖與弟5圖係顯示藉本發明之一實施例之附著裝置 將一砂紙附著於一虛設晶圓之操作步驟的視圖。 第ό圖是顯示藉該虛設晶圓拋光一探針卡之末端之操 作的視圖。 較佳實施例之詳細説明 在2001年4月10號提申且名稱為“用於將砂紙附著於 虚設晶圓上之裝置”之韓國專利申請案第2〇〇丨」8968號在 此加入作為其整體之參考。 本發明將在以下更完整地配合顯示本發明之數個較佳 實施例之附圖加以說明，但是，本發明可以用許多不同形 態來實施並且不應被視為受限於在此所揭露之實施例，所 提出的這些實施例是為了使這揭露對於熟習此項技術者而 言將是徹底與完整的而提出並且將完全涵蓋本發明之範 疇，其中類似之標號表示類似之元件。 第1圖顯示本發明之一用於將砂紙附於虛設晶圓上之 裝置100之一示意立體圖。第2與3圖分別顯示第1圖所示之 裝置100之頂視平面圖及侧視平面圖。 本發明之一較佳實施例之附著裝置1〇〇包含一載置台 110、一施壓設備130、及一支持設備150。 該附著裝置100之載置台110包括一形成在該載置台 110之一上表面上之載置表面114以載置一砂紙10所欲附著 之一虛設晶圓W，如第3至5圖所示。該載置表面114係形成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -7- 528647 A7 _____B7 五、發明説明（) 為比該載置台110之上表面112低，如〇 · 6mm。同時，在該 載置台110之上表面112上，係劃有一用以界定該砂紙10之 一下端位置之定位標準線116。在該載置表面114之一邊緣 附近形成有四開孔或槽孔11 8，由於該等槽孔11 8，該虛設 晶圓W可以輕易地被載置於或由該載置表面114卸載。在該 載置台110之兩側113上，導執120係設置成可引導該支持設 備150及該施壓設備130之移動。 該附著裝置之支持設備150係用嗷保持該砂紙1〇得以 被附著於該虛設晶圓W上在一與該載置表面114分開之一 位置上並且以一預定角度傾斜，而此預定角度以6〇度為 佳，如弟3圖所示。此時，該砂紙1 〇之下端係被定位成與該 位置標準線116成一直線。 該支持設備150包括兩支持桿154，兩側板152，多數迷 你滾筒156,及一對固持器158。該等側板152係安裝在位於 該載置台110之相對端之導執120上。該支持桿154之兩端係 固定在該等側板152之頂端上，該等支持桿154係設置成與 5亥載置表面114以相對該載置表面成一角度交叉。該等迷你 滾筒156係設置在該等支持桿154上以便讓該砂紙1〇得以輕 易地於其上滑動，但不會黏著於其上。兩固持器158係以互 相分開一距離之方式設置在該支持桿154上，在兩固持器 158間之距離可以依據該砂紙1〇之尺寸來調整，如了到丨之英 吋，較佳地，該等固持器158係形成為一“，，形狀以防止 該砂紙ίο通過該等支持桿154之間。因此，由於兩固持器158 在該砂紙ίο於欲正確定位之該等迷你滾筒150上滑動時導 本紙張尺度適用中國國家標準（Οβ) A4規格（210X297公楚） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂— Φ -8- 528647 A7 ----- -E_ 五、發明説明纟 ) 引其兩側，它可以附著在該虛設晶圓W之一正確位置上。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 該附著裝置100之施壓設備130係用來對放置在該等支 持桿154上藉由其一滾筒132逐漸地施壓，藉此將該砂紙1〇 逐漸地附著於該虛設晶圓W之一上附著表面。 該施壓設備130包括一具有長度寬於該載置台u〇之寬 度的滾1^)132，該滾筒132之兩端可轉動地固定於其上之多 數托架134,及一連接於該等托架134以移動該滾筒132之握 把136。該等托架134係可樞轉地固定於該等側板！ 52之後端 一上且可沿著該等導執與該支持設備1 5 〇之側板一起滑 動，該滾筒132可在該等托架134向前或沿著該等導軌12() 以在第5圖中之箭號方向移動時在該虛設晶圓…之上附著 表面上滾動，該滾筒132與該等側板152 一起滾動。此時， 該握把136被使用者緩慢地推動以使該等托架134及該等侧 板152向前移動。因此，當該滾筒132滾時，位於該滾筒132 與遠虛设晶圓W之間的砂紙1 〇逐漸地黏著在該虛設晶圓w 之上附著表面上。 為了限制該等托架13 4可樞轉地固定於其上之該等側 板152之後端部的移動，即，該等托架134之移動，擔止122 可設置於該等導執120上。因此，該滚筒132之移動可被限 制在一預定範圍内。同時，一用以鎖定該滾筒132之鎖銷（圖 未示）可設置在該載置台110之上表面112上以防止該滾筒 132在使用後由一預備位置自由地移動。 該滾筒132係由如具有一預定彈性之矽或橡膠等材料 製成以防止該虛設晶圓W受損，並且在該滾筒132將該砂紙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -9- 五、發明説明（） 7壓在該壁結構之上附著表面上時，增加黏著密度或黏著 本發明之用於將砂紙附於虛設晶圓上之該裝置100之 操作將說明如下。 第4圖與第5圖係顯示藉本發明之附著裝置1〇〇將一砂 紙10附著於一虛設晶圓W上的操作步驟。 、明參閱第4圖與第5圖，首先該虛設晶圓w被載置於該 載置台110之载置表面114上，接著該砂紙1〇被放在兩支持 桿54上此時，該砂紙丨〇之一下端係定位成與該位置標準 線116成一直線，並且其兩側係位在該對固持器1之間。 V、人使用者向鈾或以在第5圖中箭號之方向推動該握把 136，當推動該握把時，該滾筒132係在該虛設晶圓w之上 附著表面上著與側板丨52沿著導軌丨2〇一起向前移動之托 架134滾動。此時，位於該滾筒132與該虛設晶圓w之間的 /、、、氏10由其下端逐漸地附著或黏著於該虛設晶圓W之上附 著表面上直到該等側板152之後端位置之移動受到擋止122 之限制為止。因此，該砂紙1〇均勻地附著於該虛設晶圓W 之上附者表面。 由前述說明可知，本發明之附著裝置可以防止污染物 或外來物質堆積在該砂紙之表面上，此外，本發明之附著 裝置可防止空氣泡產生於該砂紙與該虛設晶圓之間。同 時，本發明之附著裝置可以將砂紙附著於該虛設晶圓上， 相較於人工操作時間減少操作的時間，且不論使用者之技 術或經驗均可獲得一均勻的品質。 528647 元件標號對照表】 1 5 2 · · ·側板 154···支持桿 156…迷你滾筒 158···固持器 A7 B7 五、發明説明《 在圖式與說明書中，已揭露了本發明之一較佳實施 例，雖然其中使用了特定的用語，但是它們係僅以上位及 說明之方式來使用且不是用來限制的，因此，熟習此項技 術者可了解在不偏離在以下申請專利範圍中所述之本發明 之精神與範疇的情形下可進行形式及細節上之各種不同變 化。 10…砂紙 20···探針卡 22···探針 100···附著裝置 11 〇…载置台 112…上表面 113…兩側 114…載置表面 116…定位標準線 118…開孔或槽孔 120···導執 122··.擋止 130…施壓設備 132···滾筒 134…托架 136···握把 15 0…支持設備 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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Claims (1)

1. 528647 A8 B8 L種用於使一物體半自動地附於一虛設晶圓上的裝置， 其包含·· 一載置台，具有該虛設晶圓放置於其上之一載置表 面；及 一施壓設備，用於將該物體逐漸地附著於放置在該 载置表面上之虛設晶圓。及一用於將該物體放置在一與 该載置表面分隔開之位置的支持設備。 2·如巾請專利範圍^項之裝置，m用於將該物體放 置在一與該载置表面分隔開之位置的支持設備。 如申明專利|巳圍第2項之裝置，其中該支持設備包括： ^至少兩支持桿，其係設置成與該載置表面交又而與 4載置表面成一角度以將該物體放置於其上；及 側板，其係設置在該載置台之相對側上以固定該等 支持桿之兩端。 4·如申請專利範圍第3項之裝置，其中該支持設備更包括多 數a置在該等支持桿上的逑你滾筒，以便讓該物體可以 輕易地滑動而不會黏著於該等支持桿上。 5.如日中請專利範圍第3項之裝置，其中該支持設備之兩支持 #可以δ又置成為候斜者，以便讓該物體得以被放置在其 I 上的一斜面上。 6·如中請專利範圍第2項之裝置，其中支持設備更包括一對 互相刀離⑤置在該等支持桿上用以引導該物體之兩侧之 I 固定器，使得該物體可以正確地向下滑動。 7·如申請專利範圍第6項之裝置，其中該等固定器係設置成 國家標準(⑽)A4規格⑵。X297公釐)

   .訂| 1·! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -12- 528647 A8 B8 C8 D8

   '申請專利範圍 在它們之間之距離係可依據該物體之尺寸調整。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 8·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該載置台具有多數形 成在該載置表面之一邊緣處的開孔或槽孔以輕易地載置 或卸載該虛設晶圓。 9·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該載置表面係設置成 較該載置台之一上表面更低。 10·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該施壓設備及該支 持設備係可移動的，使得它們可以沿著一可讓該物體附 者於該虛設晶圓上之方向滑動。 訂— 11·如申請專利範圍第10項之裝置，其中該載置台具有設置 在其兩側處之導執以導引該施壓設備及該支持設備，使 得它們可以沿著一可讓該物體附著於該虛設晶圓上之 方向滑動。 12·如申請專利範圍第1項之裝置，其中該施壓設備包括 一滾筒，用以將該物體附著於該虛設晶圓上； Φ 多數托架，用以可轉動地固定該滾筒之兩端；及· 一握把，其係與該等托架連接以使該滾筒沿著可讓 該物體附著於該虛設晶圓上之方向移動。 13·如申請專利範圍第12項之裝置，其中該滾筒係由具有一 預定彈性之材料所製成以防止該虛設晶圓損壞並且增 加在該物體附著時之黏著性。 14.如申請專利範圍第12項之裝置，其中該等導執具有至少 一設置於其上之擋止，以限制該滾筒之移動。 15·如申請專利範圍第12項之裝置，其中該載置台具有一用 -13- 528647 益 C8 D8 六、申請專利範圍 以鎖定該滾筒以便讓該滚筒保持在一固定位置之鎖銷。 16.如申請專利範圍第1項之裝置，其中該載置台具有一標 記於其上之位置標準線，以調整該物體之一下端之位 置。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· ·· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）