CN210866141U - 一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，包括支架和连接于支架的挡板、缓冲垫，支架包括缓冲平台、支撑板和固定板，缓冲平台、支撑板和固定板还均为平板状，缓冲平台沿水平方向设置，支撑板设置为两个，两个支撑板对称连接于缓冲平台的两端，支撑板还连接固定板，固定板与缓冲平台还分别设置于支撑板的两端，固定板与支撑板相垂直，固定板上预留螺丝孔，缓冲平台连接缓冲垫和挡板，挡板沿竖直方向连接于缓冲平台的上端面，缓冲垫还设置于挡板和传送带之间。本实用新型能够避免在人为操作背损伤机时造成的硅片正面倒角轮廓擦伤，提高硅片的产品质量。

Description

一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置

技术领域

本实用新型属于半导体加工领域，主要目的是提供一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置。

背景技术

在半导体行业中，作为衬底的半导体硅抛光片质量对器件制造工艺、器件质量有重要的影响，硅片的表面的缺陷直接影响抛光片的质量 ，而硅片表面及倒角轮廓的擦伤是具有代表性的缺陷，通常会在硅片加工过程中产生。目前我公司使用背部损伤机主要采用人工操作直接在传送带上手动摆放片，硅片在传送带的带动下进行喷砂处理。由于需人为使用吸笔吸住硅片正面直接在传送带上放片，硅片的正面轮廓会先接触运动的传送带，倾斜的硅片与运动的传送带会形成相对位移，由于传送带材质较硬，在放硅片的过程中，硅片正面轮廓会形成非常明显的擦伤，硅片倒角轮廓的擦伤在半导体制行业中会直接影响到器件制造工艺、器件质量。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，避免在人为操作背损伤机时造成的硅片正面倒角轮廓擦伤，提高硅片的产品质量。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，设置于背部损伤机传送带的一侧，其特征在于：包括支架和连接于支架的挡板、缓冲垫，所述支架包括缓冲平台、支撑板和固定板，所述缓冲平台、支撑板和固定板还均为平板状，所述缓冲平台沿水平方向设置，所述支撑板设置为两个，两个支撑板对称连接于缓冲平台的两端，所述支撑板还连接所述固定板，所述固定板与所述缓冲平台还分别设置于支撑板的两端，所述固定板与所述支撑板相垂直，所述固定板上预留螺丝孔，所述缓冲平台连接所述缓冲垫和所述挡板，所述挡板沿竖直方向连接于所述缓冲平台的上端面，所述缓冲垫还设置于所述挡板和所述传送带之间。

进一步的，支撑架和缓冲垫靠近传送带的一端端面还设有弧面，弧面与传送带驱动滚轮的弧度相同。

进一步的，弧面与传动带之间预留有传动间隙。

进一步的，所述支撑板沿竖直方向设置。

进一步的，缓冲垫顶面的水平高度还低于传动带上带面的水平高度。

进一步的，所述缓冲垫为泡棉缓冲垫。

进一步的，所述固定板还通过螺栓固定于车间地面，所述车间地面上预留供螺栓通过的螺孔，螺栓的螺纹端还穿过所述螺丝孔连接于所述螺孔。

进一步的，固定板上的螺丝孔还设置为两个。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型的用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，缓冲平台在缓冲垫的下方，用于支撑缓冲垫，起到载体的作用，弥补泡棉类缓冲垫硬度不够的缺点；

2、支架及缓冲垫靠近传动带的一端还设有弧面，弧面贴合传动带驱动滚轮，缓冲平台和缓冲垫得以延伸，使硅片防止在缓冲垫上时，减小硅片到传送带上的间隙，避免因间隙太大造呈的硅片滑脱；

3、放置硅片的过程中，使用吸笔吸附硅片正面，并将硅片的一边倾斜放置于缓冲垫上，然后将硅片脱吸附释放硅片，硅片的另一端落至传送带，能有效防止硅片边缘擦伤的产生。

附图说明

图1为本实用新型与背部损伤机传送带的配合图；

图2为本实用新型的结构示意图。

其中，图中各标号为：1、传送带；2、传送带滚轮；3、缓冲平台；4、支撑板；5、固定板；6、螺丝孔；7、挡板；8、缓冲垫；9、弧面；10、传动间隙；11、螺栓；12、硅片；13、吸笔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

图1为本实用新型与背部损伤机传送带的配合图，一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，设置于背部损伤机传送带1的一侧，包括支架和连接于支架的挡板7、缓冲垫8，所述支架包括缓冲平台3、支撑板4和固定板5，所述缓冲平台3、支撑板4和固定板5还均为平板状，所述缓冲平台3沿水平方向设置，所述支撑板4设置为两个，两个支撑板4对称连接于缓冲平台3的两端，支撑板4沿竖直方向设置，所述支撑板4还连接所述固定板5，所述固定板5与所述缓冲平台3还分别设置于支撑板4的两端，所述固定板5与所述支撑板4相垂直，所述固定板5上预留螺丝孔6，固定板5上的螺丝孔6还设置为两个，固定板5还通过螺栓11固定于车间地面，所述车间地面上预留供螺栓11通过的螺孔，螺栓11的螺纹端还穿过所述螺丝孔6连接于所述螺孔，；所述缓冲平台3连接所述缓冲垫8和所述挡板7，所述挡板7沿竖直方向连接于所述缓冲平台3的上端面，所述缓冲垫8还设置于所述挡板7和所述传送带1之间，缓冲垫8为泡棉缓冲垫，缓冲垫8顶面的水平高度还低于传动带上带面的水平高度。

其中，支撑架和缓冲垫8靠近传送带1的一端端面均设有弧面9，弧面9与传送带1驱动滚轮的弧度相同，弧面9与传动带之间预留有传动间隙10，传动间隙10的设置是为了不影响传送带的1的正常运行。

在使用过程中，首先在两个固定板5上打上可供螺栓11通过的螺丝孔6，固定本实用新型的防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其中，固定后的装置上的缓冲垫8高度略低于传送带1的高度，这样做的目的是使硅片12的边缘的一边先接触高弹缓冲吸附垫，硅片12另一边后接触传送带1，能有效的防止硅片12边缘擦伤产生。所用缓冲垫8采用高发泡硅胶泡棉，具有耐热性、耐寒性和低燃烧性等特点，硅片12在该缓冲垫8上反复进行接触，在能长时间使用的同时，不会对硅片12正面倒角轮廓造成损伤；支架上的挡板7高度约为5公分，其作用是放置硅片12在人为摆放的过程中误操作造成硅片12从缓冲垫8上脱落。

放置硅片12的过程中，具体的，首先确定缓冲垫8高度略低于传动带高度，使用吸笔13吸附硅片12正面，并将硅片12的一边倾斜放置于缓冲垫8上，然后将硅片12脱吸附后释放硅片12，硅片12的另一端落至传送带1，这时硅片12正面与传送带1之间会形成摩擦力，驱使整个硅片12往传动带上移动，在整个硅片12的移动过程中，硅片12与传动带的接触点始终为硅片12的正面，硅片12背面倒角轮廓完全不接触传动带，因此，倒角轮廓边缘不会产生擦伤，即使在硅片12正面会形成擦伤，在后道抛光工序中，硅片12正面需要全面抛光，此擦伤可以完全去除，因此，本实用新型的装置能够完全避免硅片12背面倒角轮廓擦伤的产生。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型，且本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例。

Claims (8)

1.一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，设置于背部损伤机传送带的一侧，其特征在于：包括支架和连接于支架的挡板、缓冲垫，所述支架包括缓冲平台、支撑板和固定板，所述缓冲平台、支撑板和固定板均为平板状，所述缓冲平台沿水平方向设置，所述支撑板设置为两个，两个支撑板对称连接于缓冲平台的两端，所述支撑板还连接所述固定板，所述固定板与所述缓冲平台还分别设置于支撑板的两端，所述固定板与所述支撑板相垂直，所述固定板上预留螺丝孔，所述缓冲平台连接所述缓冲垫和所述挡板，所述挡板沿竖直方向连接于所述缓冲平台的上端面，所述缓冲垫设置于所述挡板和所述传送带之间。

2.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其特征在于：支撑架和缓冲垫靠近传送带的一端端面均设有弧面，弧面与传送带驱动滚轮的弧度相同。

3.根据权利要求2所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其特征在于：弧面与传动带之间预留有传动间隙。

4.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其特征在于：所述支撑板沿竖直方向设置。

5.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其特征在于：缓冲垫顶面的水平高度还低于传动带上带面的水平高度。

6.根据权利要求1或5所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其特征在于：所述缓冲垫为泡棉缓冲垫。

7.根据权利要求1所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其特征在于：所述固定板还通过螺栓固定于车间地面，所述车间地面上预留供螺栓通过的螺孔，螺栓的螺纹端还穿过所述螺丝孔连接于所述螺孔。

8.根据权利要求1或7所述的一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置，其特征在于：固定板上的螺丝孔还设置为两个。

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