KR20020075194A - 단속적인 정현파 출력을 가지는 고주파 발생기 - Google Patents

단속적인 정현파 출력을 가지는 고주파 발생기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고주파 펄스 발생기에 관한 것으로서, 상세하게는 펄스전압을 일정 주파수대의 주파수 및 듀티비로 설정된 펄스로서 단속된 고주파 출력 전력의 파형을 발생하는 고주파 펄스 발생기에 관한 것이다.

Description

단속적인 정현파 출력을 가지는 고주파 발생기{High frequency generator having discrete sine wave output}
본 발명은 고주파 펄스 발생기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 펄스전압을 일정 주파수대의 주파수 및 듀티비로 설정된 펄스 전압 값으로 단속된 고주파 출력 전력의 파형을 발생하는 고주파 펄스 발생기에 관한 것이다.
일반적으로 고주파 발생기는 정현파의 임의 전력값을 연속적으로 출력하는 장치로서 그동안 반도체 제조장치, 진공관련 장치 및 분석기기, 대기오염 방지장치 등에 폭넓게 사용되었다. 특히, 반도체의 박막을 점착시키는 플라즈마 반응기에 사용되는 고주파 발생기는 반도체에 요구되는 고도의 집적화 및 소형/경량화 기술의 급속한 발전에 따라서 해당 작업에 더욱 정밀한 고주파 출력이 요구되고 있으며, 또한, 환경 오염의 주범이 되고 있는 PFC(perfluoro carbon)를 감소시키기 위한 대기오염 방지장치인 코로나 방전장치의 전력 공급원에서도 정밀한 고주파 출력이 요구되고 있는 실정이다.
특히, 상기 플라즈마 반응기중 두개의 고주파 발생기를 이용하여 각각의 고주파 발생기에서 출력되는 고주파를 임피던스 정합기로서 각각의 고주파의 위상을 정합시켜 사용하는 플라즈마 반응기는 고주파의 위상 및 전력을 동일하게 맞추지 않을 경우에 서로 다른 위상을 가지는 고주파 전력이 플라즈마 반응기의 진공 챔버 내의 상대방의 전극에 영향을 미쳐서 위상간섭을 일으킴으로 서로의 고주파 발생기에 반사파 전력이 발생할 우려가 있다. 종래에는 상기와 같은 위상 간섭의 문제를 해소하기 위하여 진공챔버와 전극의 구조를 쌍방의 고주파 전력의 유도를 최소화할 수 있게끔, 챔버와 전극 구조를 물리적으로 변경하거나, 고주파 발생기의 공급전력의 위상차를 전기적으로 줄이는 방법이 이용되었는데, 물리적인 방법으로는 위상 간섭을 완벽하게 해소하는데는 한계가 있어서, 주로 후자의 방법, 즉, 공급전력의 위상차를 전기적으로 줄이는 방법이 이용되고 있다.
이러한 상기 고주파 발생기의 종래의 블럭도를 도 6 에 도시하였다.
종래의 고주파 발생기는 도면에 도시되어 있는 것처럼 수정발진기를 사용하여 고주파 신호를 발진시키는 고주파 신호 발진부(61), 발진시킨 고주파 파형의 출력을 가변하는 고주파 전력 조절부(62), 가변된 고주파 신호를 최종 출력으로 증폭시키는 고주파 전력 증폭부(63), 증폭된 고주파의 출력전에 그 전력신호의 진행파 및 반사파의 전력치을 셈플링하는 전력 셈플링부(64), 전력 셈플링 부에서 셈플링된 신호를 선형화하는 진행파/반사파 선형 회로부(65), 선형 회로부에서 선형화된 신호를 디지털 신호로 변환하고 변환된 값을 마이크로 프로세서를 통하여 출력에 관계되는 입출력 신호를 제어하는 마이컴 제어부(66), 마이컴 제어부로 각종의 제어신호와 출력 전력의 소망치를 입력하고, 마이컴 제어부의 동작 상태를 표시하기 위한 입력 및 LCD 디스플레이부(67), 상기 마이컴 제어부의 제어신호를 입력받고, 고주파 출력 전압을 일정하게 하기 위하여 상기 마이컴 제어부에서 설정된 전력 출력값과 비교하여 제어된 고주파 전력 조절신호를 고주파 전력 조절부로 입력하는 전력 제어신호 발생부(68)로 구성된다.
위와 같이 구성되는 종래의 고주파 발생기는 사용자가 미리 입력 및 LCD 디스플레이부를 통하여 마이컴 제어부에 소망하는 출력 전력치를 입력하면, 그 입력값에 따라서 출력이 연속적으로 일정하게 유지가 되어 고주파 전력이 출력되게 된다. 그러나, 상기와 같은 종래의 고주파 발생기는 그 출력이 연속적인 파형 형태이므로 전술한 바와 같은 특정 공정의 정밀한 고주파 출력이 적용되는 반도체 제조장비 등에는 용이하게 적용하기 어렵다는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 본 발명의 목적은, 펄스전압을 일정 주파수대의 주파수 및 듀티비로 설정된 펄스 전압 값으로 단속된 고주파 출력 전력의 파형을 발생하게 하여 고 정밀도를 요구하는 각종의 반도체 장비나 고주파 전력 공급 장치에 적용하게 하는 것에 있다.
또한, 사용자가 원하는 듀티비로 설정된 고주파 출력의 실효 출력전력을 계산하여 지시하는 전력 표시부를 가진 고주파 발생기를 제공하는데 있다.
또한, 출력되는 고주파의 위상을 조절할 수 있는 고주파 발생기를 제공하는데 있다.
도 1 은 본 발명 고주파 발생기의 제 1 실시예의 블럭도이다.
도 2 는 본 발명 고주파 발생기의 제 2 실시예의 블럭도이다.
도 3 은 본 발명 고주파 발생기의 제 3 실시예의 블럭도이다.
도 4 는 본 발명 고주파 발생기의 제 4 실시예의 블럭도이다.
도 5 는 본 발명 고주파 발생기의 출력파형을 나타내는 도면이다.
도 6 은 종래의 고주파 발생기의 블럭도이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 상기와 같은 종래의 고주파 출력 발생기를 더욱 개량, 발전시킨 것으로 종래의 고주파 출력 발생기의 마이컴 제어부에 사용자가 소망하는 주파수 및 펄스의 튜티비(Duty rate)를 가변할 수 있는 펄스폭 변조(Pulse Width Modulation, 이하 PWM 라함) 발생 회로를 부가하여 이의 출력으로 고주파 출력을 일정하게 단속하는 구성을 가진다.
이하, 계시된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1 은 본 발명 고주파 발생기의 제 1 실시예의 블럭도이며, 각 블럭별 기능과 작용을 상세하게 설명하기로 한다.
가. 고주파 신호 발진부(1) : 수정 발진기를 사용하여 정현파의 발진 전압을 발생시킨다. 본 발명의 실시예에 의하면, 상기의 발진 주파수는 1MHz - 100 MHz 사이가 바람직하다.
나. 고주파 전력 조절부(2) : 상기의 고주파 신호 발진부(1)의 출력 신호를 후술할 마이컴 제어부(11)의 출력전력 제어신호에 의하여 사용자가 입력한 설정 값과 일치하도록 신호를 가변하여 조절한다.
다. 고주파 펄스 단속부(3) : 고주파 전력 조절부(2)를 통하여 조절된 펄스 출력 신호를 후술할 마이컴 제어부(11)에 부설된 PWM 파 발생회로(11c)의 출력과 합성하여 연속적(continuous)인 정현파 출력을 PWM 발생회로에서 출력되는 펄스의 듀티비와 주파수를 가지는 단속적(discrete)인 정현파 출력으로 변환한다.
라. 고주파 전력 증폭부(4) : 상기의 단속된 정현파 출력을 원하는 최종적인 출력을 가지도록 증폭한다.
마. 전력 셈플링부(5) : 고주파 전력 증폭부에서 출력된 고주파 전력을 감지하여 그 전력에 비례하는 직류 전압의 감지신호를 얻는다. 전력 셈플링은 출력된 전력을 마이컴 제어부에서 설정한 전력으로 조절하기 위한 비교값을 얻기 위하여 필요하며, 부하인 출력단(6)으로 진행하는 진행파와 출력단(6) 부하에서 반사되는 반사파 전력을 모두 감지한다.
바. 샘플 홀드부(7) : 본 발명의 고주파 출력 전력은 펄스 단속에 의하여 단속된 정현파 파형이므로, 이를 연속된 고주파 출력에 대응하는 진행파 및 반사파 전력의 감지 신호를 얻기 위한 회로이며, 샘플 홀드 회로(7)를 동작하게 하는 제어 신호는 마이컴 제어부(10)의 PWM 파 발생회로(11c)의 출력신호와 동기된다.
사. 진행파/반사파 선형 회로부(8) : 샘플 홀드부(7)의 출력은 진행파 및 반사파의 감지신호이고 이 신호는 비직선적이기 때문에 이것을 진행파 및 반사파 전력과 직선적으로 비례하는 감지 신호를 얻기 위한 회로이며, 소정의 선형 회로를 사용하여도 되며, 후술할 마이컴 제어부(11)의 마이크로 프로세서(11a)에 의하여입력되는 진행파와 반사파의 A/D 컨버터의 변환값을 기설정된 코드값으로 환산하여 메모리에 포인팅되는 방식의 프로그램적인 처리도 가능하다.
아. 전력 제어신호 발생부(9) : 출력되는 고주파 출력 전력을 일정하게 하기 위한 것으로 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)의 진행파 감지 신호와 마이컴 제어부(11)에서 설정된 출력전력 값을 비교하여 그 차이에 해당하는 고주파 전력 조절신호를 상기 고주파 전력 조절부(2)로 입력한다.
자. 키 입력 및 표시부(10) : 사용자가 출력하고자 하는 출력 전력의 설정값및 단속된 정현파 출력의 듀티비와 주파수를 입력하는 키입력이 이루어지며, 마이컴 제어부의 상태 및 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)에서 출력된 진행파 및 반사파 전력과 직선적으로 비례하는 감지 신호 값이 듀티비의 퍼센트 값으로 적용 환산되어 실제 출력된 고주파 전력 값으로 표시하기 위한 LCD 표시부를 가지는 부분이다.
차. 마이컴 제어부(11) : 상기의 진행파/반사파 선형회로(8)로부터 감지신호를 입력받아 설정된 출력 전력값을 조절하며, 단속 펄스인 PWM 출력 파형을 발생하고, 상기 설정값 및 결과값을 상기 키입력 및 표시부(10)로부터 입력받거나 그의 LCD 창에 표시하는 부분으로서, 8051과 같은 통상의 마이크로 프로세서가 사용되며, ROM 과 같은 비휘발성 메모리 소자, 입출력 포트 제어용 전용소자, A/D 컨버터, D/A 컨버터 등과 함께 이루어진다.
마이컴 제어부(11)의 내부 블럭을 더욱 상세하게 설명하면, 마이크로 프로세서(11a)는 키입력 및 표시부(10)로부터 사용자가 소망하는 출력 전력값과 출력 정현파의 듀티비와 주파수를 입력받으며, 입력받은 설정치는 마이크로 프로세서(11a)에서 기설정된 제어 프로그램에 의하여 처리되고, 처리된 디지털 데이터 값은 D/A 컨버터(11b)에 의하여 전력 제어신호 발생부(9)의 입력단으로 입력되어 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)의 진행파 감지 신호와 마이컴 제어부(11)에서 설정된 출력전력 값을 비교하게 된다. 또한, 마이크로 프로세서(11a)에서 입력받은 정현파의 듀티비와 주파수는 PWM 파 발생회로(11c)에 입력되어 설정치에 따른 PWM 파가 상기의 고주파 펄스 단속부(3)로 입력된다. 또한, A/D 컨버터(11d)는 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)로부터 진행파 및 반사파의 신호를 입력받아 이를 마이크로 프로세서(11a)에서 인식하여 처리하기 위한 디지털데이터로 변환한다.
여기서, 상기 PWM 파 발생회로에서 발생되는 펄스는 사용자가 설정하는 소정의 듀티비와 주파수를 가지는데, 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 설정된 주파수의 발생은 마이컴 제어부(11)에 내장된 제어 프로그램을 통하여 마이크로 프로세서(11a)의 기본 클럭을 분주하고, 분주된 기본 클럭을 PWM 파 발생회로(11c)의 분주 클럭 회로의 입력으로 사용하여 얻어지며, 설정된 듀티비의 발생은 제어 프로그램을 통하여 두자리 수의 바이너리 카운터(Binary Counter)를 제어하여 8-bit의 디지털 출력으로 설정하여 ON Time 과 Off Time 의 비를 1% - 99% 사이로 조정할 수 있도록 하되, 그 조절 단계를 1% 씩 조절할 수 있도록 하였다.
도 2 는 본 발명 고주파 발생기의 제 2 실시예의 블럭도를 도시한 것이다.
본 발명의 제 2 실시예는 출력 정현파를 단속하는 펄스신호의 발생을 마이컴 제어부의 PWM 발생회로에 의하지 않고 외부의 펄스 발생기(27)를 사용하는 형태로서, 외부 펄스 발생기(7)는 임의의 주파수와 듀티비를 조절할 수 있는 통상의 펄스 발생기이다. 본 발명의 제 2 실시예는 제 1 실시예와 그 기능과 작동이 대부분 동일하나, 제 1 실시예의 마이컴 제어부(11)가 없으며, 고주파 신호 발생기(21)의 발진 신호는 고주파 전력 조절부(21)로 입력되고, 전력 제어신호 발생부(30)의 전력 제어 신호에 의하여 그 출력 전력이 조절된다. 조절된 발진 신호는 고주파 펄스 단속부(23)에서 외부 펄스 발생기(27)에 의하여 그 출력 정현파 신호가 사용자가 설정된 주파수와 듀티비를 갖도록 단속되어 합성되고, 단속된 출력 신호는 고주파 전력 증폭부(24)에서 전력 증폭되어, 증폭된 출력 신호는 전력 셈플링부(25)에서 출력단(26)의 진행파와 반사파의 전력을 감지하여 그 전력에 비례하는 직류 전압의 감지신호를 얻는다. 상기의 감지신호는 샘플 홀드회로(28)에 의하여 연속된 고주파 출력에 대응하는 진행파 및 반사파 전력 신호를 얻게 되며, 샘플 홀드회로(28)의 진행파 및 반사파의 전력 신호는 진행파/반사파 선형회로부(29)에 의하여 신호가 선형화되며, 전력 제어신호 발생부(30)로 입력되어 키입력 및 표시부(31)로부터 입력된 출력 전력의 설정값과 비교되고, 그 차이에 해당하는 고주파 전력 조절신호가 상기 고주파 전력 조절부(22)로 입력된다.
도 3 은 본 발명 고주파 발생기의 제 3 실시예의 블럭도이다.
본 발명 제 3 실시예는 고주파 발생기의 출력의 위상을 제어하기 위하여, 상기 제 1 실시예의 구성에 고주파 발진 전압의 위상을 제어하는 위상조절부(41)와 마이컴 제어부(11) 내의 위상조절 D/A 컨버터(11b-1)를 더 포함하는 것으로서,
상기 위상조절부(41)는 마이컴 제어부(11)내의 위상조절 D/A 컨버터(11b-1)의 출력신호에 의하여 고주파 신호 발진부(1)에서의 출력되는 정현파의 발진 전압의 위상을 조절하도록 되어 있다. 이하, 본 발명 제 3 실시예에 의한 위상 조절의 작용을 더욱 상세하게 설명하기로 한다.
먼저, 고주파 신호 발진부(1)에 전원이 공급될 때, 마이컴 제어부(11)의 프로그램에 의하여 조절 가능한 위상의 범위가 0 °에서 180 °의 중간 지점을 기준점으로 하여 ±90 °로 가변이 가능하도록 초기화 한다. 다음으로, 본 발명 고주파 발생기의 출력이 소정의 부하로 공급되면, 마이컴 제어부(11)는 위상값을 초기화된 위상값에서 정(正)의 방향으로 기준값만큼 증가시킨다(본 발명의 실시예에서는 기준값이 0. 1°이다). 그러면, 마이컴 제어부(11)는 전력 셈플링부(5)에서 셈플링되는 반사파 전력신호인 Ref 신호를 불러들여 이 신호의 크기가 같거나 감소하면, 마이컴 제어부(11)는 위상값을 기준값 만큼 한단계씩 증가시켜 반사값 전력 신호인 Ref 신호를 계속 감소시킨다.
또한, 상기 초기화된 위상값에서 정의 방향으로 기준값을 증가시켰을 때, 마이컴 제어부(11)에서 불러들인 상기 Ref 신호의 크기가 오히려 증가하면, 마이컴 제어부(11)는 위상값을 기준값만큼 한 단계씩 감소시켜서 반사값 전력 신호인 Ref 신호를 계속 감소시킨다.
상기와 같이 마이컴 제어부(11)가 초기화된 위상값을 중심으로 기준값 만큼 위상값을 계속하여 증가시키거나 감소시켜 가면, 결국 상기 반사파 전력신호인 Ref 신호가 최소로 되는 위상값에 도달하게 되며, 마이컴 제어부(11)는 이 Ref 신호가 최소로 되는 위상값을 유지시켜 본 발명 고주파 발생기에 전원이 계속 공급되는 동안에는 이 고정된 위상값을 가지는 출력을 발생하도록 하는 것이다.
이때, 마이컴 제어부(11)는 상기 고정된 위상값을 가지는 Ref 신호가 마이컴 제어부(11)에서 기설정된 허용 Ref 값보다 작으면 정상으로 판단하고, 크면 비정상으로 판단하여, 비정상시에 키입력 및 표시부(10) 또는 별도로 부설되는 알람 장치를 통하여 이를 알리도록 하는 것이 바람직하다.
도 4 는 본 발명 고주파 발생기의 제 4 실시예의 블럭도이다.
본 발명 제 4 실시예는 고주파 발생기의 출력의 위상을 제어하기 위하여 전술한 제 2 실시예의 구성에 고주파 발진 전압의 위상을 제어하는 위상조절부(51)와 위상제어 전압 설정부(52)를 더 포함하는 것으로, 가변 저항이 부설된 위상제어 전압 설정부(52)의 출력신호에 의하여 위상조절부(51)가 고주파 신호 발진부(21)에서의 출력되는 정현파의 발진 전압의 위상을 조절하도록 되어 있는 것으로서, 상기 위상제어 전압 설정부(52)는 조작 패널에 장착되게 되며, 위상제어 전압설정부(52)에 부설되는 가변저항값을 변환시켜 가면서 반사파 전력신호인 Ref 값을 최소화 시키는 위상값을 조절하게 된다.
위 설명된 본 발명 제 2 실시예와 제 4 실시예는 마이컴 제어부(11)와 같은 자동적인 제어 회로가 필요하지 않음으로 본 발명의 고주파 발생기의 제작 비용을 낮출수 있어 경제적이다.
도 5 는 본 발명 제 1 실시예 및 제 2 실시예의 고주파 발생기의 출력단(6,26)에 출력되는 신호 파형의 일례을 도시한 것이다. (a)는 고주파 출력전력을 단속하기 위한 펄스 전압이며 (b)는 본 발명의 출력단(6,26)의 출력 파형이다.
도면에 나타낸 바와같이, 본 발명의 출력파형은 단속되는 펄스전압의 On Time 기간동안 정현파의 고주파 신호가 출력되며, Off Time 동안에는 출력이 없게 된다. 또한, On Time 과 Off Time 의 조절, 즉, 입력되는 단속 펄스 듀티비의 조절에 따라서 사용자의 소망에 따르는 다양한 정현파 출력을 얻을 수 있다.
이상으로, 계시된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하였으나, 본 명세서에 기재된 내용은 본 발명 청구항의 요지에 벗어나지 않는 범위에서 해당 업계의 당업자에 의하여 다양한 변형 실시가 가능함은 물론이며, 이와 같은 변형 실시는 본 발명의 청구범위 안에 있게 된다.
상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 효과는, 사용자가 소망하는 주파수와 듀티비를 가지며, 단속적인 고주파 신호를 용이하게 얻을 수 있는 효과가 있다.
또한, LCD 표시부를 통하여 실제 출력되는 고주파 전력값을 인식할 수 있는 효과가 있으며, 단속되는 파형의 듀티비는 1% 단위로 조절이 가능하므로 반도체 제조장비, 대기오염 제거장치의 전원 전력 등의 정밀도를 요구하는 장비에 적용이 가능한 효과를 가진다.
또한, 본 발명의 고주파 발생기는 위상값을 제어할 수 있는 위상조절에 의하여 출력되는 고주파 신호의 반사파 전력값을 최소화할 수 있는 효과를 가지는 매우 진보한 발명인 것이다.

Claims (10)

  1. 통상의 고주파 발생기에 있어서,
    펄스의 주파수 및 튜티비를 가변할 수 있는 펄스 발생 회로를 부가하여 이의 출력으로 출력되는 고주파 신호를 일정하게 단속하는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    수정 발진기를 사용하여 정현파의 발진 전압을 발생시키는 고주파 신호 발진부(1); 상기의 고주파 신호 발진부(1)의 출력 신호를 마이컴 제어부(11)의 출력전력 제어신호에 의하여 사용자가 입력한 설정 값과 일치하도록 신호를 가변하여 조절하는 고주파 전력 조절부(2); 고주파 전력 조절부(2)를 통하여 조절된 펄스 출력 신호를 마이컴 제어부(11)에 부설된 PWM 파 발생회로(11c)의 출력과 합성하여 연속적인 정현파 출력을 PWM 발생회로에서 출력되는 펄스의 듀티비와 주파수를 가지는 단속적인 정현파 출력으로 변환하는 고주파 펄스 단속부(3); 상기의 단속된 정현파 출력을 증폭하는 고주파 전력 증폭부(4); 고주파 전력 증폭부에서 출력된 고주파 전력을 감지하여 그 전력에 비례하는 직류 전압의 감지신호를 얻는 전력 셈플링부(5); 마이컴 제어부(10)의 PWM 파 발생회로(11c)의 출력신호와 동기되고, 전력 셈플링부(5)에서의 감지신호를 연속된 고주파 출력에 대응하는 진행파 및 반사파 전력의 감지 신호를 얻는 샘플 홀드부(7); 샘플 홀드부(7)의 출력을 진행파 및 반사파 전력과 직선적으로 비례하는 감지 신호를 얻는 진행파/반사파 선형 회로부(8); 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)의 진행파 감지 신호와 마이컴 제어부(11)에서 설정된 출력전력 값을 비교하여 그 차이에 해당하는 고주파 전력 조절신호를 상기 고주파 전력 조절부(2)로 입력하는 전력 제어신호 발생부(9); 사용자가 출력하고자 하는 출력 전력의 설정값및 단속된 정현파 출력의 듀티비와 주파수를 입력하는 키 입력 및 표시부(10); 상기의 진행파/반사파 선형회로(8)로부터 감지신호를 입력받아 설정된 출력 전력값을 조절하며, 단속 펄스인 PWM 출력 파형을 발생하고, 상기 설정값 및 결과값을 상기 키입력 및 표시부(10)로부터 입력받거나 그의 LCD 창에 표시하는 마이컴 제어부(11); 로 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기의 마이컴 제어부(11)는,
    키입력 및 표시부(10)로부터 사용자가 소망하는 출력 전력값과 출력 정현파의 듀티비와 주파수를 입력받고, 입력받은 설정치를 기설정된 제어 프로그램에 의하여 처리하는 마이크로 프로세서(11a); 마이크로 프로세서(11a)에서 처리된 디지털 데이터 값을 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)의 진행파 감지 신호와 마이컴 제어부(11)에서 설정된 출력전력 값을 비교하기 위하여 전력 제어신호 발생부(9)의입력단으로 입력하는 D/A 컨버터(11b); 마이크로 프로세서(11a)에서 입력받은 듀티비와 주파수를 가지는 펄스를 생성하여 고주파 펄스 단속부(3)로 입력하는 PWM 파 발생회로(11c); 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)로부터 진행파 및 반사파의 신호를 입력받아 이를 마이크로 프로세서(11a)에서 인식하여 처리하기 위한 디지털데이터로 변환하는 A/D 컨버터(11d)로 구성된 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  4. 제 2 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,
    PWM 파 발생회로(11c)의 설정된 주파수의 발생은 마이컴 제어부(11)에 내장된 제어 프로그램을 통하여 마이크로 프로세서(11a)의 기본 클럭을 분주하고, 분주된 기본 클럭을 PWM 파 발생회로(11c)의 분주 클럭 회로의 입력으로 사용하여 얻어지며, 설정된 듀티비의 발생은 제어 프로그램을 통하여 두자리 수의 바이너리 카운터를 제어하여 8-bit의 디지털 출력으로 설정하여 ON Time 과 Off Time 의 비를 조정하는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  5. 제 4 항에 있어서,
    듀티비의 조절은 1% - 99% 사이로 조정할 수 있으며, 그 조절 단계가 1% 씩 조절될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서,
    키입력 및 표시부(10)에서 마이컴 제어부(11)의 상태 및 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)에서 출력된 진행파 및 반사파 전력과 직선적으로 비례하는 감지 신호 값이 듀티비의 퍼센트 값으로 적용 환산되어 실제 출력된 고주파 전력 값으로 표시되는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  7. 제 1 항에 있어서,
    수정 발진기를 사용하여 정현파의 발진 전압을 발생시키는 고주파 신호 발진부(21); 상기의 고주파 신호 발진부(21)의 출력 신호를 출력전력 제어신호에 의하여 사용자가 입력한 설정 값과 일치하도록 신호를 가변하여 조절하는 고주파 전력 조절부(22); 고주파 전력 조절부(22)를 통하여 조절된 펄스 출력 신호를 외부 펄스 발생기(27)에서 출력되는 펄스의 듀티비와 주파수를 가지는 단속적인 정현파 출력으로 변환하는 고주파 펄스 단속부(23); 상기의 단속된 정현파 출력을 증폭하는 고주파 전력 증폭부(24); 고주파 전력 증폭부에서 출력된 고주파 전력을 감지하여 그 전력에 비례하는 직류 전압의 감지신호를 얻는 전력 셈플링부(25); 상기 외부 펄스 발생기(27)의 출력신호와 동기되고, 전력 셈플링부(5)에서의 감지신호를 연속된 고주파 출력에 대응하는 진행파 및 반사파 전력의 감지 신호를 얻는 샘플 홀드부(28); 샘플 홀드부(28)의 출력을 진행파 및 반사파 전력과 직선적으로 비례하는 감지 신호를 얻는 진행파/반사파 선형 회로부(29); 상기 진행파/반사파 선형 회로부(8)의 진행파 및 반사파 감지 신호의 차이에 해당하는 고주파 전력 조절신호를 상기 고주파 전력 조절부(22)로 입력하는 전력 제어신호 발생부(30); 사용자가 출력하고자 하는 출력 전력의 설정값 및 단속된 정현파 출력의 듀티비와 주파수를 입력하는 키 입력 및 표시부(31); 로 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  8. 제 2 항에 있어서,
    마이컴 제어부(11)에서 생성되는 진행파/반사파 선형 회로부(8)에서 입력되는 반사파 감지 신호를 최소화 하기 위한 고주파 위상값의 제어신호를 입력받아 고주파 신호 발진부(1)에서 출력되는 정현파의 발진 전압의 위상을 조절하기 위한 위상조절부(41); 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  9. 제 8 항에 있어서,
    마이컴 제어부(11)는 상기 위상조절부(41)로 출력되는 고주파 위상값의 제어신호를 D/A 변환하는 위상조절 D/A 컨버터(11b)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
  10. 제 7 항에 있어서,
    가변 저항이 부설된 위상제어 전압 설정부(52)의 출력신호에 의하여 고주파 신호 발진부(21)에서 출력되는 정현파의 발진 전압의 위상을 조절하는 위상조절부(51); 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 발생기.
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