KR20000003481U - 고주파발생장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 고주파발생장치에 관한 것으로, 외부로부터 입력된 상용교류전원을 정류 및 평활하여 직류전압을 출력하는 정류 및 평활수단과, 상기 정류 및 평활수단에서 출력된 직류전압을 전압가변시켜 출력하는 전압가변수단과, 상기 전압가변수단에서 전압가변되어 출력된 직류전압을 스위칭하여 고주파를 출력하는 스위칭수단과, 상기 스위칭수단을 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호를 출력하는 스위칭구동수단과, 상기 스위칭수단에서 출력되는 고주파의 전류 및 전압을 감지하는 전류 및 전압감지수단과, 상기 전류 및 전압감지수단에 의해 감지된 전류값 및 전압값을 저장하는 저장수단 및, 상기 저장수단에 저장된 전류값 및 전압값을 읽어들여 피상전력과 유효전력 및 무효전력을 계산하여 진행파 및 반사파를 규정하고 이와 같이 규정된 진행파 및 반사파에 따라 상기 전압가변수단을 제어하여 상기 전압가변수단에서 스위칭수단으로 공급되는 직류전압을 전압가변시키는 한편, 상기 스위칭구동수단을 제어하여 상기 스위칭수단에서 출력되는 고주파를 단속적으로 출력시키는 제어수단을 포함하여 구성되어, 고주파 출력의 변동에 상관없이 고효율을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 반도체 웨이퍼 가공시에 파티클이 발생하지 않도록 하고, 고주파 출력의 진행파와 반사파를 정밀하게 감지할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 고안은 고주파발생장치에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 수MHz∼수백MHz 사이의 가변 주파수 혹은 고정 주파수를 가지는 고주파를 발생시켜 고주파발생장치에 관한 것이다.
일반적으로, 고주파발생장치는 통신분야 또는 진공 챔버내에서 플라즈마를 생성하여 반도체 웨이퍼의 식각, 증착, 재처리 등을 하거나 안경테, 시계, 섬유등의 증착 가공에 주로 사용되고 있다.
상기와 같은 종래 기술에 의한 고주파발생장치는, 고정된 직류전압을 스위칭소자로 공급하고, 상기 스위칭소자를 스위칭시키 위한 스위칭제어신호를 진폭변조하여 상기 스위칭소자에서 출력되는 고주파 출력을 제어하도록 되어 있다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 고정된 직류전압을 스위칭소자로 공급하는 상태에서, 고주파 출력을 대출력으로 조절하기 위해 스위칭소자를 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호를 V3에 해당하는 값으로 출력하고, 고주파 출력을 중출력으로 조절하기 위해 스위칭소자를 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호를 V2에 해당하는 값으로 출력하며, 고주파 출력을 저출력으로 조절하기 위해 스위칭소자를 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호를 V1에 해당하는 값으로 출력하는 것이다.
또한, 종래 기술에 의한 고주파발생장치에서 사용되는 진행파 및 반사파 감지센서는 도 2에 도시된 바와 같이, 변류기(T1)의 중성점을 접지로 잡고 콘덴서(C1)를 통과하여 저항(R3)에 걸리는 전압을 저항(R1, R2)의 중간에 결합시키면 진행파는 다이오드(D1) 및 콘덴서(C2)를 통과하여 도 3의 (가)와 같이 얻을 수 있고, 반사파는 다이오드(D2) 및 콘덴서(C3)를 통과하여 도 3의 (나)와 같이 얻을 수 있다.
그러나, 상기와 같은 종래의 고주파발생장치는 스위칭수단에 일정한 직류전압을 공급하고 상기 스위칭수단을 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호의 정현파값을 조절하여 고주파 출력을 조절함에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이, 고주파 출력이 낮을수록 효율이 점점 나빠지고, 최대 효율이 60%를 넘기기 어려운 문제점이 있었다.
또한, 상기와 같은 종래의 고주파발생장치는 고주파 출력을 연속적으로 출력함에 따라 반도체 웨이퍼의 에칭이나 확산 또는 건식코팅시에 파티클이 발생하여 반도체 웨이퍼의 가공 수율이 낮아지는 문제점이 있었다.
또, 상기와 같은 종래의 고주파발생장치는 회로적인 결합 방식에 의해 진행파와 반사파를 감지함에 따라 진행파와 반사파의 감지오차율이 큰 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 제 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 고주파 출력에 따라 전압값과 전류값을 동시에 변화시켜 저출력이나 고출력에 관계없이 고효율을 유지할 수 있어 소비전력을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 스위칭소자의 수명을 연장시킬 수 있는 고주파발생장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 고안의 다른 목적은 고주파 출력을 단속적으로 출력함으로써 반도체 웨이퍼의 에칭이나 확산 또는 건식코팅시에 파티클이 발생되지 않도록 하여 반도체 웨이퍼의 가공 수율을 높일 수 있는 고주파발생장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또, 본 고안의 또 다른 목적은 고주파 출력의 전류 및 전압을 감지하여 전류 및 전압의 한 파장을 계산하고 피상전력과 유효전력, 무효전력을 계산하여 진행파와 반사파를 규정함에 따라 진행파 및 반사파를 정밀하게 감지할 수 있어 고주파 출력을 정밀하게 제어를 할 수 있는 고주파발생장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이러한 목적들을 달성하기 위한 본 고안에 따른 고주파발생장치는, 외부로부터 입력된 상용교류전원을 정류 및 평활하여 직류전압을 출력하는 정류 및 평활수단과, 상기 정류 및 평활수단에서 출력된 직류전압을 전압가변시켜 출력하는 전압가변수단과, 상기 전압가변수단에서 전압가변되어 출력된 직류전압을 스위칭하여 고주파를 출력하는 스위칭수단과, 상기 스위칭수단을 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호를 출력하는 스위칭구동수단과, 상기 스위칭수단에서 출력되는 고주파의 전류 및 전압을 감지하는 전류 및 전압감지수단과, 상기 전류 및 전압감지수단에 의해 감지된 전류값 및 전압값을 저장하는 저장수단 및, 상기 저장수단에 저장된 전류값 및 전압값을 읽어들여 피상전력과 유효전력 및 무효전력을 계산하여 진행파 및 반사파를 규정하고 이와 같이 규정된 진행파 및 반사파에 따라 상기 전압가변수단을 제어하여 상기 전압가변수단에서 스위칭수단으로 공급되는 직류전압을 전압가변시키는 한편, 상기 스위칭구동수단을 제어하여 상기 스위칭수단에서 출력되는 고주파를 단속적으로 출력시키는 제어수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
도 1은 종래 기술에 의한 고주파발생장치의 고주파 출력 제어동작을 설명하기 위한 도면,
도 2은 종래 기술에 의해 진행파 및 반사파 감지센서의 회로도,
도 3는 종래 기술에 의해 진행파 및 반사파 감지센서에 의해 감지된 진행파 및 반사파를 설명하기 위한 도면,
도 4는 종래 기술에 의한 고주파발생장치의 효율을 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 고안에 따른 고주파발생장치의 회로도,
도 6은 본 고안에 따른 고주파발생장치의 출력제어동작을 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 고안에 따른 고주파발생장치의 효율을 설명하기 위한 도면,
도 8은 본 고안에 따른 고주파발생장치에서 스위칭제어신호 생성과정을 설명하기 위한 도면,
도 9는 본 고안에 따른 고주파발생장치에서 감지되는 전압 및 전류를 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 노이즈필터 20 : 정류기
30 : 전압가변수단 32 : 포토커플러수단
34 : 전압가변컨버터 36 : 정류 및 평활수단
40 : 스위칭수단 50 : 스위칭구동수단
52 : 전압제어발진기 54 : 부정논리곱게이트
56 : 트랜스수단 60 : 필터수단
70 : 전류감지수단 80 : 전압감지수단
90 : 저장수단 100 : 제어수단
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 5는 본 고안에 따른 고주파발생장치의 회로도로서, 본 고안에 따른 고주파발생장치는, 노이즈필터(10)와, 정류기(20)와, 평활용 콘덴서(C1)와, 전압가변수단(30)과, 스위칭수단(40)과, 스위칭구동수단(50)과, 필터수단(60)과, 전류감지수단(70)과, 전압감지수단(80)과, 저장수단(90) 및, 제어수단(100)을 포함하여 구성되어 있다.
상기 노이즈필터(10)는 외부로부터 공급되는 상용교류전원(AC)의 전원노이즈를 제거하여 정류기(20)로 출력하고, 상기 정류기(20)는 상기 노이즈필터(10)를 통해 출력된 상용교류전원(AC)을 정류하여 직류전압을 평활용 콘덴서(C1)을 통해 전압가변수단(30)으로 출력한다.
상기 전압가변수단(30)은 상기 제어수단(100)의 제어에 따라 상기 평활용 콘덴서(C1)를 통해 출력된 직류전압을 전압가변시켜 스위칭수단(40)으로 출력하는 것으로, 포터커플러수단(32)과, 전압가변컨버터(34)와, 트랜스(T1) 및, 정류 및 평활수단(36)으로 이루어져 있다.
상기 포토커플러수단(32)는 상기 제어수단(100)에서 출력되는 전압가변제어신호를 상기 전압가변컨버터(34)로 전달하는 것으로, 상기 제어수단(100)에서 출력되는 전압가변제어신호를 비접속방식으로 전달하는 포토커플러(PC1, PC2)와, 상기 포토커플러(PC1, PC2)를 통해 전달된 전압가변제어신호를 증폭하여 상기 전압가변컨버터(34)로 출력하는 증폭기(OP1, OP2)로 이루어져 있다.
상기 전압가변컨버터(34)는 상기 포토커플러수단(32)을 통해 상기 제어수단(100)으로부터 전압가변제어신호를 입력받아 상기 평활용 콘덴서(C1)을 통해 출력된 직류전압을 전압가변하여 교류전압을 상기 트랜스(T1)로 출력하는 것으로, 상기 포토커플러수단(32)을 통해 상기 제어수단(100)으로부터 가변전압제어신호를 받아 스위칭동작하는 트랜지스터(Q1, Q2)와, 상기 트랜지스터(Q1, Q2)가 스위칭동작시 역기전력이 원활하게 발생할 수 있도록 하는 다이오드(D1, D2) 및, 상기 트랜지스터(Q1, Q2) 및 다이오드(D1, D2)를 통해 입력된 교류전압을 배압하는 콘덴서(C2, C3)로 이루어져 있다.
그리고, 상기 트랜스(T1)는 상기 전압가변컨버터(34)에서 출력된 교류전압을 전압강하하여 상기 정류 및 평활수단(36)으로 출력하고, 상기 정류 및 평활수단(36)는 상기 트랜스(T1)을 통해 공급된 교류전압을 정류 및 평활하여 상기 스위칭수단(40)으로 출력하는 것으로, 정류용 다이오드(D3, D4)와, 초크트랜스(T2) 및, 평활용 콘덴서(C4)로 이루어져 있다.
한편, 상기 스위칭수단(40)은 복수개의 스위칭소자로 이루어져, 상기 스위칭구동수단(50)에서 출력되는 스위칭제어신호에 따라 상기 전압가변수단(30)에서 출력된 직류전압을 스위칭하여 고주파를 필터수단(60)으로 출력하도록 되어 있다.
그리고, 상기 스위칭구동수단(50)은 상기 제어수단(100)의 제어에 의해 상기 스위칭수단(40)을 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호를 상기 스위칭수단(40)으로 출력하는 것으로, 상기 제어수단(100)의 전압제어신호에 따라 주파수를 가변시켜 주파수신호를 발진하는 전압제어발진기(52)와, 상기 전압제어발진기(52)에서 발진된 주파수신호와 상기 제어수단(100)에서 출력되는 단속펄스신호를 부정논리곱하여 스위칭제어신호를 출력하는 부정논리곱게이트(54) 및, 상기 부정논리곱게이트(54)에서 출력된 스위칭제어신호를 임피던스 매칭시키면서 상기 스위칭수단(40)으로 전달하는 트랜스수단(56)으로 이루어져 있다.
이때, 상기 트랜스수단(56)은 가변콘덴서(VC)와 트랜스(T3)로 이루어져 있다.
그리고, 상기 필터수단(60)은 상기 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파 출력을 필터링하여 출력하는 것으로, 다수개의 인덕터(L11, L12, L13) 및 다수개의 콘덴서(C11, C12, C13, C14)로 이루어져 있다.
또한, 상기 전류감지수단(70)은 상기 필터수단(60)을 통해 출력되는 고주파 출력의 전류값을 감지하여 저장수단(90)에 저장하는 것으로, 변류기(T4)와 저항(R1)으로 이루어져 있고, 상기 전압감지수단(80)은 상기 필터수단(60)을 통해 출력되는 고주파 출력의 전압값을 감지하는 저장수단(90)에 저장하는 것으로, 콘덴서(C15)와 저항(R2)으로 이루어져 있다.
그리고, 상기 제어수단(100)은 상기 저장수단(90)에 저장된 전류값 및 전압값을 읽어들여 피상전력과 유효전력 및 무효전력을 계산하여 진행파 및 반사파를 규정하고 이와 같이 규정된 진행파 및 반사파에 따라 상기 전압가변수단(30)을 제어하여 상기 전압가변수단(30)에서 스위칭수단(40)으로 공급되는 직류전압을 전압가변시키는 한편, 상기 스위칭구동수단(50)을 제어하여 상기 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파를 단속적으로 출력시키도록 되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 고안에 따른 고주파발생장치의 작용 및 효과를 상세히 설명하면 다음과 같다.
외부로부터 공급되는 상용교류전원(AC)이 노이즈필터(10)를 통해 전원노이즈가 제어되어 정류기(20)로 공급되고, 상기 정류기(20)는 상기 노이즈필터(10)를 통해 노이즈가 제거되어 입력된 상용교류전원(AC)을 정류하여 직류전압을 평활용 콘덴서(C1)을 통해 전압가변수단(30)의 전압가변컨버터(34)로 출력한다.
그리고, 제어수단(100)은 전압가변수단(30)은 180°(π)의 위상차(θ)를 가지는 서로 다른 두 개의 구형파신호를 전압가변수단(30)의 포터커플러수단(32)을 통해 가변전압컨버터(34)의 트랜지스터(Q1, Q2)의 게이트단으로 각각 입력된다.
이때, 상기와 같이 제어수단(100)에서 출력되는 구형파신호가 포토커플러(PC1, PC2)를 통해 트랜지스터(Q1, Q2)의 게이트단으로 인가됨에 따라 전원과 제어수단(100)의 그라운드가 분리된다.
상기와 같이 제어수단(100)으로부터 180°(π)의 위상차(θ)를 가지는 서로 다른 두 개의 구형파신호가 트랜지스터(Q1, Q2)의 게이트단으로 입력됨에 따라 상기 트랜지스터(Q1, Q2)가 서로 다른 위상각 제어방식에 의해 하프 브리지동작을 하게 되어 상기 평활용 콘덴서(C1)을 통해 공급된 직류전압이 전압가변되어 교류전압이 출력된다.
이와같은 동작에 의해 전압가변되어 입력된 교류전압은 트랜스(T1)를 통해 전압강하되어 정류 및 평활수단(36)으로 공급되고, 상기 정류 및 평활수단(36)은 상기 트랜스(T1)를 통해 전압강하되어 공급된 교류전압을 정류 및 평활하여 직류전압을 스위칭수단(40)으로 출력한다.
이때, 상기 제어수단(100)은 180°(π)의 위상차(θ)를 가지는 서로 다른 두 개의 구형파신호의 주기를 조절함으로써, 상기 전압가변수단(30)에서 출력되는 직류전압의 전압을 가변시킬 수 있고, 이에 따라 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파 출력이 조절된다.
즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 스위칭수단(40)으로 공급되는 직류전압을 V3'에 해당하는 값으로 조절하여 상기 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파 출력을 대출력으로 조절하고, 스위칭수단(40)으로 공급되는 직류전압을 V2'에 해당하는 값으로 조절하여 상기 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파 출력을 중출력으로 조절하며, 스위칭수단(40)으로 공급되는 직류전압을 V1'에 해당하는 값으로 출력하여 상기 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파 출력을 저출력으로 조절하는 것이다.
한편, 상기 제어수단(100)은 스위칭구동수단(50)의 전압제어발진기(52)를 전압제어하여 도 7의 (가)에 도시된 바와 같은 소정 주파수의 주파수신호를 부정논리곱게이트(54)의 A단자로 입력시킴과 동시에 도 7의 (나)에 도시된 바와 같은 소정주기의 단속펄스신호를 부정논리곱게이트(54)의 B단자로 입력한다.
따라서, 부정논리곱게이트(54)의 C단자에서는 도 7의 (다)에 도시된 바와 같은 스위칭제어신호가 트랜스수단(56)으로 출력되고, 상기 트랜스수단(56)은 상기 스위칭제어신호를 임피던스 매칭시키면서 스위칭수단(40)으로 출력한다.
이때, 상기 제어수단(100)은 상기 단속펄스신호의 듀티를 조절함으로써 상기 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파 출력의 듀티비를 0%에서 100%까지 단속제어할 수 있다.
그리고, 상기 스위칭수단(40)은 상기 스위칭구동수단(50)에서 출력되는 스위칭제어신호에 따라 스위칭동작하여 상기 전압가변수단(30)에서 출력되는 직류전압을 스위칭하여 고주파를 필터수단(60)으로 출력하고, 상기 필터수단(60)은 상기 스위칭수단(40)에서 출력된 고주파 출력을 필터링하여 출력한다.
한편, 전류감지수단(70)이 상기와 같이 필터수단(60)을 통해 출력되는 고주파 출력의 전류값을 감지하여 저장수단(90)에 저장하고, 전압감지수단(80)이 상기와 같이 필터수단(60)을 통해 출력되는 고주파 출력의 전압값을 감지하여 저장수단(90)에 저장한다.
그리고, 상기 제어수단(100)은 상기 저장수단(90)에 저장되어 있는 전류값과 전압값을 읽어들여 진행파와 반사파를 산출하여 이와 같이 산출된 진행파 및 반사파에 따라 상기 전압가변수단(30)을 제어하여 상기 전압가변수단(30)에서 스위칭수단(40)으로 공급되는 직류전압을 전압가변시키는 한편, 상기 스위칭구동수단(50)을 제어하여 상기 스위칭수단(40)에서 출력되는 고주파를 단속적으로 출력시킨다.
즉, 도 8의 (가)에 도시된 바와 같은 파형이 입력되면 진행파는 존재하지만 반사파는 없는 경우이고, 도 8의 (나)에 도시된 바와 같은 파형이 입력되면 sinθ만큼의 반사파가 존재하게 된다. 따라서, 상기 제어수단(100)은 반사파가 진행파의 30% 이상이면 상기 스위칭수단(40)이 손상되기 쉬우므로 이를 방지하기 위해 제어동작을 수행하는 것이다.
이때, 고주파 출력의 피상전력(S)는 다음의 수학식 1에 의해 산출된다.
상기에서 S는 피상전력이고, v는 순시전압, i는 순시전류, P는 유효전력, Q는 무효전력이다.
그리고, 상기 순시전압(v)은 다음의 수학식 2에 의해 산출되며, 상기 순시전류(i)는 다음의 수학식 3에 의해 산출되며, 유효전력(P)은 다음의 수학식 4에 의해 산출되고, 무효전력(Q)는 수학식 5에 의해 산출된다.
이때, 진행파는 피상전력이고, 반사파는 무효전력을 의미하기 때문에, 상기 수학식 1내지 3에 의해 피상전력(S)값을 계산하여 진행파를 산출할 수 있고, 무효전력(Q)를 계산하여 반사파를 산출할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 고안에 따르면, 고주파 출력에 따라 전압값과 전류값을 동시에 변화시킴에 따라 도 9에 도시된 바와 같이, 저출력이나 고출력에 관계없이 85% 이상의 고효율을 유지할 수 있어 소비전력을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 스위칭소자의 수명을 연장시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 고주파 출력을 단속적으로 출력함으로써 반도체 웨이퍼의 에칭이나 확산 또는 건식코팅시에 파티클이 발생되지 않도록 하여 반도체 웨이퍼의 가공 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.
또, 고주파 출력의 전류 및 전압을 감지하여 전류 및 전압의 한 파장을 계산하고 피상전력과 유효전력, 무효전력을 계산하여 진행파와 반사파를 규정함에 따라 진행파 및 반사파를 정밀하게 감지할 수 있어 고주파 출력을 정밀하게 제어를 할 수 있는 효과가 있다.
Claims (3)
- 외부로부터 입력된 상용교류전원을 정류 및 평활하여 직류전압을 출력하는 정류 및 평활수단과,상기 정류 및 평활수단에서 출력된 직류전압을 전압가변시켜 출력하는 전압가변수단과,상기 전압가변수단에서 전압가변되어 출력된 직류전압을 스위칭하여 고주파를 출력하는 스위칭수단과,상기 스위칭수단을 스위칭시키기 위한 스위칭제어신호를 출력하는 스위칭구동수단과,상기 스위칭수단에서 출력되는 고주파의 전류 및 전압을 감지하는 전류 및 전압감지수단과,상기 전류 및 전압감지수단에 의해 감지된 전류값 및 전압값을 저장하는 저장수단 및,상기 저장수단에 저장된 전류값 및 전압값을 읽어들여 피상전력과 유효전력 및 무효전력을 계산하여 진행파 및 반사파를 규정하고 이와 같이 규정된 진행파 및 반사파에 따라 상기 전압가변수단을 제어하여 상기 전압가변수단에서 스위칭수단으로 공급되는 직류전압을 전압가변시키는 한편, 상기 스위칭구동수단을 제어하여 상기 스위칭수단에서 출력되는 고주파를 단속적으로 출력시키는 제어수단을 포함하여 구성된 고주파발생장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 전압가변수단은, 상기 제어수단에서 출력된 전압가변제어신호를 전달하는 포토커플러수단과,상기 포토커플러수단을 통해 입력된 전압가변제어신호에 따라 상기 정류 및 평활수단에서 출력된 직류전압을 전압가변하여 교류전압을 출력하는 전압가변컨버터와,상기 전압가변컨버터에서 출력된 교류전압을 전압강하하여 출력하는 트랜스 및,상기 트랜스를 통해 전압강하되어 출력된 교류전압을 정류 및 평활하여 직류전압을 상기 스위칭수단으로 공급하는 정류 및 평활수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 고주파발생장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 스위칭구동수단은, 상기 제어수단에 의해 전압제어되어 주파수신호를 발진하는 전압제어발진기와,상기 전압제어발진기에서 발진된 주파수신호와 상기 제어수단에서 출력된 단속펄스신호를 부정논리곱하여 스위칭제어신호를 출력하는 부정논리곱게이트와,상기 부정논리곱게이트에서 출력된 스위칭제어신호를 임피던스 매칭시키면서 상기 스위칭수단으로 전달하는 트랜스수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 고주파발생장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980013670U KR200201202Y1 (ko) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 고주파발생장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980013670U KR200201202Y1 (ko) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 고주파발생장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000003481U true KR20000003481U (ko) | 2000-02-15 |
| KR200201202Y1 KR200201202Y1 (ko) | 2000-11-01 |
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ID=19536342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019980013670U KR200201202Y1 (ko) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | 고주파발생장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200201202Y1 (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020075194A (ko) * | 2001-03-22 | 2002-10-04 | 서영철 | 단속적인 정현파 출력을 가지는 고주파 발생기 |
| KR100493337B1 (ko) * | 2004-09-07 | 2005-06-02 | 주식회사 경인특수금속 | 고주파 펄스 발진기 |
| DE112016002552T5 (de) | 2016-10-11 | 2018-10-11 | Korea Precision Co., Ltd. | Hochfrequenzheizvorrichtung für eine progressive Metallumformung und Hochfrequenzheizverfahren |
-
1998
- 1998-07-24 KR KR2019980013670U patent/KR200201202Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020075194A (ko) * | 2001-03-22 | 2002-10-04 | 서영철 | 단속적인 정현파 출력을 가지는 고주파 발생기 |
| KR100493337B1 (ko) * | 2004-09-07 | 2005-06-02 | 주식회사 경인특수금속 | 고주파 펄스 발진기 |
| DE112016002552T5 (de) | 2016-10-11 | 2018-10-11 | Korea Precision Co., Ltd. | Hochfrequenzheizvorrichtung für eine progressive Metallumformung und Hochfrequenzheizverfahren |
| US10589337B2 (en) | 2016-10-11 | 2020-03-17 | Korea Precision Co., Ltd. | High-frequency heating apparatus for progressive die and high-frequency heating method using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR200201202Y1 (ko) | 2000-11-01 |
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