KR20060103404A - 아크 탐지의 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 전원 공급용 AC 발전기(5)의 출력 신호(20, 21)가 AC 발전기(5)에 의해 공급되는 플라즈마 프로세스에서 아크를 탐지하는 방법으로서, 출력 신호(20, 21)와 관계가 있는 AC 발전기(5)의 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 시간 응답과 연관된 값이 측정되거나 또는 결정되고, 기준 값이 시간 응답을 고려하여 결정되고, 상기 기준 값은 임계값과 비교되고 아크는 상기 비교의 예정된 결과가 얻어졌을 때 탐지되고, 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 반 파장의 지속 기간은 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 시간 응답과 관계가 있는 값으로서 결정되는 것을 특징으로 하는 아크 탐지 방법.
- 제1항에 있어서, 아크가 탐지되었을 때, 플라즈마 프로세스에의 전력 공급은 특히 예정된 기간 동안 차단되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 반 파장의 지속 기간은 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 부호 변환점을 탐지하고 두 부호 변환점(t1-t4, t31) 사이의 시간 차이를 결정함에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 현재 반 파장의 지속 기간은 기준 값에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 두 반 파장 지속 기간,특히 현재 반 파장 지속 기간과 이전 반 파장 지속 기간 사이의 차이 또는 관계가 기준 값에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 여러 반 파장 지속 기간, 특히, 이전 반 파장 지속 기간의 가급적 가중 평균값이 기준값을 결정할 때 고려되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 값은 고정적으로 임계값에 따라 예정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 임계값은 플라즈마 프로세스에 의존하여 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 주기가 결정되고, 상기 임계값은 상기 주기에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.
- AC 발전기(5)의 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 시간 응답을 모니터링 하기 위한 신호 모니터링 수단(12, 13)을 플라즈마 프로세스에 연결할 수 있는 AC 발전기(5)를 포함하는 플라즈마 여기 장치(1)로서, 기준 값 결정 수단(15)은 신호 모니터링 수단(12, 13)과 비교기(16)에 연결되어 제공되고, 임계값 프리셋(preset) 수단(17)은 또한 상기 비교기(16)에 연결되어 제공되고, 상기 비교기는 셧다운 신호를 발생시키기 위한 수단(18)에 연결되고, 상기 기준 값 결정 수단(15)은 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 반 파장의 지속 기간을 탐지하기에 적합한 것을 특징으로 하는 것인 플라즈마 여기 장치(1).
- 제10항에 있어서, 조절 수단(17)은 AC 발전기(5)를 조절하기 위해 제공되며, 상기 기준 값 결정 수단(15)과 상기 비교기(16)는 상기 조절 수단(17)에 배치되는 것을 특징으로 하는 것인 플라즈마 여기 장치(1)
- 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 신호 모니터링 수단(12, 13)은 비교기 회로로서 디자인되고 상기 기준 값 결정 수단(15)은 프로세서, 특히 디지털 신호 프로세서로서 디자인되는 것을 특징으로 하는 것인 플라즈마 여기 장치(1).
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