KR20020072286A - 와이어 방전가공방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

가공액(4a)중에서 초벌가공을 하는 제 1 의 공정과, 공기, 산소, 질소 또는 불활성가스등의 기체(7)중에서 다듬질가공을 하는 제 2 의 공정을 구비하고, 아연, 아연합금 및 아연산화물중의 적어도 하나에 의해 표면을 피복된 와이어 전극(1b)에 의해 적어도 상기 제 2 의 공정의 가공을 한다. 와이어 방전가공의 고정밀도화 및 고품위화 및 생산성의 향상을 실현시킬 수가 있다.

Description

와이어 방전가공방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRODISCHARGE WIRE MACHINING}

방전가공은 금형등의 가공기술로서 확고한 지위를 구축하고 있고, 자동차산업, 가전산업, 반도체산업등의 금형가공 분야에서 다용되어 왔다.

도 6은 방전가공의 메카니즘의 설명도이고, 도면에서, 1은 전극, 2는 피가공물, 3은 아크주, 4는 가공액, 5는 방전가공에 의해 생성된 가공설이다. 아래의 (a) 내지 (e)의 사이클(도 6의 (a) 내지 (e)에 대응)을 반복하면서 피가공물(2)의 방전에 의한 제거가공이 진행한다. 즉, (a) 방전의 발생에 의한 아크주(3)의 형성, (b) 방전의 열에너지에 의한 국부적 용융 및 가공액(4)의 기화, (c) 가공액(4)의 기화폭발력의 발생, (d) 용융부(가공설 5)의 비산, (e) 가공액에 의한 냉각, 응고, 극간의 절연회복이다.

본 발명은 방전가공중에서도 파내기가공, 절단가공등에 사용되는 와이어 방전가공에 관한 것이다. 와이어 방전가공은 특히 고정밀도화에의 요구가 강해져 있고, 예를 들면, 반도체업계등에서 사용되는 고정밀도 금형의 가공에서는 1 ~ 2㎛ 정도의 높은 가공정밀도가 요구되게 되어 있다.

도 7은 와이어 방전가공의 가공 프로세스의 예를 표시하는 설명도이고, 도면에서, 1a는 와이어 전극, 2는 피가공물, 4a는 가공액인 물, 6은 이니셜홀이고, 도 7의 (a)는 초벌가공인 퍼스트 컷을, 도 7의 (b)는 초벌가공후의 중다듬질가공인 세컨드 컷을, 도 7의 (c)는 최종 다듬질가공인 서드 컷을 표시하고 있다.

도 7의 (a)의 퍼스트 컷의 가공예는 이니셜홀(6)에 와이어 전극(1a)을 통해서 피가공물(2)을 파내는 가공을 표시하고 있다. 이와 같은 퍼스트 컷의 경우, 후의 가공에서 면의 거칠기 및 정밀도를 다듬질하기 위해 극심한 면거칠기 및 정밀도는 요구되지 않고, 생산성 향상 때문에 특히 가공속도를 올리는 것이 중요하다. 와이어 방전가공에서 가공속도를 올리기 위해서는 극간으로부터의 가공설의 배출을 효율적으로 실시하기 위해 물(4a)을 극간에 강하게 뿌려줄 수가 있다. 또, 극간에의 물(4a)이 뿌려지는 얼룩을 없게 하고, 와이어 전극(1a)의 단선을 방지하기 위해 도시하지 않은 가공조의 안에 물(4a)을 담아서 피가공물(2)을 침지하는 방법이 사용된다.

이상과 같은 종래의 와이어 방전가공에서는 퍼스트 컷(도 7의 (a)) 후의 세컨드 컷(도 7의 (b)) 및 서드 컷(도 7의 (c))등의 가공도 가공액인 물(4a)중에서 실시된다.

와이어 전극(1a)과 피가공물(2)의 극간에 전압이 인가되면, 플러스 극성과마이너스 극성은 서로 끌어 당기는 힘이 작용하기 때문에 이 정전력에 의해 강성이 작은 와이어 전극(1a)은 피가공물(2)측으로 끌리는 것이다. 이것이 와이어 전극(1a)의 진동의 원인이 되고, 이같은 진동에 의해 고정밀도 가공이 곤란해진다는 문제점이 있었다.

또, 방전에너지에 의해 가공액의 기화폭발력이 발생한 상태(예를 들면, 도 6의 (c)에서는 와이어 전극(1a)에는 가공액의 기화폭발력에 의해 피가공물(2)과 반대방향으로 큰 힘이 작용하고, 진동이 발생한다. 이같은 진동에 의해 피가공물(2)의 형상에 凹凸이 생기고, 정밀도의 악화에 연결된다는 문제점이 있었다.

와이어 방전가공의 이용분야인 반도체업계등에서 예를 들면, IC 리드 프레임의 금형등의 가공에서는 형상정밀도가 1㎛, 면거칠기가 1㎛Rmax 이하라는 피가공물에 대해 극히 고정밀도이고, 또 대단히 매끄러운 면의 거칠기가 요구되는 동시에 생산성의 향상이 필요한 용도가 증가하고 있고, 특히 이러한 용도에서는 상기한 바와 같은 와이어 전극의 진동등에 기인하는 문제점이 현저하였다.

이같은 가공액중에서의 와이어 방전가공의 문제점을 해결하기 위해 방책으로서, 극간에 가공액을 개재시키지 않고 대기중에서 와이어 방전가공을 실시하는 기중 와이어 방전가공에 관한 기술이 개시되어 있다(동경 농공대학 아다치의 「기중 방전가공에 의한 세컨드 컷의 고정밀도화」, 형기술, 제14권, 제7호, 1999년, 154페이지, 일간공업신문사). 이 기술에서는 대기중에서의 와이어 방전가공에 의해 피가공물 절단면의 진직정밀도를 향상할 수 있는 것이 개시되어 있고, 고정밀도화의 관점에서의 의의는 크나 가공액중에서의 가공과 비교해 와이어 전극과 피가공물과의 사이에서 단락이 발생하기 쉬운등 가공안정성 및 가공속도면에서의 문제가 있어 실용화가 곤란하였었다.

(발명의 개시)

본 발명은 상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해 된 것으로, 와이어 방전가공의 고정밀도화 및 고품위화 및 생산성의 향상을 실현할 수가 있는 와이어 방전가공방법 및 장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 와이어 방전가공방법은 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전을 발생시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공방법에서, 가공액중에서 초벌가공을 하는 제 1 의 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제 2 의 공정을 구비하고, 아연, 아연합금 및 아연산화물중의 적어도 하나에 의해 표면이 피복된 와이어 전극에 의해 적어도 상기 제 2 의 공정의 가공을 하는 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전가공방법은 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전을 발생시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공방법에서, 가공액중에서 초벌가공을 하는 제 1 의 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제 2 의 공정을 구비하고, 아연함유량(중량비)이 대략 40% 이상의 와이어 전극에 의해 적어도 상기 제 2 의 공정의 가공을 하는 것이다.

본 발명에 관한 와이어 방전가공장치는 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에서, 아연, 아연합금 및 아연산화물중의 적어도 하나에 의해 표면이 피복된 와이어 전극을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전가공장치는 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에서, 아연, 아연합금 및 아연산화물중의 적어도 하나에 의해 표면이 피복된 와이어 전극과, 상기 극간에 압력기체를 공급하는 기체공급수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전가공장치는 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에서, 아연함유량(중량비)이 대략 40% 이상의 와이어 전극을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전가공장치는 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에서, 아연함유량(중량비)이 대략 40% 이상의 와이어 전극과, 상기 극간에 압력기체를 공급하는 기체공급수단을 구비한 것이다.

본 발명에 관한 와이어 방전가공방법 및 장치는 이상과 같이 구성되어 있으므로 기중 와이어 방전가공의 안정성 및 가공속도를 향상할 수가 있고, 와이어 방전가공의 고정밀도화 및 생산성의 향상을 실현시킬 수 있다는 효과를 나타낸다.

본 발명은 와이어 전극과 피가공물과의 극간 간극에 방전을 발생시켜 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공방법 및 장치의 개량에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전가공방법의 한 예를 표시하는 설명도.

도 2는 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도.

도 3은 아연코팅된 와이어 전극을 사용해서 실시한 기중 와이어 방전가공의 모양을 표시하는 사진이다.

도 4는 아연코팅된 와이어 전극을 사용해서 실시한 기중 와이어 방전가공에서의 피가공물에의 아연의 부착의 예를 표시하는 설명도.

도 5는 와이어 전극의 재질 전체의 아연함유량(중량%)과 방전 안정성과의 관계를 표시하는 도면.

도 6은 방전가공의 메카니즘의 설명도.

도 7은 와이어 방전가공의 가공 프로세스의 예를 표시하는 설명도.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전가공방법의 한 예를 표시하는 설명도이고, 도면에서 1b는 아연코팅된 와이어 전극, 2는 피가공물, 4a는 가공액인 물, 6은 이니셜홀, 7은 공기등의 기체이고, 도 1의 (a)는 초벌가공인 퍼스트 컷을, 도 1의 (b)는 초벌가공후의 다듬질가공인 세컨드 컷을 표시하고 있다. 퍼스트 컷 및 세컨드 컷이라는 명칭은 편의상의 것이고, 반드시 와이어 방전가공이 2회의 가공으로 종료하는 것은 아니다. 피가공물에의 요구 정밀도가 높은 가공에서는 7회, 8회와 같이 가공을 하는 경우도 있다.

다음 가공방법의 개략에 대해 설명한다. 도 1의 (a)의 퍼스트 컷은 이니셜홀(6)에 와이어 전극(1b)을 통하고 피가공물(2)을 파내어 관통하는 가공이다. 퍼스트 컷에서는 후의 가공으로 면의 거칠기 및 정밀도를 다듬질하기 위해 지나치게 엄격한 면의 거칠기 및 정밀도는 요구되지 않고, 생산성 향상을 위해 특히 가공속도를 올리는 것이 중요하고, 배경기술의 도 7과 같이 가공액인 물(4a)을 극간에 개재시켜서 가공을 한다.

통상의 와이어 방전가공에서는 퍼스트 컷 후에도 가공액중에서 가공이 진행되나, 배경기술에 표시한 바와 같이 와이어 전극의 진동등의 문제가 있으므로 고정밀도 가공에는 적합하지가 않다. 본 발명은 다듬질가공에서 극간에 가공액을 개재시키지 않고 가공을 해서 피가공물의 형상정밀도 및 면의 거칠기를 개선하는 것이다.

도 1의 (b)의 다듬질가공인 세컨드 컷에서는 와이어 전극(1b)의 진동을 억제해서 가공정밀도를 개선하기 위해 가공액(4a)중에서의 가공이 아니고, 기체(7)중에서의 가공을 하는 것이다. 이와 같은 기중 와이어 방전가공에 의해 아래에 표시한 바와 같이 와이어 전극(1b)의 진동등을 억제할 수가 있다.

즉, 극간에 전압이 인가되었을 때에 와이어 전극(1b)과 피가공물(2)에 작용하는 정전력은 극간의 유전율에 비례하므로 같은 극간거리로서 계산하면, 극간의 개재물이 물(4a)인 경우에 비해 극간의 개재물이 기체(7)인 경우는 상기 정전력이 수 10 분지 1이 된다(예를 들면, 유전율은 진공중이 가장 작고, 수중에서는 진공중의 약 80배가 된다). 또, 방전에 의한 기화폭발력은 극간에 개재하는 액체에 의해 생기므로 극간에 기체(7)만이 존재하는 경우에는 와이어 전극(1b)은 기화폭발력의 영향을 거의 받지 않는다. 따라서, 와이어 전극(1b)의 진동등을 억제할 수가 있다.

도 2는 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도이고, 도 1의 (b)에 표시한 것과 같은 기중 와이어 방전가공을 실현할 수 있는 구성예를 표시한 것이다. 도 2에서, 1b는 아연코팅된 와이어 전극, 2는 피가공물, 7은 예를 들면, 공기, 산소, 질소 또는 불활성가스등의 기체, 8은 와이어 보빈, 9a 및 9b는 와이어 전극(1b)과 피가공물(2)과의 극간에 기체(7)를 공급하는 기체공급수단, 10은 캡스턴 롤러, 11은 핀치 롤러, 12는 피가공물(2)의 수평방향(X방향)의 구동을 하기 위한 X테이블, 13은 피가공물(2)의 수평방향(Y방향)의 구동을 하기 위한 Y테이블, 14는 X테이블(12)을 구동하는 도시하지 않은 구동모터를 제어하는 X축 서보앰프, 15는 Y테이블(13)을 구동하는 도시하지 않은 구동모터를 제어하는 Y축 서보앰프, 16은 가공전력공급수단, 17은 제어수단이다.

다음 동작에 대해 설명한다. 캡스턴 롤러(10) 및 핀치 롤러(11)에 의해 와이어 전극(1b)을 협지해서 견인해 와이어 전극(1b)을 주행시키고, 와이어 전극(1b)과 피가공물(2)을 대향시켜 기체공급수단(9a) 및 (9b)에 의해 와이어 전극(1b)과 피가공물(2)와의 극간에 기체(7)를 공급하면서 상기 극간에 가공전력공급수단에 의해방전에너지인 가공전력을 공급하고, 위치결정수단인 X테이블(12) 및 Y테이블(13)등에 의해 와이어 전극(1b)과 피가공물(2)을 상대 이동시켜서 피가공물(2)의 다듬질가공을 한다. 상기 위치결정수단에 의한 와이어 전극(1b)과 피가공물(2)과의 상대위치결정제어 및 전기가공조건의 제어등은 제어수단(17)에 의해 통괄된다. 기체공급수단(9a) 및 (9b)는 예를 들면, 와이어 전극(1b)의 주위에 노즐을 형성해서 압력기체를 공급하는 등에 의해 실현할 수 있다. 이같은 압력기체의 극간에의 공급에 의해, 방전에 의해 제거된 가공설의 와이어 전극 및 피가공물 표면에의 부착을 방지할 수가 있다. 또, 기중 와이어 방전가공은 이같은 기체공급수단(9a) 및 (9b)를 사용하지 않고 대기중에서 실시할 수도 있다.

도 1의 (b)의 설명에서 표시한대로 기중 와이어 방전가공에서는 와이어 전극의 진동등을 억제할 수 있으므로 피가공물의 형상 정밀도 및 면의 거칠기가 향상되나, 기중 방전에 특유의 문제도 존재한다. 가장 큰 문제는 극간거리가 좁은 것이다. 통상의 가공액중에서의 와이어 방전가공에서는 극간에 개재하는 가공설등의 영향에 의해 방전이 발생할 때의 극간거리가 넓어지나, 기중 와이어 방전가공인 경우에는 가공설이 극간에 체류한다는 일이 거의 없으므로 극간거리가 좁아진다. 극간거리가 좁다는 것은 가공정밀도가 잘 된다는 이점도 있으나, 한편으로는 배경기술에서 표시한 바와 같이 가공중에 와이어 전극과 피가공물이 단락하기 쉽다는 문제점을 가지고 있고, 단락의 발생은 가공면에의 줄의 발생 및 가공속도의 저하등의 원인이 되어 있었다.

이와 같은 과제를 해결하기 위해 된 본 발명의 발명자에 의한 연구에 의해기중 와이어 방전가공에서 와이어 전극의 재질을 조정함으로서, 안정된 방전을 발생시킬 수가 있다는 것을 알게 되었다.

즉, 기중 방전에 적합한 와이어 전극의 재질을 찾도록 여러가지 재료로 된 와이어 전극을 사용한 가공시험을 해서 조사한 바, 와이어 전극 표면의 아연 함유량이 증가하면 기중에서의 방전이 안정되는 것을 알게 되었다. 이와 같은 와이어 전극 표면의 아연 함유량의 증가를 실현하는 경우 와이어 전극으로서, 도 1 및 도 2와 같이 아연코팅된 와이어 전극(1b)을 사용해도 되고, 와이어 전극의 재질 전체의 아연 함유량을 증가시켜도 된다. 단, 와이어 전극의 재질 전체의 아연 함유량을 증가시키면, 와이어 방전가공할 때의 열에너지에 의해 와이어 전극의 단선이 발생하기 쉽게 되므로 와이어 전극의 장력을 낮게 할 수 밖에 없고, 가공정밀도에 문제가 생기는 경우가 있다. 따라서, 예를 들면 아연코팅된 와이어 전극과 같은 와이어 전극의 표면부분만의 아연 함유량을 증가한 와이어 전극을 사용하는 쪽이 보다 바람직하다고 본다. 또, 이와 같이 와이어 전극 표면에 형성하는 아연은 금속아연이라도 되고, 예를 들면 아연산화물등의 화합물이라도 된다. 또, 와이어 전극의 재질전체의 아연 함유량을 증가시키는 경우에는 와이어 전극의 재질전체에 산화물을 혼입할 수도 있다.

와이어 전극 표면의 아연 함유량의 증가에 의해 방전이 안정되는 이유에 대해서는 현상에서는 상세한 해명은 되고 있지 않으나, 가능성이 높은 이유로서 아연의 비점이 낮은 것이 생각된다. 즉, 아연은 비점이 낮기 때문에 기중에서의 방전도 쉽게 기화하고, 한번 방전이 발생하면 기화한 아연의 와이어 전극과 피가공물과의극간에서의 비율이 높아진다. 따라서, 극간에 금속기체인 기화한 아연이 증가해서 방전을 유발하고 있다고 추측할 수 있다.

도 3은 아연코팅된 와이어 전극(1b)을 사용해서 실시한 기중 와이어 방전가공의 모양을 표시하는 사진이고, 도 3의 (a)는 구성설명용 사진, 도 3의 (b)는 방전상태 확인을 위해 주위를 어둡게 해서 촬영한 사진이다. 피가공물(2)은 판두께 100mm의 강재이고, 통상의 황동 와이어 전극에서는 안정된 방전가공은 불가능하였었다. 도 3의 (b)에서 화살표 선단부근의 흰 부분이 방전이고, 아연코팅된 와이어 전극(1b)을 사용한 경우에는 피가공물(2)의 전면에 방전이 안정해서 발생하고 있는 것을 확인할 수 있다.

이 기중 와이어 방전가공의 실험에서 통상의 가공액중에서의 와이어 방전가공에 사용되는 황동 와이어 전극을 사용한 경우와 아연코팅된 와이어 전극을 사용했을 때에 단위시간당의 정상 방전 펄스수를 비교한 바, 아연코팅된 와이어 전극을 사용한 가공쪽이 정상 방전 펄스가 약 2 ~ 3배 많고, 따라서 가공생산성이 높았다.

또, 아연코팅된 와이어 전극(1b)을 사용해서 기중 와이어 방전가공을 하는 경우에 생기기 쉬운 문제로서, 피가공물(2)에의 아연의 부착이 있다. 가공조건에 의해 아연이 피가공물(2)의 표면에 부착하는 경우가 있고, 특히 도 4와 같이 피가공물(2)의 상단부 및 하단부에 아연(18a) 및 (18b)가 부착하는 일이 많다. 일단 피가공물에 아연이 부착하면, 그 위치에 방전이 집중하기 쉽게 되므로 가공면을 고품위로 다듬질할 수가 없다. 발명자의 연구에 의하면, 이 아연의 부착현상은 와이어 전극의 가공이 이송속도와 큰 관계가 있고, 가공 이송속도가 늦은 경우에 발생하는확률이 높아지는 것을 알 수 있다. 따라서, 아연코팅된 와이어 전극등을 사용한 기중 와이어 방전가공에서는 가공 이송속도를 빨리해서 가공을 반복하여 실시하는 방법을 취하는 것이 바람직하다.

또, 아연코팅된 와이어 전극의 사용이외에도 상기한 바와 같이 아연 함유량을 증가시킨 와이어 전극을 사용하는 것으로도 방전 안정화의 효과가 있다. 통상의 와이어 방전가공에서는 중량비로 동 70% 아연 30% 정도의 황동 와이어 전극을 사용하는 것이 많으나, 기중 방전에서는 아연의 비율을 더욱 올림으로서 방전의 안정성을 향상할 수가 있다.

도 5는 와이어 전극의 재질 전체의 아연 함유량(중량%)과 방전 안정성과의 관계를 표시하는 도면이고, 방전안정성은 예를 들면 단위시간당의 정상 방전 펄스수를 계측함으로서 구할 수가 있다. 도 5에 의해 와이어 전극의 아연 함유량이 대략 40%를 초과하면 급격히 방전 안정성이 향상되는 것을 알 수 있다. 또, 아연 함유량을 50% 정도로 하면 아연코팅된 와이어 전극에 가까운 방전 안정성을 실현시킬 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 관한 와이어 방전가공방법 및 장치는 특히 고정밀도 와이어 방전가공 작업에 사용하는데 적합하다.

Claims (6)

1. 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전을 발생시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공방법에 있어서,

   가공액중에서 초벌가공을 하는 제 1 의 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제 2 의 공정을 구비하고, 아연, 아연합금 및 아연산화물중의 적어도 하나에 의해 표면이 피복된 와이어 전극에 의해 적어도 상기 제 2 의 공정의 가공을 하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전가공방법.
2. 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전을 발생시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공방법에 있어서,

   가공액중에서 초벌가공을 하는 제 1 의 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제 2 의 공정을 구비하고, 아연 함유량(중량비)이 대략 40% 이상의 와이어 전극에 의해 적어도 상기 제 2 의 공정의 가공을 하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전가공방법.
3. 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에 있어서,

   아연, 아연합금 및 아연산화물중의 적어도 하나에 의해 표면을 피복된 와이어 전극을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전가공장치.
4. 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에 있어서,

   아연, 아연합금 및 아연산화물중의 적어도 하나에 의해 표면을 피복된 와이어 전극과, 상기 극간에 압력기체를 공급하는 기체공급수단을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전가공장치.
5. 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에 있어서,

   아연 함유량(중량비)이 대략 40% 이상의 와이어 전극을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전가공장치.
6. 가공전력공급수단에 의해 와이어 전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정수단에 의해 상기 와이어 전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전가공장치에 있어서,

   아연 함유량(중량비)이 대략 40% 이상의 와이어 전극과, 상기 극간에 압력기체를 공급하는 기체공급수단을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전가공장치.