KR20020066120A - 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 - Google Patents
프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20020066120A KR20020066120A KR1020010006379A KR20010006379A KR20020066120A KR 20020066120 A KR20020066120 A KR 20020066120A KR 1020010006379 A KR1020010006379 A KR 1020010006379A KR 20010006379 A KR20010006379 A KR 20010006379A KR 20020066120 A KR20020066120 A KR 20020066120A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- guide
- shaft
- probe station
- coupled
- retainer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
Claims (10)
- 프로브 스테이션의 본체 소정부와 체결수단에 의해 체결되는 본체장착홈과, 중앙부에 축공이 형성되어 그 내주연에 복열 궤도를 가지는 안내면이 형성된 가이드;상기 축공에 삽입되어 상기 안내면을 따라 승강구동하며, 상부에 웨이퍼가 안치되는 척과 체결수단에 의해 체결되는 척장착홈과, 외주연에 상기 안내면의 복열 궤도와 상호 대응되는 복열 궤도를 가지는 원주곡면이 형성된 구동축;상기 구동축을 승강구동이 가능하도록 지지하기 위하여, 상기 가이드와 상기 구동축과의 사이에 삽입되고 상기 안내면과 상기 원주곡면 사이에서 접촉하여 회전하는 복수의 볼과 복수의 롤러가 교대로 복열 개재된 리테이너; 및상기 가이드의 하부에 결합되며, 상기 가이드의 축공을 통해 상기 구동축과 결합되어 상기 구동축에 승강 구동력을 전달하는 구동전달부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
- 제 1 항에 있어서,상기 가이드는,중앙부에 상기 축공이 형성되고, 외측 둘레의 상부에 가이드체결홈이 형성된 하우징; 및상기 하우징의 상부에 고정되도록, 하부에 상기 가이드체결홈과 체결수단에 의해 체결되는 하우징체결홈이 형성되고, 상부에 프로브 스테이션의 본체 소정부와 체결수단에 의해 체결되는 상기 본체장착홈이 형성되며, 중앙부는 관통되어 그 내주연 에 복열 궤도를 가지는 상기 안내면이 형성된 밀리언가이드;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
- 제 2 항에 있어서,상기 밀리언가이드는,상기 밀리언가이드의 상부에 결합되어 상기 리테이너의 상부로의 이탈을 방지하는 이탈방지판을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 리테이너에는,복수의 볼이 하나의 볼열을 이루고 복수의 롤러가 하나의 롤러열을 이루되, 하나의 볼열에 두 개의 롤러열이 하나의 전동체 쌍을 이루어 복수의 상기 전동체 쌍이 개재되는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
- 제 4 항에 있어서,상기 리테이너에는,4개의 전동체 쌍이 개재되는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼척 승강축.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 구동전달부는,회전력을 발생시키는 모터와, 상기 모터의 회전력을 변환하여 상기 구동축에 직선왕복 구동력을 전달하는 볼스크류를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
- 제 6 항에 있어서,상기 구동전달부는,상기 구동축 중앙부에 스크류장착공이 형성되어 상기 스크류장착공 부위에 장착되는 너트부와, 상기 너트부를 관통하여 체결되는 나사축을 포함하여 이루어지는 상기 볼스크류;상기 볼스크류를 회동 가능하도록 상기 가이드의 하부 축공 부위에 지지 결합시키는 서포트유닛;상기 볼스크류의 일단부에 결합되어, 상기 구동축의 상승구동한계를 설정해주는 상부스토퍼; 및상기 볼스크류의 타단부에 커플링으로 결합되어 상기 볼스크류에 회전력을 전달하는 상기 모터;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척승강축.
- 제 7 항에 있어서,상기 상부스토퍼는,완충특성을 가지는 우레탄 재질인 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
- 제 7 항에 있어서,상기 구동전달부는,상기 서포트유닛의 상부에 결합되어, 상기 구동축과 상기 서포트유닛과의 충격을 완충시키는 하부스토퍼를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
- 제 9 항에 있어서,상기 하부스토퍼는,완충특성을 가지는 우레탄 재질인 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0006379A KR100369537B1 (ko) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0006379A KR100369537B1 (ko) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2020010003211U Division KR200230717Y1 (ko) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020066120A true KR20020066120A (ko) | 2002-08-14 |
KR100369537B1 KR100369537B1 (ko) | 2003-02-05 |
Family
ID=27693844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2001-0006379A KR100369537B1 (ko) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100369537B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100839620B1 (ko) | 2007-03-23 | 2008-06-19 | (주) 쎄믹스 | 웨이퍼 프로버 장치의 상하 이동기구 |
-
2001
- 2001-02-09 KR KR10-2001-0006379A patent/KR100369537B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100369537B1 (ko) | 2003-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110228498B (zh) | 变轨距轮对用锁紧机构的防尘盖及变轨距轮对 | |
KR100369537B1 (ko) | 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 | |
KR100600234B1 (ko) | 피 검사체의 탑재 기구 및 집적 회로의 검사 장치 | |
KR200230717Y1 (ko) | 프로브 스테이션의 웨이퍼 척 승강축 | |
KR102189352B1 (ko) | 모터 코어용 마그네트 자동 삽입 장치 | |
CN112960594A (zh) | 升降装置、定位设备和腔室设备 | |
CN219203130U (zh) | 浮动机构及取放料装置 | |
JPH04372318A (ja) | X,y,z駆動装置 | |
KR20140082735A (ko) | 엘리베이터용 권상기 및 엘리베이터용 권상기의 제조방법 | |
CN110032044B (zh) | 一种基底交接机构、光刻机及基底交接方法 | |
CN113871337B (zh) | 托架、半导体腔室及半导体工艺设备 | |
KR100980791B1 (ko) | 전자부품 이송장치 | |
JP4971416B2 (ja) | 被検査体の載置機構 | |
CN216112858U (zh) | 升降装置、定位设备和腔室设备 | |
CN109983347B (zh) | 探针卡用螺丝紧固装置以及具备它的探针卡组装装置 | |
JP3844444B2 (ja) | ボールねじ式移動装置 | |
CN103573815A (zh) | 微动台及气浮轴承 | |
KR101943527B1 (ko) | 예압 가능한 볼 조인트 | |
US20050193950A1 (en) | Supporting module and alignment apparatus for a substrate | |
KR20110025256A (ko) | 위치 결정용 핀 | |
US7963513B2 (en) | Mounting device | |
KR101383062B1 (ko) | 웨이퍼 이송장치의 블레이드 유닛 | |
CN219383811U (zh) | 基板输送装置 | |
CN114905470B (zh) | 移动对位平台 | |
CN211110792U (zh) | 一种升降机维修用安全定位装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121231 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131231 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141230 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151228 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161227 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181226 Year of fee payment: 17 |