CN219203130U - 浮动机构及取放料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种浮动机构及取放料装置，涉及半导体测试技术领域，该浮动机构包括：吸嘴底板、浮动底板和平移连接件，浮动底板与吸嘴底板相对设置，吸嘴底板背离浮动底板的表面设有第一定位件；平移连接件连接浮动底板和吸嘴底板，且能够使浮动底板与吸嘴底板相对浮动。该浮动机构缓解了相关技术中吸嘴在取放料的过程中会和下部料梭的坑位产生XY的偏差，长期使用中震动会对吸嘴的精度造成累计影响的技术问题。

Description

浮动机构及取放料装置

技术领域

本实用新型涉及半导体测试技术领域，尤其是涉及一种浮动机构和取放料装置。

背景技术

半导体存储器是一种采用半导体介质的信息储存设备，常用的内存、U盘、固态硬盘等都属于存储器的范畴。目前行业内对易失性存储器(Volati le Memory)芯片和非易失性存储器(Non-Vo l ati l eMemory)芯片进行设计、制造和封测，为了提升搬运的效率，行业内搬运存储芯片的LDR取放料装置都采用2×16的吸嘴结构，同时在搬运过程中保持变PITCH的X向移动，用以兼容更多的芯片场景。

而目前行业内的取放料装置即使已经进行过XY精度调节，但是精度的调节过程往往存在误差，而吸嘴在实际取放料的过程中仍然会和下部料梭的坑位产生XY的偏差，长期使用中震动会对吸嘴的精度造成累计影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种浮动机构及取放料装置，以缓解相关技术中吸嘴在取放料的过程中会和下部料梭的坑位产生XY的偏差，长期使用中震动会对吸嘴的精度造成累计影响的技术问题。

第一方面，本实用新型提供的浮动机构包括：吸嘴底板；

浮动底板，所述浮动底板与所述吸嘴底板相对设置，所述吸嘴底板背离所述浮动底板的表面设有第一定位件；

平移连接件，连接所述浮动底板和所述吸嘴底板，且能够使所述浮动底板与所述吸嘴底板相对浮动。

可选地，所述平移连接件包括平移滚珠支撑组件和锥形滚珠组件，所述平移滚珠支撑组件设置有至少一列，一列中至少有一个所述平移滚珠支撑组件；

所述锥形滚珠组件至少设置有一列且位于所述平移滚珠支撑组件的一侧，一列中至少有一个所述锥形滚珠组件。

可选地，所述平移连接件包括平移滚珠支撑组件和锥形滚珠组件，所述平移滚珠支撑组件间隔设置有两列，每列间隔设置有两个；所述锥形滚珠组件设置有一列且位于两列平移滚珠支撑组件的中部，一列间隔设置有两个；每列所述平移滚珠支撑组件与一列所述锥形滚珠组件相互平行设置。

可选地，所述浮动底板设置有两个，两个所述浮动底板分别与所述吸嘴底板的两端部相对，并均通过所述平移滚珠支撑组件和所述锥形滚珠组件与所述吸嘴底板连接。

可选地，所述浮动底板背离所述吸嘴底板的表面设有阶梯孔，所述阶梯孔靠近所述吸嘴底板一端的直径小于所述阶梯孔远离所述吸嘴底板一端的直径；

所述平移滚珠支撑组件包括防脱螺钉、衬套、垫片和第一滚珠；

所述衬套和所述垫片插设于所述阶梯孔内，所述衬套、所述垫片和所述阶梯孔的内壁围合形成用于容纳所述第一滚珠的空间；

所述防脱螺钉从所述浮动底板背离所述吸嘴底板的一侧依次穿过所述衬套和所述垫片，并与所述吸嘴底板螺纹连接，且所述防脱螺钉与所述衬套间隙配合，所述衬套和所述垫片之间设置有间隙形成的活动空间。

可选地，所述吸嘴底板设有第一安装孔，所述浮动底板设有对应第一安装孔的第二安装孔，所述第一安装孔与所述第二安装孔导通围合形成用于容纳所述锥形滚珠组件的容纳空间；

锥形滚珠组件包括安装件、第二滚珠以及驱动件；

所述安装件嵌设于所述第一安装孔，且所述安装件朝向所述浮动底板的一侧开设有滚动导槽，所述滚动导槽的槽壁自边缘向轴线倾斜设置；

所述驱动件至少部分嵌设于所述第二安装孔，所述驱动件向第二滚珠施加朝向滚动导槽的作用力；所述驱动件朝向滚动导槽的一侧设置有用于约束所述第二滚珠相对驱动件移动的约束槽；

所述第二滚珠部分位于所述约束槽内，所述第二滚珠还与所述滚动导槽的槽壁抵接。

可选地，所述驱动件包括导向组件和弹性组件，所述导向组件包括导向筒，所述弹性组件包括弹簧；

所述导向筒部分嵌设于所述第二安装孔，所述约束槽贯通设置于所述导向筒朝向所述吸嘴底板的一端，所述约束槽开口的直径小于所述第二滚珠的直径，贯通设置的所述约束槽形成限位通孔；

所述第二滚珠和所述弹簧均位于所述导向筒内，并且所述第二滚珠部分伸出所述限位通孔与所述滚动导槽的槽壁抵接，所述弹簧位于所述导向筒的内壁和所述第二滚珠之间，并分别与所述导向筒的内壁和所述第二滚珠抵接。

可选地，所述驱动件包括导向组件和弹性组件，所述弹性组件包括推杆和弹簧，所述导向组件包括滚珠固定环；

所述滚珠固定环至少部分嵌设于所述第二安装孔，所述滚珠固定环内形成所述约束槽，且第二滚珠与所述约束槽间隙配合；

所述推杆位于所述滚珠固定环背离所述安装件的一侧，并与所述第二滚珠抵接，所述弹簧套设于所述推杆，并分别与所述推杆和所述第二安装孔的底壁抵接。

可选地，所述浮动机构还包括第二定位件，所述第二定位件设于所述吸嘴底板背离所述浮动底板的表面。

第二方面，本实用新型提供的取放料装置包括驱动机构和上述的浮动机构，所述驱动机构与所述浮动机构中的浮动底板转动连接。

本实用新型提供的浮动机构应用于取放料装置中，其中，浮动底板用于与取放料装置中的驱动机构连接，吸嘴底板用于安装吸嘴，第一定位件用于与料梭上的定位结构配合对吸嘴进行定位。在取放料的过程中，浮动机构带动吸嘴运动，第一定位件与料梭上的定位结构配合进行定位，吸嘴取放料的时候也会与料梭配合，在定位过程中，平移连接件能够实现吸嘴底板相对于浮动底板浮动，进而实现对吸嘴位置的调节，提高吸嘴与料梭的配合精度，从而减少对吸嘴的损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的浮动机构的爆炸图；

图2为本实用新型实施例提供的浮动机构的剖视图；

图3为本实用新型实施例提供的浮动机构中平移滚珠支撑组件的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的浮动机构中平移滚珠支撑组件的爆炸图；

图5为本实用新型实施例提供的浮动机构中锥形滚珠组件第一种结构的爆炸图；

图6为本实用新型实施例提供的浮动机构中锥形滚珠组件第一种结构的剖视图；

图7为本实用新型实施例提供的浮动机构中锥形滚珠组件第二种结构的爆炸图；

图8为本实用新型实施例提供的浮动机构中平移滚珠支撑组件产生偏移时的示意图；

图9为本实用新型实施例提供的浮动机构中锥形滚珠组件复位时的示意图；

图10为本实用新型实施例提供的浮动机构中锥形滚珠组件产生偏移时的示意图；

图11为本实用新型实施例提供的取放量装置的爆炸图。

图标：100-吸嘴底板；110-第一安装孔；200-浮动底板；210-阶梯孔；211-第一限位段；212-第二限位段；213-第三限位段；220-第二安装孔；300-平移滚珠支撑组件；310-防脱螺钉；320-衬套；321-套筒；322-挡圈；330-垫片；340-第一滚珠；400-锥形滚珠组件；410-安装件；411-滚动导槽；420-第二滚珠；430-导向组件；431-导向筒；432-滚珠固定环；433-限位通孔；440-弹性组件；441-弹簧；442-推杆；510-第一定位件；520-第二定位件；610-变间距组件；620-气缸组件；630-电气盒；640-取放料装置框架；650-吸嘴；660-丝杠组件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供的浮动机构包括：吸嘴底板100、浮动底板200和平移连接件，浮动底板200与吸嘴底板100相对设置，吸嘴底板100背离浮动底板200的表面设有第一定位件510；平移连接件连接浮动底板200和吸嘴底板100，且能够使浮动底板200与吸嘴底板100相对浮动。

吸嘴底板100和浮动底板200均设置为长方形，且长度方向均沿X向设置；浮动底板200的长度小于吸嘴底板100的长度，且安装于底板的上表面，并且浮动底板200的下表面与吸嘴底板100的上表面之间留有2mm-4mm间隙用于缓冲时被压缩。

进一步地，浮动底板200设置有两个，两个浮动底板200分别与吸嘴底板100的两端部相对，并均通过平移连接件与吸嘴底板100连接，两个浮动底板200均用于与驱动料装置中的驱动机构连接。通过两个浮动底板200对吸嘴底板100的两端进行支撑，使吸嘴底板100受力平衡，提高吸嘴底板100运动的稳定性。

本实用新型实施例提供的浮动机构应用于取放料装置中，其中，浮动底板200用于与取放料装置中的驱动机构连接，吸嘴底板100用于安装吸嘴650，第一定位件510用于与料梭上的定位结构配合对吸嘴650进行定位。在取放料的过程中，浮动机构带动吸嘴650运动，第一定位件510与料梭上的定位结构配合进行定位，吸嘴650取放料的时候也会与料梭配合，在定位过程中，平移连接件能够实现吸嘴底板100相对于浮动底板200浮动，从而实现对吸嘴650位置的调节，提高吸嘴650与料梭的配合精度，从而减少对吸嘴650的损坏。

在本申请的一个实施方式中，平移连接件包括平移滚珠支撑组件300和锥形滚珠组件400。浮动底板200背离吸嘴底板100的表面设有阶梯孔210，阶梯孔210靠近吸嘴底板100一端的直径小于阶梯孔210远离吸嘴底板100一端的直径，平移滚珠支撑组件300的一端穿过阶梯孔210，并与吸嘴底板100连接。吸嘴底板100设有第一安装孔110，浮动底板200设有对应第一安装孔110的第二安装孔220，第一安装孔110与第二安装孔220导通，并围合形成用于容纳锥形滚珠组件400的容纳空间，锥形滚珠组件400安装于容纳空间内。平移滚珠支撑组件300和锥形滚珠组件400形成平移连接件。在对吸嘴650的位置进行定位过程中，平移滚珠支撑组件300实现吸嘴底板100相对于浮动底板200平移，锥形滚珠组件400实现吸嘴底板100相对于浮动底板200翻转，平移滚珠支撑组件300和锥形滚珠组件400配合，实现对吸嘴650位置的调节，提高吸嘴650与料梭的配合精度。

平移滚珠支撑组件300设置有至少一列，一列中至少有一个平移滚珠支撑组件300，锥形滚珠组件400至少设置有一列且位于平移滚珠支撑组件300的一侧，一列中至少有一个锥形滚珠组件400。

具体地，每列中的平移滚珠支撑组件300沿吸嘴底板100的宽度方向间隔分布，当平移滚珠支撑组件300设置有多列时，多列平移滚珠支撑组件300沿吸嘴底板100的长度方向间隔分布。锥形滚珠组件400位于平移滚珠支撑组件300的一侧，每列中的锥形滚珠组件400沿吸嘴底板100的宽度方向间隔分布，当锥形滚珠组件400设置有多列时，多列平移滚珠支撑组件300沿吸嘴底板100的长度方向间隔分布。两个浮动底板200均通过至少一列平移滚珠支撑组件300和至少一列锥形滚珠组件400与吸嘴底板100连接，使吸嘴底板100的两端均能够相对于对应的浮动底板200平移或翻转。

作为另一种实施方式，平移滚珠支撑组件300间隔设置有两列，每列间隔设置有两个；锥形滚珠组件400设置有一列且位于两列平移滚珠支撑组件300的中部，一列间隔设置有两个；每列平移滚珠支撑组件300与一列锥形滚珠组件400相互平行设置。

具体地，两列平移滚珠支撑组件300沿吸嘴底板100的长度方向间隔分布，每列中的两个平移滚珠支撑组件300沿吸嘴底板100的宽度方向间隔分布。一列锥形滚珠组件400位于两列平移滚珠组件300之间，并且到两列平移滚珠组件300之间的距离相等，每列中的两个锥形滚珠组件400沿吸嘴底板100的宽度方向间隔分布，并且位置与每列中的两个平移滚珠支撑组件300的位置一一对应，多个平移滚珠支撑组件300与多个锥形滚珠组件400共同形成一矩形阵列。

平移滚珠支撑组件300起到连接浮动底板200和吸嘴底板100，以及使吸嘴底板100相对于浮动底板200平移的作用，锥形滚珠组件400设于多个平移滚珠支撑组件300之间，使吸嘴底板100位于锥形滚珠组件400两侧的结构均受到平移滚珠支撑组件300的支撑，提高吸嘴底板100的稳定性。

在本申请的一个实施方式中，如图1所示，每个浮动底板200通过四个平移滚珠支撑组件300和两个锥形滚珠组件400与吸嘴底板100连接，四个平移滚珠支撑组件300分别位于一矩形的四个拐角处，并且所在矩形的长边与吸嘴底板100的长边平行。锥形滚珠组件400设置有两个，两个锥形滚珠组件400设于矩形的轴线处，具体地，两个锥形滚珠组件400分别位于矩形结构两个长边的中点处。

在锥形滚珠组件400单侧设置平移滚珠支撑组件300的浮动机构中，当力接触到浮动机构时，总冲击力转化为沿水平方向延伸且与吸嘴底板100垂直的均布载荷，均布载荷作用于平移滚珠支撑组件300和锥形滚珠组件400上，此时受力集中在左侧平移滚珠支撑组件300上，造成受力不均的现象，锥形滚珠组件400会产生一侧的倾斜翻转。此种单侧支撑结构存在受力不均的现象，会影响实际的浮动效果。

矩形分布的平移滚珠支撑组件300相比于单侧的平移滚珠支撑组件300，能有效的增加翻转过程中的稳定性，以及减小取放料过程中启停加速度带来的晃动。在锥形滚珠组件400的左右两侧均设有平移滚珠支撑组件300，左右两侧的平移滚珠支撑组件300形成了矩形状的支撑效果，弥补了原本单侧支撑受力不均匀的现象，消除了因为一侧力不均匀而导致的倾斜翻转。

如图3和图4所示，平移滚珠支撑组件300包括防脱螺钉310、衬套320、垫片330和第一滚珠340；衬套320和垫片330插设于阶梯孔210内，衬套320、垫片330和阶梯孔210的内壁围合形成用于容纳第一滚珠340的空间；防脱螺钉310从浮动底板200背离吸嘴底板100的一侧依次穿过衬套320和垫片330，并与吸嘴底板100螺纹连接，且防脱螺钉310与衬套320间隙配合，衬套320和垫片330之间设置有间隙形成的活动空间。

具体地，衬套320包括套筒321和挡圈322，挡圈322固定设置于套筒321的一端，并与套筒321同轴设置，进一步地，挡圈322与套筒321为一体结构，挡圈322的外径大于套筒321的外径，套筒321的内径大于防脱螺钉310的直径，套筒321与防脱螺钉310间隙配合。挡圈322对应第一滚珠340设置。

垫片330呈环形，垫片330的外径等于挡圈322的外径，垫片330位于套筒321靠近吸嘴底板100的一侧，第一滚珠340位于挡圈322、垫片330、套筒321的外周壁以及阶梯孔210的内周壁形成的空间内，并分别与挡圈322和垫片330抵接。

如图2所示，阶梯孔210包括从上至下依次分布，并相互连通的第一限位段211、第二限位段212和第三限位段213，第一限位段211的直径大于第二限位段212的直径和挡圈322的外径，第二限位段212的直径大于第三限位段213的直径，并且与垫片330的外径相适配。挡圈322位于第一限位段211内，垫片330位于第二限位段212内，并且垫片330的下端面与第二限位段212的底壁抵接。第一滚珠340设置有多个，多个第一滚珠340均位于挡圈322和垫片330之间，并沿套筒321的周向间隔分布。

吸嘴底板100与浮动底板200相对的表面设有截面呈圆形的限位槽，限位槽的底壁设有与防脱螺钉310配合的螺纹孔。防脱螺钉310具有光滑段和设于光滑段下端的螺纹段，螺纹段的直径小于光滑段的直径，防脱螺钉310从浮动底板200背离吸嘴底板100的一侧穿过套筒321，防脱螺钉310的光滑段的一端位于限位槽内，防脱螺钉310的螺纹段与吸嘴底板100上的螺纹孔配合，从而实现吸嘴底板100与浮动底板200的连接。

因为防脱螺钉310与衬套320间隙配合，并且挡圈322位于阶梯孔210的第一限位段211，防脱螺钉310和衬套320均可以相对于浮动底板200水平移动，从而使吸嘴底板100相对于浮动底板200在水平方向上具有一定的自由度，如图8所示，实现吸嘴底板100在水平方向的浮动，进而当吸嘴650与料梭之间的位置精度出现误差时，可进行吸嘴650位置的调节，从而保证位置精度。

可选地，锥形滚珠组件400包括安装件410、第二滚珠420以及驱动件。安装件410嵌设于第一安装孔110内，且安装件410朝向浮动底板200的一侧开设有滚动导槽411，滚动导槽411的槽壁自靠近浮动底板200的一侧边缘向轴线倾斜设置；驱动件至少部分嵌设于第二安装孔220，驱动件向第二滚珠420施加朝向滚动导槽411的作用力；驱动件朝向滚动导槽411的一侧设置有用于约束第二滚珠420相对驱动件移动的约束槽；第二滚珠420部分位于约束槽内，第二滚珠420还与滚动导槽411的槽壁抵接。

自然状态下，如图7和图9所示，第二滚珠420位于滚动导槽411的最低位置，取放料过程中，在进行第二次调节时，如图10所示，在吸嘴底板100作用力的作用下第二滚珠420沿滚动导槽411的槽壁滚动，驱动件上的约束槽对第二滚珠420起到约束作用，实现对吸嘴650位置的调节，当完成取放料后，在驱动件的作用下，第二滚珠420回复到原始位置。

作为一种实施方式，如图5和图6所示，驱动件包括导向组件430和弹性组件440，导向组件430包括导向筒431，第二安装孔220的直径等于导向筒431的外径，导向筒431部分嵌设于第二安装孔220内，并且下端位于第二安装孔220外。约束槽贯通设置于导向筒431朝向吸嘴底板100的一端，约束槽内部的直径大于第二滚珠420的直径，约束槽开口的直径小于第二滚珠420的直径，以在导向筒431朝向吸嘴底板100的一端形成限位通孔433。弹性组件440包括弹簧441，第二滚珠420和弹簧441均位于导向筒431内，并且第二滚珠420部分伸出限位通孔433与滚动导槽411的槽壁抵接，弹簧441位于导向筒431的内壁和第二滚珠420之间，并分别与导向筒431的内壁和第二滚珠420抵接。进一步地，将导向筒431设置为分体结构，例如将上端部作为端盖与下部通过卡接或螺纹连接的方式连接，以方便将弹簧441和第二滚珠420安装于导向筒431内。

自然状态下，第二滚珠420位于滚动导槽411的最低位置，取放料过程中，在进行第二次调节时，在吸嘴底板100作用力的作用下第二滚珠420沿滚动导槽411的槽壁滚动，导向筒431对第二滚珠420起到导向作用，在调节过程中，弹簧441产生弹性变形，从而完成吸嘴650位置的调节；当完成取放料后，在弹簧441恢复力的作用下，第二滚珠420回复到原始位置。

作为另一种实施方式，如图7所示，驱动件包括导向组件430和弹性组件440，弹性组件440包括推杆442和弹簧441，导向组件430包括滚珠固定环432；滚珠固定环432至少部分嵌设于第二安装孔220，滚珠固定环432内形成约束槽，且第二滚珠420与约束槽间隙配合；推杆442位于滚珠固定环432背离安装件410的一侧，并与第二滚珠420抵接，弹簧441套设于推杆442，推杆442靠近第二滚珠420的一端的直径大于其中部和上端部的直径，弹簧441的一端与推杆442直径较大部分的端面抵接，另一端与第二安装孔220的底壁抵接。

自然状态下，第二滚珠420位于滚动导槽411的最低位置，取放料过程中，在进行第二次调节时，在吸嘴底板100作用力的作用下第二滚珠420沿滚动导槽411的槽壁滚动，滚珠固定环432对第二滚珠420起到导向作用，第二滚珠420推动推杆442向上运动，从而使弹簧441产生弹性变形，从而完成吸嘴650位置的调节；当完成取放料后，在弹簧441恢复力的作用下，第二滚珠420回复到原始位置。

如图1所示，浮动机构还包括第二定位件520，第二定位件520设于吸嘴底板100背离浮动底板200的表面。具体地，第二定位件520和第一定位件510均安装于吸嘴底板100的下表面；第一定位件510和第二定位件520均设置为定位销，并且第一定位件510的长度大于第二定位件520的长度。第一定位件510设置有两个，两个第一定位件510分别安装于吸嘴底板100下表面的两端。第二定位件520的数量与吸嘴650的数量相同，多个第二定位件520与多个吸嘴650的位置一一对应。

在取放料过程中，第一定位件510与料梭上对应的定位结构配合起到粗定位的作用，第二定位件520与料梭上对应的定位结构配合起到精定位的作用，第一定位件510与第二定位件520配合提高对吸嘴650的定位精度。

本实用新型实施例提供的浮动机构整体的工作原理如下：

当取放料装置处于抬升吸取芯片的搬运状态时，浮动机构处于自然状态(无平移)，随后浮动机构被驱动把芯片搬运至料梭上方进行放料时，浮动机构被驱动下降，将芯片放置于料梭内，下降过程中吸嘴底板100上的定位销与料梭坑位的孔进行配合，此时取放料装置受力之后产生X向和Y向的平移，具体移动情况如下：

(1)如图8所示，平移滚珠支撑组件300受X向、Y向和Z向力，Z向力将浮动机构抬升，X向和Y向力使浮动机构发生平移，此时平移滚珠支撑组件300中的多个第一滚珠340均匀分布，承受形变的均布载荷，下部的垫片330和挡圈322分离；

(2)如图10所示，锥形滚珠组件400受力之后，Z向的力挤压弹簧441，浮动机构回缩，X向和Y向的力使滚动导槽411内的第二滚珠420沿着斜面滑动，且弹簧441压缩形变；

(3)当取放料装置完成取料后抬升，原本位移的浮动机构受到弹簧441反弹，朝下恢复到原始状态。

本实用新型实施例提供的取放料装置包括驱动机构和上述的浮动机构，驱动机构与浮动机构中的浮动底板200转动连接。

如图11所示，本实用新型实施例提供的取放料装置还包括变间距组件610、气缸组件620、电气盒630、取放料装置框架640和吸嘴650，其中，浮动机构设置有两个，两个浮动机构吸嘴底板100的下表面均设有多个吸嘴650。驱动机构包括丝杠组件660，丝杠组件660安装于取放料装置框架640并与气缸组件620传动连接，气缸组件620与变间距组件610连接，变间距组件610与其中一个浮动机构连接，用于调节两个浮动机构之间的距离，从而调节安装于两个浮动机构上的吸嘴650的距离。电气盒630分别与丝杠组件660和气缸组件620信号连接。丝杠组件660用于驱动吸嘴650做升降运动，气缸组件620与变间距组件610配合调节两个浮动机构之间的距离，从而实现取放料装置可以与不同尺寸的承载电子元件的料盘相匹配，扩大了取放料装置的适用范围。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种浮动机构，其特征在于，包括：吸嘴底板(100)；

浮动底板(200)，所述浮动底板(200)与所述吸嘴底板(100)相对设置，所述吸嘴底板(100)背离所述浮动底板(200)的表面设有第一定位件(510)；

平移连接件，连接所述浮动底板(200)和所述吸嘴底板(100)，且能够使所述浮动底板(200)与所述吸嘴底板(100)相对浮动。

2.根据权利要求1所述的浮动机构，其特征在于，所述平移连接件包括平移滚珠支撑组件(300)和锥形滚珠组件(400)，所述平移滚珠支撑组件(300)设置有至少一列，一列中至少有一个所述平移滚珠支撑组件(300)；

所述锥形滚珠组件(400)至少设置有一列且位于所述平移滚珠支撑组件(300)的一侧，一列中至少有一个所述锥形滚珠组件(400)。

3.根据权利要求1所述的浮动机构，其特征在于，所述平移连接件包括平移滚珠支撑组件(300)和锥形滚珠组件(400)，所述平移滚珠支撑组件(300)间隔设置有两列，每列间隔设置有两个；所述锥形滚珠组件(400)设置有一列且位于两列平移滚珠支撑组件(300)的中部，一列间隔设置有两个；每列所述平移滚珠支撑组件(300)与一列所述锥形滚珠组件(400)相互平行设置。

4.根据权利要求2或3所述的浮动机构，其特征在于，所述浮动底板(200)设置有两个，两个所述浮动底板(200)分别与所述吸嘴底板(100)的两端部相对，并均通过所述平移滚珠支撑组件(300)和所述锥形滚珠组件(400)与所述吸嘴底板(100)连接。

5.根据权利要求2或3所述的浮动机构，其特征在于，所述浮动底板(200)背离所述吸嘴底板(100)的表面设有阶梯孔(210)，所述阶梯孔(210)靠近所述吸嘴底板(100)一端的直径小于所述阶梯孔(210)远离所述吸嘴底板(100)一端的直径；

所述平移滚珠支撑组件(300)包括防脱螺钉(310)、衬套(320)、垫片(330)和第一滚珠(340)；

所述衬套(320)和所述垫片(330)插设于所述阶梯孔(210)内，所述衬套(320)、所述垫片(330)和所述阶梯孔(210)的内壁围合形成用于容纳所述第一滚珠(340)的空间；

所述防脱螺钉(310)从所述浮动底板(200)背离所述吸嘴底板(100)的一侧依次穿过所述衬套(320)和所述垫片(330)，并与所述吸嘴底板(100)螺纹连接，且所述防脱螺钉(310)与所述衬套(320)间隙配合，所述衬套(320)和所述垫片(330)之间设置有间隙形成的活动空间。

6.根据权利要求2或3所述的浮动机构，其特征在于，所述吸嘴底板(100)设有第一安装孔(110)，所述浮动底板(200)设有对应第一安装孔(110)的第二安装孔(220)，所述第一安装孔(110)与所述第二安装孔(220)导通围合形成用于容纳所述锥形滚珠组件(400)的容纳空间；

所述锥形滚珠组件(400)包括安装件(410)、第二滚珠(420)以及驱动件；

所述安装件(410)嵌设于所述第一安装孔(110)，且所述安装件(410)朝向所述浮动底板(200)的一侧开设有滚动导槽(411)，所述滚动导槽(411)的槽壁自边缘向轴线倾斜设置；

所述驱动件至少部分嵌设于所述第二安装孔(220)，所述驱动件向第二滚珠(420)施加朝向滚动导槽(411)的作用力；所述驱动件朝向滚动导槽(411)的一侧设置有用于约束所述第二滚珠(420)相对驱动件移动的约束槽；

所述第二滚珠(420)部分位于所述约束槽内，所述第二滚珠(420)还与所述滚动导槽(411)的槽壁抵接。

7.根据权利要求6所述的浮动机构，其特征在于，所述驱动件包括导向组件(430)和弹性组件(440)，所述导向组件(430)包括导向筒(431)，所述弹性组件(440)包括弹簧(441)；

所述导向筒(431)部分嵌设于所述第二安装孔(220)，所述约束槽贯通设置于所述导向筒(431)朝向所述吸嘴底板(100)的一端，所述约束槽开口的直径小于所述第二滚珠(420)的直径，贯通设置的所述约束槽形成限位通孔(433)；

所述第二滚珠(420)和所述弹簧(441)均位于所述导向筒(431)内，并且所述第二滚珠(420)部分伸出所述限位通孔(433)与所述滚动导槽(411)的槽壁抵接，所述弹簧(441)位于所述导向筒(431)的内壁和所述第二滚珠(420)之间，并分别与所述导向筒(431)的内壁和所述第二滚珠(420)抵接。

8.根据权利要求6所述的浮动机构，其特征在于，所述驱动件包括导向组件(430)和弹性组件(440)，所述弹性组件(440)包括推杆(442)和弹簧(441)，所述导向组件(430)包括滚珠固定环(432)；

所述滚珠固定环(432)至少部分嵌设于所述第二安装孔(220)，所述滚珠固定环(432)内形成所述约束槽，且所述第二滚珠(420)与所述约束槽间隙配合；

所述推杆(442)位于所述滚珠固定环(432)背离所述安装件(410)的一侧，并与所述第二滚珠(420)抵接，所述弹簧(441)套设于所述推杆(442)，并分别与所述推杆(442)和所述第二安装孔(220)的底壁抵接。

9.根据权利要求1所述的浮动机构，其特征在于，所述浮动机构还包括第二定位件(520)，所述第二定位件(520)设于所述吸嘴底板(100)背离所述浮动底板(200)的表面。

10.一种取放料装置，其特征在于，包括驱动机构和权利要求1-9任一项所述的浮动机构，所述驱动机构与所述浮动机构中的浮动底板(200)转动连接。

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